有机化合物蒸汽发生装置及有机薄膜制造装置

摘要

提供一种在发生槽内产生的有机化合物蒸汽不会倒流到将有机化合物向发生槽供给的内侧连接管中的技术。在具有配置有机材料的储存槽（31）、将有机材料加热而产生有机材料的蒸汽的发生槽（33）、和将储存槽（31）内的有机材料向发生槽（33）供给的输送装置（32）的有机薄膜制造装置（1）中，输送装置（32）设有：外侧连接管（37），将储存槽（31）的内部环境与发生槽（33）的内部环境气密地连接；气体导入口（42），将气体导入到配置在外侧连接管（37）的内部中而使有机材料从储存槽（31）内部移动到发生槽（33）内部的由石英构成的内侧连接管（38）的内部中。

权利要求

1.一种有机化合物蒸汽发生装置，具有

配置有机材料的储存槽、

将上述有机材料加热而产生上述有机材料的蒸汽的发生槽、和将上述储存槽内的上述有机材料供给到上述发生槽中的输送装置，所述有机化合物蒸汽发生装置中，

上述输送装置具有：

连接配管，将上述储存槽的内部环境与上述发生槽的内部环境气密地连接，使上述储存槽内的上述有机材料通过而移动到上述发生槽内；

气体导入口，形成于上述连接配管，若与供给气体的气体导入系统连接则将上述气体导入到上述连接配管内，在上述储存槽内，漏斗形状的漏斗状容器以上述漏斗形状的斜面朝上、连接于位于漏斗形状的中央的孔的管状的管状插入部朝下的方式插入到上述连接配管中，上述管状插入部的下端位于上述连接配管内，在上述斜面上配置上述有机材料的粉体，上述漏斗状容器内的上述有机材料从上述管状插入部的下端通过上述连接配管的内部而供给到上述发生槽中，上述气体导入口形成为，在上述连接配管内向上述管状插入部与上述连接配管之间供给上述气体，供给的上述气体通过上述管状插入部与上述连接配管之间的间隙而导入到上述发生槽中。

2.如权利要求1所述的有机化合物蒸汽发生装置，其特征在于，将在侧面上螺旋状地形成有下端开放的螺纹槽的计量棒以上述螺纹槽的下端位于上述管状插入部内的方式插通到上述漏斗状容器中，通过上述计量棒的旋转，使上述有机材料在上述螺纹槽内移动并落下而从上述管状插入部供给到上述输送装置内。

