组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩的方法

摘要

一种支撑装置及组装薄膜物理钛腔的线圈和护罩的方法，所述线圈的第一位置、第三位置和第五位置分别设置有线圈组装部，所述第一位置为电源的进线位置，所述第五位置为电源的出线位置，所述第三位置位于所述第一位置和第五位置之间；所述护罩上设置有护罩组装部，分别对应于所述线圈组装部，该方法包括如下步骤：将所述支撑装置放置于所述护罩内；将所述线圈定位于所述支撑装置的凹槽，并使所述线圈的线圈组装部与护罩的护罩组装部位于同一高度；在所述第一位置、第三位置和第五位置分别连接所述线圈组装部与护罩组装部。本发明在组装过程中，护罩上产生的颗粒少。

权利要求

1.一种组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩的方法，所述线圈的第一位置、第三位置和第五位置分别设置有线圈组装部，所述第一位置为电源的进线位置，所述第五位置为电源的出线位置，所述第三位置位于所述第一位置和第五位置之间；所述护罩上设置有护罩组装部，分别对应于所述线圈组装部，其特征在于，包括如下步骤：将支撑装置放置于所述护罩内，所述支撑装置包括支撑台，支撑台顶面设置有凹槽；

将所述线圈定位于所述支撑装置的凹槽，并使所述线圈的线圈组装部与护罩的护罩组装部位于同一高度；

在所述第一位置、第三位置和第五位置分别连接所述线圈组装部与护罩组装部。

2.如权利要求1所述的组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩的方法，其特征在于，还包括：

在所述第一位置、第三位置和第五位置分别连接所述线圈组装部与护罩组装部后，将所述支撑装置从所述护罩内取出。

3.如权利要求1所述的组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩的方法，其特征在于，在所述第一位置、第三位置和第五位置分别连接所述线圈组装部与护罩组装部包括：首先在第三位置连接所述线圈组装部和护罩组装部，最后在第一位置和第五位置分别连接线圈组装部与护罩组装部。

4.如权利要求1所述的组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩的方法，其特征在于，所述线圈还包括第二位置和第四位置，所述第二位置位于第一位置和第三位置之间，所述第四位置位于第三位置和第五位置之间，所述线圈的第二位置和第四位置还分别设置有线圈组装部，所述方法还包括分别在第二位置和第四位置连接所述线圈组装部和护罩组装部。

说明书

组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩的方法

技术领域

[0001] 本发明涉及薄膜物理钛腔的零部件的组装方法，尤其涉及薄膜物理钛腔的线圈与护罩的组装方法以及在该组装方法中用的支撑装置。

背景技术

[0002] 目前，薄膜物理钛腔（IMP Chamber）是用来在硅片上沉积薄膜的场所，该腔内包括线圈和护罩，线圈为钛材质，与护罩连接并由一进线和出线与电源箱连接。使用时，在薄膜物理钛腔内通入工业气体并由电源箱给线圈供电，在线圈产生的电场的作用下，工业气体被电离成离子体而轰击线圈，线圈的原子会失去电子而脱落，从而，溅射到硅片表面，同时，也会脱落在护罩表面，由于护罩具有表面粗糙度，从而，将薄膜物理钛腔内的颗粒吸附，增加薄膜物理钛腔内的清洁度。当使用一段时间后，护罩表面的吸附能力下降，需要下机清洗而增强护罩的吸附能力，护罩清洗后，将线圈组装于护罩，然后将护罩固定于薄膜物理钛腔内。

[0003] 目前，薄膜物理钛腔的线圈和护罩组装方式为：先让一操作者将线圈放在护罩内并用手托住，另外一操作者用螺丝穿过护罩的护罩组装部（例如：螺孔）和线圈的线圈组装部（例如：螺孔）将护罩和线圈锁紧固定。

[0004] 采用上述组装方式，会存在如下问题：

[0005] 1、需要两个人配合组装，浪费人力，而且工作效率低；

[0006] 2、一个操作者托住线圈，另外一操作者在用螺丝锁紧护罩和线圈时，由于线圈与护罩之间的距离很近，因此，两操作者配合组装会使得线圈与护罩之间会产生摩擦，这样，将导致护罩上产生颗粒，从而，使得护罩的使用寿 命变短，下机清洗次数增多。 发明内容

