天车

摘要

本发明提供一种天车，当升降时输送物品难以与盖掉落防止部件发生冲突。天车，以悬挂的状态收纳、输送在侧面能够装卸地设置有盖(4a)的输送物品，其具备：天车主体、升降机构、盖掉落防止部件(62)和动力传递机构(82)。升降机构设置于天车主体，能够对FOUP(4)进行升降。盖掉落防止部件(62)与盖(4a)的正面接近配置。动力传递机构(82)在对FOUP(4)的升降时使盖掉落防止部件(62)从盖(4a)的正面退避。

权利要求

1.一种天车，其以悬挂的状态收纳、输送在侧面能够装卸地设置有盖的输送物品，其特征在于，具备：天车主体；

升降机构，其设置于所述天车主体，能够对所述输送物品进行升降；

盖掉落防止部件，其与所述盖的正面接近地配置；和第一退避机构，其在所述输送物品的升降时使所述盖掉落防止部件从所述盖的正面退避。

2.根据权利要求1所述的天车，其特征在于，还具备：输送物品掉落防止部件，其配置在所述输送物品的收纳位置的下方；

第二退避机构，其当所述输送物品升降时使所述输送物品掉落防止部件从所述输送物品的收纳位置的下方退避；和驱动机构，其用于驱动所述第一退避机构和所述第二退避机构的双方。

3.根据权利要求2所述的天车，其特征在于：所述盖掉落防止部件是能够在掉落防止位置和退避位置之间转动的部件，所述输送物品掉落防止部件是能够在掉落防止位置和退避位置之间转动的部件。

4.根据权利要求3所述的天车，其特征在于：所述第一退避机构和所述第二退避机构经由动力传递部连结在一起，该动力传递部是将上述第一退避机构及上述第二退避机构的一方的旋转方向改变为上述第一退避机构及上述第二退避机构的另一方的旋转方向的动力传递部。

5.根据权利要求4所述的天车，其特征在于：所述动力传递部具有：

第一轴，其设置于所述盖掉落防止部件的转动中心；

第二轴，其设置于所述输送物品掉落防止部件的转动中心；和锥齿轮，其将所述第一轴和所述第二轴以能够传递动力的方式连结起来。

6.根据权利要求2所述的天车，其特征在于：所述输送物品掉落防止部件包括分开配置的一对掉落防止部件，所述驱动机构具有：旋转驱动部；和连杆机构，其具有用于将来自所述旋转驱动部的驱动力传递给所述一对掉落防止部件的一对连杆部件。

7.根据权利要求3所述的天车，其特征在于：所述输送物品掉落防止部件包括分开配置的一对掉落防止部件，所述驱动机构具有：旋转驱动部；和连杆机构，其具有用于将来自所述旋转驱动部的驱动力传递给所述一对掉落防止部件的一对连杆部件。

8.根据权利要求4所述的天车，其特征在于：所述输送物品掉落防止部件包括分开配置的一对掉落防止部件，所述驱动机构具有：旋转驱动部；和连杆机构，其具有用于将来自所述旋转驱动部的驱动力传递给所述一对掉落防止部件的一对连杆部件。

9.根据权利要求5所述的天车，其特征在于：所述输送物品掉落防止部件包括分开配置的一对掉落防止部件，所述驱动机构具有：旋转驱动部；和连杆机构，其具有用于将来自所述旋转驱动部的驱动力传递给所述一对掉落防止部件的一对连杆部件。

说明书

天车

技术领域

[0001] 本发明涉及天车，特别涉及以悬挂的状态收纳、输送在侧面可装卸地设置有盖的输送物品的天车。

背景技术

[0002] 以往，在半导体制造工厂等、尘埃的产生成为问题的洁净室中，为了输送物品，采用以沿着设置于顶棚的行驶轨道使天车行驶的天车系统。

[0003] 天车由沿着行驶轨道进行行驶的行驶部、收纳物品的物品收纳部、和可升降物品的升降机构成。升降机具有用于抓住物品的卡盘、能够使卡盘上下移动的带、能够输出或卷起带的带驱动机构。