3.如权利要求1所述的有机化合物蒸汽发生装置，其特征在于，上述连接配管具有外侧连接管和内侧连接管；

上述内侧连接管配置于上述外侧连接管的内部，下端配置在上述发生槽内；

上述管状插入部插入在上述内侧连接管内，上述管状插入部的下端配置在上述内侧连接管内。

4.如权利要求3所述的有机化合物蒸汽发生装置，其特征在于，上述内侧连接管的热传导率比上述外侧连接管的热传导率低。

5.如权利要求3所述的有机化合物蒸汽发生装置，其特征在于，在上述外侧连接管处，设有冷却介质流通的冷却路径。

6.如权利要求3所述的有机化合物蒸汽发生装置，其特征在于，上述内侧连接管形成为，位于上述发生槽内的顶端部分为顶部缩窄形。

7.如权利要求3所述的有机化合物蒸汽发生装置，其特征在于，上述管状插入部的下端位于上述内侧连接管内，在上述管状插入部与上述内侧连接管之间形成有间隙；

上述气体从上述气体导入口导入到上述间隙中，被导入的上述气体从上述气体导入口朝向上述管状插入部的下端流动。

8.如权利要求3所述的有机化合物蒸汽发生装置，其特征在于，各上述漏斗状容器构成为能够相对于上述内侧连接管上下移动而从上述内侧连接管内插拔；

在上述储存槽与上述输送装置之间设有开闭阀，该开闭阀在将上述管状插入部从上述内侧连接管内拔除时能够将上述储存槽内部与上述输送装置内部切断。

9.如权利要求1所述的有机化合物蒸汽发生装置，其特征在于，在上述储存槽的内部设有：

液体供给容器，配置上述有机化合物的液体；

排出装置，将上述液体供给容器内的上述有机化合物供给到上述输送装置。

10.一种有机薄膜制造装置，其特征在于，具有：

成膜槽；

配置在上述成膜槽内的释放装置；

权利要求1至9的任一项所述的有机化合物蒸汽发生装置；

上述释放装置的内部和上述有机化合物蒸汽发生装置的内部经由切换上述有机化合物蒸汽的导通、切断的连接阀而连接；

从储存槽通过输送装置移动到发生槽中的有机材料在上述发生槽中被加热而产生有机材料气体，将产生的上述有机材料气体从上述释放装置释放到上述成膜槽内。

11.如权利要求10所述的有机薄膜制造装置，其特征在于，在上述连接阀使上述释放装置内部和上述发生槽内部成为切断状态时，上述连接阀将上述发生槽内部连接至使有机化合物蒸汽固着的固着装置。

说明书

有机化合物蒸汽发生装置及有机薄膜制造装置

技术领域

[0001] 本发明涉及用于制造有机EL的蒸发源和有机EL制造装置。

背景技术

[0002] 图3所示的以往的蒸汽发生装置130具有储存槽131、输送装置132、和发生槽133。

[0003] 在储存槽131的内部中，铅直地配置有漏斗形状的漏斗容器134。漏斗容器134具有倒圆锥形状的漏斗斜面129、和作为与漏斗形状的中央位置的孔连接的管的管状插入部128。管状插入部128向铅直下方延伸，从比管状插入部128的上端靠还上方的位置直到管状插入部128的内部，铅直地插通有计量棒135。

[0004] 在储存槽131的下方配置有发生槽133，输送装置132配置在储存槽131与发生槽133之间。

[0005] 输送装置132具有外侧连接管137，外侧连接管137的上端安装在储存槽131的底面上，下端安装在发生槽133的顶板上，储存槽131的内部与发生槽133的内部通过外侧连接管137连接。管状插入部128插入在外侧连接管137中。

[0006] 对漏斗容器134供给有机材料，使有机材料从形成在计量棒135上的螺纹槽的下端向下方落下，则通过漏斗容器134的管状插入部128内而落下到发生槽133的底面上，通过配置在发生槽133的底面上的发热体139将有机材料加热，产生有机材料蒸汽。

[0007] 该有机材料蒸汽被载体气体向发生槽133的外部供给，所述载体气体从连接于发生槽133的气体导入系统141导入到发生槽133内。

[0008] 在以往的蒸汽发生装置130中，存在发生槽133内产生的有机材料蒸汽倒流到管状插入部128内的问题。

[0009] 专利文献1 ：日本特开2006－307239号公报

[0010] 专利文献2 ：日本特开2003－226961号公报。

发明内容

[0011] 本发明是为了解决上述以往技术的不良状况而做出的，其目的是提供一种在发生槽内产生的有机化合物蒸汽不会向将有机化合物蒸汽向发生槽供给的连接配管倒流的装置。

[0012] 为了解决上述问题，本发明是一种有机化合物蒸汽发生装置，具有配置有机材料的储存槽、将上述有机材料加热而产生上述有机材料的蒸汽的发生槽、和将上述储存槽内的上述有机材料供给到上述发生槽中的输送装置，其中，上述输送装置具有：连接配管，将上述储存槽的内部环境与上述发生槽的内部环境气密地连接，使上述储存槽内的上述有机材料通过而移动到上述发生槽内；气体导入口，形成于上述连接配管，若连接于供给气体的气体导入系统，则将上述气体导入到上述连接配管内。

[0013] 此外，本发明是一种有机化合物蒸汽发生装置，构成为，在上述储存槽内，将漏斗形状的漏斗状容器以上述漏斗形状的斜面朝上、连接于位于漏斗形状的中央的孔的管状的管状插入部朝下的方式插入到上述连接配管，上述管状插入部的下端位于上述连接配管内，在上述斜面上配置上述有机材料的粉体，将上述漏斗状容器内的上述有机材料从上述管状插入部的下端通过上述连接配管的内部而供给到上述发生槽，上述气体导入口形成为，在上述连接配管内向上述管状插入部与上述连接配管之间供给上述气体，供给的上述气体通过上述管状插入部与上述连接配管之间的间隙而导入到上述发生槽中。

