高清洁高温阀

摘要

提供一种高清洁高温阀，使用该阀可以提高其作为阀装置使用的使用环境的泛用性。该阀具备有：在可滑动地支撑着阀轴(12)的阀盖(20)上连结着阀驱动部(30)和阀箱(40)，一端位于由上盖(32)及下盖(33)的两端关闭而形成的周壁(31)的内部，而且贯穿了下盖(33)的另一端而支撑着阀轴(12)的一端的轴部(34)，轴部(34)的一端被第1波纹管(35)所支撑着，轴部(34)的另一端被用于密闭下盖(33)的轴贯穿孔(33a)的第2波纹管(36)所支撑着，第1配管(32a)连通于被第1波纹管(35)所隔绝着的第1空间(37)，第2配管(31a)连通于被第1波纹管(35)所隔绝着的第2空间(38)，通过将第1、第2空间内(37、38)的流体量进行相互增减从而驱动被第1、第2波纹管(35、36)以浮游状态所支撑着的轴部(34)。

权利要求

1.一种高清洁高温阀，其特征在于它具备有：

阀轴；以及、

可滑动地支撑该阀轴的阀盖；以及、

支撑着前述阀轴的一端而将其连结于前述阀盖而驱动前述阀轴的阀驱动部；以及、位于前述阀轴的另一端而与前述阀盖相连结着的阀箱，前述阀驱动部包括：

周壁；以及、

关闭该周壁的两端的上盖和下盖；以及、

一端位于前述周壁的内部，而贯穿前述下盖的另一端支撑着前述阀轴的一端的轴部；

以及、

将前述周壁的内部隔绝成上盖侧与下盖侧而与前述轴部的一端相连结着的第1波纹管；以及、配置于前述下盖与前述轴部的另一端之间而密闭前述下盖的轴贯穿孔的第2波纹管；

以及、

连通于由前述第1波纹管所隔绝着的前述上盖与前述轴部的一端之间所形成的第1空间的第1配管；以及、连通于被前述第1波纹管所隔绝的且被前述第2波纹管将其与外部相隔绝着的前述下盖与前述轴部的一端之间所形成的第2空间的第2配管，通过经由前述第1、第2配管而对前述第1、第2空间内的流体量进行相互增减调节，从而驱动前述轴部。

2.如权利要求书第1项里所记载的高清洁高温阀，其特征在于：前述轴部被前述第1、第2波纹管在前述周壁内以浮游状态支撑着，前述轴贯穿孔是在非接触状态下将前述轴部而贯穿的。

3.如权利要求书第1或第2项里所记载的高清洁高温阀，其特征在于：在前述阀盖上设置有轴承零部件，该轴承零部件可滑动地支撑着前述阀轴而且在其内周滑动面熔接有与前述阀轴的外周滑动面具有不同机械特性的材料。

4.如权利要求书第3项里所记载的高清洁高温阀，其特征在于：前述轴承零部件是由与前述阀轴的外周滑动面不同硬度的金属材料所构成的。

5.如权利要求书第1至第4项里的任意一项所记载的高清洁高温阀，其特征在于：前述阀盖与前述阀驱动部是在密闭状态下被连接起来的，在前述阀盖设置有在前述阀盖与前述阀驱动部的密闭空间内进行排气控制的排气口。

6.如权利要求书第1至第5项里的任意一项所记载的高清洁高温阀，其特征在于：前述阀盖与前述阀驱动部的连接部分以及前述阀盖与前述阀箱的连接部分上配置着有金属制气门。

7.如权利要求书第1至第6项里的任意一项所记载的高清洁高温阀，其特征在于：前述阀箱的内部里安装有加热体。

8.如权利要求书第1至第7项里的任意一项所记载的高清洁高温阀，其特征在于：前述阀轴的内部里安装有加热体。

9.一种高清洁高温阀，其特征在于：

前述阀驱动部的上段配置有第2的阀驱动部，该第2的阀驱动部具备有：第2的周壁；以及、

关闭该第2的周壁两端的第2的上盖和下盖；以及、

一端位于前述周壁的内部，而且将前述各下盖以及前述轴部在同轴上给予贯通，然后再贯通前述阀轴的第2的轴部；以及、将前述第2的周壁的内部隔绝成第2的上盖侧与第2的下盖侧而与前述第2的轴部的一端相连结着的第2的第1波纹管；以及、配置于前述第2的下盖与前述轴部之间的第2的第2波纹管；以及、连通着被前述第2的第1波纹管所隔绝着的在前述第2的上盖和前述第2的轴部的一端之间所形成的第2的第1空间的第2的第1配管；以及、连通着被前述第2的第1波纹管所隔绝着的且被前述第2的第2波纹管将其与外部隔绝着的在前述第2的下盖与前述第2的轴部的一端之间所形成的第2的第2空间的第2的第2配管，通过前述第2的第1、第2配管而使前述第2的第1、第2空间内的流体量相互增减，从而驱动前述第2的轴部。

