压力调节器

摘要

连通主侧口(15)和副侧口(16)的连通孔(17)通过与阀座(18)接触的阀芯(21)开启和关闭，并且在与阀座(18)接触的方向上的弹簧力通过阀弹簧(25)施加在阀芯(21)上。压力调节膜片(27)与阀芯(21)相对地安装在壳体(11)上，并且在开启阀芯(21)的方向上的弹簧力通过压力调节弹簧(43)作用在压力调节膜片(27)上。设置有开启和关闭排放孔(47)的端面(49)，并且有将压力调节膜片(27)的朝向阀芯(21)的运动传递给阀芯(21)的阀杆(47)设置在阀芯(21)上。压力调节膜片(27)设置有动态吸振装置(50)，该动态吸振装置(50)在从排放孔(37)排放的排放时间抑制压力调节膜片(27)的振动，并在压力调节时间抑制膜片组件(38)和阀组件(26)的振动。

权利要求

1.一种压力调节器，该压力调节器包括：

壳体，该壳体包括主侧口和副侧口，压力流体供应到所述主侧口，所述副侧口通过连通孔与所述主侧口连通，并且所述压力流体从所述副侧口流出；

阀组件，该阀组件具有阀芯和阀弹簧，所述阀芯开启和关闭形成在所述连通孔的开口端部侧的阀座，所述阀弹簧在关闭所述阀座的方向上向所述阀芯偏压弹簧力；

膜片组件，该膜片组件包括压力调节膜片和压力调节弹簧，所述压力调节膜片与所述阀芯相对地安装在所述壳体中，并以分隔的方式形成与所述副侧口连通的压力调节腔和与外部连通的弹簧腔，所述压力调节弹簧安装于在所述压力调节膜片上设置的定位器和在所述弹簧腔内与该定位器相对地设置的弹簧容纳件之间，并且所述压力调节弹簧在所述阀芯从所述阀座脱离的方向上向所述阀芯偏压弹簧力；

阀杆，该阀杆具有开启和关闭排放孔的端面，所述排放孔形成在所述定位器上并使所述压力调节腔和所述弹簧腔互相连通，所述阀杆向所述阀芯施加所述压力调节弹簧的弹簧力并构成阀组件；和动态吸振装置，该动态吸振装置与所述定位器连接并设置在所述弹簧腔内，所述动态吸振装置在所述压力调节膜片与所述阀杆分离时抑制所述膜片组件的振动，并在所述阀组件与膜片组件一起运动以开启和关闭所述阀座从而调节所述副侧口的压力时，抑制所述膜片组件和所述阀组件的振动。

2.根据权利要求1所述的压力调节器，其中，所述动态吸振装置包括：环状阻尼器，该环状阻尼器安装在从所述定位器向所述弹簧容纳件凸出设置的支撑杆部的末端；环状质量体，该环状质量体设置在所述环状阻尼器上；和弹簧件，该弹簧件安装在所述压力调节膜片和所述环状质量体之间。

3.根据权利要求2所述的压力调节器，其中，所述定位器具有盘状部，所述支撑杆设置在该盘状部上并且该盘状部接触所述压力调节膜片，所述动态吸振装置定位并安装在位于所述压力调节弹簧内的所述支撑杆部的末端，所述压力调节弹簧安装在所述盘状部和所述弹簧容纳件之间。

4.根据权利要求1或2所述的压力调节器，其中，所述动态吸振装置的固有频率不同于由膜片组件构成的膜片振动系统的固有频率，并且不同于由所述阀组件和所述膜片组件构成的复合振动系统的复合固有频率。

5.根据权利要求1或2所述的压力调节器，其中，所述阀杆的末端设置有密封件，该密封件通过可滑动地支撑所述阀杆的端部的贯通孔而对所述副侧口与所述压力调节腔之间的连通进行密封。

6.根据权利要求1或2所述的压力调节器，其中，所述阀杆的端部设置有密封膜片，该密封膜片在开启和关闭所述排放孔的方向上可移动地支撑所述阀杆，并且该密封膜片对所述副侧口和所述压力调节腔之间的连通进行密封。

