转印体及其制造方法

摘要

本发明提供一种转印体，其特征在于，转印有模具表面的微细图案，并且由含有通式(1)表示的重复结构单元且氟原子含有率为40～75质量％的含氟环状烯烃聚合物组成。

权利要求

1.一种转印体，其为转印有模具表面的微细图案的转印体，其特征在于，由含有通式(1)表示的重复结构单元且氟原子含有率为40～75质量％的含氟环状烯烃聚合物组成，

1 4

式(1)中，R ～R 中的至少1个为氟、含氟的碳原子数1～10的烷基、含氟的碳原子

1 4

数1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基；R ～R 是不含氟的基团时，

1 4

R ～R 选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、或碳原子数2～10的

1 4 1 4

烷氧基烷基；R ～R 可以相同也可以不同；R ～R 可以相互结合而形成环结构。

2.如权利要求1所述的转印体，其特征在于，在频率为1Hz、升温速度为3℃/分的拉伸模式固体粘弹性测定中，对于玻璃化转变温度以上的温度区域内的温度变化，所述含氟环状烯烃聚合物的储能模量或损耗模量具有在-1～0MPa/℃范围内变化的区域。

3.如权利要求2所述的转印体，其特征在于，所述含氟环状烯烃聚合物在玻璃化转变温度以上的温度区域内的储能模量或损耗模量的所述变化区域处于0.1MPa以上的储能模量区域或损耗模量区域内。

4.如权利要求1～3中任一项所述的转印体，其特征在于，所述含氟环状烯烃聚合物由所述通式(1)表示的重复结构单元[A]和通式(2)表示的重复结构单元[B]构成，其摩尔比为[A]/[B]＝95/5～25/75，并且氟原子含有率为40～75质量％，式(2)中，R5～R8中的至少1个为氟、含氟的碳原子数1～10的烷基、含氟的碳原子数1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基；R5～R8是不含氟的基团时，R5～R8选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、或碳原子数2～10的烷氧基烷基；R5～R8可以相同也可以不同；R5～R8可以相互结合而形成环结构；n表示1或

2的整数。

5.一种权利要求1～4中任一项所述的使用含氟环状烯烃聚合物的转印体的制造方法，其特征在于，通过使由所述含氟环状烯烃聚合物和有机溶剂组成的溶液与表面上形成有微细图案的模具进行接触，并使溶剂蒸发，从而转印模具的图案。

6.所述转印有模具的图案的权利要求1～4中任一项所述的转印体的制造方法，其特征在于，具有：在具有微细图案的模具表面上涂布由所述含氟环状烯烃聚合物和有机溶剂组成的溶液的工序、和使溶剂从所述溶液中蒸发的工序。

7.所述转印有模具的图案的权利要求1～4中任一项所述的转印体的制造方法，其特征在于，用模具的具有微细图案的面按压含有所述含氟环状烯烃聚合物的膜表面。

8.一种固化物的制造方法，其为使用权利要求1～4中任一项所述的转印体作为模具的固化物的制造方法，其特征在于，具有：使所述转印体的具有微细图案的面和光固化性单体组合物接触的工序、通过对所述光固化性单体组合物照射光而使其固化，得到固化物的工序、和使所述固化物从所述转印体脱模的工序。

9.一种转印用树脂组合物，其为用于获得转印有模具表面的微细图案的转印体的转印用树脂组合物，其特征在于，含有含氟环状烯烃聚合物，该含氟环状烯烃聚合物含有通式(1)表示的重复结构单元、且氟原子含有率为40～75质量％，

1 4

式(1)中，R ～R 中的至少1个为氟、含氟的碳原子数1～10的烷基、含氟的碳原子

1 4

数1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基；R ～R 是不含氟的基团时，

1 4

R ～R 选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、或碳原子数2～10的

1 4 1 4

烷氧基烷基；R ～R 可以相同也可以不同；R ～R 可以相互结合而形成环结构。

10.如权利要求9所述的转印用树脂组合物，其特征在于，对于玻璃化转变温度以上的温度区域内的温度变化，所述含氟环状烯烃聚合物的储能模量或损耗模量具有在-1～

0MPa/℃范围内变化的区域。

11.如权利要求10所述的转印用树脂组合物，其特征在于，所述含氟环状烯烃聚合物在玻璃化转变温度以上的温度区域内的储能模量或损耗模量的所述变化区域处于0.1MPa以上的储能模量区域或损耗模量区域内。

12.如权利要求9～11中任一项所述的转印用树脂组合物，其特征在于，所述含氟环状烯烃聚合物由所述通式(1)表示的重复结构单元[A]和通式(2)表示的重复结构单元[B]构成，其摩尔比为[A]/[B]＝95/5～25/75，并且氟原子含有率为40～75质量％，

5 8

式(2)中，R ～R 中的至少1个为氟、含氟的碳原子数1～10的烷基、含氟的碳原子数1～

5 8 5 8

10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基；R ～R 是不含氟的基团时，R ～R 选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、或碳原子数2～10的烷氧基烷基；

5 8 5 8

R ～R 可以相同也可以不同；R ～R 可以相互结合而形成环结构；n表示1或2的整数。

说明书

转印体及其制造方法

技术领域

[0001] 本发明涉及形成有微细图案的转印体、其制造方法。

背景技术

[0002] 具有微细图案的树脂成型体可用作光学元件(微透镜阵列、光波导、光开关、菲涅耳环板、二元光学元件、闪耀光学元件、光子晶体等)、抗反射滤光片、生物芯片、微反应器芯
片、记录介质、显示器材料、催化剂载体等。近年来，在要求设备达到小型化等的同时，也要
求其图案进一步微细化。作为这种表面上具有微细结构的树脂成型体的制造方法，已提出
了将具有微细图案的模具上的图案转印到树脂上从而制造形成有微细图案的转印体的方
法、即所谓的纳米压印法的方案(例如，专利文献1、专利文献2)。另外，在半导体制造工序
中，作为替代照相平版印刷法的方法，已提出了通过在硅基板上涂布抗蚀剂，并压合形成有
微细图案的模具，从而将微细图案转印到抗蚀剂上的纳米压印法(例如，专利文献3、专利
文献4)。

[0003] 但是，在上述任一纳米压印法中，均存在如下问题：在使模具脱离的工序中，模具不能平滑脱离，转印体上的微细图案的形状精度下降。因此，为了使模具平滑地脱离，已尝
试了在模具表面涂布脱模剂的方法。在这种情况下，存在由于脱模剂层的膜厚不均而导致
模具的图案精度下降的问题，另外还存在如下问题：随着模具的连续使用，脱模剂层变薄，
需要对模具重新涂布脱模剂，从而使生产率降低。

[0004] 为了解决这些问题，已提出了采用表面能不足约30dyn/cm的非粘附性材料作为模具材料的方法(专利文献5)。作为非粘附性的材料，可列举氟化乙烯丙烯共聚物、四氟乙
烯聚合物等氟聚合物，氟化硅氧烷聚合物，硅酮等。

[0005] 但是，专利文献5中记载的方法是在形成于基板上的光固化性或热固化性的薄膜上压印由非粘附性材料组成的模具或负片的图案的方法。即，使用模具 或负片作为平版印
刷工具。在专利文献5中，主要着眼于非粘附性材料作为脱模剂的作用。而且，使用硅酮的
模具的弹性模量低，难以正确地转印图案形状。

[0006] 另外，专利文献6中公开了由以下工序构成的在转印层上形成图案的方法：将由含有含氟聚合物的含氟量为35质量％以上的含氟聚合物的热塑性树脂组成的转印层和具
有所需图案的反转图案的模具进行压合，从而在该转印层上形成所需图案的工序；和使该
模具从该转印层上脱离的工序。据记载，该方法的转印层脱离性优异，可以形成微细的图
案。作为含氟聚合物，可例示聚四氟乙烯、1，1，1-三氟-2-三氟甲基戊烯-2-醇共聚物、全
氟环状醚聚合物(商品名Cytop(注册商标))、氯三氟乙烯和乙烯基醚的共聚物(商品名
Lumiflon(注册商标))等。

[0007] 但是，这些聚合物的含氟量在60质量％以下时，如果超过玻璃化转变温度，则弹性模量会急剧下降，另外，如果在压合成型后急速冷却，则由于已下降的弹性模量而使得收
缩率会变大，结果导致凸结构的深度、宽度、间隔的尺寸精度低，从而产生较大的尺寸偏差。
而且，对于即使含氟量为60质量％以上也表现出高熔点温度(Tm)的聚四氟乙烯之类的氟
系树脂，需要将成型温度设定得非常高，在加热、冷却的工序中弹性模量和收缩率之差进一
步扩大，从而使得凸结构的模具和成型物的尺寸产生显著的偏差。另外，必须在300℃以上
的加热温度下进行压合，该加热温度超过了很可能使氟系树脂分解而生成氟化氢气体的温
度即260℃，从而会产生模具及周边设备的腐蚀和环境污染等问题。

[0008] 对于如上所述提出的利用压合加热成型的压印法，为了得到大面积的转印体，需要在大面积上均匀施加高压力，从而需要大型加热压合成型机，因此在工业上可实施的转
印体面积有限，得到大面积转印体还存在很大的问题。

[0009] 现有技术文献

[0010] 专利文献

[0011] 专利文献1：日本特表2004-504718号公报

[0012] 专利文献2：日本特表2002-539604号公报

[0013] 专利文献3：日本特开2000-323461号公报

[0014] 专利文献4：日本特开2003-155365号公报

[0015] 专利文献5：日本特表2005-515617号公报

[0016] 专利文献6：日本特开2006-54300号公报

发明内容

[0017] 发明所要解决的问题

[0018] 本发明的目的在于提供一种通过使用特定的含氟环状烯烃聚合物，使在纳米压印转印体的制造工序的加热、冷却过程中的树脂的弹性模量和收缩率的变化达到最佳化，使
模具表面的微细图案以高尺寸精度进行转印而形成的表面上具有微细图案的转印体。本发
明的目的还在于提供一种能够以高尺寸精度高效地制造转印体且可通过简便的工序得到
大面积转印体的转印体的制造方法，进而提供一种通过将该转印体用作复制模具，从而制
造在光固化树脂表面上转印有微细图案的固化物的方法、能成型为本发明的转印体的转印
用树脂组合物。

[0019] 解决问题的手段

[0020] 本发明如以下所示。

[0021] [1]一种转印体，其为转印有模具表面的微细图案的转印体，其特征在于，由含有通式(1)表示的重复结构单元且氟原子含有率为40～75质量％的含氟环状烯烃聚合物组
成。

[0022] 化1

[0023]

[0024] (式(1)中，R1～R4中的至少1个为氟、含氟的碳原子数1～10的烷基、含氟的碳1 4
原子数1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基。R ～R 是不含氟的基
1 4
团时，R ～R 选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、或碳原子数2～
1 4 1 4
10的烷氧基烷基。R ～R 可以相同也可以不同。R ～R 可以相互结合而形成环结构。)

[0025] [2]如[1]中所述的转印体，其特征在于，在频率1Hz、升温速度3℃/分的拉伸模式固体粘弹性测定中，对于玻璃化转变温度以上的温度区域内的温度变 化，上述含氟环状
烯烃聚合物的储能模量或损耗模量具有在-1～0MPa/℃范围内变化的区域。

[0026] [3]如[2]中所述的转印体，其特征在于，上述含氟环状烯烃聚合物在玻璃化转变温度以上的温度区域内的储能模量或损耗模量的上述变化区域处于0.1MPa以上的储能模
量区域或损耗模量区域内。

[0027] [4]如[1]～[3]中任一项所述的转印体，其特征在于，上述含氟环状烯烃聚合物由上述通式(1)表示的重复结构单元[A]和通式(2)表示的重复结构单元[B]构成，其摩
尔比为[A]/[B]＝95/5～25/75，并且氟原子含有率为40～75质量％。

[0028] 化2

[0029]

[0030] (式(2)中，R5～R8中的至少1个为氟、含氟的碳原子数1～10的烷基、含氟的碳原子数1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基。R5～R8是不含氟的基
团时，R5～R8选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、或碳原子数2～
10的烷氧基烷基。R5～R8可以相同也可以不同。R5～R8可以相互结合而形成环结构。n
表示1或2的整数。)

[0031] [5]一种[1]～[4]中任一项所述的使用含氟环状烯烃聚合物的转印体的制造方法，其特征在于，通过使由上述含氟环状烯烃聚合物和有机溶剂组成的溶液与表面上形成
有微细图案的模具进行接触，并使溶剂蒸发，从而转印模具的图案。

[0032] [6]上述转印有模具的图案的[1]～[4]中任一项所述的转印体的制造方法，其特征在于，具有：

[0033] 在具有微细图案的模具表面上涂布由上述含氟环状烯烃聚合物和有机溶剂组成的溶液的工序、和

[0034] 使溶剂从上述溶液中蒸发的工序。

[0035] [7]上述转印有模具的图案的[1]～[4]中任一项所述的转印体的制造方法，其特征在于，用模具的具有微细图案的面按压含有上述含氟环状烯烃聚合物的膜表面。

[0036] [8]一种固化物的制造方法，其为使用[1]～[4]中任一项所述的转印体作为模具的固化物的制造方法，其特征在于，具有：

[0037] 使上述转印体的具有微细图案的面和光固化性单体组合物接触的工序、

[0038] 通过对上述光固化性单体组合物照射光而使其固化，得到固化物的工序、和

[0039] 使上述固化物从上述转印体脱模的工序。

[0040] [9]一种转印用树脂组合物，其为用于获得转印有模具表面的微细图案的转印体的转印用树脂组合物，其特征在于，含有含氟环状烯烃聚合物，该含氟环状烯烃聚合物含有
通式(1)表示的重复结构单元且氟原子含有率为40～75质量％。

[0041] 化3

[0042]

[0043] (式(1)中，R1～R4中的至少1个为氟、含氟的碳原子数1～10的烷基、含氟的碳1 4
原子数1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基。R ～R 是不含氟的基
1 4
团时，R ～R 选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、或碳原子数2～
1 4 1 4
10的烷氧基烷基。R ～R 可以相同也可以不同。R ～R 可以相互结合而形成环结构。)

[0044] [10]如[9]中所述的转印用树脂组合物，其特征在于，对于玻璃化转变温度以上的温度区域内的温度变化，上述含氟环状烯烃聚合物的储能模量或损耗模量具有在-1～
0MPa/℃范围内变化的区域。

[0045] [11]如[10]中所述的转印用树脂组合物，其特征在于，上述含氟环状烯烃聚合物在玻璃化转变温度以上的温度区域内的储能模量或损耗模量的上述变化区域处于0.1MPa
以上的储能模量区域或损耗模量区域内。

[0046] [12]如[9]～[11]中任一项所述的转印用树脂组合物，其特征在于，上述含氟环状烯烃聚合物由上述通式(1)表示的重复结构单元[A]和通式(2)表示的重复结构单元
[B]构成，其摩尔比为[A]/[B]＝95/5～25/75，并且氟原子含有率为40～75质量％。

[0047] 化4

[0048]

[0049] (式(2)中，R5～R8中的至少1个为氟、含氟的碳原子数1～10的烷基、含氟的碳原子数1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基。R5～R8是不含氟的基
团时，R5～R8选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、或碳原子数2～
10的烷氧基烷基。R5～R8可以相同也可以不同。R5～R8可以相互结合而形成环结构。n
表示1或2的整数。)

[0050] 在本发明中，微细图案是指具备凸部及凹部、凸部和/或凹部的宽度为10nm～50μm、凹部的深度为30nm～50μm、凸部的宽度和凹部的深度之比的纵横比为0.1～500
的结构。

