投影光刻物镜的精密调整装置

摘要

本发明的投影光刻物镜的精密调整装置包括一多螺距调整螺钉，所述多螺距调整螺钉包括一圆柱和一圆筒；所述圆筒套在所述圆柱上，所述圆柱比所述圆筒长；所述圆筒的外壁上设有外螺纹，所述圆筒的内壁上设有内螺纹；所述圆柱的外壁上设有外螺纹，所述圆柱外壁上的外螺纹与所述圆筒内壁上的内螺纹相匹配，转动所述圆柱，该圆柱在所述圆筒内旋转移动；所述圆筒外壁上的外螺纹的螺距大于所述圆柱外壁上的外螺纹的螺距。本发明的投影光刻物镜的精密调整装置具有多螺距，可以使用大螺距进行粗调，使用小螺距进行精调，调节速度快且精度高。

权利要求

1.一种投影光刻物镜的精密调整装置，其特征在于，包括一多螺距调整螺钉和一配套扳手，所述多螺距调整螺钉包括一圆柱和一圆筒； 所述圆筒套在所述圆柱上，所述圆柱比所述圆筒长；

所述圆筒的外壁上设有外螺纹，所述圆筒的内壁上设有内螺纹；

所述圆柱的外壁上设有外螺纹，所述圆柱外壁上的外螺纹与所述圆筒内壁上的内螺纹相匹配，转动所述圆柱，该圆柱在所述圆筒内旋转移动； 所述圆筒外壁上的外螺纹的螺距大于所述圆柱外壁上的外螺纹的螺距； 所述配套扳手包括一柱形内扳手和一筒形外扳手； 所述筒形外扳手套在所述柱形内扳手上，所述柱形内扳手比所述筒形外扳手长； 所述筒形外扳手与所述圆筒配合使用，转动该筒形外扳手带动所述圆筒旋转移动； 所述柱形内扳手与所述圆柱配合使用，转动该柱形内扳手带动所述圆柱旋转移动；

所述圆柱的一端设有槽，该槽沿所述多螺距调整螺钉的圆柱的轴线方向；沿所述圆柱的轴线方向设有一井，所述井的开口端与所述槽连通； 所述柱形内扳手的一端设有台阶，该台阶沿所述柱形内扳手的轴线方向，所述台阶与所述圆柱的槽相匹配；所述台阶的一端设有顶柱，该顶柱沿所述柱形内扳手的轴线方向，所述顶柱与所述圆柱的井相匹配；所述柱形内扳手的另一端设有端盖； 所述圆筒的一端至少设有一槽，该槽沿所述圆筒的轴线方向；

所述筒形外扳手的一端至少设有一台阶，该台阶沿所述筒形外扳手的轴线方向；所述筒形外扳手的台阶与所述圆筒的槽相匹配；所述筒形外扳手的另一端设有端盖；

所述投影光刻物镜包括镜座和镜片盒，所述镜座设有调整装置接口，所述多螺距调整螺钉安装在所述镜座的调整装置接口内，所述多螺距调整螺钉的圆柱顶在投影光刻物镜用于放置镜片的镜片盒的外表面上。

2.如权利要求1所述的投影光刻物镜的精密调整装置，其特征在于，所述多螺 距调整螺钉的圆柱的槽为“一”字形槽，所述多螺距调整螺钉的圆柱的井为圆井。

3.如权利要求1所述的投影光刻物镜的精密调整装置，其特征在于，所述柱形内扳手的台阶为“一”字台阶。

4.如权利要求1所述的投影光刻物镜的精密调整装置，其特征在于，所述多螺距调整螺钉的圆筒设有两个“一”字形槽，该两个“一”字形槽沿所述多螺距调整螺钉的圆筒的圆周对称。