[0007] 本发明解决的是现有技术在组装薄膜物理钛腔的线圈和护罩时，线圈与护罩之间的摩擦而产生很多颗粒的问题。

[0008] 为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：

[0009] 一种支撑装置包括支撑台，该支撑台设置有在组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩时用以定位所述线圈的凹槽。

[0010] 所述支撑装置还包括支腿，支腿的一端与所述支撑台连接。

[0011] 所述支撑装置还包括底座，与所述支腿的另外一端连接，该底座与所述支撑台平行。

[0012] 所述支撑台为板状结构，包括基板以及连接在基板四周的翻板，所述翻板与基板折叠式连接。

[0013] 所述支撑台为圆台或棱台，其顶面设置有所述凹槽。

[0014] 所述凹槽的内圈直径比线圈直径小4毫米，凹槽的外圈直径比线圈直径大4毫米。 [0015] 一种组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩的方法，所述线圈的第一位置、第三位置和第五位置分别设置有线圈组装部，所述第一位置为电源的进线位置，所述第五位置为电源的出线位置，所述第三位置位于所述第一位置和第五位置之间；所述护罩上设置有护罩组装部，分别对应于所述线圈组装部，所述方法包括如下步骤：将所述支撑装置放置于所述护罩内；将所述线圈定位于所述支撑装置的凹槽，并使所述线圈的线圈组装部与护罩的护罩组装部位于同一高度；在所述第一位置、第三位置和第五位置分别连接所述线圈组装部与护罩组装部。

[0016] 还包括在所述第一位置、第三位置和第五位置分别连接所述线圈组装部与护罩组装部后，将所述支撑装置从所述护罩内取出。

[0017] 在所述第一位置、第三位置和第五位置分别连接所述线圈组装部与护罩组装部包括：首先在第三位置连接所述线圈组装部和护罩组装部，最后在第一位置和第五位置分别连接线圈组装部与护罩组装部。

[0018] 所述线圈的第二位置和第四位置还分别设置有线圈组装部，所述第二位置位于第一位置和第三位置之间，所述第四位置位于第三位置和第五位置之间，所述方法还包括分别在第二位置和第四位置连接所述线圈组装部和护罩组装部。

[0019] 与现有技术相比，上述技术方案的有益效果是：

[0020] 1、由于提供了支撑装置，这样，在组装线圈与护罩的时候，支撑装置用以定位线圈而减小线圈与护罩的摩擦，从而，护罩上产生的颗粒少。

[0021] 2、由于在组装时，先在第三位置连接所述线圈与护罩；最后在第一位置和第五位置连接所述线圈和护罩，这样，在紧接着的后续步骤组装线圈和护罩时，线圈其他的部位相对于护罩有较大的调整空间，线圈与护罩之间的摩擦减小，护罩与陶瓷件之间摩擦也会减小，从而，在组装过程中，护罩上产生的颗粒少。

[0022] 3、由于提供了支撑装置，如果线圈的线圈组装部没有对准护罩的护罩组装部，可以在支撑装置上调整线圈使得线圈的线圈组装部对准护罩的护罩组装部，所以，线圈与护罩之间不会因为频繁对准组装部而产生摩擦，护罩上不会因为摩擦而产生颗粒，同时，由于线圈的线圈组装部与护罩的护罩组装部对准，所以，用陶瓷件和螺丝连接线圈和护罩时，陶瓷件与护罩的摩擦也会减少，进一步减少护罩上颗粒的产生。

[0023] 4、在组装时，将线圈定位于支撑台的凹槽内，从而，不需要两操作者配 合组装线圈和护罩，节省了时间和人力，同时，不存在两个操作者配合的问题，会减少线圈与护罩的摩擦，避免护罩上产生颗粒。另外，凹槽不仅可以用于定位线圈，而且，还可以使得线圈与护罩之间具有一定的距离，可以转动线圈使得线圈相对于凹槽运动而使得线圈的线圈组装部和护罩的护罩组装部对准，线圈和护罩不会摩擦，护罩上不会产生颗粒。 [0024] 5、所述支撑台为板状结构，且可以折叠，这样，在组装完线圈和护罩之后，可以将支撑台折叠，支撑装置所占空间比护罩的空腔小很多，可以方便从护罩空腔内取出。 附图说明

[0025] 图1是本发明支撑装置的一个实施例结构示意图；

[0026] 图2是本发明支撑装置的另一个实施例结构示意图；

[0027] 图3是本发明实施例的组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩的方法流程图； [0028] 图4是线圈与护罩组装的结构示意图。