[0014] 本发明是一种有机化合物蒸汽发生装置，将在侧面以螺旋状形成有下端开放的螺纹槽的计量棒以上述螺纹槽的下端位于上述管状插入部内的方式插通到上述漏斗状容器中，通过上述计量棒的旋转，使上述有机材料在上述螺纹槽内移动并落下而从上述管状插入部供给到上述输送装置内。

[0015] 进而，本发明是一种有机化合物蒸汽发生装置，上述连接配管具有外侧连接管和内侧连接管；上述内侧连接管配置在上述外侧连接管的内部，下端配置在上述发生槽内，上述管状插入部插入在上述内侧连接管内，上述管状插入部的下端配置在上述内侧连接管内。

[0016] 进而，本发明是一种有机化合物蒸汽发生装置，上述内侧连接管的热传导率比上述外侧连接管的热传导率低。

[0017] 本发明是一种有机化合物蒸汽发生装置，在上述外侧连接管处，设有冷却介质流通的冷却路径。

[0018] 本发明是一种有机化合物蒸汽发生装置，上述内侧连接管的位于上述发生槽内的顶端部分形成为顶部缩窄形。

[0019] 本发明是一种有机化合物蒸汽发生装置，上述管状插入部的下端位于上述内侧连接管内，在上述管状插入部与上述内侧连接管之间形成有间隙，将上述气体从上述气体导入口导入到上述间隙，导入的上述气体从上述气体导入口朝向上述管状插入部的下端流动。

[0020] 本发明是一种有机化合物蒸汽发生装置，各上述漏斗状容器构成为能够相对于上述内侧连接管上下移动而从上述内侧连接管内插拔，在上述储存槽与上述输送装置之间，设有能够在将上述管状插入部从上述内侧连接管内拔除时将上述储存槽内部与上述输送装置内部切断的开闭阀。

[0021] 本发明是一种有机化合物蒸汽发生装置，在上述储存槽的内部设有：液体供给容器，配置有上述有机化合物的液体；排出装置，将上述液体供给容器内的上述有机化合物供给到上述输送装置中。

[0022] 此外，本发明是一种有机薄膜制造装置，具有：成膜槽；配置在上述成膜槽内的释放装置；上述有机化合物蒸汽发生装置，上述释放装置的内部和上述有机化合物蒸汽发生装置的内部经由切换上述有机化合物蒸汽的导通、切断的连接阀而连接，从上述储存槽通过上述输送装置而移动到上述发生槽中的有机材料在上述发生槽中被加热而产生有机材料气体，将产生的上述有机材料气体从上述释放装置释放到上述成膜槽内。

[0023] 进而，本发明是一种有机薄膜制造装置，上述连接阀为，在上述连接阀使上述释放装置内部和上述发生槽内部成为切断状态时，将上述发生槽内部连接到使有机化合物蒸汽固着的固着装置。

[0024] 根据本发明，有机化合物蒸汽不易侵入到向发生槽供给有机化合物的连接配管内。特别是，能够提供一种有机薄膜制造装置，对于内侧连接管，在发生槽内产生的有机化合物蒸汽不易侵入到内侧连接管内，此外即使内侧连接管的下部在发生槽内被加热，热也不易传导到内侧连接管的上端部。

