一种具有破片检测的晶圆输送设备

摘要

一种具有破片检测的晶圆输送设备，用于检测自晶圆承载装置输出的晶圆，而该晶圆输送设备包括了一组用于搬运晶圆的汲取装置、至少一组用于运送晶圆的晶圆输送装置、多个破片检测器及一组晶圆移转装置，其中该破片检测器设置于该输送带两侧下方，用以能够检测被搬运于该输送带上的晶圆，并判断晶圆是否有破裂的情况发生，而后再经由该晶圆移转装置的晶圆汲取器汲取该晶圆输送装置上检测后的晶圆，并藉由进行横向或是纵向移动，以将该晶圆转移分配于该晶圆移转装置的多组输出轨道上。

权利要求

1.一种具有破片检测的晶圆输送设备，用于检测自晶圆承载装置输出的晶圆，该具有破片检测的晶圆输送设备包括：一组于该晶圆承载装置及晶圆输送设备位置之间移动的汲取装置，用于搬运晶圆；

至少一组晶圆输送装置，包含有一输送带及一驱动机构，该驱动机构能够驱动该输送带，以使该晶圆能够于该输送带上被搬运；

多个破片检测器，设置于该输送带两侧下方，用以检测被搬运于该输送带上的晶圆，该破片检测器上具有至少一个光接受端及至少一个光发射端，该光发射端用以照射该晶圆表面，并反射回该光接受端接收，以判断晶圆是否有破裂的情况发生；以及一组晶圆移转装置，设置于该输送带另一端，该晶圆移转装置包含至少一个晶圆汲取器、至少一组横向移动轨道、至少一组纵向移动轨道及多组输出轨道，其中该晶圆汲取器能够移动于该横向移动轨道及该纵向移动轨道上，因此当该晶圆汲取器汲取该晶圆输送装置上的晶圆时，能够进行横向或是纵向移动，以将该晶圆转移分配于该多组输出轨道上。

2.如权利要求1所述具有破片检测的晶圆输送设备，其特征在于，该晶圆承载装置为能够承载晶圆的晶圆片匣或晶圆片盒。

3.一种具有破片检测的晶圆输送设备，用于检测自晶圆承载装置输出的晶圆，该具有破片检测的晶圆输送设备包括：一组于该晶圆承载装置及晶圆输送设备位置之间移动的汲取装置，用于搬运晶圆；

多个破片排除装置，包含有一输送带、一驱动机构、一连接于输送带下方的汽缸，其中该汽缸能透过该驱动机构改变该输送带的位置状态；

多组晶圆输送装置，包含有一输送带及一驱动机构，其中该输送带与该破片排除装置的输送带一端相连接，故该驱动机构能够驱动该输送带，以使该晶圆能够于该输送带上被搬运；

多个设置于该输送带两侧下方的破片检测器，该破片检测器上具有至少一个光接受端及至少一个光发射端，该光发射端用以照射该晶圆表面，并反射回该光接受端接收，以判断晶圆是否有破裂的情况发生；以及一组晶圆移转装置，设置于该破片排除装置的输送带另一端，而该晶圆移转装置包含至少一个晶圆汲取器、至少一组横向移动轨道、至少一组纵向移动轨道及多组输出轨道，其中该晶圆汲取器能够被搬运于该横向移动轨道及该纵向移动轨道上，因此当该晶圆汲取器汲取该晶圆输送装置上的晶圆时，能够进行横向或是纵向移动，以将该晶圆转移分配于该多组输出轨道上。

4.如权利要求3所述具有破片检测的晶圆输送设备，其特征在于，该破片排除装置的输送带上设置至少一个感测器，用以驱动该汽缸进行伸缩改变该输送带为水平状态或是下摆状态。

5.如权利要求3所述具有破片检测的晶圆输送设备，其特征在于，该晶圆承载装置为能够承载晶圆的晶圆片匣或晶圆片盒。

6.如权利要求3所述具有破片检测的晶圆输送设备，其特征在于，该破片排除装置的输送带下方能够添加设置一废料容器，用以容置晶圆表面具有破裂的晶圆片。

说明书

一种具有破片检测的晶圆输送设备

技术领域

[0001] 本发明关于一种具有破片检测的晶圆输送设备，尤其是一种用于晶圆承载装置间的晶圆输送设备，而该晶圆输送设备更能够将其搬运的晶圆进行破片检测以及破片排除。