[0051] 在本发明中，“使包含有机溶剂的溶液和形成有微细图案的模具表面接触”还包括如下任一情况：将包含有机溶剂的溶液涂布在形成有微细图案的模具表面的情况；在支持
体(基材)上涂布溶液后，用形成有微细图案的模具表面按压涂布层的上表面的情况。另
外，“使转印体的具有微细图案的面和光固化性单体组合物接触”的情况也一样。

[0052] 发明的效果

[0053] 根据本发明，由于使用了主链上具有烃结构、侧链上具有含氟脂肪族环结构的特定含氟环状烯烃聚合物，因此可以在分子间或分子内形成氢键，从而使纳米压印转印体的
制造工序的加热、冷却过程中的树脂的弹性模量和收缩率的变化达到最佳化。由此，可以形
成以高尺寸精度转印了模具表面的微细图案的、表面具有微细图案的转印体，并且可以通
过简便的工序得到大面积的转印体。该转印体的脱离性优异，生产效率也好，从而具有工业
价值。

附图说明

[0054] 图1表示在113℃～152℃的温度区域内具有平缓的储能模量或损耗模量变化区域的、实施例1中得到的含氟环状烯烃聚合物在拉伸模式下测定的固体粘弹性模量的变
化。

具体实施方式

[0055] 本发明的转印体转印有模具表面的微细图案，且由含有通式(1)表示的在重复结构单元内的主链上具有烃结构和侧链上具有含氟脂肪族环结构的重复结构单元、且氟原子
含有率为40～75质量％的含氟环状烯烃聚合物组成。

[0056] 化5

[0057]

[0058] (式(1)中，R1～R4中的至少1个为氟、含氟的碳原子数1～10的烷基、含氟的碳1 4
原子数1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基。R ～R 是不含氟的基
1 4
团时，R ～R 选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、或碳原子数2～
1 4 1 4
10的烷氧基烷基。R ～R 可以相同也可以不同。R ～R 可以相互结合而形成环结构。)

[0059] 更详细来说，通式(1)中的R1～R4可以例示：氟；或氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、三氟乙基、五氟乙基、七氟丙基、六氟异丙基、七氟异丙基、六氟-2-甲基异丙基、全氟-2-甲
基异丙基、全氟正丁基、全氟正戊基、全氟环戊基等烷基的一部分氢或全部氢被氟取代的烷
基等含氟的碳原子数1～10的烷基；氟甲氧基、二氟甲氧基、三氟甲氧基、三氟乙氧基、五氟
乙氧基、七氟丙氧基、 六氟异丙氧基、七氟异丙氧基、六氟-2-甲基异丙氧基、全氟-2-甲基
异丙氧基、全氟正丁氧基、全氟正戊氧基、全氟环戊氧基等烷氧基的一部分氢或全部氢被氟
取代的烷氧基等含氟的碳原子数1～10的烷氧基；氟甲氧基甲基、二氟甲氧基甲基、三氟甲
氧基甲基、三氟乙氧基甲基、五氟乙氧基甲基、七氟丙氧基甲基、六氟异丙氧基甲基、七氟异
丙氧基甲基、六氟-2-甲基异丙氧基甲基、全氟-2-甲基异丙氧基甲基、全氟正丁氧基甲基、
全氟正戊氧基甲基、全氟环戊氧基甲基等烷氧基的一部分氢或全部氢被氟取代的烷氧基烷
基等含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基。

[0060] 另外，R1～R4可以相互结合而形成环结构，也可以形成全氟环烷基、间隔氧的全氟环醚等环。

[0061] 另外，不含氟的其它R1～R4可以例示：氢；或甲基、乙基、丙基、异丙基、2-甲基异丙基、正丁基、正戊基、环戊基等碳原子数1～10的烷基；甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、
戊氧基等碳原子数1～10的烷氧基；甲氧基甲基、乙氧基甲基、丙氧基甲基、丁氧基甲基、戊
氧基甲基等碳原子数2～10的烷氧基烷基。

[0062] 本发明中，含氟环状烯烃聚合物可以仅由通式(1)表示的重复结构单元组成，也1 4
可以由通式(1)的R ～R 中至少一个相互不同的二种以上的结构单元组成。

[0063] 另外，本发明中，作为含有通式(1)表示的重复结构单元的含氟环状烯烃聚合物的具体例子，可以列举：聚(1-氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-氟-1-三氟
甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-1-氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，
1-二氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基
乙烯)、聚(1-全氟乙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙
烯)、聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚
环戊基乙烯)、聚(1-全氟丙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟丙基-3，5-亚
环戊基乙烯)、聚(1-丁基-2-全氟丙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-异丙基-3，
5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟-异丙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1，
2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2，2，3，3，3a，6a-八氟环戊基-4，6-亚环
戊基乙烯)、 聚(1，1，2，2，3，3，4，4，3a，7a-十氟环己基-5，7-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟
丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-异丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-叔丁
基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟-异丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁
基-2-全氟-异丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟乙基-3，
5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(1-三氟甲基-2，2，3，3，4，4，5，5-八氟-环戊基)-3，5-亚环戊基
乙烯)、聚((1，1，2-三氟-2-全氟丁基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲
基-2-全氟丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-氟-1-全氟乙基-2，2-二(三氟甲基))-3，
5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-全氟丙基-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚
(1-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚
(1-丁基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-己基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基
乙烯)、聚(1-辛基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟庚基-3，5-亚环戊基
乙烯)、聚(1-全氟辛基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟癸基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚
(1，1，2-三氟-全氟戊基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟丁
基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二
氟-1-三氟甲基-2-全氟戊基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二(全氟丁基)-3，5-亚环戊
基乙烯)、聚(1，2-二(全氟己基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲氧基-2-三氟甲基-3，
5-亚环戊基乙烯)、聚(1-叔丁氧基甲基-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，3，
3，3a，6a-六氟呋喃基-3，5-亚环戊基乙烯)。

[0064] 另外，本发明中，作为含有通式(1)表示的重复结构单元的含氟环状烯烃聚合物的具体例子，可以列举：聚(1-氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-氟-1-三氟
甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-1-氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，
1-二氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基
乙烯)、聚(1-全氟乙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙
烯)、聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚
环戊基乙烯)、聚(1-全氟丙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟丙基-3，5-亚
环戊基乙烯)、聚(1-丁基-2-全氟丙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-异丙基-3，
5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟-异丙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1，
2-二(三氟甲 基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2，2，3，3，3a，6a-八氟环戊基-4，6-亚环
戊基乙烯)、聚(1，1，2，2，3，3，4，4，3a，7a-十氟环己基-5，7-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-异丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-叔丁
基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟-异丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁
基-2-全氟-异丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟乙基-3，
5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(1-三氟甲基-2，2，3，3，4，4，5，5-八氟-环戊基)-3，5-亚环戊基
乙烯))、聚((1，1，2-三氟-2-全氟丁基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲
基-2-全氟丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-氟-1-全氟乙基-2，2-二(三氟甲基))-3，
5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-全氟丙基-2-三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚
(1-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚
(1-丁基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-己基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基
乙烯)、聚(1-辛基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟庚基-3，5-亚环戊基
乙烯)、聚(1-全氟辛基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟癸基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚
(1，1，2-三氟-全氟戊基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟丁
基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二
氟-1-三氟甲基-2-全氟戊基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二(全氟丁基)-3，5-亚
环戊基乙烯)、聚(1，2-二(全氟己基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲氧基-2-三氟甲
基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-叔丁氧基甲基-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，
1，3，3，3a，6a-六氟呋喃基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-氟-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基
乙烯)、聚(1-氟-1-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-1-氟-2-三氟甲氧
基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1-二氟-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二
氟-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟乙氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，
1-二(三氟甲氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊
基乙烯)、聚(1，2-二(三氟甲氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟丙氧基-3，5-亚环
戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟丙氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁基-2-全氟丙氧
基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-异丙氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全
氟-异丙氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1，2-二(三氟甲氧基)-3，5-亚环戊
基乙烯)、 聚(1-全氟丁氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-异丁氧基-3，5-亚环
戊基乙烯)、聚(1-全氟-叔丁氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟-异丁氧
基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁基-2-全氟-异丁氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，
2-二氟-1-三氟甲氧基-2-全氟乙氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚((1，1，2-三氟-2-全氟
丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲氧基-2-全氟丁氧基-3，5-亚环
戊基乙烯)、聚(1-氟-1-全氟乙氧基-2，2-二(三氟甲氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚
(1，2-二氟-1-全氟丙氧基-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟己氧基-3，
5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟己氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁基-2-全
氟己氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-己基-2-全氟己氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚
(1-辛基-2-全氟己氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟庚氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、
聚(1-全氟辛氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟癸氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚
(1，1，2-三氟-全氟戊氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲氧基-2-全氟
丁氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-2-全氟己氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚
(1，2-二氟-1-三氟甲氧基-2-全氟戊基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二(全氟丁氧
基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二(全氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲氧
基-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-叔丁氧基甲基-2-三氟甲氧基-3，5-亚
环戊基乙烯)、聚(1-(2’，2’，2’，-三氟乙氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(2’，2’，3’，
3’，3’-五氟丙氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧
基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁基-2-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-3，5-亚环戊
基乙烯)、聚(1-(1’，1’，1’-三氟-异丙氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-(1’，
1’，1’-三氟-异丙氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(1’，1’，1’-三氟-异丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、
聚(1-(1’，1’，1’-三氟-异丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-(1’，1’，1’-三
氟-异丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁基-2-(1’，1’，1’-三氟-异丁氧基)-3，
5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲氧基-2-(2’，2’，2’-三氟乙氧基)-3，5-亚
环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-2-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲氧基-2-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-氟-1-(2’，2’，2’，-三氟乙氧基)-2，2-二(三氟甲氧 基))-3，5-亚
环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-2-三氟甲氧基-3，5-亚
环戊基乙烯)、聚(1-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁基-2-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-3，
5-亚环戊基乙烯)、聚(1-己基-2-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-辛基-2-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，7’-十三氟庚氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，8’，8’，
8’-十五氟辛氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，
7’，8’，8’，9’，9’，9’-十七氟癸氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-2-(1’，1’，
1’-三氟-异丙氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲氧基-2-(2’，2’，3’，
3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，
5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二(2’，2’，3’，3’，4’，4’，
4’-七氟丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，
6’-十一氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)等。

[0065] 另外，在本发明中，作为具有通式(1)表示的重复结构单元[A]和下述通式(2)表示的重复结构单元[B]的含氟环状烯烃共聚物，结构单元[A]和结构单元[B]的摩尔比为
[A]/[B]＝95/5～25/75，并且氟原子含有率为40～75质量％。另外，结构单元[A]不包
含通式(2)表示的重复结构单元。

[0066] 由此可以得到在脱模性保持良好的同时使膜的耐热性提高、且改善了膜表面的损伤性的转印体。就作为表示膜耐热性的指标的玻璃化转变温度而言，通过导入通式(2)表
示的结构单元[B]的刚性脂肪族环结构，与仅有通式(1)表示的结构单元[A]的情况相比，
加热下聚合物的流动性下降，可以在不损害含氟聚合物的特性的情况下提高玻璃化转变温
度，从而使膜的耐热性得到提高。

[0067] 还有，在以下说明中，在无特别记载的情况下，含氟环状烯烃聚合物中可以包括含氟环状烯烃共聚物。

[0068] 另外，作为具有通式(1)表示的重复结构单元[A]和下述通式(2)表示的重复结构单元[B]的含氟环状烯烃共聚物，通过导入重复结构单元[B]的刚性环结构，可以改善铅
笔硬度之类的表面硬度，可以改善膜表面的损伤性。如果达不到[A]/[B]＝95/5，则耐热性
的提高效果及膜表面的损伤性的改善效果低，该摩尔比进一步优选为[A]/[B]＝90/10～
25/75。

[0069] 化6

[0070]

[0071] (式(2)中，R5～R8中的至少1个为氟、含氟的碳原子数1～10的烷基、含氟的碳原子数1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基。R5～R8是不含氟的基
团时，R5～R8选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、或碳原子数2～
10的烷氧基烷基。R5～R8可以相同也可以不同。R5～R8可以相互结合而形成环结构。n
表示1或2的整数。)

[0072] 本发明中，对于含氟环状烯烃共聚物，通式(1)表示的重复结构单元中的R1～R4和通式(2)表示的重复结构单元中的R5～R8可以相同也可以不同，另外，R1～R4或R5～
R8可以分别由相互不同的二种以上的结构单元组成。

