闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统

摘要

本发明提供一种即使阀芯的尺寸较大、阀芯的气密性也不易下降的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。该闸阀包括：阀芯，其被推压到用于搬入搬出被处理体的开口部的周围；推压部，其沿开口部呈环状地设置在阀芯上；主滑动件，其沿与开口部的开口面平行的方向滑动；推压机构，其设置在主滑动件上，用于对推压部进行推压，推压机构由凸轮构成，该凸轮包括用于将阀芯推压到开口部的周围的突起部以及自突起部呈下坡状形成的倾斜部，推压机构在使阀芯与开口部正对的状态下、沿与开口部的开口面垂直的方向推压阀芯，从而将阀芯推压到开口部的周围。

权利要求

1.一种闸阀，其特征在于，

该闸阀包括：

阀芯，其被推压到用于搬入搬出被处理体的开口部的周围；

推压部，其沿上述开口部呈环状地设置在上述阀芯上；

主滑动件，其沿与上述开口部的开口面平行的方向滑动；

推压机构，其设置在上述主滑动件上，用于推压上述推压部；

上述推压机构由凸轮构成，该凸轮包括用于将上述阀芯推压到上述开口部的周围的突起部以及自上述突起部呈下坡状形成的倾斜部；

上述推压机构在使上述阀芯与上述开口部正对的状态下、沿与上述开口部的开口面垂直的方向推动上述阀芯，从而将上述阀芯推压到上述开口部的周围，该闸阀还包括副滑动件，该副滑动件用于保持上述阀芯，且配置在上述阀芯与上述主滑动件之间，沿与上述开口部的开口面平行的方向滑动；

上述副滑动件具有保持引导机构，该保持引导机构用于保持上述阀芯，并且将上述阀芯的推压方向以及上述阀芯的脱离方向规定为与上述开口部的开口面垂直的方向，该闸阀还包括脱离机构，该脱离机构用于使上述阀芯自上述开口部的周围脱离；

上述脱离机构具有能够伸缩的伸缩体；

在向上述开口部的周围推压上述阀芯时，上述伸缩体收缩，在使上述阀芯自上述开口部的周围脱离时，上述伸缩体伸长而使上述阀芯自上述开口部的周围脱离，在上述副滑动件上设有上述脱离机构；

上述脱离机构的伸缩体配置在上述副滑动件的与上述主滑动件相对的相对面和在该相对面上方所设置的凸缘部之间。

2.根据权利要求1所述的闸阀，其特征在于，

该闸阀还包括止动件，该止动件用于使上述副滑动件停止滑动；

在利用上述止动件使上述副滑动件停止滑动后，上述主滑动件进一步滑动，从而使上述推压机构的上述突起部代替上述倾斜部来推压上述阀芯。

3.根据权利要求1所述的闸阀，其特征在于，

在将上述阀芯推压到上述开口部的周围时，上述凸缘部压缩上述伸缩体；

在使上述阀芯自上述开口部的周围脱离时，上述凸缘部自上述被压缩了的伸缩体受到伸长力，从而使上述阀芯自上述开口部的周围脱离。

4.根据权利要求2所述的闸阀，其特征在于，

上述主滑动件具有用于卡挂上述副滑动件的卡挂部；

在上述主滑动件滑动时，上述卡挂部与在上述止动件的作用下停止滑动的上述副滑动件卡挂，从而带动上述副滑动件以及上述阀芯滑动。

5.根据权利要求1或2所述的闸阀，其特征在于，上述阀芯的被上述推压机构推压的推压部配置在上述开口部的内侧。

6.根据权利要求5所述的闸阀，其特征在于，

与上述开口部的中央部分相对应地配置上述推压部。

7.根据权利要求1或2所述的闸阀，其特征在于，在上述主滑动件的与上述阀芯相反的一侧设有用于限制上述主滑动件的弹性变形量的阻挡部。

8.一种基板处理系统，其包括：

处理室，其用于对被处理体实施处理，具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部，且能够将上述被处理体置于真空状态下；

加载互锁真空室，其用于交换处理前以及处理完毕的被处理体，具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部，且能够将上述被处理体置于大气状态下以及真空状态下；

输送室，其用于在上述加载互锁真空室与上述处理室之间输送上述被处理体，具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部，且能够将上述被处理体置于真空状态下；其特征在于，该基板处理系统使用权利要求1～7中任一项所述的闸阀作为用于开闭上述处理室、上述加载互锁真空室以及上述输送室中至少任一个的开口部的闸阀，该开口部用于搬入搬出上述被处理体。