10.如权利要求书第9项里所记载的高清洁高温阀，其特征在于：前述第2的下盖与前述上盖是用一个前述上盖给予兼用着的。

11.如权利要求书第1项至第8项里的任意一项所记载的高清洁高温阀，其特征在于：在前述阀箱设置有由金属性薄膜所形成的隔膜，该隔膜是通过前述阀轴的驱动而对前述阀箱里形成的流路进行开闭的。

12.如权利要求书第9项或第10项里所记载的高清洁高温阀，其特征在于：在前述第2的轴部设置有由金属性薄膜所形成的隔膜，该隔膜是通过前述第2的轴部的驱动而对前述阀箱里所形成的流路进行开闭的。

13.如权利要求书第11项或第12项里所记载的流量调整阀，其特征在于：前述隔膜的表面粗糙度在Rma×0.1μm以下。

说明书

高清洁高温阀

技术领域

[0001] 本发明涉及一种高清洁高温阀，该阀可以调整(包括遮断)流体的流量，被使用于半导体存储器等的半导体制造装置及LED(发光二极管)、EL(电致发光器)、VFD(真空荧光显示器)、PDP(等离子体显示板)等的称为FPD平板显示器制造的各种制造装置，等等。

背景技术

[0002] 日本专利文件1：特开平06-074363号公报。

[0003] 日本专利文件2：特开平11-153235号公报。

[0004] 至今为止，在半导体存储器等的半导体制造装置以及LED(发光二极管)、EL(电子发光器)、VFD(真空荧光显示器)、PDP(等离子体显示板)等的被称为FPD制造装置等方面，在制造时配置使用、用来调整流体的流量的高清洁高温阀是众所周知的。

[0005] 还有，在这样的高清洁高温阀上，为了减低外部泄漏而使用蛇腹状的波纹管等作为密封零部件是已知的技术(例如说，可以参照上述日本专利文件1和2)。

[0006] 图11是一个现有高清洁高温阀的截面图，该图表示了为了减少外部泄漏而使用了波纹管作为密封零部件的高清洁高温阀的一个例子。

[0007] 在图11里，高清洁高温阀1具备有：阀轴2；以及、可滑动地支撑阀轴2的阀盖3；以及、支撑着阀轴2的一端与阀盖3相连结着从而驱动阀轴2的阀驱动部4；以及、位于阀轴
2的另一端而与阀盖3相连结着的阀箱5；以及、被固定在阀轴2的另一端的阀体6；以及、缠绕着靠近阀轴2的另一端而配置在阀盖3与阀轴5之间的作为阀轴密封零部件的波纹管
7。

[0008] 阀轴2具备有：固定于阀驱动部4一侧的轴部2a；以及、在阀盖3的内部里与轴部2a的先端相连结着的阀轴本体2b。

[0009] 阀盖3是通过用螺栓等的固定零部件(没有用图给予表示)而与阀驱动部4连结着的，同时，通过熔接等在减低了外部泄漏的状态下与阀箱5接合在一起。还有，在阀盖3与阀箱5的接合部位上，为了更进一步地减少外部泄漏，设置有被阀轴2贯穿着的密封零部件8，波纹管7的一端连接着该密封零部件8，波纹管7的另一端连接着阀体6。

[0010] 阀驱动部4采用了圆筒式构造，在其内部具备有：通过阀轴2一直将阀座6往闭阀的方向加势的弹簧9；以及、在支撑着阀轴2的一端(轴部2a的一端)的同时，又供弹簧9的另一端做加势接触的基座10。还有，在该基座10与阀驱动部4的内壁之间，设置有树脂制造的“0”形环等的密封零部件10a。

发明内容

[0011] 发明所要解决的课题：

[0012] 但是，就按前述的构造做成的高清洁高温阀1而言，它存在着作为阀装置来说使用环境的泛用性低的问题。

[0013] 比如说，设置于基座10的密封零部件10a就存在由于其所使用的树脂材料的耐热温度而决定了作为阀装置的最高耐热温度的问题。

[0014] 还有，虽然阀轴2和阀箱5和波纹管7是为了减低外部泄漏而连接固定着的，但是就阀盖3及阀驱动部4而言，因为没有考虑到外部泄漏，所以就存在在真空中难于作为阀装置使用的这一问题。

[0015] 还有，因为阀盖3与阀驱动部4分别具有阀轴2的滑动部分(贯穿部分)，所以，在将阀盖3与阀驱动部4(包括轴部2a与阀轴本体2b)连结起来的时候，就存在其轴线的偏移会直接对阀体6的密封性能(闭阀性能)造成不良影响这一问题。