[0073] 本发明中，作为含有通式(2)表示的重复结构单元的含氟环状烯烃聚合物的具体例子，可以列举：聚(3-氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.12，5]亚癸基乙烯)、聚
(3-氟-3-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.12，5]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-3-氟-4-三氟甲
基-7，9-三环[4.3.0.12，5]亚癸基乙烯)、聚(3，3-二氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.12，
5 2，5
]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚
2，5
(3-全氟乙基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，3-二(三氟甲基)-7，9-三环
2，5 2，5
[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基
2，5
乙烯)、聚(3，4-二-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟丙基)-7，
2，5 2，5
9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-全氟 丙基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚
2，5
癸基乙烯)、聚(3-丁基-4-全氟丙基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟-异
2，5
丙基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-9-全氟-异丙基-7，9-三环
2，5 2，5
[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3，4-二(三氟甲基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚
2，6 8，12
癸基乙烯)、聚(2，3，3，4，4，5，5，6-八氟-9，11-四环[5.5.1.0 .0 ]亚十三烷基乙烯)、
2，7 9，13
聚(2，3，3，4，4，5，5，6，6，7-十氟-10，12-四环[6.5.1.0 .0 ]亚十四烷基乙烯)、聚
2，5
(3-全氟丁基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟异丁基-7，9-三环
2，5 2，5
[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟叔丁基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚
2，5
(3-甲基-4-全氟叔丁基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-丁基-4-全氟叔丁
2，5
基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二甲基-3-全氟叔丁基-7，9-三环
2，5 2，5
[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-4-全氟丁基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基
2，5
乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲基-4-全氟丁基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、
2，5
聚(3-氟-3-全氟乙基-4，4-二(三氟甲基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，
2，5
4-二氟-3-全氟丙基-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟己
2，5 2，
基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-全氟己基-7，9-三环[4.3.0.1
5 2，5
]亚癸基乙烯)、聚(3-丁基-4-全氟己基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-己
2，5
基-4-全氟己基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-辛基-4-全氟己基-7，9-三
2，5 2，5
环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟庚基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚
2，5
(3-全氟癸基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-4-全氟戊基-7，9-三
2，5
环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲基-4-全氟丁基-7，9-三环
2，5 2，5
[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-3-全氟己基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基
2，5
乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲基-4-全氟戊基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、
2，5
聚(3，4-二(全氟丁基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二(全氟己基)-7，
2，5 2，5
9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-甲氧基-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚
2，5
癸基乙烯)、聚(3-叔丁氧基甲基-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚
2，7 9，13 3，6
(4-氟-5-三氟甲基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲
2，7 9，13 3，6
基-5-氟-5-三氟甲基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4-二
2，7 9，13 3，6
氟-5-三氟甲基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟乙
2，7 9，13 3，6
基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4-二(三氟甲基) -10，
2，7 9，13 3，6
12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-5-三氟甲基-10，12-五
2，7 9，13 3，6
环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(三氟甲基)-10，12-五环
2，7 9，13 3，6 2，7 9，
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟丙基-10，12-五环[6.5.1.0 .0
13 3，6 2，7 9，13 3，6
.1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-全氟丙基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚
2，7 9，13 3，6
十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-全氟丙基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基
2，7 9，13 3，6
乙烯)、聚(4-丁基-5-全氟丙基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、
2，7 9，13 3，6
聚(4-全氟异丙基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲
2，7 9，13 3，6
基-5-全氟异丙基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4，
2，7 9，13 3，6
5-二(三氟甲基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(3，4，4，5，5，
2，8 10，16 3，7 11，15
6，6，7-八氟-12，14-六环[7.7.0.1 .1 .0 .0 ]亚十八烷基乙烯)、聚(3，4，4，5，5，
2，9 11，17 3，8 12，16
6，6，7，7，8-十氟-13，15-六环[8.7.0.1 .1 .0 .0 ]亚十九烷基乙烯)、聚(4-全氟
2，7 9，13 3，6
丁基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟异丁基-10，12-五
2，7 9，13 3，6
环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-叔丁基-10，12-五环
2，7 9，13 3，6 2，
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5-叔丁基-10，12-五环[6.5.1.0
7 9，13 3，6 2，7 9，13 3，
.0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-甲基-4-叔丁基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1
6 2，7 9，13 3，6
]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-6-全氟丁基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚
2，7 9，
十五烷基乙烯)、聚(4，6-二氟-4-三氟甲基-5-全氟丁基-10，12-五环[6.5.1.0 .0
13 3，6
.1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-氟-4-全氟乙基-5，5-二(三氟甲基)-10，12-五环
2，7 9，13 3，6
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-全氟丙基-5-三氟甲基-10，
2，7 9，13 3，6 2，
12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟己基-10，12-五环[6.5.1.0
7 9，13 3，6 2，7 9，13 3，
.0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-全氟己基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1
6 2，7 9，13 3，6
]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5-全氟己基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五
2，7 9，13 3，6
烷基乙烯)、聚(4-己基-5-全氟己基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙
2，7 9，13 3，6
烯)、聚(4-辛基-5-全氟己基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚
2，7 9，13 3，6
(4-全氟庚基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟辛基-10，
2，7 9，13 3，6 2，
12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟癸基-10，12-五环[6.5.1.0
7 9，13 3，6 2，7 9，
.0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-6-全氟戊基-10，12-五环 [6.5.1.0 .0
13 3，6
.1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲基-6-全氟丁基-10，12-五环
2，7 9，13 3，6
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-12-全氟己基-10，12-五环
2，7 9，13 3，6
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲基-5-全氟戊基-110，
2，7 9，13 3，6
12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三(三氟甲基)-5-全氟-叔
2，7 9，13 3，6
丁基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(全氟己基)-10，
2，7 9，13 3，6
12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲氧基-5-三氟甲基-10，12-五
2，7 9，13 3，6
环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(3-氟-4-三氟甲氧基-7，9-三环
2，5 2，5
[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-氟-4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙
2，5
烯)、聚(3-甲基-3-氟-4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，3-二
2，5
氟-4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-4-三氟甲氧基-7，
2，5 2，5
9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟乙氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙
2，5
烯)、聚(3，3，4-三氟-4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二
2，5
(三氟甲氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟丙氧基-7，9-三环
2，5 2，5
[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-全氟丙氧基-7，9-三环[4.3.0-1 ]亚癸基乙
2，5
烯)、聚(3-丁基-4-全氟丙氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟异丙
2，5
氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-全氟异丙氧基-7，9-三环
2，5 2，5
[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3，4-二(三氟甲氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]
2，5
亚癸基乙烯)、聚(3-全氟丁氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟异丁
2，5 2，5
氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟叔丁氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]
2，5
亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-全氟异丁氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚
2，5
(3-丁基-4-全氟-异丁氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三
2，5
氟甲氧基-4-全氟乙氧基-7，9-三环[4-3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚((3，3，4-三氟-4-全
2，5
氟丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲氧基-4-全氟
2，5
丁氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-氟-3-全氟乙氧基-2，2-二(三氟甲
2，5
氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-全氟丙氧基-4-三氟甲氧
2，5 2，5
基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟己氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚
2，5
癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-全氟己氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-丁
2，5
基-4-全氟己氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-己基-4-全氟己氧基基-7，
2，5 2，5
9-三环[4.3.0.1 ] 亚癸基乙烯)、聚(3-辛基-4-全氟己氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]
2，5
亚癸基乙烯)、聚(3-全氟庚氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟辛氧
2，5 2，5
基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟癸氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸
2，5
基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-全氟戊氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二
2，5
氟-3-三氟甲氧基-4-全氟丁氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三
2，5
氟-4-全氟己氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲氧
2，5
基-4-全氟戊基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二(全氟丁氧基)-7，9-三
2，5 2，5
环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二(全氟己氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基
2，5
乙烯)、聚(3-甲氧基-4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-叔丁
2，5
氧基甲基-4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-(2’，2’，2’，-三氟
2，5
乙氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-7，
2，5
9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-7，
2，5
9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-丁基-4-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-7，
2，5 2，
9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-(1’，1’，1’-三氟异丙氧基)-7，9-三环[4.3.0.1
5 2，5
]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-(1’，1’，1’-三氟异丙氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基
2，5
乙烯)、聚(3-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙
2，5
烯)、聚(3-(1’，1’，1’-三氟异丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-(1’，
2，5
1’，1’-三氟异丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-(1’，1’，1’-三
2，5
氟异丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-丁基-4-(1’，1’，1’-三氟异丁
2，5
氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲氧基-4-(2’，2’，
2，5
2’-三氟乙氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-4-(2’，2’，3’，
2，5
3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟
2，5
甲氧基-4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、
2，5
聚(3-氟-3-(2’，2’，2’，-三氟乙氧基)-4，4-二(三氟甲氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]
亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-4-三氟甲氧基)-7，9-三
2，5
环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧
2，5
基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，
2，5
6’，6’-十一氟己氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-丁基-4-(2’，2’，3’，
2，5
3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟 己氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚
2，
(3-己基-4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-7，9-三环[4.3.0.1
5
]亚癸基乙烯)、聚(3-辛基-4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-7，
2，5
9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，
2，5
7’-十三氟庚氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，
2，5
5’，6’，6’，7’，7’，8’，8’，8’-十五氟辛氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，8’，8’，9’，9’，9’-十七氟癸氧基-7，9-三环
2，5
[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-4-(1’，1’，1’-三氟-异丙氧基)-7，9-三环
2，5
[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲氧基-4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七
2，5
氟丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，
2，5
5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二(2’，
2，5
2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二(2’，
2，5
2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、
2，7 9，13 3，6
聚(4-氟-5-三氟甲氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚
2，7 9，13 3，6
(4-氟-5-三氟甲氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲
2，7 9，13 3，6
基-4-氟-5-三氟甲氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，
2，7 9，13 3，6
4-二氟-5-三氟甲氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二
2，7 9，13 3，6
氟-5-三氟甲氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟乙氧
2，5
基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-5-三氟甲氧基-10，12-五环
2，7 9，13 3，6
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(三氟甲氧基)-10，12-五环
2，7 9，13 3，6 2，7 9，
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟丙氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0
13 3，6 2，7 9，13 3，6
.1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-全氟丙氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]
2，7 9，13 3，6
亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5-全氟丙氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五
2，7 9，13 3，6
烷基乙烯)、聚(4-全氟异丙氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、
2，7 9，13 3，6
聚(4-甲基-5-全氟异丙氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚
2，7 9，13 3，6
(4，5-二氟-4，5-二(三氟甲氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、
2，7 9，13 3，6
聚(4-全氟丁氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟异丁
2，7 9，13 3，6
氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟叔丁氧基-10，
2，7 9，13 3，6
12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ] 亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-全氟异丁氧基-10，
2，7 9，13 3，6
12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5-全氟异丁氧基-10，12-五
2，7 9，13 3，6
环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲氧基-5-全氟乙氧
2，7 9，13 3，6
基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚((4，4，5-三氟-5-全氟丁氧
2，7 9，13 3，6
基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲氧
2，7 9，13 3，6
基-5-全氟丁氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-氟-4-全
2，7 9，13 3，6
氟乙氧基-5，5-二(三氟甲氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、
2，7 9，13 3，6
聚(4，5-二氟-4-全氟丙氧基-5-三氟甲氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五
2，7 9，13 3，6
烷基乙烯)、聚(4-全氟己氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚
2，7 9，13 3，6
(4-甲基-5-全氟己氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁
2，7 9，13 3，6
基-5-全氟己氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-己
2，7 9，13 3，6
基-5-全氟己氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-辛
2，7 9，13 3，6
基-5-全氟己氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟庚氧
2，7 9，13 3，6
基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟辛氧基-10，12-五环
2，7 9，13 3，6 2，7 9，
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟癸氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0
13 3，6 2，7 9，13 3，
.1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-全氟戊氧基-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1
6
]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲氧基-5-全氟丁氧基-10，12-五环
2，7 9，13 3，6
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-5-全氟己氧基-10，12-五环
2，7 9，13 3，6
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲氧基-5-全氟戊基-10，
2，7 9，13 3，6
12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(全氟丁氧基)-10，12-五
2，7 9，13 3，6
环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(全氟己氧基)-10，12-五环
2，7 9，13 3，6
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲氧基-5-三氟甲氧基-10，12-五环
2，7 9，13 3，6
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-叔丁氧基甲基-5-三氟甲氧基-10，12-五
2，7 9，13 3，6
环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-(2’，2’，2’，-三氟乙氧基)-10，12-五
2，7 9，13 3，6
环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-10，
2，7 9，13 3，6
12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟
2，7 9，13 3，6
丙氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5-(2’，2’，3’，
2，7 9，13 3，6
3’，3’-五氟丙氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-(1’，1’，
2，7 9，13 3，6
1’-三氟-异丙氧基)-10，12- 五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲
2，7 9，13 3，6
基-(1’，1’，1’-三氟异丙氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚
2，7 9，13 3，6
(4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷
2，7 9，13 3，6
基乙烯)、聚(4-(1’，1’，1’-三氟异丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷
2，7 9，13 3，6
基乙烯)、聚(4-(1’，1’，1’-三氟异丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷
2，7 9，13 3，6
基乙烯)、聚(4-甲基-5-(1’，1’，1’-三氟异丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]
2，7 9，
亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5-(1’，1’，1’-三氟异丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0
13 3，6
.1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲氧基-5-(2’，2’，2’-三氟乙氧基)-10，
2，7 9，13 3，6
12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-5-(2’，2’，3’，3’，4’，
2，7 9，13 3，6
4’，4’-七氟丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二
2，7 9，
氟-4-三氟甲氧基-4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0
13 3，6
.1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-氟-4-(2’，2’，2’，-三氟乙氧基)-5，5-二(三氟甲氧
2，7 9，13 3，6
基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-(2’，2’，3’，
2，7 9，13 3，6
3’，3’-五氟丙氧基)-5-三氟甲氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙
烯)、聚(4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十 一 氟 己 氧 基 )-10，12-五 环
2，7 9，13 3，6
[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，
2，7 9，13 3，6
6’，6’-十一氟己氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁
2，7 9，
基-5-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0
13 3，6
.1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-己基-5-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟
2，7 9，13 3，6
己氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-辛基-5-(2’，2’，3’，
2，7 9，13 3，6
3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，7’-十三氟庚氧基)-10，12-五
2，7 9，13 3，6
环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，
2，7 9，13 3，6
7’，8’，8’，8’-十五氟辛氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚
(4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，8’，8’，9’，9’，9’-十七氟癸氧基-10，12-五
2，7 9，13 3，6
环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-5-(1’，1’，1’-三氟-异丙
2，7 9，13 3，6
氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲氧
2，7 9，13 3，6
基-5-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五
烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-10，
2，7 9，13 3，6
12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七
2，7 9，13 3，6
氟丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(2’，2’，3’，
2，7 9，13 3，6
3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-10，12-五环[6.5.1.0 .0 .1 ]亚十五烷基乙烯)等。

[0074] 另外，只要是在不损害本发明的效果的范围内，则除了通式(1)和通式(2)表示的重复结构单元以外，也可以在氟原子含有率为40～75质量％的范围内含有其它重复结构
单元，通式(1)或通式(1)和通式(2)的重复结构单元的含量通常为30～100质量％，优
选为70～100质量％，更优选为90～100质量％。

[0075] 另外，在本发明中，就含有通式(1)表示的重复结构单元的含氟环状烯烃聚合物而言，通过拉伸模式固体粘弹性测定(频率1Hz，升温速度3℃/分)得到的储能模量或损
耗模量，优选具有对于在玻璃化转变温度以上的温度区域内的温度变化在-1～0MPa/℃范
围内变化的区域。该特性是由于重复结构单元内的主链上具有烃结构和侧链上具有上述
1 4
R ～R 中的至少1个为选自氟、含氟的烷基、含氟的碳原子数1～10的烷氧基、或含氟的
碳原子数2～10的烷氧基烷基的取代基，由此导致在聚合物的分子间或分子内形成氢键而
造成的，而不是由于结晶性或化学键导致的交联所造成的。在通过该特定结构而出现的氢
键的作用下，而具有对于在玻璃化转变温度以上的温度区域内的温度变化的储能模量或损
耗模量的变化为-1～0MPa/℃的平缓区域。更优选这些变化为-0.5～0MPa/℃，进一步优
选为-0.2～0MPa/℃。

[0076] 另外，在本发明中，作为含有通式(1)表示的重复结构单元[A]和通式(2)表示的重复结构单元[B]的含氟环状烯烃共聚物，结构单元[A]和结构单元[B]的摩尔比为[A]/
[B]＝95/5～25/75。另外，结构单元[A]不包含通式(2)表示的重复结构单元。

[0077] 与上述一样，储能模量或损耗模量的变化具有平缓的区域，这是由于重复结构单1 4 5 8
元内的主链上具有烃结构和侧链上具有上述R ～R 及R ～R 中分别至少1个为选自氟、
含氟的烷基、含氟的碳原子数1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基的
取代基，由此导致在聚合物的分子间或分子内形成 氢键而造成的。在通过特定结构而出现
的氢键的作用下，而具有对于在玻璃化转变温度以上的温度区域内的温度变化的储能模量
或损耗模量的变化为-1～0MPa/℃的平缓区域。如果该摩尔比超过25/75，则平缓的储能
模量或损耗模量变化区域消失，氢键带来的效果不会出现。

[0078] 本发明的含氟环状烯烃聚合物及含氟环状烯烃共聚物是非晶性的透明聚合物。

[0079] 一般来说，对于非晶性的热塑性聚合物，不存在这种氢键或化学交联时，在玻璃化转变温度以上的温度区域中模量急剧下降，相对于温度变化的储能模量或损耗模量的变化
至少表现为-10MPa/℃以下。另一方面，本发明的含氟环状烯烃聚合物的上述优异特性来源
于针对温度变化而产生的可逆的物理氢键的相互作用。

[0080] 另外，本发明中，就含有通式(1)表示的重复结构单元的含氟环状烯烃聚合物或含有通式(1)和通式(2)表示的重复结构单元的含氟环状烯烃共聚物而言，在拉伸模式固
体粘弹性测定(频率1Hz，升温速度3℃/分)中，优选在0.1MPa以上的储能模量或损耗模
量区域中具有玻璃化转变温度以上的温度区域中的上述平缓的储能模量或损耗模量变化
区域，更优选为0.1～10000MPa，进一步优选为0.1～1000MPa。如果为0.1MPa以上，则可
以在转印体制造工序的加热、冷却过程中保持其形状，冷却时的收缩变化变小，转印的尺寸
精度变高。