背景技术

[0002] 太阳能电池目前主要材质主要为硅以及如砷化镓(GaAs)、碲化镉(CdTe)、锗...等元素或化合物，以提高将太阳能转为电能或热能的转换效率。基于不同的应用考量会采用不同的元素或化合物，例如：民生消费性产品通常是利用非晶硅太阳能电池板；太空中使用的是砷化镓太阳电池；若是用在沙漠、海洋等以发电为目的等大型电源则使用多晶硅太阳电池。

[0003] 此外，应用于民生消费性产品的太阳能电池板，也会因为不同的电子产品，而输出不同大小的电压。同时，也会测量太阳能电池板的电性功能、基板正背面的缺陷、瑕疵、破片程度等。

[0004] 在形成太阳能电池前一般称之为太阳能晶圆，太阳能晶圆片会进行相关测试与分类，无论是机台间的搬移或因出货需求，都会将太阳能晶圆迭层置放，而目前常见的晶圆承载装置主要有两种不同设计，一种为晶圆片匣(Gassette)，具有顶部、底部及左右侧壁，并且在两侧壁上形成有多个凸缘，而晶圆则从上述顶部、底部及左右侧壁所共同围绕出的侧向出入口进出，而另一种晶圆承载装置为晶圆片盒(magaz ine)，是一种上方形成有一个顶端汲放口的承载装置。

[0005] 由于两种晶圆承载装置所移载晶圆的方式有很大差异，属于两种不同承载装置，因此在实际使用者的设厂过程中，往往会取其所需而自行组合运用，而同种或是两种晶圆承载装置之间的移动变换也是频繁出现的，但因晶圆在运送的过程中，很容易因为碰撞而产生轻微的结构瑕疵，即使以肉眼检视也无法轻易发现问题的所在，但待完成所有制造处理流程时，将会因晶圆表面破裂的情况，而导致实际电路受到不定程度受损的影响；

[0006] 因此，若是能够于自动化检测过程中或是不同承载装置之间设置特定需求的破片检测，并分阶段性排除表面有破裂情况的晶圆，如此将能够有效地避免多余的制程与制程后的检测项目，以节省更多的制造成本与人力成本，应为一最佳解决方案。

发明内容

[0007] 本发明的目的在于提供一种具有破片检测的晶圆输送设备，其操作简便，能够于承载装置输入、输出的搬运过程中进行破片检测，以排除有破裂情况的晶圆。

[0008] 为达成上述发明目的，本发明公开了一种具有破片检测的晶圆输送设备，用于检测自晶圆承载装置输出的晶圆，该具有破片检测的晶圆输送设备包括：

[0009] 一组于该晶圆承载装置及晶圆输送设备位置之间移动的汲取装置，用于搬运晶圆；

[0010] 至少一组晶圆输送装置，包含有一输送带及一驱动机构，该驱动机构能够驱动该输送带，以使该晶圆能够于该输送带上被搬运；

[0011] 多个破片检测器，设置于该输送带两侧下方，用以检测被搬运于该输送带上的晶圆，并判断晶圆是否有破裂的情况发生；以及

[0012] 一组晶圆移转装置，设置于该输送带另一端，该晶圆移转装置包含至少一个晶圆汲取器、至少一组横向移动轨道、至少一组纵向移动轨道及多组输出轨道，其中该晶圆汲取器能够移动于该横向移动轨道及该纵向移动轨道上，因此当该晶圆汲取器汲取该晶圆输送装置上的晶圆时，能够进行横向或是纵向移动，以将该晶圆转移分配于该多组输出轨道上。

[0013] 其中，该破片检测器上具有至少一个光接受端及至少一个光发射端，该光发射端用以照射该晶圆表面，并反射回该光接受端接收，以判断晶圆是否有破裂的情况发生。

[0014] 其中，该晶圆承载装置为能够承载晶圆的晶圆片匣或晶圆片盒。

[0015] 还公开了一种具有破片检测的晶圆输送设备，用于检测自晶圆承载装置输出的晶圆，该具有破片检测的晶圆输送设备包括：

[0016] 一组于该晶圆承载装置及晶圆输送设备位置之间移动的汲取装置，用于搬运晶圆；

[0017] 多个破片排除装置，包含有一输送带、一驱动机构、一连接于输送带下方的汽缸，其中该汽缸能透过该驱动机构改变该输送带的位置状态；

[0018] 多组晶圆输送装置，包含有一输送带及一驱动机构，其中该输送带与该破片排除装置的输送带一端相连接，故该驱动机构能够驱动该输送带，以使该晶圆能够于该输送带上被搬运；