说明书

闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统

技术领域

[0001] 本发明涉及一种闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。

背景技术

[0002] 在太阳能电池、液晶显示器(LCD)所代表的平板显示器(FPD)等的制造过程中，对大型的玻璃基板实施蚀刻或成膜等规定的处理。作为实施该种处理的基板处理系统，公知一种具有多个处理室的多腔室型基板处理系统(例如专利文献1)。

[0003] 该种多腔室型基板处理系统具有共用输送室，在该共用输送室中设有用于输送基板(被处理体)的输送装置，在该共用输送室的周围设有处理室、加载互锁(load lock)真空室等，该加载互锁真空室用于在共用输送室与大气压气氛之间交换未处理的基板和处理完毕的基板。上述共用输送室、处理室以及加载互锁真空室均为真空装置，通过利用排气机构对上述真空装置进行排气，能够使上述真空装置的内部处于规定的降压状态下。

[0004] 真空装置具有气密的容器主体，在该容器主体上设有用于搬入搬出被处理体的开口部。利用闸阀开闭开口部。在利用闸阀关闭开口部时，能够气密地密封容器主体的内部，从而能够将容器主体的内部压力降压到规定的处理压力、或者在大气状态与降压状态之间改变容器主体的内部状态。闸阀的构造例就如上述专利文献1所述。

[0005] 在上述专利文献1所述的闸阀中设有在液压缸的作用下升降的板状的闸基座，利用连杆转动自如地将闸基座与阀芯的两侧面连结起来，从而能够支承以及推压阀芯。采用该种使用了连杆机构的闸阀中，在连杆相对于阀芯呈倾斜的状态时，使阀芯自开口部的周围离开，在连杆相对于阀芯呈水平的状态时，阀芯被推压而与开口部的周围紧密接触。

[0006] 专利文献1：日本特开平5-196150号公报

[0007] 最近，随着被处理体的大型化、或同时处理多张被处理体的分批处理的推进，设置在容器主体上的、用于搬入搬出被处理体的开口部的尺寸越来越大。由于开口部的尺寸变大，所以阀芯的尺寸也变大，随之阀芯的重量呈增加的趋势。

[0008] 在专利文献1所述的利用了连杆机构的闸阀中，在阀芯的重量增加时，很难利用连杆保持阀芯。另外，由于连杆是从阀芯的两侧面推压阀芯的，因此担心由于开口部的尺寸变大而使作用在阀芯的上部以及下部的推压力不足。此外，在推压方向相反侧的压力较大的状态(反压状态)下，即使连杆机构自水平状态稍微偏离，也会在阀芯与开口部的周围之间发生泄漏，从而存在容易使闸阀的气密性下降的问题。

[0009] 在开口部越大、即阀芯越大时上述问题越明显。这是因为，阀芯越大，在反压状态下受到的压力越大，从而欲推回阀芯的力越强，且阀芯的挠曲量也越大。

发明内容

[0010] 本发明的目的在于提供一种即使阀芯的尺寸较大、阀芯的气密性也不易下降的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。

[0011] 本发明的第1技术方案的闸阀包括：阀芯，其被推压到用于搬入搬出被处理体的开口部的周围；推压部，其沿上述开口部呈环状地设置在上述阀芯上；主滑动件，其沿与上述开口部的开口面平行的方向滑动；推压机构，其设置在上述主滑动件上，用于推压上述推压部；上述推压机构由凸轮构成，该凸轮包括用于将上述阀芯推压到上述开口部的周围的突起部和自上述突起部呈下坡状(高度自突起部降低)形成的倾斜部，上述推压机构在使上述阀芯与上述开口部正对的状态下、沿与上述开口部的开口面垂直的方向推压上述阀芯，从而将上述阀芯推压到上述开口部的周围。

[0012] 本发明的第2技术方案的基板处理系统包括：处理室，其用于对被处理体实施处理，具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部，且能够将上述被处理体置于真空状态下；加载互锁真空室，其用于交换处理前以及处理完毕的被处理体，具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部，且能够将上述被处理体置于大气状态下以及真空状态下；输送室，其用于在上述加载互锁真空室与上述处理室之间输送上述被处理体，具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部，且能够将上述被处理体置于真空状态下；该基板处理系统使用上述第1技术方案的闸阀作为用于开闭上述处理室、上述加载互锁真空室以及上述输送室中至少任意一个的开口部的闸阀，该开口部用于搬入搬出上述被处理体。