[0081] 由此，通过在利用溶液涂布加热干燥或加热压合来制作纳米压印膜时的加热、冷却过程中将弹性模量和收缩率的变化抑制在最小水平而使其最佳化，能够形成以高尺寸精
度在表面上转印有微细图案的转印体，并且由于含氟，因此表面张力小，从而可以实现从模
具的脱模性优异的膜的制作。特别是对于利用溶液涂布加热干燥的纳米压印法而言，膜厚
的自由度也较高，从而适合制作大面积转印体的膜。

[0082] 本发明中，玻璃化转变温度是一边使试样的温度稳定地上升或下降一边测定力学变化而得到的损耗模量/储能模量(＝tanδ)的最大值，或者可以列举通过差示扫描热量
分析测定吸热或放热而得到的变化点等。

[0083] 玻璃化转变温度通常为30～250℃的范围，优选为50～200℃，更优选为60～160℃。如果玻璃化转变温度为30℃以上，则容易保持脱模后所成型的图案形状高精度的转
印体形状，另外，如果为250℃以下，则由于可以降低用于使其溶融流动的加热处理温度，因
此不容易出现黄变或支持体的劣化。

[0084] 在本发明中，含有通式(1)表示的重复结构单元的含氟环状烯烃聚合物及含有通式(1)和通式(2)表示的重复结构单元的含氟环状烯烃共聚物中的氟原子含有率可以通过
以下的数学式(1)求出。

[0085] 氟原子的含有率(质量％)＝(Fn×19)×100/Fw(1)

[0086] 此处，在数学式(1)中，Fn表示在通式(1)表示的结构单元及通式(2)表示的重复结构单元中的考虑摩尔分率的氟原子数，Fw表示在通式(1)表示的重复结构单元及通式
(2)表示的重复结构单元中的考虑摩尔分率的式量，该氟原子含有率为40～75质量％，优
选为42～68质量％。如果该氟原子含有率不足40质量％，则平缓的储能模量或损耗模量
变化区域小、或者不出现，从而不出现氢键引起的效果。另外，如果超过75质量％，则结构
单元中的氢数少，同样不出现氢键引起的效果。

[0087] 本发明中，含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物，在试样浓度为3.0～9.0mg/ml时通过凝胶渗透色谱(GPC)测定的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)通常为
5,000～1,000,000，优选为10,000～300,000。如果该重均分子量(Mw)为5,000以上，则
可以表现出具有针对温度变化的储能模量或损耗模量的变化为-1～0MPa/℃的区域的物
性。

[0088] 另外，如果为1,000,000以下，则溶剂溶解性、加热压合成型时的流动性良好。另外，作为重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)之比的分子量分布(Mw/Mn)通常在1.0～5.0
的范围内。

[0089] 例如，为了形成均匀厚度的涂布膜及得到良好的加热成型性，分子量分布优选宽的情况，优选为1.4～5.0，更优选为1.5～3.0。

[0090] 本发明中的含氟环状烯烃聚合物通过具有通式(1)及通式(2)表示的特定结构，从而可以获得相对于D线的极低折射率。

[0091] 相对于D线波长光的折射率通常为1.48以下，优选为1.30～1.48，在该折射率范围内，光表现出优异的直进性。由此，可见光区域的光线透过率为80％以上，优选为85～
100％。

[0092] 另外，本发明的含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物在300℃下加热5分钟时的质量减少量通常不足0.1％，优选不足0.07％，由于是热塑性且热稳定性优异，因此
可以进行加热压合成型。

[0093] 本发明中的含氟环状烯烃聚合物可以通过以下方式来合成：通过开环复分解聚合催化剂使通式(3)表示的含氟环状烯烃单体进行聚合，并对得到的聚合物的主链的烯烃部
分进行氢化。

[0094] 化7

[0095]

[0096] (式(3)中，R1～R4中的至少1个为氟、含氟的碳原子数1～10的烷基、含氟的碳1 4
原子数1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基。R ～R 是不含氟的基
1 4
团时，R ～R 选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、或碳原子数2～
1 4 1 4
10的烷氧基烷基。R ～R 可以相同也可以不同。R ～R 可以相互结合而形成环结构。)

[0097] 更详细来说，通式(3)中，R1～R4可以例示：氟；或氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、三氟乙基、五氟乙基、七氟丙基、六氟异丙基、七氟异丙基、六氟-2-甲基异丙基、全氟-2-甲
基异丙基、全氟正丁基、全氟正戊基、全氟环戊基等烷基的一部分氢或全部氢被氟取代的烷
基等含氟的碳原子数1～10的烷基；氟甲氧基、二氟甲氧基、三氟甲氧基、三氟乙氧基、五
氟乙氧基、七氟丙氧基、六氟异丙氧基、七氟异丙氧基、六氟-2-甲基异丙氧基、全氟-2-甲
基异丙氧基、全氟正丁氧基、全氟正戊氧基、全氟环戊氧基等烷氧基的一部分氢或全部氢被
氟取代的烷氧基等含氟的碳原子数1～10的烷氧基；氟甲氧基甲基、二氟甲氧基甲基、三氟
甲氧基甲基、三氟乙氧基甲基、五氟乙氧基甲基、七氟丙氧基甲基、六氟异丙氧基甲基、七氟
异丙氧基甲基、六氟-2-甲基异丙氧基甲基、全氟-2-甲基异丙氧基甲基、全氟正丁氧基甲
基、全氟正戊氧基甲基、全氟环戊 氧基甲基等烷氧基的一部分氢或全部氢被氟取代的烷氧
基烷基等含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基。

[0098] 另外，R1～R4可以相互结合而形成环结构，也可以形成全氟环烷基、间隔氧的全氟环醚等环。

[0099] 而且，不含氟的其它R1～R4可以例示：氢；或作为碳原子数1～10的烷基的甲基、乙基、丙基、异丙基、2-甲基异丙基、正丁基、正戊基、环戊基等烷基；甲氧基、乙氧基、丙
氧基、丁氧基、戊氧基等碳原子数1～10的烷氧基；甲氧基甲基、乙氧基甲基、丙氧基甲基、
丁氧基甲基、戊氧基甲基等碳原子数2～10的烷氧基烷基。

[0100] 另外，作为本发明中的含氟环状烯烃聚合物制造中使用的单体，可以仅仅是通式1 4
(3)表示的含氟环状烯烃单体，也可以是由R ～R 中的至少1个相互不同的二种以上结构
单元组成的单体。

[0101] 而且，作为本发明中的含氟环状烯烃共聚物制造中使用的单体，也可以与通式(4)表示的含氟环状烯烃共聚单体进行共聚。

[0102] 化8

[0103]5 8

[0104] (式(4)中，R ～R 中的至少1个为氟、含氟的碳原子数1～10的烷基、含氟的碳5 8
原子数1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基。R ～R 是不含氟的基
5 8
团时，R ～R 选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、或碳原子数2～
5 8 5 8
10的烷氧基烷基。R ～R 可以相同也可以不同。R ～R 可以相互结合而形成环结构。n
表示1或2的整数。)
5 8

[0105] 更详细来说，通式(4)中的R ～R 可以例示：氟；或氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、三氟乙基、五氟乙基、七氟丙基、六氟异丙基、七氟异丙基、六氟-2-甲基异丙基、全氟-2-甲
基异丙基、全氟正丁基、全氟正戊基、全氟环戊基 等烷基的一部分氢或全部氢被氟取代的
烷基等含氟的碳原子数1～10的烷基；氟甲氧基、二氟甲氧基、三氟甲氧基、三氟乙氧基、五
氟乙氧基、七氟丙氧基、六氟异丙氧基、七氟异丙氧基、六氟-2-甲基异丙氧基、全氟-2-甲
基异丙氧基、全氟正丁氧基、全氟正戊氧基、全氟环戊氧基等烷氧基的一部分氢或全部氢被
氟取代的烷氧基等含氟的碳原子数1～10的烷氧基；氟甲氧基甲基、二氟甲氧基甲基、三氟
甲氧基甲基、三氟乙氧基甲基、五氟乙氧基甲基、七氟丙氧基甲基、六氟异丙氧基甲基、七氟
异丙氧基甲基、六氟-2-甲基异丙氧基甲基、全氟-2-甲基异丙氧基甲基、全氟正丁氧基甲
基、全氟正戊氧基甲基、全氟环戊氧基甲基等烷氧基的一部分氢或全部氢被氟取代的烷氧
基烷基等含氟的碳原子数2～10的烷氧基烷基。
5 8

[0106] 另外，R ～R 可以相互结合而形成环结构，也可以形成全氟环烷基、间隔氧的全氟环醚等环。
5 8

[0107] 而且，不含氟的其它R ～R 可以例示：氢；或作为碳原子数1～10的烷基的甲基、乙基、丙基、异丙基、2-甲基异丙基、正丁基、正戊基、环戊基等烷基；甲氧基、乙氧基、丙
氧基、丁氧基、戊氧基等碳原子数1～10的烷氧基；甲氧基甲基、乙氧基甲基、丙氧基甲基、
丁氧基甲基、戊氧基甲基等碳原子数2～10的烷氧基烷基。

[0108] 另外，作为本发明中的含氟环状烯烃共聚物的制造中使用的单体，可以仅仅是通5 8
式(4)表示的含氟环状烯烃单体，也可以是由R ～R 中的至少1个相互不同的二种以上结
构单元组成的单体。

[0109] 作为含氟环状烯烃单体的聚合中使用的开环复分解聚合催化剂，只要是可以进行i t t
开环复分解聚合的催化剂就没有限制，例如可以列举：W(N-2，6-Pr2C6H3)(CHBu)(OBu)2、
i t i t
W(N-2，6-Pr2C6H3)(CHBu)(OCMe2CF3)2、W(N-2，6-Pr2C6H3)(CHBu)(OCMe(CF3)2)2、W(N-2，
i t t i
6-Pr2C6H3)(CHBu)(OC(CF3)3)2、W(N-2，6-(Me)2C6H3)(CHBu)(OC(CF3)3)2、W(N-2，6-Pr2C6H3)
t i i
(CHCMe2Ph)(OBu)2、W(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2、W(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)
i
(OCMe(CF3)2)2、W(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)
t
(OC(CF3)3)2、或W(N-2，6-Me2C6H3) (CHCHCMePh)(OBu)2(PR3)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)
t t
(OBu)2(PR3)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OBu)2(PR3)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)
(OCMe2(CF3))2(PR3)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe2(CF3))2(PR3)、W(N-2，6-Me2C6H3)
(CHCHCPh2)(OCMe2(CF3))2(PR3)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe(CF3)2)2(PR3)、W(N-2，
6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe(CF3)2)2(PR3)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OCMe(CF3)2)
2(PR3)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(OC(CF3)3)2(PR3)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)
i
(OC(CF3)3)2(PR3)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OC(CF3)3)2(PR3)、W(N-2，6-Pr2C6H3)
i
(CHCHCMePh)(OCMe2(CF3))2(PR3)、W(N-2，6-Pr 2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe(CF3)2)2(PR3)、
i i
W(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCHCMePh)(OC(CF3)3) 2(PR3)、W(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCHCMePh)
t
(OPh)2(PR3)、或 W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(OBu)2(Py)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)
t t
(OBu)2(Py)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OBu) 2(Py)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)
(OCMe2(CF3))2(Py)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe2(CF3))2(Py)、W(N-2，6-Me2C6H3)
(CHCHCPh2)(OCMe2(CF3))2(Py)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe(CF3)2)2(Py)、W(N-2，
6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe(CF3)2)2(Py)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OCMe(CF3)2)
2(Py)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(OC(CF3)3)2(Py)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)
i
(OC(CF3)3)2(Py)、W(N-2，6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OC(CF3)3)2(Py)、W(N-2，6-Pr 2C6H3)
i
(CHCHCMePh)(OCMe2(CF3))2(Py)、W(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe(CF3)2)2(Py)、W(N-2，
i i
6-Pr2C6H3)(CHCHCMePh)(OC(CF3)3)2(Py)、W(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCHCMePh)(OPh)2(Py) 等
i t t i t
钨系亚烷基催化剂，或者Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHBu)(OBu)2、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHBu)
i t i t
(OCMe2CF3)2、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHBu)(OCMe(CF3) 2)2、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHBu )
t i
(OC(CF3)3)2、Mo(N-2，6-Me2C6H3) (CHBu )(OC(CF3)3)2、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)
i i
(OCMe3) 2、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2(CF3))2、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)
i
(OCMe(CF3)2)2、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2、Mo(N-2，6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)
i t i
(OC(CF3)3)2、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBu)2(PR3)、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)
i i
(OCMe2CF3)2(PR3)、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2(PR3)、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)
(CHCMe2Ph)(OC(CF3) 3)2(PR3)、Mo(N-2，6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2(PR3)、Mo(N-2，
i t i
6-Pr 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBu)2(Py)、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2(Py)、
i i
Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2(Py)、Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)
i
3)2(Py)、Mo(N-2，6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2(Py)(其中，式中的Pr 表示异丙基，R表
t
示甲基、乙基等烷基或甲氧基、乙氧基等烷氧基，Bu 表示叔丁基，Me表示甲基，Ph表示苯基，
Py表示吡啶基)等钼系亚烷基催化剂，或者Ru(CHCHCPh2)(PPh3)2Cl2(其中，式中的Ph表示
苯基。)等钌系亚烷基催化剂，且可优选使用。另外，这些开环复分解聚合催化剂可单独使
用或组合使用二种以上。

[0110] 另一方面，除了上述开环复分解聚合催化剂以外，也可以使用由有机过渡金属络合物、过渡金属卤化物或过渡金属氧化物和作为助催化剂的路易斯酸的组合构成的开环复
分解聚合催化剂，但其催化剂活性低，工业上是不优选的。

[0111] 在含氟环状烯烃单体的开环复分解聚合中，就含氟环状烯烃单体和开环复分解聚合催化剂的摩尔比而言，在钨、钼、或钌等过渡金属亚烷基催化剂的情况下，相对于过渡金
属亚烷基催化剂1摩尔，该单体通常为100～30,000摩尔，优选为1,000～20,000摩尔。

[0112] 另外，为了控制分子量及其分布，可以使用烯烃作为链转移剂。作为烯烃，例如可以列举乙烯、丙烯、1-丁烯、1-戊烯、1-己烯、1-辛烯等α-烯烃或它们的含氟烯烃，还可
以列举乙烯基三甲基硅烷、烯丙基三甲基硅烷、烯丙基三乙基硅烷、烯丙基三异丙基硅烷等
含硅的烯烃或它们的含氟及硅的烯烃，另外，作为二烯烃，可以列举1，4-戊二烯、1，5-己二
烯、1，6-庚二烯等非共轭系二烯烃 或它们的含氟非共轭系二烯烃。另外，这些烯烃、含氟烯
烃、二烯烃或含氟二烯烃可以分别单独使用或并用2种以上。

[0113] 就上述烯烃、含氟烯烃、二烯或含氟二烯的使用量而言，烯烃或二烯相对于含氟环状烯烃单体1摩尔通常为0.001～1,000摩尔的范围，优选为0.01～100摩尔的范围。另
外，烯烃或二烯相对于过渡金属亚烷基催化剂1摩尔通常为0.1～1,000摩尔的范围，优选
为1～500摩尔的范围。