[0019] 多个设置于该输送带两侧下方的破片检测器；以及

[0020] 一组晶圆移转装置，设置于该破片排除装置的输送带另一端，而该晶圆移转装置包含至少一个晶圆汲取器、至少一组横向移动轨道、至少一组纵向移动轨道及多组输出轨道，其中该晶圆汲取器能够被搬运于该横向移动轨道及该纵向移动轨道上，因此当该晶圆汲取器汲取该晶圆输送装置上的晶圆时，能够进行横向或是纵向移动，以将该晶圆转移分配于该多组输出轨道上。

[0021] 其中，该破片排除装置的输送带上设置至少一个感测器，用以驱动该汽缸进行伸缩改变该输送带为水平状态或是下摆状态。

[0022] 其中，该破片检测器上具有至少一个光接受端及至少一个光发射端，该光发射端用以照射该晶圆表面，并反射回该光接受端接收，以判断晶圆是否有破裂的情况发生。

[0023] 其中，该晶圆承载装置为能够承载晶圆的晶圆片匣或晶圆片盒。

[0024] 其中，该破片排除装置的输送带下方能够添加设置一废料容器，用以容置晶圆表面具有破裂的晶圆片。

[0025] 通过上述结构，本发明实现了以下技术效果：

[0026] 1.本发明能够于不同承载装置之间进行破片检测，因此能够于承载装置输入、输出的搬运过程进行破片检测，以排除有破裂情况的晶圆。

[0027] 2.本发明能够将能够有效地避免多余的制程与制程后的检测项目，以节省更多的制造成本与人力成本。

附图说明

[0028] 图1：为本发明一种具有破片检测的晶圆输送设备的第一实施架构示意图；

[0029] 图2：为本发明一种具有破片检测的晶圆输送设备的破片检测立体示意图；

[0030] 图3：为本发明一种具有破片检测的晶圆输送设备的破片检测侧视图；

[0031] 图4：为本发明一种具有破片检测的晶圆输送设备的第二实施架构示意图及；

[0032] 图5：为本发明一种具有破片检测的晶圆输送设备的破片排除立体示意图；

[0033] 图6A：为本发明一种具有破片检测的晶圆输送设备的破片排除实施例图；以及[0034] 图6B：为本发明一种具有破片检测的晶圆输送设备的破片排除实施例图。

具体实施方式

[0035] 有关于本发明的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。

[0036] 请参阅图1、图2及图3，为本发明一种具有破片检测的晶圆输送设备的第一实施架构示意图、破片检测立体示意图及破片检测侧视图，而该晶圆输送设备用于检测自晶圆承载装置1输出的晶圆3，由图中可知，该具有破片检测的晶圆输送设备包含：

[0037] 一组汲取装置21，移动于该晶圆承载装置1及晶圆输送设备位置之间，该汲取装置21用于搬运晶圆3；

[0038] 至少一组晶圆输送装置22，包含有一输送带221及一驱动机构222，该驱动机构222能够驱动该输送带221，以使该晶圆3能够于该输送带221上被搬运；

[0039] 多个破片检测器23，设置于该输送带221两侧下方，用以检测被搬运于该输送带221上的晶圆3，并判断晶圆3是否有破裂的情况发生；

[0040] 一组晶圆移转装置24，设置于该输送带221另一端，该晶圆移转装置24包含至少一个晶圆汲取器241、至少一组横向移动轨道242、至少一组纵向移动轨道243及多组输出轨道244，其中该晶圆汲取器241能够移动于该横向移动轨道242及该纵向移动轨道243上；

[0041] 因此，当汲取装置21将一晶圆3搬运于该晶圆输送装置22的输送带221上时，该晶圆输送装置22的驱动机构222能够驱动该输送带221移动，以将该晶圆3于该输送带221上被搬运移动，同时当该晶圆3移动至该破片检测器23的区域时，该破片检测器23会判断该晶圆3是否有破裂的情况发生；最后，该晶圆移转装置24的晶圆汲取器241会汲取该晶圆输送装置22上的晶圆3，而该晶圆汲取器241能够透过该横向移动轨道242及纵向移动轨道243来进行横向或是纵向移动，并再将该晶圆转移分配于该多组输出轨道244上，以进行后续的制程处理。

[0042] 值得一提的是，如图3所示，该破片检测器23上具有至少一个光接受端231及至少一个光发射端232，该光发射端232用以照射该晶圆3表面，并反射回该光接受端231接收，以判断晶圆3是否有破裂的情况发生。