[0013] 采用本发明，能够提供一种即使阀芯的尺寸较大、阀芯的气密性也不易下降的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。

附图说明

[0014] 图1是概略地表示使用了一实施方式的闸阀的基板处理系统的一例的俯视图。

[0015] 图2是概略地表示一实施方式的闸阀的推压机构的一例的侧视图。

[0016] 图3是概略地表示一实施方式的闸阀的推压机构的一例的侧视图。

[0017] 图4是概略地表示一实施方式的闸阀的脱离机构的一例的侧视图。

[0018] 图5是概略地表示一实施方式的闸阀的脱离机构的一例的侧视图。

[0019] 图6是概略地表示一实施方式的闸阀的一例的侧视图。

[0020] 图7是概略地表示一实施方式的闸阀的一例的侧视图。

[0021] 图8是概略地表示一实施方式的闸阀的一例的侧视图。

[0022] 图9是表示推压部的配置例的图。

[0023] 图10是概略地表示一实施方式的闸阀的一例的俯视图。

[0024] 图11是自图10中的箭头11的方向观察后得到的主视图。

[0025] 图12是本发明的一实施方式的一变形例的闸阀的剖视图。

具体实施方式

[0026] 下面，参照附图说明本发明的实施方式。对于所参照的所有附图中的相同部分，标注相同的附图标记。

[0027] 在本说明中，将用于制造太阳能电池、FPD的大型玻璃基板列举为被处理体的一例，且以用于对该玻璃基板实施规定处理、例如蚀刻处理或成膜处理等的基板处理系统为例进行说明。

[0028] 图1是概略地表示使用了本发明的一实施方式的闸阀的基板处理系统的俯视图。

[0029] 如图1所示，一实施方式的基板处理系统1包括：处理室，其用于对基板G实施处理，且在本例中为多个处理室10a、10b；加载互锁真空室20，其用于交换处理前以及处理完毕的基板G；共用输送室30，其用于在加载互锁真空室20与处理室10a之间、或加载互锁真空室20与处理室10b之间以及处理室10a与处理室10b之间输送基板G；输送装置40，其设置在共用输送室30中，用于输送基板G。

[0030] 在本例中，处理室10a、10b、加载互锁真空室20以及共用输送室30为真空装置，且分别具有能将基板G置于规定的降压状态下的气密的容器主体50a、50b、50c或50d。在容器主体50a、50b、50c或50d上设有用于搬入搬出基板G的开口部51a、51b、51c或51d。

[0031] 设置在处理室10a、10b的容器主体50a、50b上的开口部51a、51b借助闸阀室60与设置在共用输送室30的容器主体50c上的开口部51c相连接。同样，设置在加载互锁真空室20的容器主体50d上的开口部51d借助闸阀室60与设置在共用输送室30的容器主体50c上的开口部51c相连接。

[0032] 本例中的闸阀室60与开口部51a、51b、51c或51d相连通，且具有能供基板G通过的开口部61a、61b、61c或61d，在闸阀室60的内部收容有闸阀的阀芯62。利用阀芯62开闭开口部61a、61b以及61d。在本例中，阀芯62与设置在闸阀室60的处理室侧或加载互锁真空室侧的开口部61a、61b以及61d的周围紧密接触，从而能够气密地密封容器主体50a、50b、50c以及50d。但本发明并不限于此，也可以使阀芯62与设置在共用输送室30侧的开口部61c的周围紧密接触，从而气密地密封容器主体50a、50b、50c以及50d。

[0033] 另外，加载互锁真空室20具有开放于大气侧、即基板处理系统1的外部的开口部51e。开放于外部的开口部51e用于装载处理前的基板G、卸载处理后的基板G，利用开放于大气状态下的阀芯62开闭该开口部51e。

[0034] 接下来，一一说明本发明的一实施方式的闸阀的各构件。

[0035] 图2以及图3是概略地仅表示本发明的一实施方式的闸阀的阀芯推压机构的一例的侧视图。上述侧视图是自图1中箭头II所示的方向观察后得到的图，以设置在处理室10a与共用输送室30之间的闸阀为例详细说明上述推压机构。另外，图2表示使阀芯与开口面正对的状态(解除了对阀芯的推压的状态)，图3表示关闭了闸阀的状态(推压阀芯的状态)。