[0114] 另外，含氟环状烯烃单体的开环复分解聚合可以没有溶剂，也可以使用溶剂。作为特别使用的溶剂，可以列举：四氢呋喃、二乙醚、二丁醚、二甲氧基乙烷或二噁烷等醚类；
醋酸乙酯、醋酸丙酯或醋酸丁酯等酯类；苯、甲苯、二甲苯或乙苯等芳香族烃；戊烷、己烷或
庚烷等脂肪族烃；环戊烷、环己烷、甲基环己烷、二甲基环己烷或十氢化萘等脂肪族环状烃；
或二氯甲烷、二氯乙烷、二氯乙烯、四氯乙烷、氯苯或三氯苯等卤化烃；氟苯、二氟苯、六氟
苯、三氟甲基苯、间二三氟甲苯等含氟芳香族烃；全氟己烷等含氟脂肪族烃；全氟环十氢化
萘等含氟脂肪族环状烃；全氟-2-丁基四氢呋喃等含氟醚类，也可以组合这些物质中的2种
以上进行使用。

[0115] 含氟环状烯烃单体的开环复分解聚合中，根据该单体的反应性及在聚合溶剂中的溶解性而有所不同，但可以在如下条件下进行实施：含氟环状烯烃单体相对于单体溶液的
浓度通常为5～100质量％的范围，优选为10～60质量％的范围，反应温度通常为-30～
150℃的范围，优选为30～100℃的范围，另外，反应时间通常为10分钟～120小时的范围，
优选为30分钟～48小时的范围。另外，可以用丁醛等醛类、丙酮等酮类、甲醇等醇类等水
的失活剂来终止反应，从而得到聚合物的溶液。

[0116] 本发明的含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物可以通过以下方式得到，即，利用催化剂对由含氟环状烯烃单体开环复分解聚合得到的聚合物的主链的烯烃部分进
行氢化反应。另外，该氢化催化剂只要是不引起所使用的溶剂的氢化反应而能够对该聚合
物的主链的烯烃部分进行氢化的催化剂，则可以是均相系金属络合物催化剂及非均相系的
金属负载催化剂中的任意一种，作为均相系金属络合物催化剂，例如可以列举氯三(三苯
基膦)铑、二氯三(三苯基膦)锇、二氯氢化二(三苯基膦)铱、二氯三(三苯基膦)钌、二
氯四(三 苯基膦)钌、氯氢化羰基三(三苯基膦)钌、二氯三(三甲基膦)钌等，另外，作
为非均相系金属负载催化剂，例如可以列举活性炭负载钯、氧化铝负载钯、活性炭负载铑、
氧化铝负载铑等。这些氢化催化剂可以单独使用或组合使用2种以上。

[0117] 进行上述主链的烯烃部分的氢化处理时，在使用公知的非均相系或均相系氢化催化剂的情况下，对于氢化催化剂的使用量，氢化催化剂中的金属成分相对于氢化处理前的
-4 -2
聚合物100质量份通常为5×10 质量份～100质量份，优选为1×10 质量份～30质量
份。

[0118] 作为氢化中使用的溶剂，只要是能溶解含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物、且溶剂本身不发生氢化的溶剂，就没有特别的限制，例如可以列举：四氢呋喃、二乙醚、
二丁醚、二甲氧基乙烷等醚类；醋酸乙酯、醋酸丙酯或醋酸丁酯等酯类；苯、甲苯、二甲苯、
乙苯等芳香族烃；戊烷、己烷、庚烷等脂肪族烃；环戊烷、环己烷、甲基环己烷、二甲基环己
烷、十氢化萘等脂肪族环状烃；二氯甲烷、氯仿、二氯乙烷、二氯乙烯、四氯乙烷、氯苯、三氯
苯等卤化烃；氟苯、二氟苯、六氟苯、三氟甲基苯、间二三氟甲苯等含氟芳香族烃；全氟己烷
等含氟脂肪族烃；全氟环十氢化萘等含氟脂肪族环状烃；全氟-2-丁基四氢呋喃等含氟醚
类等，也可以组合使用2种以上溶剂。

[0119] 上述主链的烯烃部分的氢化反应可以在氢气压力为常压～30MPa，优选0.5～20MPa，特别优选2～15MPa的范围下进行，其反应温度通常为0～300℃，优选为室温～
250℃，特别优选50～200℃的温度范围。氢化反应的实施方式没有特别的限制，例如可以
列举：将催化剂分散或溶解在溶剂中进行的方法；将催化剂填充到柱子等中作为固定相，
使聚合物溶液流通而进行的方法等。

[0120] 另外，主链的烯烃部分的氢化处理可以是使氢化处理前的含氟环状烯烃聚合物的聚合溶液在不良溶剂中析出而分离聚合物后，再次溶解在溶剂中进行氢化处理，也可以是
不从聚合溶液中分离聚合物而利用上述氢化催化剂进行氢化处理，没有特别的限制。

[0121] 另外，含氟环状烯烃聚合物的烯烃部分的氢化率为50％以上，优选为70～100％，更优选为90～100％。如果该氢化率不足50％，则烯烃部分有时会因氧化、光的吸收劣化
而使耐热性或耐候性变差。

[0122] 使本发明中的聚合物溶液(转印用树脂组合物)与模具接触时，可以从氢化后的聚合物溶液中回收含氟环状烯烃聚合物后再次溶解在溶剂中而与模具接触，也可以不回收
含氟环状烯烃聚合物而将氢化后的聚合物溶液直接与模具接触，还可以在氢化后的聚合物
溶液中混合2种以上溶剂而与模具接触。从氢化后的聚合物的溶液中回收含氟环状烯烃聚
合物的方法没有特别的限制，例如可以列举：通过将反应溶液排放到搅拌下的不良溶剂中
的方法、向反应溶液中吹入蒸汽的汽提法等方法使聚合物析出，并通过过滤、离心分离、倾
析等方法回收聚合物的方法；或通过加热等方式从反应溶液中蒸发除去溶剂的方法等。另
外，还可以在不损害本发明目的的范围内向回收的聚合物中配合紫外线吸收剂、抗氧化剂、
阻燃剂、抗静电剂等公知的各种添加剂。

[0123] 作为本发明中使上述得到的含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物与表面上形成有微细图案的模具接触、而转印该模具的图案的方法，可以列举：使由含氟环状烯烃
聚合物和有机溶剂组成的溶液与模具接触，并使溶剂蒸发，从而转印模具的图案的方法；或
者通过在由这些聚合物组成的膜上按压模具的具有微细图案的面，从而转印模具的图案的
方法。

[0124] 在本发明中，由于聚合物溶液(转印用树脂组合物)含有如上所述的含氟环状烯烃聚合物，因此可以有效地以高尺寸精度制造转印体，而且可以通过简便的工序制造转印
体，并可以得到大面积的转印体。因此，本发明的转印用树脂组合物可以提高转印体的生产
效率。

[0125] 本发明中使用的表面上形成有微细图案的模具的凸部及凹部的形状没有特别的限制，例如，作为其形状，可以列举四边形、圆柱状、角柱状、三角锥状、多面体状、半球状等。
另外，作为凸部及凹部的断面形状，可以列举断面四边形、断面三角形、断面半圆形等。作为
模具的转印体微细图案的具体例子，优选满足上述条件的形状具有凹凸结构的图案等，其
设置可以是等间距连续的，也可以是非连续、非等间距的组合，没有特别的限制。

[0126] 微细图案的凸部和/或凹部的宽度通常为10nm～50μm，优选为20nm～1μm。另外，凹部的深度通常为30nm～50μm，优选为50nm～1μm。另外，凸部的宽度和凹部的深
度之比的纵横比通常为0.1～500，优选为0.5～20。

[0127] 作为用于制造本发明的转印体的表面上形成有微细图案的模具的基材材质，可以列举：镍、铁、不锈钢、锗、钛、硅等金属材料；玻璃、石英、氧化铝等无机材料；聚酰亚胺、聚
酰胺、聚酯、聚碳酸酯、聚苯醚、聚苯硫醚、聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸酯、聚芳酯、环氧树脂、
硅树脂等树脂材料；金刚石、石墨等碳材料等。

[0128] 本发明的转印体可以通过使含有含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物和有机溶剂的溶液(转印用树脂组合物)与模具接触，并使溶剂蒸发从而转印模具的图案来
获得。对于聚合物和有机溶剂的混合比例，含氟环状烯烃聚合物相对于溶液的浓度通常为
5～90质量％的范围，优选为10～60质量％的范围，可以选择对于使溶剂蒸发后的模具上
的最适宜的聚合物厚度、或涂布性等方面有效且合适的浓度。

[0129] 作为使用的有机溶剂，没有特别的限制，考虑到溶解性、成膜性，例如可以选自：间二三氟甲苯、三氟甲苯、氟苯、二氟苯、六氟苯、三氟甲基苯、二(三氟甲基)苯、间二三氟甲
苯等含氟芳香族烃；全氟己烷、全氟辛烷等含氟脂肪族烃；全氟环十氢化萘等含氟脂肪族
环状烃；全氟-2-丁基四氢呋喃等含氟醚类；氯仿、氯苯、三氯苯等卤化烃；四氢呋喃、二丁
醚、1，2-二甲氧基乙烷、二噁烷等醚类；醋酸乙酯、醋酸丙酯、醋酸丁酯等酯类；或甲基异丁
基酮、环己酮等酮类等。这些溶剂可以单独使用，也可以组合使用2种以上。特别是从成膜
性的观点考虑，优选大气压下具有70℃以上的沸点的溶剂，如果溶剂的沸点低，则蒸发速度
快，涂布时部分溶剂会开始蒸干等，从而成为膜厚精度变差、膜表面产生鱼眼的原因。

[0130] 另外，作为使本发明的聚合物的溶液和模具接触的方法，没有特别的限制，例如可以是以下任一种：通过台式涂布(table coating)、旋涂、浸涂、模涂、喷涂、棒涂、辊涂、帘涂
等方法在模具的微细图案面上涂布聚合物溶液的方法；或在不锈钢、硅等金属材料、玻璃、
石英等无机材料、聚酰亚胺、聚酰胺、聚酯、聚碳酸酯、聚苯醚、聚苯硫醚、聚丙烯酸酯、聚甲
基丙烯酸酯、聚芳酯、环氧树脂、硅树脂等树脂材料等基材上通过台式涂布、旋涂、浸涂、模
涂、喷涂、棒涂、辊涂、帘涂等方法涂布聚合物溶液，用其覆盖模具微细图案面而进行接触的
方法。

[0131] 具体来说，可以列举：

[0132] (1)包含在具有微细图案的模具表面上涂布由含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物和有机溶剂组成的溶液的工序、和使有机溶剂从上述溶液中蒸发的工序的方法；

[0133] (2)包含在支持体(基材)上涂布由含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物和有机溶剂组成的溶液的工序、对涂布层的上表面按压形成有微细图案的模具表面的工
序、和使溶剂从上述涂布层中蒸发的工序的方法，等。

[0134] 另外，对于(2)的方法，也可以是使溶剂从涂布层中蒸发后，用模具按压。

[0135] 接触后使溶剂蒸发之后的模具上的膜厚没有特别的限制，优选为1μm～10mm，更优选为5μm～1mm，最优选为10μm～0.5mm。如果处于这些范围内，则可以得到独立的转
印体。

[0136] 可以按以下条件实施：使溶剂从转印体中蒸发、干燥的温度通常为10～300℃，优选为50～200℃的范围，压力通常在133Pa至大气压的范围内，另外，干燥时间通常为10
分～120小时，优选为30分～48小时的范围。另外，干燥温度、压力及时间可以通过各自
的设定而分阶段变化。

[0137] 在本发明中，具备使溶剂蒸发而在模具上形成转印体后对该转印体脱模的工序。转印体的脱模优选在玻璃化转变温度以下的温度下进行，另外，更优选在(玻璃化转变温
度-20℃)以下的温度下脱模，由此可以精度良好地保持转印体上形成的图案形状，且容易
进行脱模。脱模的方法可以是通过从模具上剥离而脱模，或者通过浸渍、喷雾等方法使模具
和转印体与例如水等介质进行接触后，利用表面张力进行剥离。另外，也可以在转印体背面
粘贴树脂材料、或玻璃等无机材料，从而用该基板作为支持体进行脱模。

[0138] 另外，本发明的转印体也可以通过在含有含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物的膜上按压模具的微细图案形成面，从而转印模具的图案来得到。例如，优选在膜上压
合被加热到玻璃化转变温度以上的模具的方法、或将膜加热到玻璃化转变温度以上后压合
模具的方法、或将膜及模具加热到玻璃化转变温度以上后压合模具的方法，加热温度在玻
璃化转变温度～(玻璃化转变温度+100℃)的范围内，优选为(玻璃化转变温度+5℃)～
(玻璃化转变温度+ 50℃)，另外，压合压力通常为1MPa～100MPa，优选为1MPa～60MPa，
从而可以精度良好地形成转印体上所形成的图案形状。

[0139] 通过压合在模具上形成的转印体的脱模优选在玻璃化转变温度以下的温度下进行，另外，更优选在(玻璃化转变温度-20℃)以下的温度下脱模。由此可以精度良好地保
持转印体上形成的图案形状，且容易脱离。脱模方法可以是通过从模具上剥离来脱模，或者
通过浸渍、喷雾等方法使模具和转印体与例如水等介质进行接触后，利用表面张力进行剥
离。另外，也可以在转印体背面粘贴树脂材料、或玻璃等无机材料，从而用该基板作为支持
体进行脱模。

[0140] 另外，也可以使本发明中采用含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物的转印体的具有微细图案的面与光固化性单体组合物接触，照射光而使其固化后剥离转印体，从
而制造在光固化树脂的表面上具有转印的微细图案的固化物。

[0141] 详细来说，可以是以下任一种方法：使用由含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物组成的转印体作为复制模具，在该转印体的微细图案面上涂布固化性单体和光固化
引发剂的组合物，照射光而转印到光固化性树脂上的方法；或者在不锈钢、硅等金属材料、
玻璃、石英等无机材料、聚酰亚胺、聚酰胺、聚酯、聚碳酸酯、聚苯醚、聚苯硫醚、聚丙烯酸酯、
聚甲基丙烯酸酯、聚芳酯、环氧树脂、硅树脂等树脂材料等基材上涂布固化性单体和光固化
引发剂的组合物，用其覆盖该转印体的微细图案面，并从该转印体的图案背面照射光而转
印到光固化性树脂上的方法。本发明的转印体由含氟环状烯烃聚合物形成，透明性优异，因
此即使从该转印体的图案背面照射光时，照射光也能透过转印体，从而有效地照射于光固
化性树脂。

[0142] 另外，使作为复制模具的含氟环状烯烃聚合物的转印体的具有微细图案的面与光固化性单体组合物接触的方法没有特别的限制，例如可以通过台式涂布(table coating)、
旋涂、浸涂、模涂、喷涂、棒涂、辊涂、帘涂等方法在转印体的微细图案面上涂布固化性单体
组合物，或者在上述的金属材料、玻璃、石英等无机材料、树脂材料等基材上通过台式涂布、
旋涂、浸涂、模涂、喷涂、棒涂、辊涂、帘涂等方法涂布固化性单体组合物后，用其覆盖转印体
的微细图案面而与固化性单体组合物进行接触。

[0143] 作为照射光，只要能提供通过对光固化引发剂照射光而引发自由基反应或离子反应的能量，就没有特别的限制。作为该光源，可以使用波长400nm以下的光线，例如低压水
银灯、中压水银灯、高压水银灯、超高压水银灯、化学灯、黑光灯、微波激发水银灯及金属卤
化物灯、i线、G线、KrF准分子激光、ArF准分子激光。