5.如权利要求1所述的投影光刻物镜的精密调整装置，其特征在于，所述配套扳手的筒形外扳手的台阶设有两个“一”字台阶，该两个“一”字台阶沿所述筒形外扳手的圆周对称。

说明书

投影光刻物镜的精密调整装置

技术领域

[0001] 本发明涉及光刻机调整装置，尤其涉及一种投影光刻物镜的精密调整装置。

背景技术

[0002] 在大规模半导体集成电路的前端制造设备中，光刻机是最复杂、要求最高的设备，集光机电技术于一身，尤其是对机械系统的精密性与稳定性的要求几乎达到了极限。为了达到这样的要求，在光刻机的设计和生产过程中，需要重视很多方面的问题，尤其是各个透镜的空间相对位置的确定。

[0003] 当前，投影光刻物镜对镜片的空间相对位置要求非常高，现有的机械加工精度已经不能满足高精度的相对位置要求，因此，各个镜片的空间相对位置都是依靠调整机构来进行调节的。使用调整螺钉来调整零件的空间相对位置是一种常见的方法，现有技术的调整螺钉都是具有单一螺距的螺钉，当螺距大的时候调整精度不够，螺距小的时候调整速度慢。

发明内容

[0004] 本发明的目的在于提供一种投影光刻物镜的精密调整装置，具有多螺距，可以使用大螺距进行粗调，使用小螺距进行精调，调节速度快且精度高。

[0005] 为了达到上述的目的，本发明提供一种投影光刻物镜的精密调整装置，包括一多螺距调整螺钉，所述多螺距调整螺钉包括一圆柱和一圆筒；所述圆筒套在所述圆柱上，所述圆柱比所述圆筒长；所述圆筒的外壁上设有外螺纹，所述圆筒的内壁上设有内螺纹；所述圆柱的外壁上设有外螺纹，所述圆柱外壁上的外螺纹与所述圆筒内壁上的内螺纹相匹配，转动所述圆柱，该圆柱在所述圆筒内旋转移动；所述圆筒外壁上的外螺纹的螺距大于所述圆柱外壁上的外螺纹的螺距。

[0006] 上述投影光刻物镜的精密调整装置，其中，还包括一配套扳手，所述配套扳手包括一柱形内扳手和一筒形外扳手；所述筒形外扳手套在所述柱形内扳手上，所述柱形内扳手比所述筒形外扳手长；所述筒形外扳手与所述多螺距调整螺钉的圆筒配合使用，转动该筒形外扳手带动所述多螺距调整螺钉的圆筒旋转移动；所述柱形内扳手与所述多螺距调整螺钉的圆柱配合使用，转动该柱形内扳手带动所述多螺距调整螺钉的圆柱旋转移动。

[0007] 上述投影光刻物镜的精密调整装置，其中，所述多螺距调整螺钉的圆柱的一端设有槽，该槽沿所述多螺距调整螺钉的圆柱的轴线方向；沿所述多螺距调整螺钉的圆柱的轴线方向设有一井，所述井的开口端与所述槽连通。

[0008] 上述投影光刻物镜的精密调整装置，其中，所述多螺距调整螺钉的圆柱的槽为“一”字形槽，所述多螺距调整螺钉的圆柱的井为圆井。

[0009] 上述投影光刻物镜的精密调整装置，其中，所述配套扳手的柱形内扳手的一端设有台阶，该台阶沿所述柱形内扳手的轴线方向，所述台阶与所述多螺距调整螺钉的圆柱的槽相匹配；所述台阶的一端设有顶柱，该顶柱沿所述柱形内扳手的轴线方向，所述顶柱与所述多螺距调整螺钉的圆柱的井相匹配；所述柱形内扳手的另一端设有端盖。