7.根据权利要求1或2所述的压力调节器，该压力调节器还包括压力平衡密封件，该压力平衡密封件在所述阀芯和导向孔之间形成密封，所述阀芯接合在所述导向孔中。

8.根据权利要求6所述的压力调节器，该压力调节器还包括压力平衡膜片，该压力平衡膜片在所述阀芯和导向孔之间形成密封，所述阀芯接合在所述导向孔中。

说明书

压力调节器

技术领域

[0001] 本发明涉及一种压力调节器，该压力调节器根据预定的压力调节来自流体供给源的压力流体的压力，并将其供给流体压力操作装置(operating appliance)。 背景技术

[0002] 压力调机器用于根据预定的压力调节来自气压源(pneumatic source)的压缩空气的压力，该气压源为流体供给源，并将压缩空气供给至气动操作装置(pneumatic operating appliance)，例如气缸的。如专利文件1中所公开的，压力调节器具有供给有压缩空气的主侧口(primary-side port)和连接有气动操作装置的副侧口(secondry-side port)，其中，连接两个口的连通孔的开口的端部可以通过阀芯而开启和关闭。阀芯在关闭开口端部的阀座方向上受到由阀弹簧施加的弹簧力。压力调节器具有膜片(diaphragm)，该膜片由于副侧口的设定压力和大气压力之间的压差而产生弹性形变。膜片上形成有排放孔，副侧的(secondary level)空气通过该排放孔排放到外部。与阀芯连接的阀杆的末端与膜片紧邻从而关闭排放孔，通过阀杆在打开阀座的方向上的弹簧力由压力调节弹簧施加到膜片。

[0003] 在上述的压力调节器中，当副侧的压力低于设定压力时，压力调节弹簧的压力使膜片通过阀杆打开阀座，将主侧的压缩空气供给至副侧口。当副侧口的压缩空气的压力达到设定压力时，供给至膜片的气压使膜片在与阀芯分离的方向上移动，并且使阀芯与阀座接触并关闭阀座，从而切断主侧口与副侧口的连通。

[0004] 同时，当副侧压力上升至高于设定压力时，膜片在与阀芯分离的方向上 移动，并且膜片与阀杆的尖端分离以开启排放孔，从而使副侧压力排放至外部。当副侧压力降低时，膜片与阀杆接触以关闭排放孔。因此，例如在用于具有气动操作装置的气动回路的压力减小时，降低供给至气动操作装置的压缩空气的压力，新的副侧压力就会设定为更低。这样，副侧配管中的压缩空气会通过排放孔排放至外部直至达到重新设定的设定压力。并且，由于与气缸等的推杆的动作方向相反的方向上的负载从外部作用使副侧的设定压力升高时，副侧配管(secondary-side pipe)中的压缩空气通过排放孔排放至外部以使得设定压力恒定。

[0005] 当供给至副侧口的压缩空气的压力设定为间歇地驱动例如气缸等气动操作装置时，副侧的空气会被消耗，并且其压力也会间歇地变化，从而使阀座更频繁地被阀芯开启并关闭。因此，由于从主侧口至副侧口的压缩空气流变得断断续续，使阀芯发生振动，从而产生振动噪声，并且副侧压力不断地发生变化，结果使稳定性降低。同时，当副侧配管中的空气经排放孔排放时，通过从副侧口向排放孔的空气的逆流而使膜片发生振动，从而产生振动噪声，并且副侧压力不断地发生变化，结果使稳定性降低。当阀芯和膜片振动时，会加剧设置在阀芯上的密封件的磨损并加速膜片的劣化，结果使压力调节器的耐久性降低。此外，并发的振动噪声甚至可能会导致工作环境恶化。