[0004] 作为天车在洁净室内输送的物品，具有FOUP(Front Opening Unified Pod：晶片传送盒)。FOUP是密闭型的晶片容纳用容器。利用FOUP提高晶片的洁净度，能够应对伴随着晶片尺寸的大型化的细微化。FOUP由盒和用于封闭盒的侧方开口部的盖构成。盖用于防止颗粒侵入到内部，并且进行晶片在盒内的定位。

[0005] 天车在升降机使FOUP向上方移动而收纳于收纳部的状态下进行行驶。当天车行进到制造装置的前方时，通过升降机使FOUP向下方移动而载置在装载口的工作台上。在载置后，FOUP与制造装置的开口部对接，接着，FOUP开启工具从FOUP的盒卸下盖，将盖引入到装置内部。然后，将晶片输送到半导体制造装置，进行预定的处理。将处理后的晶片返回到FOUP内，关闭FOUP的盖。天车通过升降机保持在制造装置的装载口的工作台上载置的FOUP，使其上升至收纳位置，收纳FOUP后开始行驶。这样，天车使FOUP在装载口之间移动。

[0006] 在天车系统中，有时无人天车通过行驶轨道的下方，有时作业者进行移动或作业。在这种情况下，如果盖从FOUP掉落的话，则有可能对作业者或其他装置造成危害。因此，提出了在天车上设置盖掉落防止部件的结构(例如参照专利文献1)。

[0007] 专利文献1：日本特开2004-277066号公报(专利3885232号)

[0008] 专利文献1所公开的盖掉落防止部件，被固定于升降台，能够与升降台一起横向移动，但无法进行向其他方向的移动。因此，在进行使FOUP从收纳位置向下方下降或从装载口向上方移动的升降动作时，有可能出现升降台、FOUP与盖掉落防止部件接触的情况。特别是当FOUP一边摆动一边上升时，FOUP容易与盖掉落防止部件冲突。当两者接触时，因该接触而导致天车摇动，FOUP内的晶片受到因摆动而引起的冲击。此外，也有可能摆动的行驶车与其他的行驶车发生冲突。

发明内容

[0009] 本发明的课题在于提供一种在升降时输送物品难以与盖掉落防止部件发生冲突的天车。

[0010] 本发明涉及的天车，以悬挂的状态收纳、输送在侧面能够装卸地设置有盖的输送物品，其具备：天车主体、升降机构、盖掉落防止部件和第一退避机构。升降机构设置于天车主体，能够对输送物品进行升降。盖掉落防止部件与盖的正面接近地配置。第一退避机构在输送物品的升降时使盖掉落防止部件从盖的正面退避。

[0011] 在该天车中，当天车主体以悬挂的方式输送输送物品时，盖掉落防止部件与盖的正面接近地配置。因而，即使输送物品的盖脱离，盖也难以向下方掉落。另一方面，当天车主体停止进而升降机构使输送物品升降时，第一退避机构使盖掉落防止部件从盖的正面退避。结果，当升降时输送物品难以与盖掉落防止部件发生冲突。

[0012] 优选天车具备输送物品掉落防止部件、第二退避机构和驱动机构。输送物品掉落防止部件配置在输送物品的收纳位置的下方。当输送物品的升降时第二退避机构使输送物品掉落防止部件从输送物品的收纳位置的下方退避。驱动机构用于驱动第一退避机构和第二退避机构的双方。

[0013] 在该天车中，当天车主体以悬挂的方式输送输送物品时，输送物品掉落防止部件配置在输送物品的收纳位置的下方。因而，即使输送物品从升降机构脱离，输送物品也难以向下方掉落。另一方面，当天车主体停止进而升降机构使输送物品升降时，第二退避机构使输送物品掉落防止部件从输送物品的下方退避。结果，输送物品难以与输送物品掉落防止部件发生冲突。