[0016] 还有，在阀轴2动作时，为了减低轴滑动的阻抗，必须在阀盖3与阀驱动部4的轴滑动面上涂布润滑剂，因此存在由于该润滑剂的种类的不同而限制了作为阀装置的耐用温度这一问题。

[0017] 还有，在使用加热器等的加热体对此种阀装置进行加温、加热时，由于阀盖3与阀驱动部4以及、阀盖3与阀箱5的密闭状态的不同而产生了容易发生加温效率不均匀的问题。

[0018] 本发明为了解决前述问题，提供一种高清洁高温阀，以提高其可以作为阀装置使用的使用环境的泛用性为目的。

[0019] 解决问题的手段

[0020] 为了达成该目的，在发明1项里所记载的高清洁高温阀，其特征是：它具备有阀轴；以及、可以滑动地支撑该阀轴的阀盖；以及、支撑着前述阀轴的一端与前述阀盖连结着从而驱动前述阀轴的阀驱动部；以及，位于前述阀轴的另一端侧而连结在前述阀盖的阀箱，其中前述阀驱动部包括有：周壁以及、关闭该周壁的两端的上盖和下盖；以及、位于前述周壁的内部的一端，而且在贯穿着前述下盖的另一端支撑着前述阀轴的一端的轴部；以及、将前述周壁的内部隔绝成上盖侧与下盖侧而与前述轴部的一端连结着的第1波纹管；以及、被配置在前述下盖与前述轴部的另一端之间而将前述下盖的轴贯穿孔密闭着的第2波纹管；以及、连通在由前述第1波纹管所隔绝着的由前述上盖与前述轴部的一端之间所形成的第1空间的第1配管；以及，连通在由前述第1波纹管所隔绝着的、而且由被前述第2波纹管将其与外部隔绝着的前述下盖与前述轴部的一端之间所形成的第2空间的第2配管，通过经由前述第1、第2配管而使前述第1、第2空间内的流体量相互增减，从而驱动前述轴部。

[0021] 根据这样的构造，可以让阀驱动部的构成零部件适合于使用金属材料，并可以通过熔接给予连接。这样不仅可以容易地确保阀驱动部的气密性，而且还可以提高其耐热性，从而还可以提高作为阀装置的泛用性。

[0022] 还有，因为前述轴部是由前述第1、第2波纹管在前述周壁内以浮游状态支撑着的，前述轴贯穿孔是在非接触状态下将前述轴部贯穿的，所以，不仅可以不需要使用在阀驱动部内的轴部的轴承，也不需要对支撑阀轴的轴部的中心与阀盖的轴支撑部的中心做精密的同轴对位，可提高阀盖与阀驱动部的组装作业性以及阀关闭性能。

[0023] 还有，在前述阀盖上，通过设置轴承零部件，该轴承零部件可滑动地支撑前述阀轴，而且在其内周滑动面上熔接着有与前述阀轴的外周滑动面上在机械上特性不同的材料，从而可以不必要在阀轴的滑动部分涂布润滑剂等，从而可以缓和耐用温度的限制，提高作为阀装置的泛用性。

[0024] 此时，作为前述轴承零部件而言，通过使用与前述阀轴的外周滑动面不同硬度的金属材料，所以可以容易地在不断减轻摩擦阻抗之同时，得到缓和其耐用温度的限制的效果，从而可以提高作为阀装置的泛用性。

[0025] 还有，由于前述阀盖与前述阀驱动部是在密闭状态下被连接起来的，在前述阀盖上设置有、在前述阀盖与前述驱动部的密闭空间内进行排气控制的排气口，因此，该阀可以作为适合于在真空下使用的阀装置。

[0026] 此时，通过把金属制气门配置在前述阀盖与前述阀驱动部的连接部分以及前述阀盖与前述阀箱的连接部分，这样可以容易地确保其气密性，成为更加适合于在真空下使用的阀装置。

[0027] 还有，通过把加热体组装到前述阀箱的内部，可以减轻阀箱内的加温效率的不均匀。

[0028] 此时，通过在前述阀轴的内部设置与阀箱内部加热体不同的加热体，这样可以容易地确保阀箱内部的温度分布的平均化，而且，通过把前述阀轴内部的加热体与阀箱内部的加热体并用起来而设置，可以提高加温效率以及减轻加温效率的不均匀。