[0006] 众所周知地，抑制振动部件的振动的振动控制器为动态吸振装置。动态吸振装置包括质量体、弹簧和阻尼器，其中，质量体通过弹簧连接在振动控制对象上。当振动控制对象振动时，动态吸振装置的质量体发生振动，并且振动控制对象具有的振动能量中的一部分转化为质量体的振动能量，从而使振动控制对象的振动得到抑制。专利文件2公开了一种用于吸收电动装置的基板的振动的动态吸振装置，专利文件3公开了一种用于抑制由装配在显微镜上的电动机构产生的振动的动态吸振装置。动态吸振装置被称为动态吸振器或动态减振器。

[0007] 专利文件1：日本专利申请公开公开号10-268943

[0008] 专利文件2：日本专利申请公开公开号2007-285320

[0009] 专利文件3：日本专利第3911372号

发明内容

[0010] 发明所解决的问题

[0011] 如上所述，当供给至副侧口的压缩空气的压力设定为间歇地驱动例如气缸等气动操作装置时，副侧的空气会被消耗，并且其压力也会间歇地变化，从而使阀座频繁地被阀芯开启并关闭。当从主侧口以脉冲方式流向副侧口的压缩空气的频率与包括阀芯的可动部的固有频率相一致时，阀芯会发生共振。当阀芯振动时，由于阀座的开度与取决于副侧的设定压力的预定开度不相等，使副侧的压力发生变化并脱离设定压力，从而使压力调节器的压力调节的稳定性降低。同时，当副侧配管中的空气经排放孔排放时，由于从副侧口向排放孔的空气的逆流而使膜片发生振动，并且其副侧的压力发生变化并脱离设定压力，从而使压力调节器的压力调节的稳定性降低。此外，并发的振动噪声可能会导致工作环境恶化。 [0012] 由于这些原因，在传统的压力调节器中，为了避免在阀芯开启和关闭阀座以调节压力时发生共振现象，需要这样的设计，该设计增加滑动电阻(例如连接在阀芯或阀杆上的O型圈)用来作为阻尼件。同时，为了避免在开启排放孔以排放副侧的空气时的膜片时的共振现象，已经采用了如下方法：设计具有大的弹性系数的膜片以降低膜片的可移动性的方法；将橡胶件等作为阻尼件连接于阀芯或阀杆的方法；以及类似方法。这样，由于将阻尼件分别设置在阀芯和膜片上是阻止阀芯的开启和关闭运动的因素，因此会使压力调节响应性能显著地下降。

[0013] 如上所述，使阀芯动作的调节压力时间以及将副侧口的空气排放至外部 的排气时间在压力调节器的振动系统方面互不相同。也就是说，在压力调节时间时，阀芯的振动系统发生振动，在排气时间时，膜片从阀芯分离，从而使膜片的振动系统发生振动。为了通过动态吸振装置抑制这些振动系统的振动，需要将动态吸振装置安装在每个振动系统上，但是将多个动态吸振装置装进有限的空间是困难的。此外，由于在压力调节器上形成有空气的流动路径，因此在没有阻止空气流的位置安装动态吸振装置会导致压力调节特性降低。 [0014] 本发明的一个目的是提高压力调节器的压力调节稳定性。