[0010] 上述投影光刻物镜的精密调整装置，其中，所述柱形内扳手的台阶为“一”字台阶。

[0011] 上述投影光刻物镜的精密调整装置，其中，所述多螺距调整螺钉的圆筒的一端至少设有一槽，该槽沿所述多螺距调整螺钉的圆筒的轴线方向。

[0012] 上述投影光刻物镜的精密调整装置，其中，所述多螺距调整螺钉的圆筒设有两个“一”字形槽，该两个“一”字形槽沿所述多螺距调整螺钉的圆筒的圆周对称。

[0013] 上述投影光刻物镜的精密调整装置，其中，所述配套扳手的筒形外扳手的一端至少设有一台阶，该台阶沿所述筒形外扳手的轴线方向；所述筒形外扳手的台阶与所述多螺距调整螺钉的圆筒的槽相匹配；所述筒形外扳手的另一端设有端盖。

[0014] 上述投影光刻物镜的精密调整装置，其中，所述配套扳手的筒形外扳手的台阶设有两个“一”字台阶，该两个“一”字台阶沿所述筒形外扳手的圆周对称。

[0015] 本发明投影光刻物镜的精密调整装置具有多个螺距，即多螺距调整螺钉的圆筒外螺纹的螺距和多螺距调整螺钉的圆柱外螺纹的螺距，多螺距调整螺钉的圆筒外螺纹的螺距大于多螺距调整螺钉的圆柱外螺纹的螺距，利用多螺距调整螺钉的圆筒的外螺纹对镜片进行粗调节，速度快，利用多螺距调整螺钉的圆柱的外螺纹对镜片进行精调节，精度高；

[0016] 本发明投影光刻物镜的精密调整装置为多螺距调整螺钉专门设计一配套扳手，使操作更加简便、快捷。

附图说明

[0017] 本发明的投影光刻物镜的精密调整装置由以下的实施例及附图给出。

[0018] 图1是本发明中多螺距调整螺钉的剖视图；

[0019] 图2是本发明中多螺距调整螺钉的俯视图；

[0020] 图3是本发明中配套扳手的剖视图；

[0021] 图4是本发明中配套扳手的俯视图；

[0022] 图5是本发明投影光刻物镜的精密调整装置使用时的示意图。

具体实施方式

[0023] 以下将结合图1～图5对本发明的投影光刻物镜的精密调整装置作进一步的详细描述。

[0024] 参见图1～图4，本发明的投影光刻物镜的精密调整装置包括一多螺距调整螺钉和一配套扳手。

[0025] 如图1和图2所示，所述多螺距调整螺钉包括一圆柱11和一圆筒12；

[0026] 所述圆筒12套在所述圆柱11上，所述圆柱11比所述圆筒12略长，所述圆柱11的两端分别从所述圆筒12的两端伸出；

[0027] 所述圆筒12的外壁上设有外螺纹122，所述圆筒12的内壁上设有内螺纹(图中未示)；

[0028] 所述圆柱11的外壁上设有外螺纹113，所述圆柱11外壁上的外螺纹113与所述圆筒12内壁上的内螺纹相匹配，所述圆柱11可相对所述圆筒12旋转移动；

[0029] 所述圆筒12外壁上的外螺纹122的螺距大于所述圆筒12内壁上的内螺纹的螺距；

[0030] 所述圆柱11的一端设有“一”字形槽111，该“一”字形槽111沿所述圆柱11的轴线方向，沿所述圆柱11的轴线方向设有一圆井112，所述圆井112的开口端与所述“一”字形槽111连通；

[0031] 所述圆筒12的一端设有两个“一”字形槽121，所述两个“一”字形槽121沿所述圆筒12的轴线方向，且对称分布在圆周上。

[0032] 如图3和图4所示，所述配套扳手包括一柱形内扳手21和一筒形外扳手22；

[0033] 所述筒形外扳手22套在所述柱形内扳手21上，所述柱形内扳手21比所述筒形外扳手22长，所述柱形内扳手21的两端分别从所述筒形外扳手22的两端伸出；

[0034] 所述柱形内扳手21的一端设有“一”字台阶211，该“一”字台阶211沿所述柱形内扳手21的轴线方向，所述“一”字台阶211与所述多螺距调整螺钉的圆柱11的“一”字形槽111相匹配，该“一”字台阶211可插入所述多螺距调整螺钉的圆柱11的“一”字形槽111内；