附图说明

[0025] 图1是本发明的有机薄膜制造装置的剖视图。

[0026] 图2是本发明的蒸汽发生装置的剖视图。

[0027] 图3是以往的蒸汽发生装置的剖视图。

[0028] 标号说明

[0029] 1 有机薄膜制造装置

[0030] 5 基板

[0031] 10 成膜槽

[0032] 20 连接阀

[0033] 27 延长部分

[0034] 28 管状插入部

[0035] 29 漏斗斜面

[0036] 30 蒸汽发生装置

[0037] 31 储存槽

[0038] 32 输送装置

[0039] 33 发生槽

[0040] 34 漏斗容器

[0041] 35 计量棒

[0042] 36 间隙

[0043] 37 外侧连接管

[0044] 38 内侧连接管

[0045] 39 发热体

[0046] 41 气体导入系统

[0047] 42 气体导入口

[0048] 49 喷出口

[0049] 50 蒸汽释放装置

[0050] 51 释放口

[0051] 52 冷却路径

[0052] 53 温度控制、循环装置

[0053] 54、55 真空排气系统

[0054] 60 冷却阱

[0055] 61 冷却装置

[0056] 62 冷却板。

具体实施方式

[0057] 图1的标号1是本发明的一例的有机薄膜制造装置（蒸镀装置）。

[0058] 该有机薄膜制造装置1具有成膜槽10、蒸汽发生装置30、和蒸汽释放装置50。

[0059] 蒸汽释放装置50配置在成膜槽10的内部。蒸汽发生装置30与蒸汽释放装置50经由连接阀20连接，如果连接阀20成为导通状态，则在蒸汽发生装置30内生成的有机化合物的蒸汽被向蒸汽释放装置50供给。被供给到蒸汽释放装置50的有机化合物蒸汽从蒸汽释放装置50的多个释放口51被释放到成为真空环境的成膜槽10内。

[0060] 图2所示的蒸汽发生装置30是本发明的一例，具有储存槽31、输送装置32、和发生槽33。

[0061] 在储存槽31的内部中，铅直地配置有漏斗形状的漏斗容器34。漏斗容器34具有上端的漏斗开口部分为大径、随着向中央靠近而一边变为小径一边向下方倾斜的倒圆锥形状的漏斗斜面29；和在作为该漏斗斜面29的下端的漏斗形状的中央具有孔，上端连接于该孔的管的管状插入部28。图1、2的标号22表示配置在该漏斗容器34内的漏斗斜面29上的有机化合物的粉体。

[0062] 漏斗容器34的管状插入部28向铅直下方延伸，从比管状插入部28的上端靠上方位置将计量棒35铅直地插通到管状插入部28的内部。

[0063] 在计量棒35上，在其侧面上，从比管状插入部28的上端靠上方直到管状插入部28的内部形成有螺旋状的螺纹槽。

[0064] 计量棒35侧面的螺纹槽间的螺纹牙的顶与管状插入部28的内壁面接触、或隔开较小的间隙配置，计量棒35能够以其中心轴线为中心旋转。

[0065] 在螺纹槽之间的螺纹牙的顶与管状插入部28的内壁面之间存在间隙的情况下，该间隙比使用的有机化合物的粒子（粉体）的直径小，在漏斗容器34的管状插入部28内插通计量棒35而计量棒35静止的状态下，投入到漏斗容器34中的粉体状的有机化合物22不会落下到管状插入部28内而积存在漏斗斜面29上。

[0066] 在储存槽31的下方配置有输送装置32。在储存槽31的底面与输送装置32的上端之间配置有开闭阀25，储存槽31的内部与输送装置32的内部经由开闭阀25连接。

[0067] 发生槽33配置在输送装置32的下方，输送装置32的下端安装于发生槽33的顶板。

[0068] 输送装置32具有连接配管。

[0069] 该连接配管由外侧连接管37、和配置在外侧连接管37的内部的内侧连接管38构成，外侧连接管37的上端经由开闭阀25安装于储存槽31的底面。

[0070] 在储存槽31的底面与发生槽33的顶板的安装外侧连接管37的位置上分别形成有孔，孔位于外侧连接管37的内侧。在开闭阀25为开状态时，储存槽31的内部与发生槽33的内部通过孔和外侧连接管37连接。

[0071] 经由开闭阀25的储存槽31与外侧连接管37之间的连接、发生槽33与外侧连接管37之间的连接分别为气密，在开闭阀25为开状态时，如果将储存槽31内及发生槽33内真空排气，则能够使储存槽31内部、外侧连接管37内部和发生槽33内部成为真空环境。