[0144] 对光固化性单体组合物的照射强度是根据目标制品分别进行控制，没有特别的限制。例如优选对后述的光聚合引发剂的活性化有效的光波长区域(根据光聚合引发剂而有
2
所不同，通常使用300～420nm的光)的光照射强度为0.1～100mW/cm。如果对组合物的
2 2
照射强度不足0.1mW/cm，则反应时间过长，如果超过100mW/cm，则由于灯辐射的热及组合
物聚合时的放热，有可能会导致得到的固化物的凝聚力下降、黄变或支持体劣化。

[0145] 光照时间是根据目标制品分别进行控制，没有特别的限制，可以将表示为光波长2
区域内的光照强度和光照时间之积的累计光量设定为3～1000mJ/cm。更优选为5～
2 2 2
500mJ/cm，特别优选为10～300mJ/cm。如果对组合物的累计光量不足3mJ/cm，则光聚合
2
引发剂产生的活性种可能不足，从而导致得到的固化物的特性下降，如果超过1000mJ/cm，
则对于提高生产率是不利的。另外，根据情况，还优选为了促进聚合反应而同时进行加热。
另外，照射光而使固化性树脂固化时的温度优选为0～150℃，更优选为0～60℃。

[0146] 照射光而使固化性树脂固化后的固化树脂的膜厚没有特别的限制，优选为1μm～10mm，更优选为5μm～1mm，最优选为10μm～0.5mm。如果处于这些范围内，则可
以得到独立的固化物。

[0147] 对于含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物的转印体从固化物的脱模，可以是通过从固化物中剥离而脱模，或者用有机溶剂溶解转印体而进行脱模。另外，也可以在固
化物背面或转印体背面粘贴树脂材料、玻璃等无机材料，并将该基板作为支持体进行脱模。

[0148] 利用剥离的脱模没有特别的限制，例如可以通过浸渍、喷雾等方法使固化物和转印体与例如水等介质进行接触后，利用表面张力进行剥离。另外，也可以使用有机溶剂溶解
转印体来进行脱模。通过溶解转印体进行脱模时，作为使用的有机溶剂，没有特别的限制，
考虑到溶解性，可以选自：例如间二三氟甲 苯、三氟甲苯、氟苯、二氟苯、六氟苯、三氟甲基
苯、二(三氟甲基)苯、间二三氟甲苯等含氟芳香族烃；全氟己烷、全氟辛烷等含氟脂肪族
烃；全氟环十氢化萘等含氟脂肪族环状烃；全氟-2-丁基四氢呋喃等含氟醚类；氯仿、氯苯、
三氯苯等卤化烃；四氢呋喃、二丁醚、1，2-二甲氧基乙烷、二噁烷等醚类；醋酸乙酯、醋酸丙
酯、醋酸丁酯等酯类；或甲基异丁基酮、环己酮等酮类等。

[0149] 作为本发明的光固化性单体，可以列举包含具有反应性双键基团的化合物、可进行阳离子聚合的开环聚合性化合物等的树脂等。这些化合物1分子中可具有1个反应性基
团，也可具有多个反应性基团。另外，作为光聚合引发剂，可以列举通过光照而生成自由基
的光自由基引发剂、通过光照而生成阳离子的光阳离子引发剂等。

[0150] 将光固化性单体和光固化引发剂混合而得到组合物时，光固化引发剂的使用量优选相对于固化性单体100质量份为0.05质量份以上，更优选为0.1～10质量份。

[0151] 作为具有反应性双键基团的化合物的固化性单体的具体例子，例如可以列举：降冰片烯、降冰片二烯等环状烯烃类；环己基甲基乙烯基醚、异丁基乙烯基醚、环己基乙烯基
醚、乙基乙烯基醚等烷基乙烯基醚类；醋酸乙烯酯等乙烯基酯类；(甲基)丙烯酸、丙烯酸苯
氧基乙酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸硬脂酯、丙烯酸月桂酯、丙烯酸2-乙基己酯、丙烯酸烯丙酯、
二丙烯酸1，3-丁二醇酯、二丙烯酸1，4-丁二醇酯、二丙烯酸1，6-己二醇酯、三羟甲基丙烷
三丙烯酸酯、三丙烯酸季戊四醇酯、六丙烯酸二季戊四醇酯、丙烯酸乙氧基乙酯、丙烯酸甲
氧基乙酯、丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸四氢糠酯、二丙烯酸二乙二醇酯、二丙烯酸新戊二醇
酯、二丙烯酸聚氧乙二醇酯、二丙烯酸三丙二醇酯、丙烯酸2-羟基乙酯、丙烯酸2-羟基丙
酯、4-羟基丁基乙烯基醚、N，N-二乙基氨基乙基丙烯酸酯、丙烯酸N，N-二甲基氨基乙酯、
N-乙烯基吡咯烷酮、甲基丙烯酸二甲基氨基乙酯等(甲基)丙烯酸及其衍生物或它们的
含氟丙烯酸酯类；氟二烯(CF2＝CFOCF2CF2CF＝CF2、CF2＝CFOCF2CF(CF3)CF＝CF2、CF2＝
CFCF2C(OH)(CF3)CH2CH＝CH2、CF2＝CFCF2C(OH)(CF3)CH＝CH2、CF2＝CFCF2C(CF3)(OCH2OCH3)
CH2CH＝CH2、CF2＝CFCH2C(C(CF3)2OH) (CF3)CH2CH＝CH2等)等。这些单体可以单独使用，
也可2种以上组合使用。

[0152] 另外，作为可进行阳离子聚合的开环聚合性化合物的固化性单体的具体例子，例如有：环己烯环氧化物、二环戊二烯氧化物、柠檬烯二氧化物、4-乙烯基环己烯二氧化物、
3，4-环氧环己基甲基-3′，4′-环氧环己烷甲酸酯、二(3，4-环氧环己基)己二酸酯、(3，
4-环氧环己基)甲基醇、(3，4-环氧-6-甲基环己基)甲基-3，4-环氧-6-甲基环己烷甲酸
酯、亚乙基1，2-二(3，4-环氧环己烷甲酸)酯、(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、苯基
缩水甘油基醚、二环己基-3，3’-二环氧化物、双酚A型环氧树脂、卤化双酚A型环氧树脂、
双酚F型环氧树脂、邻-(间-、对-)甲酚酚醛清漆型环氧树脂、苯酚酚醛清漆型环氧树脂、
多元醇的多缩水甘油基醚、3，4-环氧环己烯基甲基-3’，4’-环氧环己烯甲酸酯等脂环式环
氧树脂或氢化双酚A的缩水甘油基醚等环氧化合物等环氧化合物类；以及3-甲基-3-(丁
氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(戊氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(己氧基甲基)
氧杂环丁烷、3-甲基-3-(2-乙基己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(辛氧基甲基)氧
杂环丁烷、3-甲基-3-(癸氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(十二烷氧基甲基)氧杂环
丁烷、3-甲基-3-(苯氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(丁氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙
基-3-(戊氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(2-乙
基己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(辛氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(癸氧基
甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(十二烷氧基甲基)氧杂环丁烷、3-(环己氧基甲基)氧杂
环丁烷、3-甲基-3-(环己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(环己氧基甲基)氧杂环丁
烷、3-乙基-3-(苯氧基甲基)氧杂环丁烷、3，3-二甲基氧杂环丁烷、3-羟基甲基氧杂环丁
烷、3-甲基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-苯氧基
甲基氧杂环丁烷、3-正丙基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-异丙基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、
3-正丁基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-异丁基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-仲丁基-3-羟
基甲基氧杂环丁烷、3-叔丁基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-(2-乙基己基)氧杂环
丁烷等，作为具有2个以上氧杂环丁烷基的化合物，可列举二(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲
基)醚、1，2-二[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)]乙烷、1，3-二[(3-乙基-3- 氧杂
环丁烷基甲氧基)]丙烷、1，3-二[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)]-2，2-二甲基-丙
烷、1，4-二(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)丁烷、1，6-二(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲
氧基)己烷、1，4-二[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]苯、1，3-二[(3-甲基-3-氧
杂环丁烷基)甲氧基]苯、1，4-二{[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}苯、1，
4-二{[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}环己烷、4，4’-二{[(3-甲基-3-氧
杂环丁烷基)甲氧基]甲基}联苯、4，4’-双{[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲
基}双环己烷、2，3-二[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]双环[2.2.1]庚烷、2，5-二
[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]双环[2.2.1]庚烷、2，6-二[(3-甲基-3-氧杂环丁
烷基)甲氧基]双环[2.2.1]庚烷、1，4-二[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]苯、1，
3-二[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]苯、1，4-二{[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲
氧基]甲基}苯、1，4-二{[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}环己烷、4，4’-双
{[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}联苯、4，4′-双{[(3-乙基-3-氧杂环
丁烷基)甲氧基]甲基}双环己烷、2，3-二[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]双环
[2.2.1]庚烷、2，5-二[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]双环[2.2.1]庚烷、2，6-二
[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]双环[2.2.1]庚烷等氧杂环丁烷化合物类。另外，
这些物质可以单独使用，也可以2种以上组合使用。

[0153] 另外，作为通过光照而生成自由基的光自由基引发剂，例如可以列举：苯乙酮、对叔丁基三氯苯乙酮、氯苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、羟基苯乙酮、2，2-二甲氧基-2′-苯
基苯乙酮、2-氨基苯乙酮、二烷基氨基苯乙酮等苯乙酮类；苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙
醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁基醚、1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-2-甲
基丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮等苯偶姻类；二苯甲酮、
苯甲酰苯甲酸、苯甲酰苯甲酸甲酯、邻苯甲酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、羟基二苯甲酮、
羟基丙基二苯甲酮、丙烯酰基二苯甲酮、4，4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮等二苯甲酮类；
噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-甲基噻吨酮、二乙基噻吨酮、二甲基噻吨酮等噻吨酮类；全氟(叔
丁基过氧化物)、全氟过氧化苯甲酰等氟系过氧化物类；α-酰基肟酯、苄基-(邻乙氧基羰
基)-α-单肟、酰基氧化膦、乙醛酸酯、3-酮基香豆素、2-乙基蒽醌、樟脑醌、硫化四甲基秋
兰姆、偶氮二异丁腈、过氧化苯甲酰、二烷基过氧化物、叔丁基过氧化新戊酸酯等。另外，这
些光自由基引发剂可以单独使用，也可以2种以上组合使用。

[0154] 作为通过光照而生成阳离子的光阳离子引发剂，只要是通过光照而引发上述可进行阳离子聚合的开环聚合性化合物类的阳离子聚合的化合物，则没有特别的限制，光阳离
子引发剂优选例如如鎓阳离子和与之配对的阴离子的鎓盐那样进行光反应而释放出路易
斯酸的化合物。

[0155] 作为鎓阳离子的具体例子，可以列举二苯基碘鎓、4-甲氧基二苯基碘鎓、二(4-甲基苯基)碘鎓、二(4-叔丁基苯基)碘鎓、二(十二烷基苯基)碘鎓、三苯基锍、二苯基-4-硫
代苯氧基苯基锍、二〔4-(二苯基锍基)-苯基〕硫化物、二〔4-(二(4-(2-羟基乙基)苯基)
锍基)-苯基〕硫化物、η5-2，4-(环戊二烯基)〔1，2，3，4，5，6-η-(甲基乙基)苯〕-铁
(1+)等。另外，除鎓阳离子以外，还可列举过氯酸根离子、三氟甲磺酸根离子、甲苯磺酸根离
子、三硝基甲苯磺酸根离子等。

[0156] 另一方面，作为阴离子的具体例子，可以列举四氟硼酸盐、六氟磷酸盐、六氟锑酸盐、六氟砷酸盐、六氯锑酸盐、四(氟苯基)硼酸盐、四(二氟苯基)硼酸盐、四(三氟苯基)
硼酸盐、四(四氟苯基)硼酸盐、四(五氟苯基)硼酸盐、四(全氟苯基)硼酸盐、四(三氟
甲基苯基)硼酸盐、四(二(三氟甲基)苯基)硼酸盐等。另外，这些光阳离子引发剂可以
单独使用，也可以2种以上组合使用。

[0157] 另外，本发明中除了具有光固化性基团的单体及光聚合引发剂外，必要时可以添加其它公知的成分。作为其它成分，可以列举抗老化剂、流平剂、润湿改良剂、表面活性剂、
增塑剂等改性剂，紫外线吸收剂、防腐剂、抗菌剂等稳定剂，光敏剂、硅烷偶联剂、溶剂等。

[0158] 在本发明中，也可以使用热固化性单体组合物代替光固化性单体组合物。使用热固化性单体时，最好在含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃聚合物的玻璃化转变温度以下
的温度下固化，如果在其以上的温度下固化，则微细图案可能变形。

[0159] 实施例

[0160] 以下，在实施例中对本发明进行说明，但是本发明不受这些实例的任何限定。

[0161] 另外，实施例中合成的聚合物的物性值测定方法、纳米压印成型方法及其观察方法记载如下。

[0162] [重均分子量(Mw)、分子量分布(Mw/Mn)]

[0163] 在下述条件下使用凝胶渗透色谱(GPC)，按以下条件测定溶解在四氢呋喃(THF)或三氟甲基甲苯(TFT)中的聚合物的重均分子量(Mw)及数均分子量(Mn)，并用聚苯乙烯标
样校正分子量。

[0164] 检测器：日本分光制造的RI-2031及875-UV或Viscotec制造的Model270，串联柱：Shodex K-806M、804、803、802.5，柱温：40℃，流量：1.0ml/分钟，试样浓度：3.0～
9.0mg/ml

[0165] [含氟环状烯烃聚合物的氢化率]

[0166] 将进行了氢化反应的开环复分解聚合物的粉末溶解在氘代氯仿、或氘代四氢呋1
喃、或六氟苯和氘代氯仿的混合溶剂中，使用270MHz-H-NMR光谱，通过来自δ＝4.5～
7.0ppm的主链双键碳上结合的氢的吸收光谱的积分值来算出氢化率。

[0167] [含氟环状烯烃共聚物的组成比]

[0168] 将进行了氢化反应的开环复分解聚合物的粉末溶解在氘代四氢呋喃、或六氟苯和19
氘代氯仿的混合溶剂中，添加作为基准物质的邻二氟苯，使用373MHz- F-NMR光谱，将δ
＝-139ppm的邻二氟苯作为基准的信号，通过来自通式(1)及通式(2)的单元结构各自的
δ＝-150～-200ppm的-CF、δ＝-100～-150ppm的-CF2、或δ＝-60～-100ppm的-CF3
的信号的积分值来算出组成比。

[0169] [氟原子含有率]

[0170] 氟原子含有率通过以下数学式(1)计算。

[0171] 氟原子含有率(质量％)＝(Fn×19)×100/Fw(1)

[0172] 此处，数学式(1)中，Fn＝Fn1×(1-m)+Fn2×m，m为通式(2)的摩尔分率，Fn1表2
示通式(1)所示结构单元中的氟原子数，Fn 表示通式(2)所 示结构单元中的氟原子数，另
1 2 1 2
外，Fw＝Fw×(1-m)+Fw×m，Fw 表示通式(1)所示结构单元的式量，Fw 表示通式(2)所
示结构单元的式量。

[0173] [玻璃化转变温度]

[0174] 使用岛津制作所制造的DSC-50，在氮气氛下以10℃/分钟的升温速度对测定试样进行加热和测定。

[0175] [固体粘弹性测定]