[0029] 还有，把第2阀驱动部配置在前述阀驱动部的上段，该第2阀驱动部具备有：第2的周壁；以及、关闭该第2的周壁的两端的第2的上盖和下盖；以及、一端位于前述周壁的内部，而且另一端在同轴上贯穿前述各下盖及前述轴部，然后还贯穿前述阀轴的第2的轴部；以及、用第2的上盖侧和第2的下盖侧把前述第2的周壁的内部隔绝起来而连结在前述第2的轴部的一端的第2的第1波纹管；以及、配置于前述第2的下盖与前述轴部之间的第2的第2波纹管；以及、连通着被前述第2的第1波纹管所隔绝着的前述第2的上盖与前述第2的轴部的一端之间所形成的第2的第1空间的第2的第1配管；以及、连通着被前述第
2的第1波纹管所隔绝着的、而且由前述第2的第2波纹管与外部所隔绝着的前述第2的下盖与前述第2的轴部的一端之间所形成的第2的第2空间的第2的第2配管，通过经由前述第2的第1、第2配管而使前述第2的第1、第2空间内的流体量相互增减，从而驱动前述第2的轴部，这样可以更好地确保与外部的气密性。

[0030] 此时，前述第2的下盖和前述上盖是用一个前述上盖给予兼用，所以，可以减少零部件的数量。

[0031] 还有，在前述阀箱里，由于设置有其由金属性薄膜构成的隔膜，该隔膜是通过前述阀轴的驱动而对形成于前述阀箱的流路进行开闭的，因此该阀适用于作为高清洁阀，可以更加提高作为阀装置的泛用性。

[0032] 同样地，在前述第2的轴部里，由于设置有其由金属性薄膜构成的隔膜，该隔膜是通过前述第2的轴部的驱动而对形成于前述阀箱的流路进行开闭的，因此该阀适用于作为高清洁阀，可以更加提高作为阀装置的泛用性。

[0033] 此时，通过将前述隔膜的表面粗糙度设在Rma×0.1μm以下，这样可以确保对于流路的密闭性。

[0034] 发明的效果

[0035] 根据本发明的高清洁高温阀，可以提高其作为阀装置使用的使用环境的泛用性，具体而言，在300℃以上的高温环境下及真空环境下，也还可以适用作为维持着高清洁性的阀装置的高温阀。

附图说明

[0036] [图1]是一个与本发明的一个实施形态(实施例1)相关的高清洁高温阀的纵断面图。

[0037] [图2]是一个与本发明的一个实施形态(实施例1)相关的高清洁高温阀的其他方向的纵断面图。

[0038] [图3]是一个使用本发明的高清洁高温阀而用内部加热器(加热体)加热阀箱后的情况和由外部加热器加热阀箱后的阀内温度变化的比较图。

[0039] [图4]是一个与本发明的一个实施形态相关的实施例2的高清洁高温阀的纵截面图。

[0040] [图5]是一个与本发明的一个实施形态相关的实施例3的高清洁高温阀的纵截面图。

[0041] [图6]是一个与本发明的一个实施形态相关的实施例4的高清洁高温阀的纵截面图。

[0042] [图7]是一个与本发明的一个实施形态相关的实施例4的高清洁高温阀的其他方向的纵截面图。

[0043] [图8]是一个与本发明的一个实施形态相关的实施例5的高清洁高温阀的纵截面图。

[0044] [图9]是一个与本发明的一个实施形态相关的实施例5的高清洁高温阀的其他方向的纵截面图。

[0045] [图10]是一个与本发明的一个实施形态相关的实施例6的高清洁高温阀的纵截面图。

[0046] [图11]是一个既往的高清洁高温阀的截面图

[0047] 符号的说明

[0048] 11…高清洁高温阀

[0049] 12…阀轴

[0050] 13…金属制气门

[0051] 14…金属制气门

[0052] 15…高清洁高温阀

[0053] 16…高清洁高温阀

[0054] 17…高清洁高温阀

[0055] 18…高清洁高温阀

[0056] 20…阀盖

[0057] 21…排气口

[0058] 22…轴承零部件

[0059] 23…连结凸缘部

[0060] 24…连结凸缘部

[0061] 25…第三波纹管

[0062] 26…隔膜

[0063] 27…圆筒部

[0064] 30…阀驱动部

[0065] 31…周壁

[0066] 31a…第2配管

[0067] 32…上盖

[0068] 32a…第1配管

[0069] 33…下盖

[0070] 33a…轴贯穿孔

[0071] 34…轴部

[0072] 34a…隔壁

[0073] 34b…加热器插入孔

[0074] 35…第1波纹管

[0075] 36…第2波纹管

[0076] 37…第1空间

[0077] 38…第2空间

[0078] 39…加热体

[0079] 40…阀箱

[0080] 41…加热体

[0081] 42…吸气侧配管

[0082] 43…吸气通路

[0083] 44…排气侧配管

[0084] 45…排气通路

[0085] 46…控制室

[0086] 50…阀箱

[0087] 52…吸气侧配管

[0088] 53…吸气通路

[0089] 54…吸气侧配管

[0090] 55…吸气通路

[0091] 56…排气侧配管

[0092] 57…排气通路

[0093] 60…阀箱

[0094] 61…强诱电体膜材料气化装置(vaporizer)