[0072] 在开闭阀25成为开状态后，管状插入部28贯通开闭阀25，管状插入部28的上端位于储存槽31内，下端位于内侧连接管38内。

[0073] 如果使管状插入部28向上方的储存槽31内移动而从开闭阀25拔出，则能够使开闭阀25成为闭状态。

[0074] 在开闭阀25为闭状态时，能够在维持发生槽33内部的真空环境和输送装置32内部的真空环境的同时，向储存槽31的内部导入大气。

[0075] 内侧连接管38在外侧连接管37内部中为铅直，其上端朝向储存槽31侧而下端从发生槽33的顶板的孔插入到发生槽33内部。

[0076] 在该例中，在通常的装置运转状态下开闭阀25是开状态，管状插入部28的下部通过开闭阀25延伸到位于外侧连接管37内的内侧连接管38的内部，使管状插入部28的下端位于内侧连接管38内。另外，管状插入部28的下端也可以位于储存槽31内，在此情况下，只要将内侧连接管38的上端延伸到储存槽31的内部即可。

[0077] 使计量棒35的螺纹槽的大小比有机化合物的粒径（粉体的直径）大，有机化合物能够进入到螺纹槽内，有机化合物在比漏斗斜面29与管状插入部28连接的管状插入部28的上端位置还靠上的位置进入到螺纹槽内，如果使计量棒35旋转，则有机化合物在螺纹槽内向下方移动。

[0078] 螺纹槽在计量棒35的下端或中途结束，计量棒35在管状插入部28的中途位置结束。图2的标号27是管状插入部28中的位于比计量棒35靠下方的延长部分。

[0079] 在螺纹槽的下端的位置，螺纹槽没有被封闭，螺纹槽内的空间连接于管状插入部28内的空间，借助管状插入部28的延长部分27的下端具有的孔，将管状插入部28内部的空间连接到内侧连接管38内部的空间。

[0080] 在内侧连接管38的下端形成有喷出口49，该喷出口49以与发生槽33的底面具有间隙的高度位于发生槽33的内部中。喷出口49的边缘是圆形，其直径是0.5mm～3mm。在发生槽33的底面的面对喷出口49的位置上配置有发热体39，喷出口49与发热体39之间的间隙的高度是1mm～2mm。这里，使喷出口49的直径为0.5mm、间隙的高度为1mm。

[0081] 因而，在螺纹槽内移动到其下端位置的有机化合物从螺纹槽的下端在延长部分27内的空间中向下方落下。并且，从延长部分27进入到内侧连接管38内，通过内侧连接管38内，从喷出口49落下到位于发生槽33的底面上的发热体39上。有机化合物的落下量与计量棒35的旋转量成比例，能够使希望量落下。

[0082] 该发热体39预先被通电而升温到300℃以上400℃以下的温度。另外，发生槽33配置在反射器壳体内，使得发热体39产生的热不会辐射到反射器壳体的外侧。

[0083] 落下到发生槽33的底面上的有机化合物的粒子受来自发热体39的热传导、以及从侧壁照射的辐射热而被加热，升温到该有机化合物的蒸发温度以上而气化，在发生槽33内产生有机化合物蒸汽。

[0084] 在蒸汽发生装置30的外部配置有气体导入系统41。

[0085] 内侧连接管38在比管状插入部28的下端靠上方的位置具有与输送装置32的外部环境相接的部分，在该部分处形成有气体导入口42。

[0086] 在内侧连接管38与插通在其内部的管状插入部28的延长部分27之间形成有间隙36。内侧连接管38与延长部分27之间的间隙36在上端被封闭。

[0087] 气体导入口42连接在间隙36上，配置在比延长部分27的下端高的位置处。

[0088] 该气体导入口42连接于气体导入系统41，能够将气体导入系统41供给的气体导入到内侧连接管38的内部的间隙36内。

[0089] 发生槽33的内部能够通过具有连接阀20的配管43连接到蒸汽释放装置50。

[0090] 连接阀20构成为令发生槽33的内部与蒸汽释放装置50的内部连接或切断的某种。成膜槽10内部连接于真空排气系统55，在通过连接阀20将蒸汽释放装置50内部与发生槽33内部连接的状态下，如果通过真空排气系统55对成膜槽10内部进行真空排气，则经由蒸汽释放装置50和连接阀20对发生槽33的内部和储存槽31的内部进行真空排气。