[0015] 本发明的一个目的是抑制阀芯和膜片的振动产生而不干扰空气流，以提高压力调节器的压力调节稳定性。

[0016] 本发明的一个目的是抑制阀芯和膜片的振动产生，以改善压力调节器的耐久性。 [0017] 解决问题的手段

[0018] 根据本发明的一种压力调节器，该压力调节器包括：壳体，该壳体包括主侧口和副侧口，压力流体供应到所述主侧口，所述副侧口通过连通孔与所述主侧口连通，并且所述压力流体从所述副侧口流出；阀组件，该阀组件具有阀芯和阀弹簧，所述阀芯开启和关闭形成在所述连通孔的开口端部侧的阀座，所述阀弹簧在关闭所述阀座的方向上向所述阀芯偏压弹簧力；膜片组件，该膜片组件包括压力调节膜片和压力调节弹簧，所述压力调节膜片与所述阀芯相对地安装在所述壳体中，并以分隔的方式形成与所述副侧口连通的压力调节腔以及与外部连通的弹簧腔，所述压力调节弹簧安装于在压力调节膜片上设置的定位器(retainer)和在弹簧腔内与该定位器相对地设置的弹簧容纳件之间，并且所述压力调节弹簧在从所述阀座松开所述阀芯的方向上向所述阀芯施加弹簧力；阀杆，该阀杆具有开启和关闭排放孔的端面(tip face)，所述排放孔形成在所述定位器上并使所述压力调节腔和所述弹簧腔互相连通，所述阀杆向阀芯施加所述压力调节弹簧的弹簧力并构成阀组件；和动态吸振装置，该动态吸振装置与所述定位器连接并设置在所述弹簧腔内，所述动态吸振装置在所述膜片与所述阀杆分离时抑制所述膜片组件的振动，并在所述阀组件与膜片组件一起运动以开启和关闭所述阀座以调节副侧口的压力时抑制所述膜片组件和所述阀组件的振动。

[0019] 在根据本发明的压力调节器中，所述动态吸振装置包括：环状阻尼器，该环状阻尼器安装在从所述定位器向所述弹簧容纳件凸出设置的支撑杆部的末端；环状质量体，该环状质量体设置在所述环状阻尼器上；和弹簧件，该弹簧件安装在所述膜片和所述环状质量体之间。在根据本发明的压力调节器中，所述定位器具有盘状部，所述支撑杆部设置在该盘状部上并且该盘状部与所述膜片接触，所述动态吸振装置定位并安装在位于所述压力调节弹簧的内的所述支撑杆的末端，所述压力调节弹簧安装在所述盘状部和所述弹簧容纳件之间。在本发明的压力调节器中，所述动态吸振装置的固有频率制造为不同于由膜片组件构成的膜片振动系统的固有频率，并且不同于由所述阀组件和所述膜片组件构成的复合振动系统的复合固有频率。

[0020] 根据本发明的压力调节器，所述阀杆的末端设置有密封件，该密封件通过可滑动地支撑所述阀杆的端部(tip portion)的贯通孔对所述副侧口与所述压力调节腔之间的连通进行密封。根据本发明的压力调节器，所述阀杆的端部设置有膜片，该膜片在开启和关闭所述排放孔的方向上可移动地支撑所述阀杆，并且该膜片对所述副侧口和所述压力调节腔之间的连通进行密封。根据本发明的压力调节器还包括压力平衡密封件，该压力平衡密封件在所述阀芯和导向孔之间形成密封，所述阀芯接合在所述导向孔中。根据本发明的压力调节器还包括压力平衡膜片，该压力平衡膜片在所述阀芯和导向孔之间形成密封，所述阀芯接合在所述导向孔中。

[0021] 发明效果

[0022] 根据本发明，在通过开启和关闭阀芯以调整供给副侧口的空气的压力的压力调整时间时，可以通过安装在膜片组件上的动态吸振装置防止阀组件和膜片组件的振动的发生。在通过排放孔将副侧口的压缩空气排放至外部的排放时间时，可以通过安装在膜片组件上的动态吸振装置防止膜片组件的振动的发生。因此，供给至副侧口的压缩空气的压力调节稳定性能够得以提高。

[0023] 由于阀组件和膜片组件的振动的发生能够得到抑制，因此能够减轻阀芯和膜片的劣化和磨损，并且能够改善压力调节器的耐久性。此外，同时还能够防止振动噪声的发生，并且还能够改善工作环境。

[0024] 由于通过动态吸振装置能够防止阀组件和膜片组件的同步发生的振动，并且也能够避免膜片组件的振动，因此能够通过一个动态吸振装置防止驱动压力调节器时的振动的发生。