[0095] 62…吸气侧配管

[0096] 63…吸气通路

[0097] 64…排气侧配管

[0098] 65…排气通路(气化材料导入经路)

[0099] 66…排气侧配管

[0100] 67…排气通路(材料通气经路)

[0101] 68…外部加热体

[0102] 69…气化材料处理装置(chamber)

[0103] 70…阀驱动部

[0104] 71…周壁

[0105] 71a…第2配管

[0106] 72…上盖

[0107] 72a…第1配管

[0108] 74…轴部

[0109] 75…第1波纹管

[0110] 76…第2波纹管

[0111] 77…第1空间

[0112] 78…第2空间

[0113] 79…隔膜

具体实施方式

[0114] 其次，根据图面对与本发明的一个实施形态相关的高清洁高温阀而做说明。

[0115] (实施的形态)

[0116] 图1及图2表示与本发明的一个实施形态相关的高清洁高温阀。图1为与本发明的一个实施形态的高清洁高温阀的纵截面图，图2为与本发明的一个实施形态的高清洁高温阀的其他方向的纵截面图。

[0117] 在图中，高清洁高温阀11具备有：阀轴12；以及、可滑动地支撑阀轴12的阀盖20；以及、支撑着阀轴12一端而与阀盖20连结着，从而驱动阀轴12的轴驱动部或阀轴驱动部或阀驱动部30；以及、位于阀轴12的另一端侧而与阀盖20相连结着的阀箱40。

[0118] 阀驱动部30具备有；周壁31；以及、关闭周壁31的两端上盖32及下盖33；以及、位于周壁31内部的一端而在贯穿着下盖33的另一端而支撑着阀轴12的一端的轴部34；以及、将周壁31的内部隔绝成上盖32侧与下盖33侧，而与轴部34的一端连结的第1波纹管35；以及、配置在下盖33与轴部34的另一端之间而密闭下盖33的轴贯穿孔33a的第2波纹管36；以及、连通着被第1波纹管35所隔绝着的由上盖32与轴部34的一端之间所形成的第1空间37的第1配管32a；以及、连通着被第1波纹管35所隔绝着而且还被由第2波纹管36将其与外部隔绝着的下盖33与轴部34的一端之间所形成的第2空间38的第2配管31a，经由第1、第2配管31a、32a而使第1、第2空间37、38内的流量相互增减，从而驱动轴部34。

[0119] 由此，可以将作为阀驱动部30的各零部件的周壁31和上盖32以及周壁31与下盖33分别给予用可以适合于熔接的金属材料而给与连接，这样不仅可以容易确保阀驱动部30的密闭性，而且还可以提高其耐热性，得到扩大作为阀装置的泛用性的效果。还有，也让作为阀驱动部30的其他的各零部件的轴部34和第1波纹管35、第2波纹管36适合于使用金属材料，例如说在第1波纹管35与周壁31以及轴部34、第2波纹管36和下盖33以及轴部34的各个连接上，可以使用熔接给予连接，这样不仅可以容易确保阀驱动部30的气密性，也还可以提高其耐热性，得到提高作为阀装置的泛用性的效果，通过将其气密性提高至极限，从而可以利用于作为真空中的阀装置。

[0120] 还有，轴部34是被第1、第2波纹管35、36在周壁31内，以浮游状态给予支撑着，轴贯穿孔33a是在非接触状态下将轴部34给予贯穿的。

[0121] 由此，轴部34是利用了各波纹管(35、36)屈曲特性，从而可以使轴心被灵活地抽出，轴贯穿孔33a是在非接触状态下为轴部34所贯穿的所谓自由尺寸孔，两者相互作用，从而使轴部34的轴心可以以容许比较宽大的范围的轴心伸出。因此，阀盖20与阀驱动部30连结之际的阀轴12与轴部34的轴心对位，只要将阀轴12与轴部34单纯地连结起来就可以，从而可以得到几乎不必去考虑阀盖20与阀驱动部30的组装误差及成形误差等的效果。

[0122] 还有，在阀盖20上设置有轴承零部件22，该轴承零部件22可滑动地支撑阀轴12而在其内周滑动面上熔着有与阀轴12的外周滑动面在机械特性上不同的材料。作为机械特性的不同材料来说，该轴承零部件22是由与阀轴12的外周滑动面不同硬度的金属材料所构成的。