[0091] 在此状态下，如果通过气体导入系统41从内侧连接管38的气体导入口42将由Ar等的惰性气体构成的载体气体导入到内侧连接管38内，则导入的载体气体通过内侧连接管38与延长部分27之间的间隙36，在延长部分27的下端被喷出到内侧连接管38的内部中，从内侧连接管38内部的延长部分27的下端位置朝向内侧连接管38下端的喷出口49流动。

[0092] 从螺纹槽下端位置落下的有机化合物粒子如果从延长部分27的下端落下到内侧连接管38内，则乘着载体气体流朝向喷出口49流动，不会附着于内侧连接管38的内壁面。

[0093] 载体气体和由载体气体运送的有机化合物的粒子从喷出口49朝向发热体39喷出，有机化合物的粒子在发热体39上方散乱。因而，在发热体39上，有机化合物粒子不会固定在一个部位，各粒子被均匀地加热，在短时间内有机化合物粒子气化而消失。

[0094] 发生槽33内生成的有机化合物蒸汽通过载体气体的流动而经由连接阀20移动到蒸汽释放装置50中，从蒸汽释放装置50的释放口51被释放到处于真空环境的成膜槽10内。

[0095] 在与蒸汽释放装置50的释放口51面对的位置上配置成膜对象物（基板5），从释放口51释放的有机化合物蒸汽达到成膜对象物（基板5）表面，形成有机化合物的薄膜。

[0096] 如果在发生槽33内产生的有机化合物蒸汽侵入到内侧连接管38内，则有机化合物蒸汽通过内侧连接管38内而达到螺纹槽的下端，有机化合物蒸汽使螺纹槽的下端附近的有机化合物熔融，使粒子彼此熔接。这样，螺纹槽的下端封闭。

[0097] 在本发明中，将有机化合物22供给到发生槽33内的内侧连接管38的下部变窄，位于其下端的喷出口49变得比内侧连接管38的上方小径，进而将载体气体导入到内侧连接管38内而从喷出口49吹出，所以在发生槽33内产生的有机化合物蒸汽不易侵入到内侧连接管38内。

[0098] 此外，向内侧连接管38内供给的载体气体在内侧连接管38内以成为粘性流的压力（10Pa以上150Pa以下的范围）的流量供给（作为一例，当内侧连接管38的下端的喷出口49为直径0.5mm时，如果以0.5～2SCCM供给，则成为上述粘性流的压力范围。），载体气体在内侧连接管38内，从比管状插入部28的下端靠上方位置朝向喷出口49形成流动。

[0099] 在有机化合物蒸汽从喷出口49的下端向内侧连接管38的内部侵入的情况下，通过内侧连接管38内的载体气体的粘性流将有机化合物蒸汽推回，使其从喷出口49回到发生槽33的内部中。

[0100] 通过成膜槽10的真空排气，使发生槽33内的压力成为1×10－5Pa以上1×10－2
Pa以下的压力，因而，内侧连接管38的内部的压力比内侧连接管38的外部的发生槽33内的环境的压力大。

[0101] 内侧连接管38的变窄的部分位于发生槽33内，被来自发生槽33的壁面的辐射热加热。

[0102] 在内侧连接管38内落下的有机化合物的粒子在内侧连接管38的变窄的部分的下端附近与内侧连接管38的壁面接触，如果附着在那里并熔融，则喷出口49堵塞。本发明由于载体气体以粘性流从喷出口49流出，所以熔融的有机化合物22被从喷出口49推出到发生槽33内，喷出口49不会堵塞。

[0103] 接着，内侧连接管38的外周侧面与外侧连接管37的内周侧面密接，在外侧连接管37中，设有液体流通的冷却路径52。这里，冷却路径52是金属制的配管，在金属制的外侧连接管37的外周侧面上一周或多周卷绕并焊接固定。

[0104] 冷却路径52连接于温度控制、循环装置53，从温度控制、循环装置53将冷却到室温左右的液态的冷却介质供给到冷却路径52，使外侧连接管37的温度下降，升温后的冷却介质回到温度控制、循环装置53。这样，在外侧连接管37处，被温度控制的冷却介质循环，使得不会升温为高温。

[0105] 因而，即使发生槽33的壁面升温，也不会将发生槽33的热传导给储存槽31。

[0106] 在外侧连接管37被冷却的情况下，与外侧连接管37接触的内侧连接管38被间接地冷却，使得即使有机化合物的粒子接触于内侧连接管38的内壁面上、有机化合物的粒子也不会熔融。