[0036] 如图2以及图3所示，一实施方式的闸阀6A包括阀芯62和推压机构63；上述阀芯62被推压到用于搬入搬出基板G的处理室10a侧的开口部61a的周围；上述推压机构63用于将阀芯62推压到开口部61a的周围。

[0037] 推压机构63在使阀芯62与开口部61a正对的状态(参照图2)下、沿与开口部61a的开口面64垂直的方向A推压阀芯62(参照图3)，从而将阀芯62推压到开口部61a的周围。

[0038] 闸阀6A具有主滑动件66，该主滑动件66沿与开口面64平行的方向B滑动、在本例中为上下移动，在该主滑动件66上设有推压机构63。推压机构63由凸轮构成，该凸轮含有用于将阀芯62推压到开口部61a的周围的突起部67以及自突起部67向下形成为下坡状的倾斜部68。

[0039] 在阀芯62上设有被推压机构63推压的推压部69。推压部69具有用于与推压机构63接触的辊70。辊70随着推压机构63的滑动(在本例中为上下移动)而在突起部67与倾斜部68之间沿突起部67的表面以及倾斜部68的表面滚动。

[0040] 如图2所示，在辊70与倾斜部68接触时，阀芯62处于自开口部61a的周围离开的状态，如图3所示，在辊70与突起部67接触时，突起部67沿与开口面64垂直的方向A推压辊70，从而使阀芯62处于被推压到了开口部61a的周围的状态。另外，在开口部61a的周围设有未图示的密封构件、例如O型密封圈，提高了气密性。

[0041] 如图9的A所示，沿开口部61a的周围呈环状地配置推压部69。由此，不仅能够推压阀芯62的侧部，还能推压阀芯62的上部和下部。

[0042] 接下来，说明阀芯62的脱离机构(阀芯复位机构)以及铅垂压靠机构(保持引导机构)。

[0043] 使用了连杆机构的闸阀采用拉伸弹簧为阀芯的脱离机构、即用于使阀芯从关闭状态(被推压的状态)返回到打开状态(解除了推压的状态)的机构。也就是说，在闸阀处于关闭状态时，使拉伸弹簧伸长而对阀芯施加拉力，从而呈使阀芯处于被拉回到底座的状态。在打开闸阀时，拉伸弹簧收缩而将阀芯拉回到底座。

[0044] 这样，在采用拉伸弹簧作为阀芯的脱离机构且闸阀处于关闭状态时，使拉伸弹簧始终作用有拉力。因此，可能导致拉伸弹簧变差而断掉。

[0045] 因此，在一实施方式的闸阀中，进行了如下改良。

[0046] 图4和图5是概略地仅表示一实施方式的闸阀的阀芯复位机构的一例的侧视图。与图2和图3相同，图4、图5也是自图1中箭头II所示的方向观察后得到的侧视图。另外，图4表示关闭了闸阀的状态，图5表示使阀芯与开口面正对的状态(解除了对阀芯的推压的状态)。

[0047] 如图4和图5所示，与图2和图3所示的闸阀6A相比，闸阀6B还具有用于使阀芯62自开口部61a的周围脱离的脱离机构80。脱离机构80具有在阀芯62关闭的状态下处于收缩状态的能伸缩的伸缩体81，该伸缩体81的具体的一例为压缩弹簧。

[0048] 在将阀芯62推压到开口部61a的周围时，伸缩体81如图4所示那样收缩，在使阀芯62自开口部61a的周围脱离时，伸缩体81如图5所示那样伸长而使阀芯62自开口部61a的周围脱离。

[0049] 作为具体的一例，闸阀6B具有副滑动件82，该副滑动件82配置在阀芯62与主滑动件66之间，且沿与开口部61a的开口面64平行的方向B滑动。在该副滑动件82上设有脱离机构80。

[0050] 此外，在副滑动件82上还设有保持引导机构83，该保持引导机构83用于保持阀芯62、并且将阀芯62的推压方向以及阀芯62的脱离方向规定为与开口面64垂直的方向A。
作为保持引导机构83的结构的一例，可以包括引导开口84和轴85；上述引导开口84设置在副滑动件82上，且沿与开口面64垂直的方向A开口；上述轴85贯穿该引导开口84，且安装在阀芯62上。由于轴85沿引导开口84前后移动，因此能够将阀芯62的移动方向规定为与开口面64垂直的方向A。