[0025] 由于动态吸振装置合并在膜片组件的压力调节弹簧中，因此该动态吸振装置能够防止压力调节器的内部的空气流受到干扰。

附图说明

[0026] 图1为根据本发明的一种实施方式的压力调节器的剖视图；

[0027] 图2A为表示在压力调节时间的压力调节器的阀组件和膜片组件的剖视图，图2B为表示在排气时间的阀组件和膜片组件的剖视图；

[0028] 图3A为在压力调节时间的复合振动系统的振动模型，图3B为在排气时间的膜片振动系统的振动模型；并且

[0029] 图4为表示根据本发明的另一种实施方式压力调节器的剖视图。

具体实施方式

[0030] 以下将要根据附图详细描述本发明的实施方式。如图1所示，压力调节 器具有壳体11，该壳体11包括壳体主体12、安装在壳体主体12上的盖13和与盖13相对并且安装在壳体主体12上的阀盖(bonnet)14。如图1所示，与作为流体压力供给源的压缩空气供给源连通的主侧口15，和与作为例如气缸等流体压力操作装置的气动操作装置连通的副侧口16同轴地形成在壳体主体12上。在壳体主体12上沿正交于主侧口15和副侧口16的中心轴线的方向上，形成有使主侧口15和副侧口16互相连通的连通孔17。连通孔17具有与盖13相对的开口部，并且在壳体主体12上的连通孔17的开口部侧形成有阀座18。 [0031] 在盖13的内侧可轴向往复运动地(axially reciprocably)安装有阀芯21，驱动阀芯21使其处于接触并关闭阀座18的状态或是分离并开启阀座18的状态。阀芯21具有轴21a和法兰部21b，轴21a装配于并可滑动地安装于形成在盖13上的导向孔22中，法兰部21b与轴的顶部一体设置并与阀座18相对。法兰部21b的前表面设置有与阀座18接触的橡胶制密封件23。轴21a设置有压力平衡密封件24，该压力平衡密封件24与导向孔22的内圆周表面接触，并对阀芯21的轴21a和主侧口15以及副侧口16之间的连通进行密封。需要顺便指出的是，也可以使用这样一种压力调节器，以使得在阀芯21的轴21a上不设置密封件24。

[0032] 盖13具有圆筒形的连接部13a和导向圆筒部13b，连接部13a设置有公螺纹，该公螺纹可以旋入形成在壳体主体12上的母螺纹，导向圆筒部13b与盖13形成为一体并且在导向圆筒部13b上形成有导向孔22。在连接部13a和导向圆筒部13b之间的空间中装配有作为阀弹簧25使用的压缩螺旋弹簧。此阀弹簧25使得阀弹簧25的一个端面邻接于阀芯21的法兰部21b的外表面，另一个端面邻接于盖13的内表面，从而通过阀弹簧25将关闭阀座18方向上的弹簧力施加于阀芯。阀芯21和阀弹簧25构成阀组件26。 [0033] 由橡胶制成的压力调节膜片27以夹入壳体主体12并被旋入壳体主体12 的阀盖14夹紧的状态进行安装，并且在压力调节膜片27上连接有加强盘28。阀盖14内的弹簧腔
31和壳体主体12侧的压力调节腔32为通过压力调节膜片27划分的分区。壳体主体12上连接有由管件形成的抽吸装置33。抽吸装置33的一个端部朝向压力调节腔32开放，另一个端部朝向副侧口16开放，从而使压力调节腔32通过抽吸装置33的导向孔34与副侧口
16连通。弹簧腔31通过形成在阀盖14上的排出口(bleed port)35与外部连通，使弹簧腔
31成为大气压状态。

[0034] 定位器36通过加强盘28连接在压力调节膜片27的弹簧腔31侧。定位器36具有通过加强盘28触击(striking)压力调节膜片27的盘状部36a，以及与定位器36形成为一体并轴向突出的支撑杆部36b。围绕压力调节膜片27、加强盘28和定位器36的中心轴线形成有排放孔37，该排放孔37使压力调节腔32和弹簧腔31互相连通。膜片组件38由压力调节膜片27、加强盘28、定位器36和压力调节弹簧43形成。