[0123] 由此，得于不需要涂布使其与阀轴12的滑动可以圆滑地进行的润滑材，从而不受该润滑剂的耐热温度特性的影响，在300℃以上的高温环境下也可以得到使用。

[0124] 还有，阀盖20与阀驱动部30是在密闭状态下被连接起来的，在阀盖20里设置有在阀盖20与驱动部30的密闭空间内进行排气控制的排气口21。

[0125] 由此，可以将阀盖20的内部与外部相沟通的排气口21作为唯一的配管，不必采用复杂的构造而可以让其适应于在真空环境下使用。此时，在阀盖20与阀驱动部30的连接部分以及在阀盖20与阀箱40的连接部位上，为了确保其气密性，通过配置使用金属制气门13、14，从而可以提高就其在真空环境下使用的泛用性。更何况，在将加热器等的加热体41组装到阀箱40的内部的情况下，不但可以减低阀箱40的加温效率的不均匀，而且还可以通过使用金属制气门13、14，而得到提高其耐热性的效果，从而在300℃以上的高温环境下也可以得于使用。

[0126] (实施例1)

[0127] 以下，根据图1至图3就与本发明的一个实施形态相关的高清洁高温阀11的实施形态而做具体的说明。

[0128] (阀盖20的具体构造)

[0129] 阀盖20是通过用金属材料所形成的铸造品等将与两端开放部相连结的凸缘部23、24大略圆筒状给予一体地形成的，阀轴12贯穿着其内部。还有，在阀盖20的外壁部分突出形成着有将内部与外部连通起来的排气口21。还有，在沿着阀盖20的轴线方向的高度方向中央附近的内周壁上，连接着用熔接给予接续起来的金属制的第3波纹管25的一端，在该第3波纹管25的另一端与阀轴12的靠近先端部被用熔接等给予连接着。

[0130] 轴承零部件22是被压入到阀盖20的内周壁，单独由该内周壁支撑着阀轴12让其沿着轴线方向而位移(滑动)。

[0131] 连结凸缘部23、24是通过用螺栓等的固定零部件(没有用图示给予表示)与驱动部30及阀箱40连结着，其连结部分上(相对面之间)设置有金属制气门13、14，以确保着两者之间的气密性。

[0132] (阀驱动部30的具体构造)

[0133] 阀驱动部30具备有：周壁31；以及、上盖32；以及、下盖33；以及、轴部34；以及、第1波纹管35；以及、第2波纹管36。

[0134] 周壁31是按略呈圆筒状的样子而做成的。在其一侧的开放端(上盖32侧)的内周侧上形成着有悬垂着的凸缘部31b。还有，从该凸缘部31b的一部分上一体地突出形成着有第2配管31a。还有，在凸缘部31b的内壁上第1波纹管35的一端被用熔接给予连接着。

[0135] 上盖32是与周壁31的凸缘部31b的内周面通过用熔接等而连接固定着的，在其中心一体地突出形成着有第1配管32a。

[0136] 下盖33是与周壁31通过用熔接而给予连接固定着的，它呈现为比较厚的炸面饼圈的形状，与被轴部34所贯穿的圆筒部27是一体地被形成的。

[0137] 轴部34的其一端与阀轴12连结着。还有，轴部34的另一端与卷绕着轴部34的、其断面呈略有底圆筒状的隔壁部34a是一体地被形成的，在其下端，第1波纹管35的另一端被用熔接而连接着。由此，在阀驱动部30的内部，在上盖32与轴部34的一端之间，由第1波纹管35与隔壁部34a而实质上形成了第1空间37，在下盖33与轴部34的一端之间，由第1波纹管35与隔壁34a而实质上形成了第2空间38。

[0138] 第1配管32a与第2配管31a是分别与第1空间37与第2空间38相连通着的。比如说，从第2配管32a，当压力流体(例如说，气体或空气等)被供给的话，由于第1空间
37的容积增加，经由轴部34，阀轴12就会朝图所表示的下方位移。还有，当压力流体(例如说，气体或空气等)从第1配管32a被供给的话，第2空间38内的压力流体(例如说，气体或空气等)从第2配管31a被放出从而使容积减少。同样地，当压力流体(例如说，气体或空气等)从第1配管31a被供给的话，由于第2空间38的容积增加，所以经由轴部34，阀轴12就会朝图所表示的上方而位移。还有，当压力流体(例如说，气体或空气等)从第2配管31a被供给的话，第1空间37内的压力流体(例如说，气体或空气等)从第1配管32a被放出从而使容积减少。还有，压力流体是只从第1配管32a进行压力流体的供给与吸气的，伴随着由该供给与吸气所造成的第1空间37内的容积变化，压力流体也就可以相应地从第2配管31a进行被动的排气与吸气。

[0139] (阀箱40的具体构造)