[0107] 此外，外侧连接管37由金属构成，相对于此，内侧连接管38由比金属热传导率低的陶瓷（这里是石英）形成。

[0108] 因而，即使内侧连接管38的下部在发生槽33内被加热，热也不易传导到内侧连接管38的上端部。

[0109] 在通过这样的有机薄膜制造装置1在基板5表面上形成薄膜的情况下，预先使连接在储存槽31上的真空排气系统54和连接在成膜槽10上的真空排气系统55动作，对储存槽31、输送装置32、发生槽33、和成膜槽10的内部进行真空排气，成为既定压力。此外，预先对发生槽33内的发热体39通电而使其升温。

[0110] 此外，有机薄膜制造装置1具有冷却阱60，当连接阀20将蒸汽发生装置30内部与蒸汽释放装置50内部之间切断时，通过配管44将蒸汽发生装置30内部连接于冷却阱60内部。

[0111] 在通过连接阀20将发生槽33内部连接于蒸汽释放装置50内部的状态下，一边通过气体导入系统41对内侧连接管38内供给载体气体，一边使既定量的有机化合物从储存槽31内落下到发热体39上，在发生槽33内产生有机化合物蒸汽。

[0112] 将产生的有机化合物的蒸汽通过连接阀20导入到蒸汽释放装置50中，从蒸汽释放装置50的释放口51释放到成膜槽10内。释放的有机化合物蒸汽到达与蒸汽释放装置50的释放口51对置配置的基板5的表面，形成有机薄膜。

[0113] 在基板5的表面形成上述有机薄膜后，如果将形成有有机薄膜的基板5从成膜槽10送出而将未成膜的基板送入，并以上述次序反复形成有机薄膜，则能够在多个基板上一层层地形成相同组成的有机薄膜。

[0114] 在该有机薄膜制造装置1中，漏斗容器34在储存槽31的内部配置有多台，计量棒35分别插通在各漏斗容器34的内部。

[0115] 在多个基板上形成多层的有机薄膜的情况下，首先，通过最初的漏斗容器34内的有机化合物22在基板上形成既定膜厚的有机薄膜，之后，通过连接阀20将发生槽33与蒸汽释放装置50的连接切断，将发生槽33连接至冷却阱60。

[0116] 在冷却阱60内，配置有被使冷却介质循环的冷却装置61冷却到35℃以下的温度的冷却板62，使侵入到冷却阱60内的有机化合物蒸汽固着在冷却板62上而排气，将有机化合物蒸汽从发生槽33内及配管内除去。

[0117] 在储存槽31中设有马达23，多个漏斗容器34构成为能够在维持储存槽31内及输送装置32内的真空环境的状态下与计量棒35一起沿上下方向移动。

[0118] 如果漏斗容器34内的有机化合物的粉体被消耗，则使漏斗容器34向上方移动并将管状插入部28的延长部分27从内侧连接管38拔出并将开闭阀25关闭，则将储存槽31的内部从输送装置32及发生槽33的内部切离。在维持输送装置32及发生槽33的内部的真空环境的状态下，将储存槽31向大气开放，能够将有机化合物的粉体配置到漏斗容器34内。

[0119] 另外，本发明的内侧连接管38并不限定于石英，也可以是陶瓷。

[0120] 此外，本发明的有机薄膜制造装置1在一个成膜槽10上分别经由连接阀20连接多个蒸汽发生装置30，将某一个蒸汽发生装置30的内部连接到成膜槽10而进行成膜，通过变更成为连接状态的连接阀20，能够使在各蒸汽发生装置30内生成的有机化合物蒸汽的薄膜层叠到一张基板表面上。

[0121] 如果这样对多个基板进行成膜，则能够在各基板上层叠希望的有机薄膜。

[0122] 另外，上述有机材料是粒子，但只要能够将希望的量在希望时供给到发生槽33中，也可以在储存槽31中配置液体状的有机材料、一边将气体导入到内侧连接管38内、一边将液体状的有机材料从储存槽31供给到发生槽33中。