具体实施方式

[0029] 本发明实施例在薄膜物理钛腔的线圈与护罩的组装过程中，用支撑装置作为辅助来定位线圈，不仅可以避免薄膜物理钛腔组装过程中，需要两名操作者配合的问题，而且，可以减小薄膜物理钛腔的线圈与护罩之间的摩擦使得护罩上产生的颗粒少。 [0030] 请参阅图1，本实施例的支撑装置100包括支撑台1，支撑台1上设置有在组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩时用以定位线圈的凹槽11，支撑台1为圆形板状结构，包括基板12以及连接在基板12四周的翻板13，所述翻板13与基板12折叠式连接，比如，基板12与翻板13采用枢轴连接，也可以采用合页配合支撑件实现折叠式连接，这样，折叠后，支撑装置100所占的空间相 较于护罩的空腔小很多，可以方便支撑装置100从护罩的空腔内取出。所述每一翻板13内有一段凹槽11，该凹槽11的内圈直径比线圈直径小4毫米，凹槽
11的外圈直径比线圈直径大4毫米。

[0031] 图1所示的支撑装置100还包括支腿2，支腿2位于支撑台1的中心，支腿2一端与支撑台1连接，支腿2另外一端位于与支撑台1平行的平面内。所述支撑装置100还包括底座3，所述底座3与支腿2另外一端连接。

[0032] 在其他实施例中，支撑装置也可以不包括底座3和支腿2，例如，支撑装置可以为具有一定高度的圆台或者棱台，所述凹槽11设置在圆台或者棱台的顶面。 [0033] 请参阅图2，图2是另一种支撑装置300，该支撑装置300与支撑装置100相比，取消了底座3，而在支撑装置100的支撑台1上连接四根支腿4，此时，支腿4位于以支撑台1的中心为圆心，直径170毫米的圆内。当然，所述支腿4的数量也可以发生变化，比如两根、三根、五根等。

[0034] 支撑装置100主要用于支撑线圈，避免线圈与护罩摩擦而在护罩上产生颗粒，影响护罩寿命，所以，支撑装置100在本实施例中为硬质的实心塑料，不能选用铁质材料。 [0035] 请参阅图3和图4，下面以图1所示的支撑装置100为例，介绍本发明实施例的薄膜物理钛腔的线圈3与护罩4的组装方法，首先，对线圈3的组装位置进行定义：所述线圈包括第一位置31、第二位置32、第三位置33、第四位置34和第五位置35。所述线圈3的第一位置31、第二位置32、第三位置33、第四位置34和第五位置35分别设置有线圈组装部36，所述第一位置31为电源的进线位置，所述第五位置35为电源的出线位置，所述第三位置33位于所述第一位置31和第五位置35之间，第二位置32位于第一位置31和第三位置
33之间，第四位置34位于第三位置33和第五位置35之间。较佳 地，所述第三位置33位于所述第一位置31和第五位置35正中间，第二位置32位于第一位置31和第三位置33正中间，第四位置34位于第三位置33和第五位置35正中间。所述护罩4包括空腔41和贯穿空腔41侧壁的护罩组装部42，所述护罩组装部42分别对应于所述线圈的线圈组装部。
本发明的薄膜物理钛腔的线圈与护罩的组装方法包括如下步骤：

[0036] S1：将所述支撑装置100放置于所述护罩4内；

[0037] S2：将所述线圈3定位于所述支撑装置100的凹槽11，并使所述线圈3的线圈组装部与护罩4的护罩组装部位于同一高度；

[0038] S3：在所述第一位置31、第三位置33和第五位置35分别连接所述线圈3的线圈组装部与护罩4的护罩组装部；

[0039] S4：将所述支撑装置100从所述护罩4内取出。

[0040] 下面以线圈直径250毫米、线圈组装部36和护罩组装部42是螺孔为例，结合附图对上述步骤进行详细说明。

[0041] 首先执行步骤S1，提供如图1所示的支撑装置100，将该支撑装置100放入护罩4的空腔41内，此时，所述支撑装置100的支撑台1的直径为300毫米，厚度为8毫米；所述凹槽11的深度为3毫米，宽度为8毫米（凹槽11的内圈直径为246毫米，凹槽的外圈直径为254毫米）；支腿2的高度为85毫米；所述底座3的厚度为5毫米。提供了支撑装置100后，不用另一操作者用手托住线圈3，这样，节省了人力成本。

