基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法

摘要

本发明公开了一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法，包括集气罐，集气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分别设有质量流量控制器，质量流量控制器设有数字通信单元，数字通信单元通过串口与主控计算机连接，进行数字通讯，主控计算机可实时控制和获取MFC的流量检测数据，直接用计算机对工艺步骤进行模拟控制，选择合适的数据存入MFC的存储器中，完成对质量流量控制器的控制，这样就省去了人工的参与过程。

权利要求

1.一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统对工艺步骤进行模拟控制的方法，所述基于质量流量控制器的模拟工艺系统包括集气罐，所述集气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分别设有质量流量控制器，所述质量流量控制器分别设有数字通信单元，所述数字通信单元通过串口与主控计算机连接，其特征在于，包括步骤：首先，主控计算机通过串口通讯将各个气体入口的气体流量的设定值和控制时间数据写入质量流量控制器的芯片中；

然后，主控计算机通过串口通讯向所有质量流量控制器发送启动指令，进行工艺模拟流程，并实时控制和获取质量流量控制器的流量检测数据；

待全部质量流量控制器处于关闭状态后，工艺模拟完成。

2.根据权利要求1所述的基于质量流量控制器的模拟工艺系统对工艺步骤进行模拟控制的方法，其特征在于，所述集气罐有多个，所述质量流量控制器为不同规格的质量流量控制器，多个气体入口包括不同种类气体的入口。

说明书

基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种数字式气体质量流量控制器的装置，尤其涉及一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法。

背景技术

[0002] 目前，我们在做混合气体的操作中，当需要涉及到控制多种气体和多种量程这种复杂的工作时，大多数采用专人进行控制，计算时间等一系列流程，最后得出相关的结果。这样大大浪费了人力物力，而且结果也会因为人为原因不够准确。

发明内容

[0003] 本发明的目的是提供一种能直接用计算机对工艺步骤进行模拟控制的基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法。

[0004] 本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

[0005] 本发明的基于质量流量控制器的模拟工艺系统，包括集气罐，所述集气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分别设有质量流量控制器，所述质量流量控制器设有数字通信单元，所述数字通信单元通过串口与主控计算机连接。

[0006] 本发明的上述的基于质量流量控制器的模拟工艺系统对工艺步骤进行模拟控制的方法，包括步骤：

[0007] 首先，主控计算机通过串口通讯将各个气体入口的气体流量的设定值和控制时间数据写入质量流量控制器的芯片中；

[0008] 然后，主控计算机通过串口通讯向所有质量流量控制器发送启动指令，进行工艺模拟流程，并实时控制和获取质量流量控制器的流量检测数据；

[0009] 待全部质量流量控制器处于关闭状态后，工艺模拟完成。

[0010] 由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法，由于在各个气体入口后安装不同流量规格的质量流量控制器(MFC)产品，其中MFC都可以进行数字通讯。通过串口通讯可实时控制和获取MFC的流量检测数据，直接用计算机对工艺步骤进行模拟控制，选择合适的数据存入MFC的存储器中，完成对质量流量控制器的控制，这样就省去了人工的参与过程。

附图说明

[0011] 图1为现有技术中质量流量控制器的结构原理图；

[0012] 图2为本发明基于质量流量控制器的模拟工艺系统的气路原理图。

具体实施方式

[0013] 本发明的基于质量流量控制器的模拟工艺系统，其较佳的具体实施方式如图2所示，包括集气罐，所述集气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分别设有质量流量控制器，所述质量流量控制器设有数字通信单元，所述数字通信单元通过串口与主控计算机连接。

[0014] 所述集气罐可以有多个，每个气体入口之后的质量流量控制器为不同规格的质量流量控制器，多个气体入口包括不同种类气体的入口。

[0015] 本发明的上述的基于质量流量控制器的模拟工艺系统对工艺步骤进行模拟控制的方法，包括步骤：

[0016] 首先，主控计算机通过串口通讯将各个气体入口的气体流量的设定值和控制时间数据写入质量流量控制器的芯片中；

[0017] 然后，主控计算机通过串口通讯向所有质量流量控制器发送启动指令，进行工艺模拟流程，并实时控制和获取质量流量控制器的流量检测数据；

[0018] 待全部质量流量控制器处于关闭状态后，工艺模拟完成。

[0019] 本发明可以自动定时控制多条气路开关以及大小的调整，可以对数字式质量流量控制器进行自动控制，该方法突破了传统的人工方法，大大提高了结果的准确度和生产过成的效率。

[0020] 下面对本发明的工作原理进行详细的描述：

[0021] 首先介绍一下质量流量控制器的工作原理和控制原理：

[0022] 工作原理：质量流量控制器(MFCs)用于对气体质量流量进行精密测量及控制，其测量及控制精度不受一定范围的气压及温度变化影响。质量流量计(MFMs)用于对气体的质量流量进行精密测量。

[0023] 如图1所示，质量流量控制器包括分流器、传感器、电路板及调节阀等四个部分。

[0024] 分流器、传感器及电路板的测量部分组成了质量流量控制器的流量测量单元，它们也组成了质量流量计。

[0025] 调节阀与电路板的控制部分组成了质量流量控制器的控制单元，它们只存在于质量流量控制器中。因此，每台质量流量控制器都包含一台质量流量计。

[0026] 控制原理：质量流量控制器的控制单元接收到输入设定信号后，根据收到的信号对调节阀进行控制，从而实现对流量大小的控制。

[0027] 根据上面对工作原理和控制原理的描述，可以看出通过设定信号可以控制气体的流量。本发明正是设计了一个模拟工艺系统，通过软件控制每个质量流量控制器来完成自动的工艺流程。

[0028] 如图2所示，是本发明的气路原理图，在各种气体入口后安装不同浏览规格的质量流量控制器(MFC)产品。其中MFC都可以进行数字通讯。

[0029] 本发明通过串口通讯可实时控制和获取MFC的流量检测数据。这样就省去了人工的参与过程，直接用计算机对工艺步骤进行模拟控制，选择合适的数据存入MFC的存储器中，完成对质量流量控制器的控制。

[0030] 具体的模拟控制过程是：

[0031] 首先通过电脑通讯将各个气体流量的设定值和控制时间数据写入MFC的芯片中。

[0032] 接下来就是在向所有质量流量控制器(MFC)产品发送启动指令，这样就可以进行工艺模拟流程了。待全部质量流量控制器(MFC)产品处于关闭状态后，说明工艺模拟完成。

[0033] 以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。