[0035] 阀盖14具有与端壁部14a形成为一体的圆筒部14b，并且在圆筒部14b的开口端部形成有公螺纹，该公螺纹可以旋入形成在壳体主体12上的母螺纹，从而使阀盖14旋入壳体主体12。在端壁部14a内可旋转地安装有调节螺杆39，并且该调整螺杆39的公螺纹40旋入到在弹簧腔31的内部设置的弹簧容纳件42中。在弹簧容纳件42和固定在压力调节膜片27的定位器36的盘状部36a之间安装有作为压力调节弹簧43使用的压缩螺旋弹簧，并且在指向阀芯21和从阀座18释放阀芯21的方向上的弹簧力通过压力调节弹簧43施加到压力调节膜片27。为了调节弹簧力，将操作把手44连接到调节螺杆39上。当以通过操作把手44旋转调节螺杆39的方式使弹簧容纳件42轴向移动时，压力调节弹簧43的收缩量就会被调整。这样，施加于压力调节膜片27的弹簧力就会根据收缩量进行调节。操作把手44上连接有锁紧盖45，从而通过锁紧盖45操纵操作把手44，并且当轴向移动锁紧盖45时，操作把手44的转动得到限制。

[0036] 阀芯21上连接有例如由金属杆状件形成的阀杆46，并且阀杆46构成阀组件26的一部分。阀杆46的基端部固定在形成于阀芯21中的连通孔内，并通过形成在基端部上的固定部将阀杆46固定到阀芯21上。阀杆46的端部穿入形成在壳体主体12上的贯通孔47，并且其端面49为半球形。与贯通孔47的内表面可滑动地接触的O型圈48连接在阀杆46的端部，并且阀杆46的端部由壳体主体12支撑，以通过O型圈48在连通孔17和压力调节腔32之间形成密封。阀杆46能够与阀芯21一起轴向往复运动(axially reciprocable)。因此，当阀杆46的半球形端面49与压力调节膜片27接触时，排放孔37关闭，当压力调节膜片27与阀杆46分离时，排放孔37开启。

[0037] 当副侧口16的压力下降时，如图2A所示，由于与压力调节膜片32连通的抽吸装置33的导向孔34导致压力调节腔32中的压力降低，因此阀杆46的端面49阻塞排放孔37。在这种阻塞状态下，阀芯21通过压力调节弹簧43经压力调节膜片27和阀杆46在与阀座18分离的方向上受到驱动，使阀芯21变为开启。此时，阀芯21的开度根据压力调节腔32中的压力发生变化，并且副侧口16的压力调整至设定压力。因此，当副侧口16的压力低于通过压力调节弹簧43的弹簧力设定的压力时，压缩空气经由连通孔17从主侧口15向副侧口16流动，使供给至副侧口16的压缩空气的压力调整至设定值。

[0038] 同时，当供给至副侧口16的压缩空气的压力高于设定压力时，如图2B所示，阀芯21紧靠阀座18，并且阀芯21的轴向运动得到限制。在这种限制状态下，压力调节弹簧43因压力调节腔32中的压力而发生收缩，并且压力调节膜片27脱离阀杆46的端面49，从而使排放孔37开启并变为排放状态。因此，当副侧口16的压力高于通过压力调节弹簧43的弹簧力设定的压力时，供给至副侧口16的压缩空气通过排放孔37从压力调节腔32流入弹簧腔31，并从排出口35排出，使供给至副侧口16的压缩空气的压力调整至设定值。 例如，当供给至气动操作装置的压缩空气中的压力在设置有气动操作装置的气动回路中使用的压力的降低过程中降低时，副侧的压力会重新设定为更低。这样，副侧口16的压缩空气通过排放孔37排放至外部直至重新设定的设定压力。并且，当副侧的设定压力由于与例如气缸的推杆的动作方向相反的方向上的从外部作用的负载而升高时，为了使设定压力恒定，副侧口16中的压缩空气通过排放孔37排放至外部。