[0051] 此外，在轴85的与阀芯62的相反侧的顶端设有凸缘部86。在本例中，将伸缩体81配置在副滑动件82的与主滑动件66相对的相对面87以及设置在该相对面87上的凸缘部86之间。

[0052] 在将阀芯62推压到开口部61a的周围时，凸缘86如图4所示那样压缩伸缩体81，在使阀芯62自开口部61a的周围脱离时，凸缘86如图5所示那样自被压缩了的伸缩体81接受伸长力，从而使阀芯62自开口部61a的周围脱离。

[0053] 另外，优选在脱离机构80的伸缩体81处于伸长状态时，凸缘部86不与主滑动件66接触。在本实施方式中，在主滑动件66上设有未图示的开口部，从而能够在脱离机构80的伸缩体81处于伸长状态时防止凸缘部86与主滑动件66接触。

[0054] 另外，在本实施方式中，说明了在保持引导机构83上安装有脱离机构80的例子，但也可以分别独立地设置保持引导机构83和脱离机构80。

[0055] 接下来，详细说明阀芯62的包括退避机构在内的整体结构以及动作。

[0056] 在阀芯62自开口部61a的周围脱离后，阀芯62自开口部61a的正面退避，以能够搬入搬出基板G。例如，阀芯62可以相对于开口部61a退避到上方、或下方、或右方、或左方。在本实施方式中，阀芯62相对于开口部61a退避到上方。

[0057] 图6～图8是概略地表示本发明的一实施方式的闸阀的一例的侧视图。与图2以及图3相同，上述侧视图也是例如自图1中箭头II所示的方向观察后得到的图。另外，图6表示关闭了闸阀的状态，图7表示使阀芯与开口面正对的状态(解除了对阀芯的推压的状态)，图8表示打开了闸阀的状态(阀芯退避后的状态)。另外，图10是概略地表示本发明的一实施方式的闸阀的一例的俯视图，图11是自图10中箭头11所示的方向(自共用输送室30侧朝向处理室10a的方向)观察后得到的主视图。其中，在图10中省略了配置在阀芯62的上部(以及下部)的中央部的推压部69以及与该推压部69相对应的推压机构63的图示。

[0058] 如图6～图8所示，一实施方式的闸阀6C具有止动件90，该止动件90用于使副滑动件82停止沿与开口部61a的开口面64平行的方向B滑动。止动件90例如设置在闸阀室60的底壁91上。

[0059] 另外，在图6～图8所示的闸阀6C中，主滑动件66具有用于卡挂副滑动件82的卡挂部92。卡挂部92例如为突起部，该突起部位于被设置在副滑动件82上的开口93的内部。

[0060] 另外，如图10和图11所示，主滑动件66具有铅垂引导机构101，该铅垂引导机构101在与副滑动件82相对的相对面107侧用于使主滑动件66相对于副滑动件82滑动、在本例中为上下移动，借助该铅垂引导机构101将副滑动件82与主滑动件66连结起来。另外，在图6～图8中省略表示铅垂引导机构101。作为铅垂引导机构101的结构的一例，该铅垂引导机构101可以由导轨102和连结构件103构成；上述导轨102沿与开口面64平行的方向B设置在副滑块82的相对面87上；上述连结构件103安装在主滑动件66的与副滑动件82相对的相对面107上。利用导轨102和连结构件103，能够使主滑动件66在始终与副滑动件82相连结的状态下相对于副滑动件82滑动。

[0061] 此外，如图10和图11所示，闸阀6C还具有铅垂引导机构110，该铅垂引导机构110用于使主滑动件66滑动、在本例中为上下移动。另外，在图6～图8中省略表示铅垂引导机构110。铅垂引导机构110使主滑动件66沿与开口部61a的开口面64平行的方向B上下移动。铅垂引导机构110的结构可以与铅垂引导机构101相同。即、如图10和图11所示，铅垂引导机构110可以由导轨104和连结构件105构成；上述导轨104沿与开口面64平行的方向B设置在闸阀室60的内壁上；上述连结构件105安装在主滑动件66上。

[0062] 此外，如图10和图11所示，闸阀6C还具有驱动机构120，该驱动机构120用于驱动主滑动件66移动，在本例中使主滑动件66上下移动。可以利用例如气缸或液压缸等构成驱动机构120。驱动机构120借助连接接头121与主滑动件66相连结。一边利用铅垂引导机构110沿与开口面64平行的方向B引导主滑动件66、一边利用驱动机构120使主滑动件66上下移动。另外，在图6～图8中省略表示驱动机构120以及连接接头121。