[0014] 进而，由于驱动机构驱动第一退避机构和第二退避机构的双方，所以不需要使用多个动力源。

[0015] 优选盖掉落防止部件是能够在掉落防止位置和退避位置之间转动的部件，输送物品掉落防止部件是能够在掉落防止位置和退避位置之间转动的部件。

[0016] 在该天车中，由于盖防止掉落部件和输送物品掉落防止部件能够转动，所以能够更可靠地防止盖和输送物品的掉落。

[0017] 优选第一退避机构和第二退避机构经由用于在两者之间改变旋转方向的动力传递部连结。

[0018] 在该天车中，第一退避机构和第二退避机构经由动力传递部连结，被共通的动力源驱动。结果，能够以较少的部件个数对第一退避机构和第二退避机构进行驱动。

[0019] 优选动力传递部具有：第一轴，其设置于盖掉落防止部件的转动中心；第二轴，其设置于输送物品掉落防止部件的转动中心；和锥齿轮，其将第一轴和第二轴以能够传递动力的方式连结起来。

[0020] 在该天车中，驱动力从第一轴经由一对锥齿轮传递给第二轴。

[0021] 优选盖掉落防止部件是在上下方向分开配置的一对部件。优选驱动机构具有：旋转驱动部；和连杆机构，其具有用于将来自旋转驱动部的驱动力传递给一对掉落防止部件的一对连杆部件。

[0022] 在该天车中，一对掉落防止部件被连杆机构同时驱动。

[0023] 在本发明涉及的天车中，当天车主体停止进而升降机构使输送物品升降时，第一退避机构使盖掉落防止部件从盖的正面退避。结果，当升降时输送物品难以与盖掉落防止部件发生冲突。

附图说明

[0024] 图1是洁净室内的天车系统的概略示意图。

[0025] 图2是天车系统和天车的局部侧视图。

[0026] 图3是轨道内的纵截面概略图。

[0027] 图4是天车系统和天车的局部侧视图。

[0028] 图5是天车的掉落防止罩的下部的纵截面概略图。

[0029] 图6是天车的掉落防止罩的下部的纵截面概略图。

[0030] 图7是驱动机构的概略俯视图。

[0031] 符号说明

[0032] 1...天车系统；3...轨道；4...FOUP；4a...盖；5...天车；11...行驶轨道；13...供电轨道；15...供电线保持架；17...供电线；21...行驶部(天车主体)；23...受电部；25...升降驱动部(升降机构)；27...拾取单元；29...型芯；31...耦合线圈；
33...非接触供电部；35...主体框架；37...横移部；39...θ驱动器；41...升降机主体；
43...升降台；45...前侧框架；47...后侧框架；58...FOUP掉落防止机构；60...驱动机构(第二退避机构)；61...输送物品掉落防止部件；62...盖掉落防止部件；63...电机；
64...齿轮；65...齿轮部件；67...连杆部件；69...连杆部件；68...旋转轴；71...第一支承部；73...第二支承部；80...盖掉落防止机构；81...轴；82...动力传递机构(第一退避机构)；85...第一轴；87...第一锥齿轮；89...第二锥齿轮；91...第二轴。

具体实施方式

[0033] 参照附图对本发明的一实施方式进行说明。

[0034] (1)天车系统

[0035] 图1是基于使用供电线的非接触方式供电方式的天车系统1的示意图。天车系统1设置于半导体工厂等的洁净室等，对后述的FOUP(Front Opening Unified Pod)进行输送。天车系统1主要具有轨道3和沿着轨道3行驶的天车5。

[0036] 对半导体工厂内的结构进行说明。半导体工厂具有多个分区(bay)(工序)，为了连接远隔的分区彼此之间而设置有交互分区路线51，进而各分区具有内部分区路线53。各路线51、53由轨道3构成。

[0037] 沿着内部分区路线53配置有半导体处理装置等的多个处理装置55、55。进而，在处理装置55、55的附近设置有装载口57。装载口57设置于内部分区路线53的正下方。在以上的结构中，天车5在轨道3上行驶而在装载口57之间输送后述的FOUP。

[0038] (2)轨道

[0039] 如图2所示，轨道3通过多个支柱7从顶棚9悬挂。轨道3主要具有行驶轨道11和设置于行驶轨道11的下部的供电轨道13。

[0040] (a)行驶轨道

[0041] 行驶轨道11例如由铝制，如图3所示，从截面看构成为反U字状，具有上面部11a和两侧面部11b。在两侧面部11b的下面形成有向内侧延伸的一对第一行驶面11c。进而，在两侧面部11b的内侧面的上部形成有第二行驶面11d，在上面部11a的下侧面形成有第三行驶面11e。

