真空器件用嵌入式小钛泵

摘要

本发明公开了一种真空器件用嵌入式小钛泵，涉及真空钛泵技术，是借用真空器件的外壳和内部电极，或将电极嵌入器件内部，以替代钛泵的电极；外加磁场或利用真空器件的剩磁，从而组成钛泵，钛泵和真空器件融为一体。本发明没有独立的钛泵系统，部分钛泵电极是借用器件固有的电极或嵌入器件内部，降低了重量、结构简单、提高了绝缘和可靠性。该钛泵可以随真空系统永久工作，提高了真空系统的真空度，保证了产品的稳定性和寿命。

权利要求

1.一种真空器件用嵌入式小钛泵，其特征在于：真空器件的外壳设有一通孔，将小钛泵嵌入真空器件，固接于真空器件内部的结构上，且小钛泵伸出于该通孔；

将磁钢固定在真空器件外壳上，位于通孔周缘，罩于小钛泵上，使磁钢与真空器件外壳成为一体；

利用真空器件的外壳做负极，固接小钛泵的内部结构做正极，构成小钛泵的两电极。

2.如权利要求1所述的真空器件用嵌入式小钛泵，其特征在于：如果真空器件在小钛泵处有足够的剩磁，则不要磁钢，小钛泵也能正常工作。

3.如权利要求2所述的真空器件用嵌入式小钛泵，其特征在于：所述足够的剩磁，为大于1500高斯的磁场。

说明书

真空器件用嵌入式小钛泵

技术领域

[0001] 本发明涉及真空钛泵技术，主要是一种真空器件用嵌入式小钛泵。

背景技术

[0002] 目前真空钛泵采用常规方法，即中心高压正电极、两边钛板高压负电极，放置在一定磁场中。钛泵工作时，气体分子电离后在强电场和强磁场联合作用下，高速撞击钛板并被埋没，从而达到抽真空的作用。传统钛泵是独立的一个系统，其高压电极、磁钢都是专用的，组成一个矩形或圆盘形的独立结构，有一定的重量和大小，这样给绝缘、结构和可靠性等问题带来极大不便，直接影响稳定性和可靠性。

发明内容

[0003] 本发明的目的是，公开一种真空器件用嵌入式小钛泵，真空器件用嵌入式小钛泵技术是借用真空器件的外壳和电极，或将电极嵌入器件内部，以替代钛泵的电极，外加磁场或利用真空器件的剩磁，从而组成钛泵，钛泵和真空器件融为一体，减少了重量，提高了稳定性和可靠性。

[0004] 为达到上述目的，本发明的技术解决方案是：

[0005] 一种真空器件用嵌入式小钛泵，其真空器件的外壳设有一通孔，将小钛泵嵌入真空器件，固接于真空器件内部的结构上，且小钛泵伸出于该通孔；

[0006] 将磁钢固定在真空器件外壳上，位于通孔周缘，罩于小钛泵上，使磁钢与真空器件外壳成为一体；

[0007] 利用真空器件的外壳做负极，固接小钛泵的内部结构做正极，构成小钛泵的两电极。

[0008] 所述的真空器件用嵌入式小钛泵，其如果真空器件在小钛泵处有足够的剩磁，则不要磁钢，小钛泵也能正常工作，可靠性大大加强。

[0009] 所述的真空器件用嵌入式小钛泵，其所述足够的剩磁，为大于1500高斯的磁场，否则需另加磁场补偿。

[0010] 所述的真空器件用嵌入式小钛泵，其将小钛泵嵌入真空器件，利用真空器件的外壳做负极，固接小钛泵的内部结构做正极，构成小钛泵的两电极。

[0011] 本发明没有独立的钛泵系统，全部钛泵电极都是借用器件外壳和固有的电极或嵌入器件内部，降低了重量、大小，提高了可靠性。该钛泵可以伴随真空系统永久性工作，能够提高或长期保持真空系统的真空度，保证了产品的稳定性和寿命。

附图说明

[0012] 图1为本发明的一种真空器件用嵌入式小钛泵正视图；

[0013] 图2为本发明的一种真空器件用嵌入式小钛泵侧视图。

具体实施方式

[0014] 本发明的一种真空器件用嵌入式小钛泵，是借用真空器件的外壳和内部电极，或将电极嵌入器件内部，以替代钛泵的电极；外加磁场或利用真空器件的剩磁，从而组成钛泵，钛泵和真空器件融为一体。

[0015] 实施例

[0016] 如图1、2所示，真空器件的外壳1设有一通孔2，将小钛泵3嵌入真空器件，固接于真空器件内部的结构上，且小钛泵3伸出于该通孔2；

[0017] 将磁钢5固定在真空器件外壳1上，位于通孔2周缘，罩于小钛泵3上，使磁钢5与真空器件外壳1成为一体；

[0018] 利用真空器件的外壳1做负极，固接小钛泵3的内部结构4做正极，构成小钛泵的两电极。

[0019] 借用真空器件的外壳1做小钛泵负极，真空器件的内部电极作为小钛泵正极，外加磁场与真空器件外壳1紧密连接，减少了占用空间和保证了连接强度。工作时只要给钛-6泵提供一定的电压，钛泵就能正常工作，其极限真空度可以优于5*10 Pa。

[0020] 在大型电真空器件中，比如大型“速调管”采用一次倒向聚焦磁场，其剩磁峰值往往大于1500高斯，如果将小钛泵置于该处，则可以实现剩磁利用，减少了附加磁场带来的不便。