[0140] 阀箱40具备有：比如说，与气体等的吸气侧配管42一体地形成的吸气通路43；以及、与排气侧配管44一体地形成的排气通路45，通过与阀轴12的先端一体地形成的阀体12a，对吸气通路43的开放端进行开闭，由其开放的程度而对流体实施控制。

[0141] 还有，在阀箱40中，通过与阀盖20的连结，阀轴12的先端部分与第3波纹管25所在的控制室46是在与外部隔绝的密闭状态下而被形成的。

[0142] 加热体41是，在开阀状态时，从吸气侧配管42开始按吸气通路43、控制室46、排气通路45的这样的顺序，对从排气侧配管44排出的流体进行加热的加热体，如图3所示，与在阀箱40的外部配置加热体41(外部加热器1、2)的情况相比，在阀箱40的内部(内部加热器1、2)配置加热体41的情况下，加温效率是极佳的，可将设定温度的精度确保在±5％以下。

[0143] 还有，在图3的图表中，内部加热器1及外部加热器1的测定结果是靠近图2的阀箱40的外周，内部加热器2及外部加热器2的测定结果是在靠近集中于图2的阀箱40的中心而做的测定的。

[0144] (实施例2)

[0145] 图4是表示与本发明的一个实施形态相关的高清洁高温阀实施例2的、高清洁高温阀的纵截面图。还有，在图4中，对于与实施例1相同的构造仅给予将代表性符号做了标示而省略其详细的说明。

[0146] 该实施例2的高清洁高温阀15是由将实施例1的阀箱40做了变更而得来的。它是在一个阀箱50中配置着复数个(2个)阀的复合阀(混合阀)。各个阀分别具有阀轴12；以及、可滑动地支撑阀轴12的阀盖20；以及、可以滑动地支撑着阀轴12一端而与阀盖20相连结着而驱动阀轴12的阀驱动部30，位于各个阀轴12的另一端侧而在阀盖20上连结有阀箱50。

[0147] 阀箱50具备有：对于一侧的阀而言，与气体等的吸气侧配管52一体地形成的吸气通路53；以及、相对于另一侧的阀而言，与气体等的吸气侧配管54而一体地形成的吸气通路55；以及、与排气侧配管56而一体地形成的排气通路57，通过这样的一个排气通路57而可以将二种的流体(不拘限于气体或液体)进行混合。

[0148] (实施例3)

[0149] 图5是一个高清洁高温阀的纵截面图，它表示了与本发明的一个实施形态相关的高清洁高温阀的实施例3。还有，在图5中，对于与实施例1相同的构造只将其代表性的符合给予表示而省略其详细的说明。

[0150] 该实施例3的高清洁高温阀16是由变更了实施例1的阀箱40而得来的，它是在一个阀箱60里具备有复数个(2个)阀的适用于液体材料气化搬运装置的复合阀。其分别具备有：阀轴12；以及、可以滑动地支撑着阀轴12的阀盖20；以及，支撑阀轴12一端而与阀盖20相连结着的、从而驱动阀轴12的阀驱动部30，被连结在位于各阀轴12的另一端侧而将阀箱60连结在阀盖20上。

[0151] 阀箱60具备有：比如说，相对于两边的阀来说，与从强诱电体膜材料气化装置(vaporizer)61来的材料搬运气体(载体气体)等的吸气侧配管62而一体地形成的吸气通路63；以及、对应于一边的阀而与排气侧配管64一体地形成的排气通路65(例如说，气化材料导入通路)；以及、对应于其他边的阀而与排气侧配管66一体地形成的排气通路67(例如说，材料排出通路)，在连接着吸气侧配管62及排气侧配管64的配管(没有用图给予表示)的周围，设置有为了促进气化而在外部设置着将流体进行加热的外部加热体68。
还有，排气侧配管64是被连接在气化材料处理装置(chamber)69上的。

[0152] (实施例4)

[0153] 图6及图7表示了与本发明相关的一个实施形态的高清洁高温阀的实施例4。图6是与本发明的一个实施形态相关的实施例4的高清洁高温阀的纵截面图，图7为与本发明的一个实施形态相关的实施例4的高清洁高温阀的其他方向的纵截面图。还有，在图6及图7中，对于与实施例1相同的构造给予附上相同的符号而省略其详细的说明。

[0154] 就该实施例4的高清洁高温阀17来说，关于实施例1里的阀轴12与轴部34，在将其连结部分沿着阀轴12的轴线方向延伸至先端部分为止，与此同时，在轴部34形成加热器插入孔34b，在其加热器插入孔34b中设置着有加热体39。

[0155] 由此，可容易地确保阀箱40的内部温度分布的平均化，更进一步地说，通过将阀轴34内部的加热体39与阀箱40内部的加热体41并用设置，可提高加温效率并减轻加温效率的不均一。