[0042] (b)供电轨道

[0043] 供电轨道13主要由在行驶轨道11的下部两侧设置的一对供电线保持架15、15构成。在供电线保持架15、15配置有由用绝缘材料覆盖铜线等的导电线的绞合线构成的一对供电线17、17。在供电线17的一端设置有电力供给装置(未图示)，向一对供电线17、17供给高频电流。

[0044] (3)天车

[0045] 天车5主要具有行驶部21、受电部23和升降驱动部25。行驶部21配置在行驶轨道11内，是用于在轨道3上行驶的机构。受电部23配置在供电轨道13内，是用于从一对供电线17、17接受电力的机构。升降驱动部25配置在供电轨道13的下方，是用于保持FOUP4并使该FOUP4升降的机构。

[0046] (a)行驶部

[0047] 行驶部21主要配置在行驶轨道11内，且具有一对第一导向轮18、18，一对第二导向轮19、19，行驶驱动轮20和电机22。一对第一导向轮18、18配置在行驶部21的下部两侧，旋转自如地支承于沿左右方向延伸的车轴。第一导向轮18、18载置在行驶轨道11的第一行驶面11c上。

[0048] 第二导向轮19、19配置在行驶部21的上部两侧，旋转自如地支承于沿垂直方向延伸的车轴。第二导向轮19、19以行驶轨道11的第二行驶面11d作为导向面，防止横方向(行进方向的左右方向)的错位。

[0049] 行驶驱动轮20配置在行驶部21的大致中央，被弹簧等按压构件按压在行驶轨道11的第三行驶面11e上。行驶驱动轮20通过电机22驱动。结果，天车5在轨道3上行驶。

[0050] (b)受电部

[0051] 受电部23具有用于从一对供电线17、17得到电力的一对拾取单元27。具体而言，一对拾取单元27、27在供电轨道13内左右排列配置。各拾取单元27具有截面作成大致E字形的铁素体制的型芯29和卷绕于型芯29的耦合线圈31。具体而言，型芯29具有两侧的突出部29a、和位于上述突起部29a之间的突出部29b，耦合线圈31卷绕于中央的突出部29b。

[0052] 保持于供电线保持架15的一对供电线17、17分别配置在两侧突出部29a和中央的突出部29b之间。由在这一对供电线17、17中流动高频电流而产生的磁场作用于耦合线圈31，在耦合线圈31中产生感应电流。这样，从一对供电线17、17向拾取单元27以非接触的方式供给电力，驱动行驶用的电机22或向控制设备供给电力。这样，利用供电轨道13的一对供电线17、17和天车5的受电部23，构成非接触供电部33。

[0053] (c)升降驱动部

[0054] 升降驱动部(升降机)25，如图2所示，主要具备主体框架35、横移部37、θ驱动器39、升降机主体41和升降台43。

[0055] 主体框架35是固定于受电部23的下部的部件。在主体框架35的前后设置有前侧框架45和后侧框架47。前侧框架45和后侧框架47是从主体框架35向下方延伸的部件，前后夹持横移部37、θ驱动器39、升降机主体41和升降台43。前侧框架45和后侧框架47具有框体，该框体在内部具有空间。在该框体内收纳有防止FOUP掉落机构、防止盖掉落机构(后述)。

[0056] 横移部37例如向侧方横移θ驱动器39、升降机主体41和升降台43，且能够在该横移部37与设置于轨道3的侧方的侧向缓冲器(未图示)之间交接FOUP4。θ驱动器39使升降机主体41在水平面内转动，使FOUP4的交接变得容易。在升降机主体41内设置有用于使升降台43升降的升降机构(未图示)。升降机构例如是4组的卷绕鼓，在卷绕鼓上卷挂有带59。在带59的端部安装有升降台43。在图4中表示从卷绕鼓输出带59，升降台43与FOUP4一起下降的状态。

[0057] FOUP4在内部收纳多个半导体晶片，在前面设置有可装卸的盖4a。在FOUP4的上部设置有凸缘49，凸缘49被升降台43夹持。

[0058] (4)防止FOUP掉落机构

[0059] 接着，对防止FOUP掉落机构58进行说明。防止FOUP掉落机构58由输送物品掉落防止部件61，和使输送物品掉落防止部件61在掉落防止位置与退避位置之间转动的驱动机构60构成。