[0063] 接下来，使用图6～图8详细说明本发明的闸阀的动作。

[0064] 如图8所示，在闸阀6C打开的状态(阀芯62自开口部61a的正面退避后的状态)下，利用设置在主滑动件上的卡挂部92支承副滑动件82。另外，如上所述，利用设置在副滑动件82上的保持引导机构83支承阀芯62。利用驱动机构120以及设置在主滑动件66上的铅垂引导机构110使主滑动件66在支承着副滑动件82的状态下沿与开口面64平行的方向B下降。

[0065] 如图7所示，在主滑动件66下降至使阀芯62与开口部61a正对的位置时，利用止动件90使副滑动件82停止下降，从而使阀芯也停止下降。在副滑动件82停止下降后，利用铅垂引导机构101只使主滑动件66沿铅垂引导机构110进一步下降。由此，推压机构63的突起部67代替倾斜部68借助推压部69将阀芯62推压到开口部61a的周围。此时，利用保持引导机构83沿与开口面64垂直的方向A推压阀芯62，从而不会使阀芯62相对于开口面64发生偏离地形成将闸阀关闭的状态(参照图6)。

[0066] 然后，为了使闸阀自该关闭状态变为打开状态(参照图8)，首先，利用驱动机构120使主滑动件66上升。在主滑动件66上升时，如图7所示，辊70自突起部67滚动到倾斜部68，伸缩体81沿与开口面64垂直的方向A拉拽阀芯62，从而阀芯62被拉向副滑动件
82，自开口部61a的周围脱离。

[0067] 在主滑动件66进一步上升时，如图7所示，卡挂部92与副滑动件82的开口93的边缘抵接。在进一步使主滑动件66上升时，卡挂部92与在限动部90的作用下停止滑动的副滑动件82的开口93卡挂，从而带动副滑动件82以及阀芯62上升。由此，如图8所示，能够使阀芯62自开口部61a的正面退避、即退避到开口部61a的上方，从而能够经由开口部61a搬入搬出基板G。

[0068] 根据上述说明可知，采用本发明的闸阀，设置在主滑动件66上的推压机构63在使阀芯62与开口部61a正对的状态下沿与开口面64垂直的方向A推压阀芯62，从而能够将阀芯62均匀地推压到开口部61a的周围。另外，主滑动件66借助引导机构110与闸阀室60的内壁相连结，从而在与开口面64垂直的方向A上将主滑动件66支承在闸阀室60的内壁上。因此，即使在阀芯62上施加有反压时，推压机构63也能沿与开口面64垂直的方向A持续推压阀芯62的推压部69，导致在阀芯62上施加有反压的情况如下：例如在处理室10a中以比共用输送室30的压力高的压力进行处理时、对处理室10a进行维护而卸下该处理室10a时等。而且，推压机构63仅滑动、在本例中仅上下移动，并不倾斜移动。也就是说，推压机构63即使受到反压也不会倾斜移动，只是沿与开口面64垂直的方向A均匀且持续地对推压部69进行推压。因此，即使在阀芯62受到了反压时、特别是在阀芯62的尺寸较大而受到了较大的反压时，也不易使阀芯62自开口部61a的周围脱离，从而能够获得即使阀芯的尺寸较大、气密性也不易下降的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。

[0069] 另外，在专利文献1所述的闸阀中，为了维持闸阀的关闭状态而必须使液压缸持续工作。但本发明的闸阀的推压机构63由于利用凸轮推压阀芯62，因此在想要维持闸阀的关闭状态时，并不需要另外施加驱动力。由此，即使在因维护等而停止供给驱动用的气体、电力的状态下，仍能维持闸阀的关闭状态。

[0070] 此外，在利用了连杆机构的闸阀中，利用被设置在阀芯的两例面的连杆支承阀芯。在阀芯的重量增加时，担心连杆不能完全承受阀芯的重量而发生变形。采用本发明的一实施方式的闸阀，利用被设置在副滑动件82上的保持引导机构83支承阀芯62，因此能够将保持引导机构83设置在副滑动件82的任意位置上。例如，可以将保持引导机构83设置在副滑动件82的中央部，可以设置许多个保持引导机构83。另外，用于保持副滑动件82的、设置在主滑动件66上的卡挂部92也同样只要是设置在与副滑动件82的开口93相对应的位置，就可以设置在主滑动件66的任意位置。由此，即使阀芯62的尺寸变大、阀芯的重量增加，也能支承阀芯62，从而能够应对阀芯62的尺寸的大型化。

