氯硅烷冷凝储存器

摘要

本发明涉及一种氯硅烷冷凝储存器，包括冷凝器和氯硅烷贮存罐，冷凝器具有热媒入口、冷媒入口、冷媒出口、不凝气出口和凝结液自流口，冷凝器下部与氯硅烷贮存罐密封连接，氯硅烷贮存罐具有液位计接口，液位计接口固定连接有液位计，氯硅烷贮存罐底部还具有凝结液出口，凝结液出口固定连接有氯硅烷液体到达高位时自动打开并且氯硅烷液体下降至低位时自动关闭的闸阀。本发明氯硅烷冷凝储存器，将冷凝器与氯硅烷贮存罐结合，保证了氯硅烷冷凝储存器的连续工作，与此同时，含有氯硅烷的尾气不会进入运输储罐。与传统的冷凝贮存设备相比，既减少了冷凝器的数量又省略了冷凝器与贮存罐二者之间连接的管道与仪表，减少了设备的安全隐患。

权利要求

1.一种氯硅烷冷凝储存器，包括冷凝器(1)和氯硅烷贮存罐(2)，冷凝器(1)具有热媒入口(1-1)、冷媒入口(1-2)、冷媒出口(1-3)、不凝气出口(1-4)和凝结液自流口(1-5)，其特征在于：所述的冷凝器(1)下部与氯硅烷贮存罐(2)密封连接，氯硅烷贮存罐(2)具有液位计接口，所述的液位计接口固定连接有液位计(3)，氯硅烷贮存罐(2)底部还具有凝结液出口(2-1)，所述的凝结液出口(2-1)固定连接有氯硅烷液体到达高位时自动打开并且氯硅烷液体下降至低位时自动关闭的闸阀(4)。

2.如权利要求1所述的氯硅烷冷凝储存器，其特征在于：所述的氯硅烷贮存罐(2)的内径略大于冷凝器(1)的外径，冷凝器(1)的下部固定内嵌于氯硅烷贮存罐(2)上部，所述的氯硅烷贮存罐(2)上部具有用于与冷凝器(1)连接的第一法兰(6)，冷凝器(1)下部具有用于与氯硅烷贮存罐(2)连接的第二法兰(7)，第一法兰(6)与第二法兰(7)通过螺栓固定连接。

3.如权利要求1所述的氯硅烷冷凝储存器，其特征在于：所述的液位计(3)和闸阀(4)均通过螺栓与氯硅烷贮存罐(2)固定连接。

4.如权利要求1所述的氯硅烷冷凝储存器，其特征在于：还具有将氯硅烷贮存罐(2)内的氯硅烷液体抽出的输送泵。

说明书

氯硅烷冷凝储存器

技术领域

[0001] 本发明涉及一种将多晶硅还原炉排出的尾气中氯硅烷回收的设备，特别是一种可以将氯硅烷气体冷凝并贮存的氯硅烷冷凝储存器。

背景技术

[0002] 在多晶硅还原炉尾气的处理装置中，冷凝器的功能仅仅只是在冷媒的作用下在冷凝器内部对热媒，即含有氯硅烷成份的尾气进行降温换热。由于使用这种处理装置要求冷凝器连续运行，在冷凝器内的凝结液无法外排转运。如果有凝结液，即氯硅烷液体产生，并且要求把氯硅烷液体储存，通常还需配备另外的冷凝器、专门的贮罐和相应的仪表及管道。这样不仅设备制造成本较高，而且配备相应的仪表和管道将增加设备的安全隐患。

发明内容

[0003] 本发明要解决的技术问题是：为了克服现有氯硅烷回收设备的不足，本发明提供一种将冷凝器与贮存罐一体化的氯硅烷冷凝储存器。

[0004] 本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种氯硅烷冷凝储存器，包括冷凝器和氯硅烷贮存罐，冷凝器具有热媒入口、冷媒入口、冷媒出口、不凝气出口和凝结液自流口，所述的冷凝器下部与氯硅烷贮存罐密封连接，氯硅烷贮存罐具有液位计接口，所述的液位计接口固定连接有液位计，氯硅烷贮存罐底部还具有凝结液出口，所述的凝结液出口固定连接有氯硅烷液体到达高位时自动打开并且氯硅烷液体下降至低位时自动关闭的闸阀。

[0005] 作为优选，所述的氯硅烷贮存罐的内径略大于冷凝器的外径，冷凝器的下部固定内嵌于氯硅烷贮存罐上部，所述的氯硅烷贮存罐上部具有用于与冷凝器连接的第一法兰，冷凝器下部具有用于与氯硅烷贮存罐连接的第二法兰，第一法兰与第二法兰通过螺栓固定连接。