[0043] 值得一提的是，该晶圆承载装置1为晶圆片匣、晶圆片盒等等能够承载晶圆的容器。

[0044] 请参阅图2、图3、图4、图5、图6A及图6B，为本发明一种具有破片检测的晶圆输送设备的破片检测立体示意图、破片检测侧视图、第二实施架构示意图及破片排除实施例图，而该晶圆输送设备用于检测自晶圆承载装置1输出的晶圆3，由图中可知，该具有破片检测的晶圆输送设备包含：

[0045] 一组汲取装置21，移动于该晶圆承载装置1及晶圆输送设备位置之间，该汲取装置21用于搬运晶圆3；

[0046] 多个破片排除装置25，包含有一输送带251、一驱动机构252、一连接于输送带251下方的汽缸253，其中该汽缸253能透过该驱动机构252改变该输送带251的位置状态；

[0047] 多组晶圆输送装置22，包含有一输送带221及一驱动机构222，其中该晶圆输送装置22的输送带221与该破片排除装置25的输送带251一端相连接，故该驱动机构222能够驱动该输送带221，以使该晶圆3能够于该输送带221上被搬运；

[0048] 多个破片检测器23，设置于该输送带两侧下方，因此该破片检测器23所设置的位置能够位于该晶圆输送装置22的输送带221两侧下方或是该破片排除装置25的输送带251两侧下方；本实施中将破片检测器23设置于该晶圆输送装置22的输送带221两侧下方；

[0049] 一组晶圆移转装置24，设置于该破片排除装置25的输送带251另一端，而该晶圆移转装置24包含至少一个晶圆汲取器241、至少一组横向移动轨道242、至少一组纵向移动轨道243及多组输出轨道244，其中该晶圆汲取器241能够被搬运于该横向移动轨道242及该纵向移动轨道243上；

[0050] 因此，当汲取装置21将一晶圆3搬运于该晶圆输送装置22的输送带221上时，该晶圆输送装置22的驱动机构222能够驱动该输送带221移动，以将该晶圆3于该输送带221上被搬运移动，同时当该晶圆3移动至该破片检测器23的区域时，该破片检测器23会判断该晶圆3是否有破裂的情况发生，而当有破裂的晶圆3通过该破片排除装置25时(如图6A及图6B所示)，该破片排除装置25的汽缸253能透过该驱动机构252向内收缩，并导致与该汽缸253连接的输送带251呈现下摆状态，因此该输送带251所搬运的晶圆3会直接被排除；

[0051] 若该破片检测器23判断该晶圆3是正常时，该晶圆3能够正常通过该破片排除装置25，并再由该晶圆移转装置24的晶圆汲取器241汲取该晶圆3，而该晶圆汲取器241能够透过该横向移动轨道242及纵向移动轨道243来进行横向或是纵向移动，并再将该晶圆转移分配于该多组输出轨道244上，以进行后续的制程处理。

[0052] 值得一提的是，该破片排除装置25的输送带251上设置至少一个感测器254，用以驱动该汽缸253进行伸缩改变该输送带251为水平状态或是下摆状态。

[0053] 值得一提的是，如图3所示，该破片检测器23上具有至少一个光接受端231及至少一个光发射端232，该光发射端232用以照射该晶圆3表面，并反射回该光接受端231接收，以判断晶圆3是否有破裂的情况发生。

[0054] 值得一提的是，该晶圆承载装置1为晶圆片匣、晶圆片盒等等能够承载晶圆的容器。

[0055] 值得一提的是，该破片排除装置25的输送带251下方能够添加设置一废料容器(图中未示)，用以容置晶圆表面具有破裂的晶圆片。

[0056] 本发明所提供的一种具有破片检测的晶圆输送设备，与其他习用技术相互比较时，更具备下列优点：

[0057] 1.本发明能够于不同承载装置之间进行破片检测，因此能够于承载装置输入、输出的搬运过程进行破片检测，以排除有破裂情况的晶圆。

[0058] 2.本发明能够将能够有效地避免多余的制程与制程后的检测项目，以节省更多的制造成本与人力成本。

[0059] 藉由以上较佳具体实施例的详述，希望能更加清楚描述本发明的特征与精神，而并非以上述所揭露的较佳具体实施例来对本发明的范畴加以限制。相反地，其目的是希望能涵盖各种改变及具相等性的安排于本发明所欲申请的专利范围的范畴内。