[0071] 此外，通过将保持引导机构83设置在副滑动件82上，还能沿与开口面64垂直的方向准确地推压阀芯62。而且，由于副滑动件82借助铅垂引导机构101与主滑动件66相连结，因此副滑动件82不会相对于开口面64倾斜地偏离。由此，能够获得可进一步确保气密性不易下降的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。

[0072] 此外，采用本发明的一实施方式的闸阀，在脱离机构80中使用伸长状态稳定的伸缩体81，从而能够在关闭了闸阀的状态下使压缩力作用于伸缩体81。由此，与在闸阀处于关闭状态时使拉力始终作用于伸缩体的情况相比，能够避免伸缩体断掉。由此，能够获得可以避免发生例如因在基板的处理过程中伸缩体断掉而使阀芯62无法自开口部61a的周围脱离那样的不良的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。

[0073] 图12的A以及图12的B是本发明的一实施方式的变形例的闸阀的剖视图。图12的A所示的剖面表示沿图12的B中12A-12A的纵剖面。图12的B所示的剖面表示沿图12的A中12B-12B的横剖面。另外，在图12的A以及图12的B所示的一变形例中，省略表示副滑动件82，但自不必说本发明也能应用在具有副滑动件82的情况。

[0074] 如图12的A以及图12的B所示，通常在阀芯62的周围安装有密封构件130，该阀芯62被推压机构63推压到开口面64上。通过将密封构件130推压到开口面64上，能够密封开口61a。密封构件130例如为O型密封圈。在处理过程中，有时自开口61a对阀芯62施加有反压。利用阀芯62本身的刚性和自主滑动件66输出的推压机构63的推压力超出上述反压，从而使密封构件130与开口面64紧密接触，由此能够保持闸阀的气密性。

[0075] 另外，在一实施方式的闸阀中，在主滑动件66的后侧例如配置有导轨104，安装在主滑动件66上的连结构件105以能沿该导轨104滑动的状态与该导轨104相连结。沿开口61a的侧部配置上述导轨104。因此，在自阀芯62对主滑动件66施加有反压时，导轨104作为接受自主滑动件66输出的反压的部分而发挥作用，起到限制主滑动件66沿开口61a的侧部发生弹性变形的作用。

[0076] 另外，如上所述，一实施方式的闸阀具有有利于应对阀芯大型化的结构。例如即使开口61a的1边为米数量级、该开口61a的尺寸例如为数米×数米，一实施方式的闸阀也能应对该情况。在开口61a的1边为米数量级时，阀芯62的1边的大小也为米数量级。

[0077] 这样，在阀芯62的尺寸变大时，所接受的反压也变得相当大。承受了相当大的反压的阀芯62沿开口61a的上部、下部对主滑动件66施加使该主滑动件66变形的力。结果，引发主滑动件66的弹性变形。

[0078] 即使承受了反压的阀芯62发生的是微弱的变形，但在阀芯62的1边为例如米数量级的大小时，在开口61a上部的中央部分以及开口61a下部的中央部分上的变形却非常大。

[0079] 但是，在一实施方式的闸阀中，在沿开口61a的上部、下部的部分上并未设置导轨104那样的用于承受自主滑动件66输出的反压的部分。

[0080] 如果阀芯62的、开口61a上部的中央部分以及开口61a下部的中央部分的变形大于密封构件130的压缩量，则密封构件130脱离开口面64而使气密性下降。

[0081] 因此，在一变形例中，在主滑动件66的与阀芯62相反的一侧、在与开口61a上部的中央部分相对应的位置以及与开口61a下部的中央部分相对应的位置设有用于限制主滑动件66的弹性变形量的阻挡部131。在本例中，将阻挡部131设置在共用输送室30侧的开口51c、61c各自的上部中央部分、下部中央部分上。在本例中，阻挡部131被固定安装在共用输送室30的壁面上，且可被卸下，在将该阻挡部131安装在上述壁面上时，阻挡部131不容易活动。例如，可以利用螺栓紧固的方式安装阻挡部131。