[0156] (实施例5)

[0157] 图8及图9表示了与本发明的一个实施形态相关的高清洁高温阀的实施例5。图8是与本发明的一个实施形态相关的实施例5的高清洁高温阀的纵截面图。图9是与本发明相关的一个实施形态相关的实施例5的高清洁高温阀的其他方向的纵截面图。还有，在图8及图9中，对于与实施例1相同的构造给予附上相同的符号而省略其详细的说明。

[0158] 该实施例5的高清洁高温阀18是由变更实施例1的第3波纹管25而设置了隔膜26而得来的。

[0159] 该隔膜26是通过阀轴12的驱动而开关吸气通路43的控制室46侧的出口、而缠绕着阀体12a将在阀盖20上形成着的圆筒部27的先端开放而关闭起来而设置着的。还有，隔膜26是金属制的，针相对圆筒部27，通过熔接将圆筒部27内和控制室46隔绝起来而给予密闭接合着。

[0160] 因此，高清洁高温阀18可以适用于高清洁阀，可以更进一步地提高作为阀装置的泛用性。

[0161] (实施例6)

[0162] 图10表示了与本发明的一个实施形态相关的高清洁高温阀的实施例6，图10是与本发明的一个实施形态相关的实施例6的高清洁高温阀的纵截面图。还有，在表示该实施例6的第10图中，对于与实施例1相同的构造给予附上相同的符号而省略其详细的说明。

[0163] 该实施例6所示的高清洁高温阀19是在实施例1的阀驱动部30的上方设置了第2的驱动部70而做成多段构造的阀。

[0164] 第2的驱动部70具备有：第2的周壁71；以及、关闭该第2的周壁71的两端的第2的上盖和下盖72、32(第2下盖是与上盖32兼用的)；以及、一端位于周壁71的内部而且在同轴上将各下盖32及轴部34给予贯穿，然后再贯穿阀轴12的第2的轴部74；以及、将周壁71的内部用第2的上盖72侧和上盖32侧给予隔绝而被连结在第2的轴部74的一端的第2的第1波纹管75；以及、被配置在上盖32与轴部34之间的第2的第2波纹管76；以及、连通着被第2的第1波纹管75所隔绝着的第2的上盖72和第2的轴部74的一端之间所形成着的第2的第1空间77的第2的第1配管72a；以及，连通着被第2的第1波纹管
75所隔绝着的且被第2的第2波纹管76将其与外部隔绝着的上盖32与第2的轴部74的一端之间所形成着的第2的第2空间78的第2的第2配管71a，通过第2的第1、第2配管
72a、71a而使前述第2的第1、第2空间77、78内的流体量进行相互增减，从而驱动前述第
2的轴部74。

[0165] 由此，可以进一步地、高度地确保其外部的气密性，从而可以提高其信赖性。

[0166] 还有，作为第2的下盖的上盖32的第1配管32a，在本实施例中，由于采用了多段的阀驱动部30、70，所以如图10所示，它被设置在周壁31。

[0167] 还有，在第2的轴部74设置有由第2的轴部74的驱动而对阀箱40里形成的流路43进行开闭的、由金属性薄膜所制成的隔膜79。

[0168] 还有，通过将该隔膜79的表面粗糙度设定在Rma×0.1μm以下，从而可以确保流路43的密闭性。

[0169] 但是，本发明的高清洁高温阀11、15、16、17、18、19并不局限于被用于前述半导体存储器等的半导体制造装置及LED(发光二极管)、EL(电子发光器)、VFD(真空荧光显示器)、PDP(等离子体显示板)等的被称为FPD制造的制造装置，还适用于各种制造装置等、特别是、将阀外部泄露降低到极限的同时，还必须从接气(液)部排除树脂的超高清洁的阀的所有的产业机器。

[0170] 还有，本发明的高清洁高温阀也可以被利用于作为，比如说：所谓的La(镧：Lanthanum)或者是Pr(镨：Preseodymium)的稀土类元素(轻稀土)的稀有金属(稀少金属)的High-K膜(高诱电率闸极绝缘膜)，或者是、使用了Pb(铅：Lead)的强诱电体膜等的这样的、反应性高、高温且温度管理比较困难的成膜材料的成膜装置里的流量调整(包含遮断)的高清洁高温阀。

[0171] 还有，本发明的高清洁高温阀是按在300℃以上的高温环境下及真空环境下的使用而对其构造进行设计的，所以也可以作为在前述以外的特殊环境下所使用的各种高清洁高温阀而使用。

[0172] 工业上的应用

[0173] 如以上所做的说明，根据本发明的技术，可以提供一种作为阀装置的使用环境的泛用性得到了提高的高清洁高温阀。