[0060] 如图2和图4所示，在前侧框架45和后侧框架47的下部，前后配置有用于防止FOUP4掉落的输送物品掉落防止部件61。输送物品掉落防止部件61，分别成对地左右排列设置在前侧框架45和后侧框架47上。在图2中，FOUP4配置在收纳位置，输送物品掉落防止部件61位于FOUP4的下方的掉落防止位置。在图4中，FOUP4利用升降机41从收纳位置向下方移动，输送物品掉落防止部件61位于从FOUP4的下方退避的退避位置。

[0061] 接着，使用图5～图7对驱动机构60进行说明。另外，驱动机构60设置在前侧框架45和后侧框架47的双方上，但在此仅对设置于后侧框架47的驱动机构60进行说明。另外，在图6和图7中，将图左侧设为第一侧方向，将图右侧设为第二侧方向。进而，将图5的图右侧和图7的图下侧设为输送方向前侧，将图5的图左侧和图7的图上侧设为输送方向后侧。

[0062] 驱动机构60主要由电机63、齿轮部件65、连杆部件67、69构成。如图6所示，电机63固定设置于后侧框架47内的第一固定板54，并具有沿上下方向延伸的旋转中心。电机63的旋转轴向下方突出，在其前端设置有齿轮64。齿轮部件65是旋转自如地支承于第一固定板54的部件，具有与电机63的旋转轴平行地延伸的旋转轴68。在齿轮部件65的上部设置有齿轮66，齿轮66与电机63的齿轮64啮合。

[0063] 连杆部件67、69分别构成用于驱动输送物品掉落防止部件61、61的连杆机构。另外，由于连杆部件67、69的结构和动作相同，所以仅对连杆部件67进行说明。

[0064] 连杆部件67是用于通过齿轮部件65的旋转使输送物品掉落防止部件61转动的部件。如图7所示，连杆部件67是向侧方方向延伸的细长板状的部件，一端可旋转地与齿轮部件65的第一支承部71连结，另一端可旋转地支承于输送物品掉落防止部件61的第二支承部73。在图7中，第一支承部71相对于连杆部件69的支承部配置在与齿轮部件65的旋转轴68相反一侧，因此，连杆部件67具有以将齿轮部件65的旋转轴68从第一支承部71向后方迂回的方式弯曲的弯曲部67a。

[0065] 输送物品掉落防止部件61由防止下落部61a、旋转支承部61b、和连结防止下落部61a与旋转支承部61b的壁部61c构成。防止下落部61a是沿水平方向延伸的板部件，比较长地延伸。另外，防止下落部61a的角被倒角而顺滑地连续。旋转支承部61b配置在比防止下落部61a更高的位置，是沿水平方向延伸的板部件。在旋转支承部61b固定有轴81，轴
81以旋转轴84为中心旋转自如地支承于后侧框架47的第二固定板56。另外，轴81的位置是在输送物品掉落防止部件61中比左右方向中心稍微靠向外侧的位置。由此，输送物品掉落防止部件61，在图7中，能够在实线所示的防止下落位置和双点划线所示的退避位置之间转动。

[0066] 另外，连杆部件69实现了相对于连杆部件67以旋转轴68为中心呈点对称的构造和动作。

[0067] (5)防止盖掉落机构

[0068] 接着，对防止盖掉落机构80进行说明。防止盖掉落机构80由盖掉落防止部件62和动力传递机构82构成。

[0069] 如图2和图4所示，在前侧框架45和后侧框架47的下部，前后配置有用于防止FOUP4的盖4a掉落的盖掉落防止部件62。盖掉落防止部件62在前侧框架45和后侧框架47上分别设有一个。在图2中，FOUP4配置在收纳位置，盖掉落防止部件62位于FOUP4的盖4a的正面的掉落防止位置。在图4中，FOUP4利用升降机主体41从收纳位置向下方移动，盖掉落防止部件62位于从FOUP4的盖4a的正面退避的退避位置。