[0039] 压力调节器包括：阀组件26，该阀组件26由阀芯21、阀杆46和阀弹簧25构成；和膜片组件38，该膜片组件38由压力调节膜片27、加强盘28、定位器36和压力调节弹簧43构成，其中它们的组件根据流动路径内的压力状况进行振动。如果着眼于振动现象，阀组件26就会构成阀芯振动系统，膜片组件38就会构成膜片振动系统。由于在开启和关闭阀芯
21的压力调节时间时，阀组件26和膜片组件38相互同时被驱动，因此当由从主侧口15流入副侧口16的空气的脉动引起的频率接近由阀组件26和膜片组件38形成的复合振动系统的复合固有频率时，共振会引起振动噪声发生，并会引起压力调节的稳定性降低。 [0040] 同时，在副侧口16中的空气从排放孔37排放至外部的排放时间中，阀组件26的运动由于阀芯21在阀座18上的邻接而受到限制，并且膜片组件38转变为其从阀组件26分离的驱动状态。因此，当由通过排放孔37从副侧口16排放至外部的空气的脉动引起的频率接近由膜片组件38形成的膜片振动系统的固有频率时，共振会引起振动噪声发生，并会引起压力调节的稳定性降低。

[0041] 在定位器36的支撑杆部36b上安装有用于抑制上述相应的振动的动态吸振装置50。动态吸振装置50具有作为弹簧件的螺旋弹簧51，作为阻尼件的橡胶制环状阻尼器52，以及环状重量件，也就是环状质量体53。环状阻尼器52的一个端面固定在在支撑杆部36b的端部固定的连接板54上，环状 质量体53固定在其另外一个端面上。螺旋弹簧51安装在环状质量体53和定位器36的盘状部36a之间。

[0042] 通过使用安装在弹簧腔31上的压力调节弹簧43的内部的空间，使动态吸振装置50安放在空间内部并合并到定位器36中。定位器36的支撑杆部36b变为与压力调节膜片27的中心轴同轴，并且整体上为圆筒形的动态吸振装置50安装在支撑杆部36b的外侧。
因此，由于动态吸振装置50设置在支撑杆部36b的外侧，因此从支撑杆部36b的内部的排放孔37流入弹簧腔31的空气流不会受到动态吸振装置50的干扰。另外，由于动态吸振装置50安装为与支撑杆部36b的中心轴同轴，因此即使阀组件21和压力调节膜片27轴向转动，负载也不会施加在阀组件21和压力调节膜片27中任意一个的倾斜方向上。 [0043] 图3A为在压力调节时间的复合振动系统的振动模型，图3B为在排放时间的膜片振动系统的振动模型。需要指出的是，在图3A和图3B中，符号“m”表示环状质量体53的重量；“c”表示环状阻尼器52的阻尼系数；“k”表示螺旋弹簧51的弹簧常数；“K1”表示压力调节弹簧43的弹簧常数；“K2”表示阀弹簧25的弹簧常数；“M1”表示膜片组件38的重量；并且“M2”表示阀组件26的重量。

[0044] 如果假设膜片振动系统和阀组件振动系统相应的固有频率以及两个振动系统的复合固有频率为“Ω1”、“Ω2”和“Ωc”，那么动态吸振装置50的固有频率“ω”就会与固有频率Ω1不同，并且同时与固有频率Ωc不同。

[0045] 如图2A所示，在压力调整时间，阀组件26和膜片组件38会变为结合状态，并相互同步地移动。那么，当来自压缩空气的振动施加在阀组件26和膜片组件38上时，如图3A所示，就会变成复合振动系统的振动模式，在该复合振动系统中动态吸振装置50连接到包括固定在具有弹簧常数(K1+K2)的弹簧件上的质量体(M1+M2)的振动控制对象上。此时的复 合固有频率Ωc不同于动态吸振装置50的固有频率ω，所以阀组件26和膜片组件38的振动通过动态吸振装置50而更迅速地得到抑制。这可以防止阀芯21的开度过分脱离由压力调节腔32中的压力决定的预定开度，并能够以设定压力高度精确地稳定副侧口16中的压力。