[0035] 所述“一”字台阶211的一端设有顶柱212，该顶柱212沿所述柱形内扳手21的轴线方向，所述顶柱212与所述多螺距调整螺钉的圆柱11的圆井112相匹配，该顶柱212可插入所述多螺距调整螺钉的圆柱11的圆井内；

[0036] 所述柱形内扳手21的另一端设有端盖213；

[0037] 所述筒形外扳手22的一端设有两个“一”字台阶221，所述两个“一”字台阶221沿所述筒形外扳手22的轴线方向，且对称分布在圆周上；

[0038] 所述“一”字台阶221与所述多螺距调整螺钉的圆筒12的“一”字形槽121相匹配，该字台阶221可插入所述多螺距调整螺钉的圆筒12的“一”字形槽121内；

[0039] 所述筒形外扳手22的另一端设有端盖222；

[0040] 所述柱形内扳手21可相对所述圆筒22转动和滑动。

[0041] 参见图5，详细说明本发明投影光刻物镜的精密调整装置的使用方法：

[0042] 投影光刻物镜的镜座31设有调整装置接口，所述多螺距调整螺钉安装在所述镜座31的调整装置接口内，所述多螺距调整螺钉的圆柱11顶在投影光刻物镜用于放置镜片的镜片盒32的外表面上；将所述配套扳手的顶柱212插入所述多螺距调整螺钉的圆柱11的圆井112内，所述配套扳手的柱形内扳手21的“一”字台阶211插入所述多螺距调整螺钉的圆柱11的“一”字形槽111内，推动所述配套扳手的筒形外扳手22，使所述配套扳手的筒形外扳手22相对所述柱形内扳手21滑动，使所述配套扳手的筒形外扳手22的“一”字台阶221插入所述多螺距调整螺钉的圆筒12的“一”字形槽121内；同时转动所述配套扳手的柱形内扳手21和筒形外扳手22(所述柱形内扳手21与所述筒形外扳手22相对静止)，对所述投影光刻物镜的镜片进行粗调节，在所述配套扳手力矩作用下，所述多螺距调整螺钉相对所述镜座31的调整装置接口转动(所述圆柱11与所述圆筒12相对静止)，所述多螺距调整螺钉的圆柱11推动所述镜片盒32移动(移动的最小间距等于所述多螺距调整螺钉的圆筒12外螺纹122的螺距)；转动所述配套扳手的柱形内扳手21，对所述投影光刻物镜的镜片进行精调节，在所述配套扳手的柱形内扳手21力矩作用下，所述多螺距调整螺钉的圆柱11相对所述多螺距调整螺钉的圆筒12转动(此时所述多螺距调整螺钉的圆筒12相对所述镜座31的调整装置接口静止)，所述多螺距调整螺钉的圆柱11推动所述镜片盒32移动(移动的最小间距等于所述多螺距调整螺钉的圆柱11外螺纹113的螺距)；通常在所述镜片盒32与所述镜座31之间设置三个所述多螺距调整螺钉(图5只显示其中一个)，依靠这三个多螺距调整螺钉可对镜片的空间相对位置进行快速、高精度调节。

[0043] 本发明投影光刻物镜的精密调整装置具有多个螺距，即多螺距调整螺钉的圆筒外螺纹的螺距和多螺距调整螺钉的圆柱外螺纹的螺距，多螺距调整螺钉的圆筒外螺纹的螺距大于多螺距调整螺钉的圆柱外螺纹的螺距，利用多螺距调整螺钉的圆筒的外螺纹对镜片进行粗调节，速度快，利用多螺距调整螺钉的圆柱的外螺纹对镜片进行精调节，精度高。

[0044] 本发明投影光刻物镜的精密调整装置为多螺距调整螺钉专门设计一配套扳手，使操作更加简便、快捷。