[0070] 动力传递机构82是用于将来自上述防止FOUP掉落机构58的驱动机构60的驱动力传递给盖掉落防止部件62的机构。动力传递机构82主要由第一轴85、第一锥齿轮(伞齿轮)87、第二锥齿轮(伞齿轮)89和第二轴91构成。第一轴85与驱动机构60的轴81一体地旋转或通过固定而一体地旋转。第一轴85被轴承83旋转自如地支承进而沿从轴81离开的方向延伸。第一锥齿轮87固定于第一轴85的前端。由此，第一锥齿轮87的旋转中心与第一轴85的旋转轴84一致。第二锥齿轮89与第一锥齿轮87的侧方外侧部分啮合。在该状态下，第二锥齿轮89的旋转轴相对于第一锥齿轮87的旋转轴84呈直角状延伸。根据以上所述，通过第一锥齿轮87和第二锥齿轮89的啮合，旋转方向被改变。在第二锥齿轮89固定有第二轴91。第二轴91，侧方向内侧(第二侧方向侧)端旋转自如地支承于轴承93，在侧方向外侧(第一侧方侧)端固定有第二锥齿轮89，进而从此处突出的前端固定有盖掉落防止部件62。如图5所示，在掉落防止位置，盖掉落防止部件62沿侧方向延伸，从中间部向前端的部分从后侧框架47突出，与FOUP4的盖4a的正面侧接近配置。如图2所示，盖掉落防止部件62配置在与盖4a的下部(比上下方向中心更靠下侧的部分)对应的位置。根据以上的动作，盖掉落防止部件62，在图5中，能够在实线所示的掉落防止位置和双点划线所示的退避位置之间转动。另外，从图7可知，第二轴91的延伸方向相对于侧方向倾斜(相对于前后方向不成直角)，因而，盖掉落防止部件62也以前端位于比根源端更靠侧方向外侧(第一侧方侧)的位置的方式倾斜。不过，作为其他实施例，也可以为第二轴的延伸方向与侧方向平行，盖掉落防止部件与前后方向平行。

[0071] (6)防止FOUP掉落机构和防止盖掉落机构的动作

[0072] 当天车5输送FOUP4时，如图7所示，输送物品掉落防止部件61位于掉落防止位置，进而如图5所示，盖掉落防止部件62位于掉落防止位置。由此，例如在FOUP4从升降台43的卡盘机构脱离的情况、或盖4a从FOUP4的盒脱离的情况下，上述FOUP4和盖4a都难以向下方掉落。这样，由于能够防止FOUP4、盖4a的掉落，所以能够消除作业车向轨道3的下方的进入的限制。因此，能够有效利用洁净室。

[0073] 在该状态下，在驱动机构60中，如图7所示，齿轮部件65最大限度地向顺时针方向旋转，第一支承部71配置在齿轮部件65的旋转轴的第二侧方向侧。第二支承部73配置在旋转轴84的前方第二侧方向侧。当从该状态驱动电机63而使齿轮部件65绕逆时针方向旋转时，力从齿轮部件65经由连杆部件67传递给输送物品掉落防止部件61。更具体而言，通过连杆部件67向第二支承部73施加力，输送物品掉落防止部件61以旋转轴84为中心沿顺时针方向转动。结果，输送物品掉落防止部件61从掉落防止位置向退避位置转动。

[0074] 此外，根据以上的动作，当输送物品掉落防止部件61以旋转轴84为中心沿顺时针方向转动时，轴81和第一轴85旋转。然后，通过第一锥齿轮87和第二锥齿轮89的啮合，第二轴91旋转，结果，盖掉落防止部件62从实线所示的掉落防止位置向双点划线所示的退避位置转动。