[0046] 同时，如图2B所示，在排放时间，压力调节膜片27移动以从阀杆46分离。那么，当来自排放的压缩空气的振动施加于膜片组件38时，如图3B所示，就会变成膜片振动系统的振动模式，在该膜片振动系统中动态吸振装置50连接到包括固定在具有弹簧常数K1的弹簧件上的重量M1的振动控制对象上。此时的膜片振动系统的固有频率Ω1不同于动态吸振装置50的固有频率ω，所以膜片组件38的振动通过动态吸振装置50而更迅速地得到抑制。因此，来自膜片组件38的振动噪声便不会发生，并且副侧口16中的空气会排放至外部。

[0047] 因此，由于动态吸振装置50连接到压力调节器上的压力调节膜片27的弹簧腔31的内部，因此在压力调节时间，阀组件26连同膜片组件38的振动得到更加迅速地抑制，而不干扰阀座18和排放孔37的开启和闭合，膜片组件38的振动在排放时间抑制得更加迅速。这可以防止压力调节时间的阀芯21的共振现象发生，以及防止排放时间的压力调节膜片27的共振现象发生，并且能够高精度地设定供给至副侧口16的空气的压力。此外，由于各自的共振现象的发生得到避免，因此O型圈48的磨损和压力调节膜片27的劣化也得到抑制，并且压力调节器的耐久性能够得到提高。

[0048] 图4为表示根据本发明的另一种实施方式压力调节器的剖视图。在图1所示的压力调节器中，密封件24安装在阀芯21的轴21a上以可轴向滑动地支撑阀芯21，O型圈48连接到阀杆46的端部以可轴向滑动地支撑阀杆46。同时，在图4所示的压力调节器中，压力平衡膜片55设置在盖13的导向孔22上，盖13构成壳体11并且阀芯21合并在盖13中。通过此膜片55，阀 芯21支撑到壳体11上以在阀芯21的轴向方向上自由地前后移动。此外，阀杆46的端部设置有膜片56，该膜片56在排放孔37的开启/关闭方向上可移动地支撑阀杆46，并切断副侧口16和压力调节腔32之间的连通以进行密封。通过这种布置，阀芯
21和阀杆46无法在壳体11中滑动。因此，如图1所示，不需要将润滑油涂到导向孔22和密封件24之间以及贯通孔47和O型圈48之间，以确保阀芯21和阀杆46的性能，并且润滑油不会混入到在压力调节器中流动的压缩空气中。因此，图4所示的压力调节器还能够用于具有需要防止油混入到空气中的防油特性的气动操作装置。因此，即便在用于具有防油特性的气动操作装置的压力调节器中，由于动态吸振装置50连接到压力调节膜片27的弹簧腔31侧，此实施方式也具有与上述实施方式的效果相类似的效果。

[0049] 需要指出的是，在另一种实施方式中，盖13具有法兰状连接部13a和导向圆筒部13b，法兰状连接部13a通过例如螺栓等紧固件固定在壳体主体12上，导向圆筒部13b与盖
13一体并且在导向圆筒部13b中形成有导向孔22。阀弹簧25连接到阀芯21上的轴21a的端部并容纳在导向孔22中。

[0050] 此外，定位器36具有接触压力调节膜片27的盘状部36a和穿入压力调节膜片27的径向中心部的支撑杆部36b。在支撑杆部36b的轴线的中心周围形成有排放孔37，并且当阀杆46的半球状端面49与支撑杆部36b接触时，排放孔37阻塞，当支撑杆部36b脱离阀杆46时，排放孔37释放。压力调节弹簧43和螺旋弹簧51通过弹簧容纳件57，58安装在盘状部36a上，并且用于调整压力调节弹簧43压缩量的操作把手44为不具有锁紧盖45的类型。

[0051] 本发明并不限于上述实施方式，在不脱离其精神的范围内可以多种改变。例如，作为动态吸振装置50的安装在压力调节膜片27上的安装结构，质量体可以通过弹簧件和阻尼件可相对移动地安装到压力调节膜片27上， 当然，这种结构并不限于上述实施方式。 [0052] 工业实用性

[0053] 压力调节器将由压缩机提供的压缩空气中的压力调节至预定的设定压力，并在用于向例如气缸等气动操作装置中提供压力的气动回路中使用。