[0082] 这样，通过在与开口61a上部的中央部分相对应的位置以及在与开口61a下部的中央部分相对应的位置设置阻挡部131，即使在主滑动件66上施加有来自阀芯62的反压，也能利用阻挡部131限制主滑动件66的弹性变形。通过限制主滑动件66的弹性变形，能够阻止阀芯62的、开口61a上部的中央部分以及开口61a下部的中央部分发生变形。例如，在比能损坏密封构件130的压缩量小地设定主滑动件66与阻挡部131的顶端部分132之间的分开距离时，能够抑制阀芯62的、开口61a上部的中央部分以及开口61a下部的中央部分发生大于密封构件130的损坏压缩量的变形。具体的数值例根据阀芯62的大小、所设想的反压的大小的不同而变化，若列举一例，如下所述。

[0083] 在阀芯62封闭处理室10a、10b的容器主体50a、50b时

[0084] ·下方的阻挡部131L的顶端部分132与主滑动件66之间的分开距离DL为0.3mm～0.35mm。

[0085] ·上方的阻挡部131U的顶端部分132与主滑动件66之间的分开距离DU为0.5mm～0.55mm。

[0086] 在阀芯62封闭加载互锁真空室20的容器主体50d时

[0087] ·下方的阻挡部131L的顶端部分132与主滑动件66之间的分开距离DL为0.4mm～0.45mm。

[0088] ·上方的阻挡部131U的顶端部分132与主滑动件66之间的分开距离DU为0.6mm～0.65mm。

[0089] 根据阀的构成构件的在可动时的接触等风险决定上述数值范围的下限值，根据在施加有反压时能保持气密性的容许极限决定上述数值范围的上限值。

[0090] 例如在阀芯62的1边的尺寸为米数量级时、或在所设想的反压较大时，上述一变形例尤其有效。

[0091] 以上，说明了本发明的一实施方式，本发明并不限于上述一实施方式，可以进行各种变形。另外，上述一实施方式也并非是本发明的唯一的实施方式。

[0092] 例如，在上述实施方式中，阀芯62的被推压机构63推压的推压部69可以设置在阀芯62的任意位置上。例如，在使用了连杆机构时，则变成利用被设置在阀芯的两侧面上的连杆推压阀芯。相对于此，推压部69也可以配置在阀芯62的上部以及下部。因此，如图9的A所示，不仅能够推压阀芯的侧部，还能推压阀芯的上部以及下部。

[0093] 另外，推压部69可以配置在阀芯62的表面内。因此，例如图9的B所示，能够沿最容易使阀芯62受到压力的开口部61a的内侧呈环状地配置推压部69。

[0094] 此外，如图9的C所示，还可以与开口部61a的中央部分相对应地配置推压部69。

[0095] 这样，通过将推压部69配置在开口部61a的内侧，能够以阻止使阀芯62相对于阀芯62所承受的反压发生变形的方式推压阀芯62。由此，能够获得即使阀芯的尺寸变大、也能进一步确保气密性不易下降的闸阀。

[0096] 另外，特别是在沿开口部61a的内侧呈环状地配置推压部69、且还与开口部61a的中央部分相对应地配置推压部69时，能够更好地获得该优点。

[0097] 在图9的A～C中，表示了在阀芯62的各边分别设置3个推压部69、沿开口部61a呈环状地共设置8个推压部69、或在阀芯62的中央加设1个而共设置9个推压部69的例子，但本发明并不限于此。例如，也可以在阀芯62的各边分别设置4个、共12个推压部69、或在阀芯62的中央加设1个而共设置13个推压部69，还可以设置上述数量以上的推压部69。但是，无论设置多少数量的推压部69，优选以均等的距离设置在阀芯62的各边上的推压部69，从而能够均匀地推压阀芯62。

[0098] 另外，在上述一实施方式中，说明了使阀芯、副滑动件以及主滑动件上下移动的例子，但也可以使上述构件左右移动。

[0099] 此外，在上述一实施方式中，由包括突起部67和倾斜部68的凸轮构成推压机构63、由与凸轮接触的辊70构成推压部69，但也可以由辊构成推压机构、由包括突起部和倾斜部的凸轮构成推压部。

[0100] 此外，在上述一实施方式中，将用于制造太阳能电池、FPD的玻璃基板作为被处理体进行了说明，但被处理体并不限于玻璃基板，也可以是半导体晶圆等其他基板。