[0006] 作为优选，所述的液位计和闸阀均通过螺栓与氯硅烷贮存罐固定连接。

[0007] 为了便于转运氯硅烷液体，还具有将氯硅烷贮存罐内的氯硅烷液体抽出的输送泵。

[0008] 本发明氯硅烷冷凝储存器，氯硅烷气体在冷凝器的作用下从气态转变成液态，液态的氯硅烷在重力的作用下自流到冷凝器底部的氯硅烷贮存罐中。冷凝器下部的氯硅烷贮存罐在安装液位计后发出干结点信号，可以随时得到液态的氯硅烷产量。通过电气控制系统控制，在氯硅烷贮存罐内的氯硅烷液体到达高位时，氯硅烷贮存罐底部的闸阀自动打开，并且在输送泵的作用下转运氯硅烷液体到氯硅烷运输储罐。在转运的过程中，当氯硅烷贮存罐的氯硅烷液体下降至液位低位时，输送泵与闸阀全部自动关闭，同时提供运输储罐的更换时间。在氯硅烷液体转运的过程中，氯硅烷贮存罐内始终保持一定体积的氯硅烷液体，含有氯硅烷的尾气无法外泄，空气也不能进入氯硅烷冷凝器。

[0009] 本发明的有益效果是，本发明氯硅烷冷凝储存器，将冷凝器与氯硅烷贮存罐结合，保证了氯硅烷冷凝储存器的连续工作，与此同时，氯硅烷贮存罐内始终保持一定体积的氯硅烷液体，含有氯硅烷的尾气不会进入运输储罐。与传统的冷凝贮存设备相比，既减少了冷凝器的数量又省略了冷凝器与贮存罐二者之间连接的管道与仪表，减少了设备的安全隐患。采用电气控制系统进行自动控制，控制更加精确，效率得到有效提高。

附图说明

[0010] 下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

[0011] 图1是现有冷凝器的结构示意图。

[0012] 图2是本发明氯硅烷冷凝储存器最优实施例的结构示意图。

[0013] 图中1、冷凝器，1-1、热媒入口，1-2、冷媒入口，1-3、冷媒出口，1-4、不凝气出口，1-5、凝结液自流口，2、氯硅烷贮存罐，2-1、凝结液出口，3、液位计，4、闸阀，5、冷凝器列管，
6、第一法兰，7、第二法兰。

具体实施方式

[0014] 现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

[0015] 如图1所示为现有冷凝器的结构示意图，具有热媒入口1-1、冷媒入口1-2、冷媒出口1-3、不凝气出口1-4和凝结液自流口1-5。本发明是将冷凝器与贮存罐一体化，如图2所示，本发明氯硅烷冷凝储存器最优实施例的结构示意图。一种氯硅烷冷凝储存器，包括冷凝器1和氯硅烷贮存罐2，冷凝器1具有热媒入口1-1、冷媒入口1-2、冷媒出口1-3、不凝气出口1-4和凝结液自流口1-5，冷凝器1下部与氯硅烷贮存罐2密封连接，氯硅烷贮存罐2的内径略小于冷凝器1的外径，冷凝器1的下部固定内嵌于氯硅烷贮存罐2上部，氯硅烷贮存罐2具有液位计接口，液位计接口固定连接有液位计3，氯硅烷贮存罐2底部还具有凝结液出口2-1，凝结液出口2-1固定连接有氯硅烷液体到达高位时自动打开并且氯硅烷液体下降至低位时自动关闭的气动阀门4。

[0016] 氯硅烷贮存罐2上部具有用于与冷凝器1连接的第一法兰6，冷凝器1下部具有用于与氯硅烷贮存罐2连接的第二法兰7，第一法兰6与第二法兰7通过螺栓固定连接，液位计3和气动阀门4均通过螺栓与氯硅烷贮存罐2固定连接。还具有将氯硅烷贮存罐2内的氯硅烷液体抽出的输送泵。

[0017] 还具有PLC可编程逻辑控制器，气动阀门4的开闭通过PLC可编程逻辑控制器自动控制，输送泵的起停通过PLC可编程逻辑控制器自动控制。

[0018] 多晶硅还原炉尾气通过冷凝器1的热媒入口1-1进入冷凝器1，低温冷媒通过冷媒入口1-2进入冷凝器1，两种物质通过冷凝器列管5进行热交换，降温后的不凝气体通过不凝气出口1-4排出冷凝器1，冷媒在压力的作用下由冷媒出口1-3流出冷凝器1，发生相变后的氯硅烷气体凝结成液体，液态的氯硅烷在重力的作用下自流到冷凝器1底部的氯硅烷贮存罐2中。冷凝器1下部的氯硅烷贮存罐2安装的液位计3发出干结点信号，可以随时得到液态的氯硅烷产量。在氯硅烷贮存罐2内的氯硅烷液体到达高位时，氯硅烷贮存罐2底部的气动阀门4自动打开，并且在输送泵的作用下转运氯硅烷液体到氯硅烷运输储罐。
在转运的过程中，当氯硅烷贮存罐2的氯硅烷液体下降至液位低位时，输送泵与气动阀门4全部自动关闭，同时提供运输储罐的更换时间。通过PLC可编程逻辑控制器设置液位低位，使氯硅烷贮存罐2在氯硅烷液体转运的过程中始终保持一定体积的氯硅烷液体，从而使含有氯硅烷的尾气无法外泄，空气也不能进入氯硅烷冷凝器。

[0019] 以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。