[0042] 执行步骤S2，将所述线圈3定位于所述支撑装置100的凹槽11，并使所述线圈3的螺孔36与护罩4的螺孔42位于同一高度，线圈3的螺孔36与护罩4的螺孔42位于同一高度后，可以方便螺丝插入而实现线圈3与护罩4之间的组装。线圈3定位于支撑装置100的凹槽11后，能够减少线圈3与护罩4之间的摩擦，可以避免线圈3与护罩4摩擦而使得护罩4产生颗粒的情况。

[0043] 执行步骤S3，用连接件5在第一位置31、第三位置33和第五位置35连接线圈3和护罩4，当操作者正好将线圈3的螺孔36和护罩4的螺孔42对准或者偏差不大时，可以直接用连接件5将线圈3与护罩4在第一位置31、第三位置33和第五位置35进行连接。如果线圈3的螺孔36与护罩4的螺孔42偏差较大，此时，首先在第三位置33用连接件5连接所述线圈3与护罩4，并最后在第一位置31和第五位置35用另外的连接件5连接所述线圈和护罩，以使线圈3有较大的调整空间。连接件5包括第一连接件51和第二连接件52，第一连接件51包括支撑件511、第一端帽512、陶瓷件513和第二端帽514。第二连接件52包括螺丝套521、螺丝522和护盖523。

[0044] 首先，在第三位置33用连接件5连接所述线圈3与护罩4。需要指出的是，执行步骤S3之前，可以转动线圈3使得线圈3相对于凹槽11运动，从而，线圈3的螺孔36与护罩4的螺孔42对准，因为，线圈3被卡入支撑板13的凹槽11内而使得线圈3距离护罩4一定距离，所以，在转动线圈3时，线圈3不会与护罩4摩擦，这样，护罩4上不会产生颗粒，另外，首先在第三位置33连接线圈3和护罩4，可以使得在紧接着的组装步骤中，比如在第二位置或者第四位置连接线圈3和护罩4时，线圈3的其他部分有更大的调整空间，避免线圈
3与护罩4摩擦。组装时，将第一端帽512和第二端帽514分别套设于陶瓷件513的两端且陶瓷件513的一端穿出第二端帽514，将支撑件511穿过第一端帽512与陶瓷件513连接，接着，将陶瓷件513的另外一端穿过护罩4的螺孔42，然后，将螺丝522穿过螺丝套521、护罩4的螺孔42、第二端帽514、陶瓷件513、第一端帽512和支撑件511连接，从而，在第三位置33，线圈3和护罩4连接在一起，最后，将护盖523套设于螺丝522的螺丝帽上。在该步骤中，这里，由于借助支撑装置100使得线圈3的螺孔36与护罩4的螺孔42对准，所以，在用连接件5连接线圈3和护罩4时，陶瓷件513穿出第二端帽514的部分与护罩4的摩擦会减少很多，进而，护罩4 上不会因为陶瓷件513与护罩4的摩擦而产生颗粒。 [0045] 其次，在第二位置32用第二连接件连接线圈3和护罩4，在该步骤中，第二连接件的结构和组装第三位置33处的连接件5的结构一样，组装线圈3和护罩4的方式也一样，在此不再赘述。

[0046] 接着，在第四位置34用第三连接件连接线圈3和护罩4。在该步骤中，第三连接件的结构和组装第三位置33处的连接件5的结构一样，组装线圈3和护罩4的方式也一样，在此不再赘述。

[0047] 最后，在第一位置31和第五位置35用锁紧件6连接所述线圈3和护罩4。在该步骤中，锁紧件6包括安装块61、垫片62、螺丝63以及第二连接件64。

[0048] 另外，也可以采用如下步骤组装线圈3和护罩4：

[0049] 首先，在第三位置33用连接件5连接所述线圈3与护罩4；然后，在第四位置34用另一连接件5连接所述线圈3与护罩4；接着，在第二位置32用另一连接件5连接线圈3与护罩4；最后，在第一位置31和第五位置35用锁紧件6连接所述线圈3和护罩4。 [0050] 线圈3与护罩4组装完成后，将支撑装置100的翻板13相对于基板12转动而折叠支撑板13后，支撑装置100所占的空间相较于护罩4的空腔42小很多，可以方便从护罩4的下端取出支撑装置100。

[0051] 本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定权利要求，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。