[0176] 使用TA instruments公司制造的RSA-III，对于测定试样，在拉伸模式下于氮气氛下、3℃/分的升温速度、测定频率1Hz、可进行固体粘弹性测定的夹具间试样变形距离为
0～4.2mm的范围内进行测定。

[0177] [膜的利用铅笔法的划痕硬度测定]

[0178] 使用旋涂于玻璃基板上的膜，按照JIS K5600-5-4(铅笔划痕试验方法)测定载荷为100g的划痕硬度。

[0179] [SEM图案观察]

[0180] 转印有微细图案的膜状转印体上的线和间隔及断面的观察、膜厚的测定使用日本分光社制造的扫描型电子显微镜JSM-6701F(以下记作SEM)。对于线和间隔的宽度，从SEM
的断面照片上任意选择3点图案，将高度的1/2作为测量位置，分别测定线和间隔，由其平
均值算出。

[0181] [压印中使用的模具]

[0182] 使用协同International制造的硅模具，对于模具尺寸，将凸部的宽度表示为L1、将凸部和凸部的等间距表示为L2、将凸部的高度表示为L3，模具A的各个尺寸为L1＝
420nm、L2＝570nm、L3＝1600nm，模具B的各个尺寸为L1＝200nm、L2＝100nm、L3＝
160nm，将具有上述尺寸的图案部分用于转印性评价。

[0183] [热压印装置]

[0184] 就利用热压合法的压印而言，使用明昌机工社制造的NANOINPRINTER(NM-0501)，使模具的图案面置于下部，将膜夹持于模具的图案面与硅晶片之间，在规定的温度、压力下
按压模具。膜的剥离是在冷却后，从膜背面剥离硅晶片，然后从膜的端部按一定方向剥离。

[0185] [溶液涂布压印]

[0186] 在聚合物溶液的涂布中，使用8mm(直径)×100mm(长)的玻璃制棒涂机。模具的干燥是在氮气流和室温下干燥30分钟后，将模具转移到设定为规定温度的惰性烘箱中，在
氮气流下干燥规定的时间。转印有图案的膜的剥离是在膜端部粘贴Kapton胶带，并将胶带
作为支持体按一定方向剥离。

[0187] [UV固化]

[0188] 使用日本分光社制造的LUX SPOT-II作为UV固化树脂的固化时的光源，照射450nm的蓝色光进行固化。

[0189] [实施例1]聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的合成

[0190] 在5，5，6-三氟-6-(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯(100g)和1-己烯(268mg)i
的四氢呋喃溶液中，添加Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3) 2)2(70mg)的四氢呋喃
溶液，在70℃下进行开环复分解聚合。利用钯氧化铝(5g)在160℃下对得到的聚合物的烯
烃部分进行氢化反应，从而得到聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的四
氢呋喃溶液。

[0191] 将溶液添加到甲醇中，过滤出白色的聚合物，干燥后得到99g的聚合物。氢化率为100％，重均分子量(Mw)为127000，分子量分布(Mw/Mn)为1.70，玻璃化转变温度为109℃。
氟原子含有率为52.3质量％。

[0192] 接着，对得到的氢化后的聚合物粉进行热压，制成厚度为0.37mm的热压片材。由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果可知，在玻璃化转变温度以上的平缓的
储能模量或损耗模量变化区域的113℃至152℃的范围内储能模量为5.81～0.57MPa，
在117℃至152℃的范围内损耗模量为3.05～0.27MPa，相对于温度的储能模量的变化
为-0.13MPa/℃，损耗模量的变化为-0.08MPa/℃。固体粘弹性测定结果示于图1中。

[0193] [实施例2]聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的合成

[0194] 除了将催化剂变更为Mo(N-2，6-Pri2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBut)2(50mg)以外，按与实施例1相同的方式得到聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)(98g)。氢化
率为100％，重均分子量(Mw)为83000，分子量分布(Mw/Mn)为1.73，玻璃化转变温度为
108℃。氟原子含有率为52.3质量％。

[0195] 接着，对得到的氢化后的聚合物粉进行热压，制成厚度为0.37mm的热压片材。由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果可知，在玻璃化转变温度以上 的平缓的
储能模量或损耗模量变化区域的109℃至150℃的范围内储能模量为4.98～0.58MPa，
在113℃至150℃的范围内损耗模量为2.96～0.31MPa，相对于温度的储能模量的变化
为-0.11MPa/℃，损耗模量的变化为-0.07MPa/℃。

[0196] [实施例3]聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟乙基-3，5-亚环戊基乙烯)的合成

[0197] 除了将单体变更为5，6-二氟-5-三氟甲基-6-全氟乙基双环[2.2.1]庚-2-烯i t
(50g)、将催化剂变更为Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBu)2(17mg)以外，按与实施例1相
同的方式得到聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟乙基-3，5-亚环戊基乙烯)(49g)。氢
化率为100％，重均分子量(Mw)为95000，分子量分布(Mw/Mn)为1.52，玻璃化转变温度为
110℃。氟原子含有率为59.7质量％。

[0198] 接着，对得到的氢化后的聚合物粉进行热压，制成厚度为0.37mm的热压片材。由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果可知，在玻璃化转变温度以上的平缓的
储能模量或损耗模量变化区域的115℃至160℃的范围内储能模量为5.01～0.55MPa，
在119℃至160℃的范围内损耗模量为3.10～0.24MPa，相对于温度的储能模量的变化
为-0.10MPa/℃，损耗模量的变化为-0.07MPa/℃。

[0199] [实施例4]聚(1，2-二氟-1-七氟-异丙基-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的合成

[0200] 在5，6-二氟-5-七氟-异丙基-6-三氟甲基双环[2.2.1]庚-2-烯(50g)和1-己i t
烯(0.034g)的三氟甲基甲苯溶液中，添加Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBu)2(14mg)的
三氟甲基甲苯溶液，在70℃下进行开环复分解聚合。对于得到的聚合物溶液，将溶剂替
换为THF，利用钯氧化铝(2.5g)在160℃对烯烃部分进行氢化反应，从而得到聚(1，2-二
氟-1-七氟-异丙基-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的THF溶液。将溶液添加到甲
醇中，过滤出白色的聚合物，干燥后得到49g聚合物。氢化率为100％，重均分子量(Mw)为
284000，分子量分布(Mw/Mn)为1.40，玻璃化转变温度为137℃。氟原子含有率为61.9质
量％。

[0201] 接着，对得到的氢化后的聚合物粉进行热压，制成厚度为0.37mm的热压片材。由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果可知，在玻璃化转变温度以上 的平缓的
储能模量或损耗模量变化区域的157℃至183℃的范围内储能模量为4.88～0.49MPa，
在162℃至183℃的范围内损耗模量为4.30～0.26MPa，相对于温度的储能模量的变化
为-0.17MPa/℃，损耗模量的变化为-0.19MPa/℃。

[0202] [实施例5]利用涂布法制造转印体

[0203] 将实施例1中合成的Mw＝127000的聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)以20质量％的浓度溶解在环己酮中，将调制的溶液20mg滴加到模具A的图案上，
通过棒涂进行均匀涂布。

[0204] 接着，在氮气流和室温下干燥30分钟，然后在150℃下干燥30分钟。将模具在氮气下冷却至室温，从模具上剥离，从而得到转印有微细图案的膜厚为7μm的膜状转印体。

[0205] 利用SEM观察图案，结果为L1＝568nm，L2＝422nm，L3＝1594nm。

[0206] [实施例6]

[0207] 除了将干燥温度变更为180℃以外，通过实施例5记载的方法，得到转印有微细图案的膜厚为6μm的膜状转印体。

[0208] 利用SEM观察图案，结果为L1＝571nm，L2＝419nm，L3＝1595nm。

[0209] [实施例7]

[0210] 除了将实施例5的模具A变更为模具B以外，按与实施例5相同的方式制作膜状转印体。膜厚为7μm，由SEM图案观察结果得到L1＝101nm，L2＝199nm，L3＝161nm。

[0211] [实施例8]

[0212] 将实施例2中合成的Mw＝83000的聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)以30质量％的浓度溶解在环己酮中，将配制的溶液250mg滴加在模具A的图案上，
通过棒涂进行均匀涂布。

[0213] 接着，在氮气流下室温干燥30分钟，然后在180℃下干燥90分钟。将模具在氮气下冷却至室温，从模具上剥离，从而得到转印有微细图案的膜厚为110μm的膜状转印体。

[0214] 利用SEM观察图案，结果为L1＝569nm，L2＝421nm，L3＝1592nm。

[0215] [实施例9]

[0216] 将实施例3中合成的聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟乙基-3，5-亚环戊基乙烯)以30质量％的浓度溶解在醋酸丁酯中，将配制的溶液120mg滴加到模具A的图案上，
通过棒涂进行均匀涂布。

[0217] 接着，在氮气流和室温下干燥30分钟，然后在180℃下干燥60分钟。将模具在氮气下冷却至室温，从模具上剥离，从而得到转印有微细图案的膜厚为93μm的膜状转印体。

[0218] 利用SEM观察图案，结果为L1＝569nm，L2＝421nm，L3＝1595nm。

[0219] [实施例10]

[0220] 将实施例4中合成的聚(1，2-二氟-1-七氟-异丙基-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)以20质量％的浓度溶解在1，3-二(三氟甲基)苯中，将配制的溶液150mg滴加
到模具A的图案上，通过棒涂进行均匀涂布。

[0221] 接着，在氮气流和室温下干燥30分钟，然后在180℃下干燥60分钟。将模具在氮气下冷却至室温，从模具上剥离，从而得到转印有微细图案的膜厚为87μm的膜状转印体。

[0222] 利用SEM观察图案，结果为L1＝570nm，L2＝420nm，L3＝1594nm。

[0223] [实施例11]聚(1，2-二氟-1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)的合成和通过涂布法制造转印体

[0224] 除了将单体变更为5，6-二氟-5，6-二(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯(50g)以外，按与实施例1相同的方式得到聚(1，2-二氟-1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙
烯)(49g)。氢化率为100％，重均分子量(Mw)为188000，分子量分布(Mw/Mn)为1.50，玻
璃化转变温度为126℃。氟原子含有率为56.7质量％。

[0225] 接着，对得到的氢化后的聚合物粉进行热压，使用厚度为0.37mm的热压片材进行测定。由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果可知，在玻璃化转变温度以上的平缓
的储能模量或损耗模量变化区域的131℃至172℃的范围内储能模量为4.99～0.55MPa，
在135℃至172℃的范围内损耗模量为3.70～0.33MPa，相对于温度的储能模量的变化
为-0.11MPa/℃，损耗模量的变化为-0.09MPa/℃。

[0226] 然后，除了将干燥温度变更为170℃以外，通过实施例5记载的方法，得到转印有微细图案的膜厚为10μm的膜状转印体。

[0227] 利用SEM观察图案，结果为L1＝572nm，L2＝418nm，L3＝1594nm。

[0228] [实施例12]聚(1，1，2，2，3，3，3a，6a-八氟环戊基-3，5-亚环戊基乙烯)的合成和通过涂布法制造转印体

[0229] 除了将单体变更为2，3，3，4，4，5，5，6-八氟三环[5.2.1.02，6]癸-8-烯(50g)以外，按与实施例1相同的方式得到聚(1，1，2，2，3，3，3a，6a-八氟环戊基-3，5-亚环戊基乙
烯)(48g)。氢化率为100％，重均分子量(Mw)为126000，分子量分布(Mw/Mn)为1.49，玻
璃化转变温度为150℃。氟原子含有率为54.3质量％。

[0230] 接着，对得到的氢化后的聚合物粉进行热压，使用厚度为0.37mm的热压片材进行测定。由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果可知，在玻璃化转变温度以上的平缓
的储能模量或损耗模量变化区域的172℃至192℃的范围内储能模量为5.03～0.48MPa，
在176℃至192℃的范围内损耗模量为3.90～0.37MPa，相对于温度的储能模量的变化
为-0.23MPa/℃，损耗模量的变化为-0.22MPa/℃。

[0231] 然后，除了将干燥温度变更为190℃以外，通过实施例5记载的方法，得到转印有微细图案的膜厚为9μm的膜状转印体。

[0232] 利用SEM观察图案，结果为L1＝573nm，L2＝417nm，L3＝1596nm。

[0233] [实施例13]聚(1-氟-1-全氟乙基-2，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)的合成和通过涂布法制造转印体

[0234] 除了将单体变更为5-氟-5-全氟乙基-6，6-二(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯(50g)以外，按与实施例1相同的方式得到聚(1-氟-1-全氟乙基-2，2-二(三
氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)(48g)。氢化率为100％，重均分子量(Mw)为126000，分子量
分布(Mw/Mn)为1.51，玻璃化转变温度为142℃。氟原子含有率为61.9质量％。

[0235] 接着，对得到的氢化后的聚合物粉进行热压，使用厚度为0.37mm的热压片材进行。由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果可知，在玻璃化转变温度以上的平缓的
储能模量或损耗模量变化区域的165℃至187℃的范围内储能模量为4.89～0.58MPa，
在169℃至187℃的范围内损耗模量为4.50～0.40MPa，相对于温度的储能模量的变化
为-0.20MPa/℃，损耗模量的变化为-0.23MPa/℃。

[0236] 然后，除了将干燥温度变更为180℃以外，通过实施例5记载的方法，得到转印有微细图案的膜厚为10μm的膜状转印体。

[0237] 利用SEM观察图案，结果为L1＝572nm，L2＝418nm，L3＝1591nm。

[0238] [实施例14]通过热压合法制造转印体

[0239] 用涂布器将实施例1中制备的聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的环己酮溶液在石英玻璃基板上进行涂膜。接着，在空气中在已加热到80℃的热板上
加热30分钟，然后在氮气流和230℃下干燥30分钟。放置冷却后，脱离石英玻璃，从而得到
450mm×550mm(厚度＝30μm)的膜。

[0240] 接着，将得到的膜加热到160℃并与模具A进行接触，以10MPa进行热压合并保持该状态5秒钟。冷却到70℃后，脱离模具，从而得到转印有微细图案的膜厚为31μm的膜状
转印体。

[0241] 利用SEM观察图案，结果为L1＝581nm，L2＝409nm，L3＝1601nm。

[0242] [实施例15]

[0243] 对实施例4中合成的聚(1，2-二氟-1-七氟-异丙基-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)进行热压，得到50mm×50mm(厚度＝80μm)的膜。

[0244] 接着，将得到的膜加热到180℃并与模具A进行接触，以10MPa进行热压合并保持该状态5秒钟。冷却到70℃后，脱离模具，得到转印有微细图案的膜厚为77μm的膜状转印
体。

[0245] 利用SEM观察图案，结果为L1＝583nm，L2＝407nm，L3＝1604nm。

[0246] [实施例16]通过复制模具制造丙烯酸系固化树脂转印体

[0247] 通过棒涂在石英玻璃上均匀涂布50mg丙烯酸系UV固化树脂(Aronix东亚合成社的商品名)。

[0248] 接着，将作为复制模具的实施例5中制作的聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的膜状转印体按压在涂布液膜上以覆盖图案面，在室温下从复制模具的背面
2
照射UV 15分钟(照射线量：34mJ/cm)。照射后，从模具上剥离，得到转印有微细图案的膜
厚为100μm的膜状转印体。

[0249] 利用SEM观察图案，结果为L1＝421nm，L2＝569nm，L3＝1595nm。

[0250] [实施例17]通过复制模具制造环氧系固化树脂转印体

[0251] 通过棒涂在石英玻璃上均匀涂布用锍盐作为引发剂的环氧系固化树脂(4，4’-双(7-氧杂双环[4.1.0]庚烷-3-基)40质量％、3-乙基-3-(苯氧基甲基) 氧杂环丁烷50质
量％、1，4-二[((3-乙基氧杂环丁烷-3-基)甲氧基)甲基]苯10质量％的混合物)53mg。