[0075] 另外，当进行与上述的动作相反的动作时，输送物品掉落防止部件61从退避位置向掉落防止位置转动，盖掉落防止部件62从退避位置向掉落防止位置转动。

[0076] 如上所述，输送物品掉落防止部件61和盖掉落防止部件62以相同的时刻进行在掉落防止位置和退避位置之间的移动。

[0077] (7)防止FOUP掉落机构和防止盖掉落机构的效果

[0078] 如上所述，在本发明涉及的实施方式中，设置有盖掉落防止部件62和动力传递机构82。盖掉落防止部件62与盖4a的正面接近配置。动力传递机构82在FOUP4的升降时使盖掉落防止部件62从盖4a的正面退避。在该天车5中，当在悬挂FOUP4的状态下对其进行输送时，盖掉落防止部件62与盖4a的正面接近配置。因而，即使FOUP4的盖4a脱离，盖4a也难以向下方掉落。另一方面，当天车5停止进而升降驱动部25使FOUP4升降时，动力传递机构82使盖掉落防止部件62从盖4a的正面退避。结果，当升降时FOUP4难以与盖掉落防止部件62发生冲突。特别是在FOUP4一边摆动一边上升的情况下，FOUP4也难以与盖掉落防止部件62发生冲突。结果，FOUP4内的晶片难以受到因摆动而引起的冲击。

[0079] 进而，天车5具有输送物品掉落防止部件61和驱动机构60。输送物品掉落防止部件61配置在FOUP4的收纳位置的下方。当FOUP4升降时驱动机构60使输送物品掉落防止部件61从FOUP4的收纳位置的下方退避。驱动机构60具有作为驱动源的电机63、用于驱动输送物品掉落防止部件61的齿轮部件65和连杆部件67。另外，齿轮部件65和连杆部件67等也具有将电机63的动力传递给动力传递机构82的功能。在该天车5中，当在悬挂FOUP4的状态下对其进行输送时，输送物品掉落防止部件61配置在FOUP4的收纳位置的下方。因而，即使FOUP4从升降驱动部25脱离也难以向下方掉落。另一方面，当天车5停止进而升降驱动部25使FOUP4升降时，驱动机构60使输送物品掉落防止部件61从FOUP4的下方退避。结果，当升降时FOUP4难以与输送物品掉落防止部件61发生冲突。特别是在FOUP4一边摆动一边上升的情况下，FOUP4也难以与输送物品掉落防止部件61发生冲突。结果，FOUP4内的晶片难以受到因摆动而引起的冲击。

[0080] 盖掉落防止部件62是配置在FOUP4的两侧部(在本实施方式中为前后两侧)，能够在掉落防止位置和退避位置之间转动的一对部件。此外，输送物品掉落防止部件61是配置在FOUP4的两侧部且能够在掉落防止位置和退避位置之间转动的一对部件。另外，在本实施方式中，输送物品掉落防止部件61分别成对地沿左右方向排列设置在前侧框架45和后侧框架47上，但也可以在前侧框架45和后侧框架47上各设置有一个。在该天车5中，由于盖掉落防止部件62和输送物品掉落防止部件61分别配置在输送物品的两侧部，所以能够更可靠地防止盖4a和FOUP4的掉落。

[0081] 动力传递机构82和驱动机构60经由用于在两者之间改变旋转方向的第一锥齿轮87和第二锥齿轮89连结在一起。在该天车5中，动力传递机构82和驱动机构60的动力传递部，通过共通的电机63驱动。结果，能够以较少的部件个数对动力传递机构82和驱动机构60进行驱动。

[0082] 动力传递机构82具有：设置于盖掉落防止部件62的转动中心的第一轴85；设置于输送物品掉落防止部件61的转动中心的第二轴91；将第一轴85和第二轴91以能够传递动力的方式连结起来的第一锥齿轮87和第二锥齿轮89。结果，驱动力从第一轴85经由第一锥齿轮87和第二锥齿轮89传递给第二轴91。

[0083] 盖掉落防止部件62是在上下方向分开配置的一对部件。驱动机构60具有：电机63；和连杆机构，其具有用于将来自电机63的驱动力传递给一对盖掉落防止部件62的一对连杆部件67、69。结果，一对盖掉落防止部件62被连杆机构同时驱动。

[0084] (8)其他实施例

[0085] 以上对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离发明的主旨的范围内能够进行各种变更。

[0086] 在上述实施方式中，对半导体工厂的洁净室内的行驶车系统进行了说明，但本发明也能够适用于其他种类的工厂。

[0087] 在上述实施方式中，输送物品为FOUP，但也可以是其他部件。

[0088] 产业上的利用可能性

[0089] 本发明能够广泛适用于在轨道上行驶的天车系统。