[0252] 接着，将作为复制模具的实施例6中制作的聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的膜状转印体按压在涂布液膜上以覆盖图案面，在室温下从复制模具的背面
2
照射UV 15分钟(照射线量：34mJ/cm)。照射后，从模具上剥离，得到转印有微细图案的膜
厚为95μm的膜状转印体。

[0253] 利用SEM观察图案，结果为L1＝420nm，L2＝570nm，L3＝1596nm。

[0254] [比较例1]聚(1-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的合成和通过涂布法制造转印体

[0255] 除了将单体变更为5-(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯(10g)以外，按与实施例1相同的方式得到聚(1-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)(9g)。氢化率为100％，重均分
子量(Mw)为98000，分子量分布(Mw/Mn)为1.17，玻璃化转变温度为47℃。氟原子含有率
为34.7质量％。

[0256] 使用厚度为0.37mm的热压片材进行测定，由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果，未见在玻璃化转变温度以上的温度区域中的平缓的储能模量或损耗模量变化区域，
48℃至57℃的范围内储能模量为92.3～0.11MPa，相同温度范围内损耗模量为97.1～
0.13MPa，相对于温度的储能模量的变化为-10.2MPa/℃，损耗模量的变化为-10.8MPa/℃。

[0257] 接着，将得到的聚(1-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)以20质量％的浓度溶解在环己酮中，将配制的溶液23mg滴加到模具A的图案上，通过棒涂进行均匀涂布。在氮气流
和室温下干燥30分钟，然后在150℃下干燥30分钟。将模具在氮气下冷却至5℃，从模具
上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为7μm的膜状转印体。

[0258] 利用SEM观察图案，结果为L1＝569～598nm的混乱线形状。

[0259] [比较例2]聚(3，4-二(三氟甲基)-2，5-(1-氧杂亚环戊基)乙烯)的合成和通过涂布法制造转印体

[0260] 除了将单体变更为2，3-二(三氟甲基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-2-烯(10g)以外，按与实施例1相同的方式得到聚(3，4-二(三氟甲基)-2，5-(1-氧杂亚 环戊基)乙
烯)(9g)。氢化率为100％，重均分子量(Mw)为90000，分子量分布(Mw/Mn)为1.41，玻璃
化转变温度为44℃。

[0261] 使用厚度为0.37mm的热压片材进行测定，由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果，未见在玻璃化转变温度以上的温度区域中的平缓的储能模量或损耗模量变化区域，
45℃至55℃的范围内储能模量为99.3～0.12MPa，相同温度范围内损耗模量为103.2～
0.11MPa，相对于温度的储能模量的变化为-9.9MPa/℃，损耗模量的变化为-10.3MPa/℃。

[0262] 接着，将得到的聚(3，4-二(三氟甲基)-2，5-(1-氧杂亚环戊基)乙烯)以20质量％的浓度溶解在环己酮中，将配制的溶液24mg滴加到模具A的图案上，通过棒涂进行均
匀涂布。在氮气流和室温下干燥30分钟，然后在150℃下干燥30分钟。将模具在氮气下冷
却至5℃，从模具上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为8μm的膜状转印体。

[0263] 利用SEM观察图案，结果为L1＝571～601nm的混乱线形状。

[0264] [比较例3]聚(1-甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的合成和通过涂布法制造转印体

[0265] 除了将单体变更为5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯(10g)以外，按与实施例1相同的方式得到聚(1-甲基-3，5-亚环戊基乙烯)(9g)。氢化率为100％，重均分子量(Mw)为
182000，分子量分布(Mw/Mn)为1.11，玻璃化转变温度为34℃。

[0266] 使用厚度为0.37mm的热压片材进行测定，由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果，未见在玻璃化转变温度以上的温度区域中的平缓的储能模量或损耗模量变化
区域，38℃至49℃的范围内储能模量为101.1～0.11MPa，38℃至49℃的范围内损耗模
量为94.8～0.12MPa，相对于温度的储能模量的变化为-9.2MPa/℃，损耗模量的变化
为-8.6MPa/℃。

[0267] 接着，将得到的聚(1-甲基-3，5-亚环戊基乙烯)以20质量％的浓度溶解在环己酮中，将配制的溶液27mg滴加到模具A的图案上，通过棒涂进行均匀涂布。在氮气流和室
温下干燥30分钟，然后在150℃下干燥30分钟。将模具在氮气下冷却至5℃，尝试从模具
上剥离，但是不能得到膜。

[0268] [比较例4]通过涂布法制造Teflon(注册商标)AF1600的转印体

[0269] 通过棒涂将含有由四氟乙烯和4，5-二氟-2，2-二(三氟甲基)-1，3-二噁唑形成的共聚物的Teflon(注册商标)AF1600(Aldrich产品，玻璃化转变温度＝162℃)20质量％
的全氟-2-正丁基-四氢呋喃(Fluorinert(注册商标)FC75)溶液25mg，涂布在模具A及
模具B的图案形成面上，但模具表面上引起斥液，不能形成涂膜。

[0270] [比较例5]通过热压合法制造Teflon(注册商标)AF1600的转印体

[0271] 在260℃对比较例4的Teflon(注册商标)AF1600粉末进行热压，得到50mm×50mm(厚度＝90μm)的膜。

[0272] 接着，将得到的膜加热到200℃并与模具A进行接触，以10MPa热压合并保持该状态5秒钟。冷却到70℃后，脱离模具，得到转印有微细图案的膜厚为85μm的膜。

[0273] 利用SEM观察图案，结果观察到凸部损坏而不能转印的部分和L1＝510～650nm的混乱线形状的部分，不能得到转印体。

[0274] [实施例18]聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)和聚(3，3，4-三2，5
氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)共聚物的合成

[0275] 在5，5，6-三氟-6-(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯(50g)、8，8，9-三氟-9-(三2，5 7，10
氟甲基)-四环[4.4.0.1 .1 ]-3-十二烯(22g)及1-己烯(0.462g)的四氢呋喃溶液
i t
中，添加Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBu)2(33.9mg)的四氢呋喃溶液，在70℃下进行开
环复分解聚合。利用钯氧化铝(3.6g)在160℃下对得到的聚合物的烯烃部分进行氢化反
应，得到聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)和聚(3，3，4-三氟-4-三氟
2，5
甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)共聚物的四氢呋喃溶液。将溶液添加到甲醇
中，过滤出白色的聚合物，干燥后得到71g的聚合物。氢化率为100％，重均分子量(Mw)为
98000，分子量分布(Mw/Mn)为2.51，玻璃化转变温度为129℃。组成比[A]/[B]＝75/25，
氟原子含有率为49.2质量％。

[0276] 接着，对得到的氢化后的聚合物粉进行热压，制成厚度为0.37mm的热压片材。由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果，得到在玻璃化转变温度以上的平缓的储
能模量或损耗模量变化区域的149℃至163℃的范围内储能模量为 1.21～0.26MPa，
在153℃至163℃的范围内损耗模量为0.62～0.18MPa，相对于温度的储能模量的变化
为-0.07MPa/℃，损耗模量的变化为-0.04MPa/℃。

[0277] [实施例19]聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)和聚(3，3，4-三2，5
氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)共聚物的合成

[0278] 除了将5，5，6-三氟-6-(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯和8，8，9-三氟-9-(三2，5 7，10
氟甲基)-四环[4.4.0.1 .1 ]-3-十二烯单体的加入摩尔比变更为25/75以外，按与实
施例18相同的方式得到聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)和聚(3，3，
2，5
4-三氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)共聚物(62g)。氢化率为100％，
重均分子量(Mw)为112000，分子量分布(Mw/Mn)为2.51，玻璃化转变温度为175℃。组成
比[A]/[B]＝25/75，氟原子含有率为42.9质量％。

[0279] 接着，对得到的氢化后的聚合物粉进行热压，制成厚度为0.37mm的热压片材。由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果，得到在玻璃化转变温度以上的平缓的
储能模量或损耗模量变化区域的195℃至209℃的范围内储能模量为1.19～0.24MPa，
在199℃至209℃的范围内损耗模量为0.60～0.16MPa，相对于温度的储能模量的变化
为-0.07MPa/℃，损耗模量的变化为-0.044MPa/℃。

[0280] [实施例20]聚(1，2-二氟-1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)和聚(3，2，5
3，4-三氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)共聚物的合成

[0281] 在5，6-二氟-5，6-二(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯(50g)、8，8，9-三2，5 7，10
氟-9-(三氟甲基)-四环[4.4.0.1 .1 ]-3-十二烯(54g)及1-己烯(0.462g)的四氢
i t
呋喃溶液中，添加Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBu)2(41.3mg)的四氢呋喃溶液，在70℃
下进行开环复分解聚合。利用钯氧化铝(5.0g)在160℃下对得到的聚合物的烯烃部分进行
氢化反应，得到聚(1，2-二氟-1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)和聚(3，3，4-三
2，5
氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)共聚物的四氢呋喃溶液。将溶液添
加到甲醇中，过滤出白色的聚合物，干燥后得到101g聚合物。氢化率为100％，重均分子量
(Mw)为106000，分子量分布(Mw/Mn)为2.54，玻璃化转变温度为158℃。组成比[A]/[B]
＝50/50，氟原子含有率为48.4质量％。

[0282] 接着，对得到的氢化后的聚合物粉进行热压，制成厚度为0.36mm的热压片材。由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果，得到在玻璃化转变温度以上 的平缓的
储能模量或损耗模量变化区域的178℃至192℃的范围内储能模量为1.20～0.24MPa，
在182℃至192℃的范围内损耗模量为0.63～0.19MPa，相对于温度的储能模量的变化
为-0.07MPa/℃，损耗模量的变化为-0.04MPa/℃。

[0283] [实施例21]聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)的合成

[0284] 在5，5，6-三氟-6-(三氟甲氧基)双环[2.2.1]庚-2-烯(50g)和1-己烯(134mg)i
的四氢呋喃溶液中，添加Mo(N-2，6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3) 2)2(35mg)的四氢呋喃
溶液，在70℃下进行开环复分解聚合。利用钯氧化铝(2.5g)在160℃下对得到的聚合物的
烯烃部分进行氢化反应，得到聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)的四氢
呋喃溶液。将溶液添加到甲醇中，过滤出白色的聚合物，干燥后得到48g聚合物。氢化率为
100％，重均分子量(Mw)为131000，分子量分布(Mw/Mn)为1.73，玻璃化转变温度为101℃。
氟原子含有率为48.7质量％。

[0285] 接着，对得到的氢化后的聚合物粉进行热压，制成厚度为0.37mm的热压片材。由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果，得到在玻璃化转变温度以上的平缓的
储能模量或损耗模量变化区域的104℃至143℃的范围内储能模量为5.79～0.52MPa，
在108℃至141℃的范围内损耗模量为3.01～0.24MPa，相对于温度的储能模量的变化
为-0.14MPa/℃，损耗模量的变化为-0.08MPa/℃。

[0286] [实施例22]

[0287] 将实施例18中合成的Mw＝98000的聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环2，5
戊基乙烯)和聚(3，3，4-三氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)共聚物
(组成比[A]/[B]＝75/25)以20质量％的浓度溶解在环己酮中，将配制的溶液30mg滴加
到模具A的图案上，通过棒涂进行均匀涂布。接着，在氮气流和室温下干燥30分钟，然后在
180℃下干燥60分钟。将模具在氮气下冷却至室温，从模具上剥离，得到转印有微细图案的
膜厚为8μm的膜状转印体。

[0288] 利用SEM观察图案，结果为L1＝570nm，L2＝420nm，L3＝1595nm。

[0289] [实施例23]

[0290] 将实施例19中合成的Mw＝112000的聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环2，5
戊基乙烯)和聚(3，3，4-三氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)共聚物
(组成比[A]/[B]＝25/75)以20质量％的浓度溶解在环己酮中，将配制的溶 液30mg滴加
到模具A的图案上，通过棒涂进行均匀涂布。接着，在氮气流和室温下干燥30分钟，然后在
200℃下干燥60分钟。将模具在氮气下冷却至室温，从模具上剥离，得到转印有微细图案的
膜厚为8μm的膜状转印体。

[0291] 利用SEM观察图案，结果为L1＝571nm，L2＝419nm，L3＝1594nm。

[0292] [实施例24]

[0293] 将实施例20中合成的Mw＝106000的聚(1，2-二氟-1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚2，5
环戊基乙烯)和聚(3，3，4-三氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)共聚
物(组成比[A]/[B]＝50/50)以20质量％的浓度溶解在环己酮中，将配制的溶液30mg滴
加到模具A的图案上，通过棒涂进行均匀涂布。接着，在氮气流和室温下干燥30分钟，然后
在190℃下干燥60分钟。将模具在氮气下冷却至室温，从模具上剥离，得到转印有微细图案
的膜厚为9μm的膜状转印体。

[0294] 利用SEM观察图案，结果为L1＝571nm，L2＝419nm，L3＝1595nm。

[0295] [实施例25]

[0296] 将实施例21中合成的Mw＝131000的聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)以20质量％的浓度溶解在环己酮中，将配制的溶液30mg滴加到模具A的图
案上，通过棒涂进行均匀涂布。接着，在氮气流和室温下干燥30分钟，然后在200℃下干燥
60分钟。将模具在氮气下冷却至室温，从模具上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为8μm
的膜状转印体。

[0297] 利用SEM观察图案，结果为L1＝571nm，L2＝419nm，L3＝1594nm。

[0298] [实施例26]膜的利用铅笔法的划痕硬度测定

[0299] 将实施例1中合成的Mw为127000的聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)(组成比[A]/[B]＝100/0)以20质量％的浓度溶解在环己酮中，将配制的溶液滴
加到玻璃基板上，通过旋涂进行均匀涂布。接着，在氮气流和180℃下干燥60分钟，在空气
下室温放置冷却，从而得到涂布在玻璃基板上的厚度为15μm的膜。载荷100g下的划痕硬
度为4B。

[0300] 除了将聚合物变更为实施例18(Mw为98000，组成比[A]/[B]＝75/25)、实施例19(Mw为112000，组成比[A]/[B]＝25/75)中合成的共聚物以外，通过与上述相同的方法，
得到涂布在玻璃基板上的厚度为15μm的膜。测定划痕 硬度的结果为：实施例18的聚合
物为3B，实施例19的聚合物为2B，与实施例1的聚合物相比划痕硬度均有提高。

[0301] [比较例6]组成比[A]/[B]＝10/90的聚(1，2-二氟-1，2-二(三氟甲基)-3，2，5
5-亚环戊基乙烯)和聚(3-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)共聚物的合成
和通过涂布法制造转印体

[0302] 在5，6-二氟-5，6-二(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯(5g)、8-三氟甲基-四2，5 7，10
环[4.4.0.1 .1 ]-3-十二烯(39g)及1-己烯(0.418g)的四氢呋喃溶液中，添加Mo(N-2，
i t
6-Pr2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBu)2(20mg)的四氢呋喃溶液，在70℃下进行开环复分解聚合。利
用钯氧化铝(2.2g)在160℃下对得到的聚合物的烯烃部分进行氢化反应，得到聚(1，2-二
2，
氟-1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)和聚(3-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1
5
]亚癸基乙烯)共聚物的四氢呋喃溶液。将溶液添加到甲醇中，过滤出白色的聚合物，干
燥后得到42g聚合物。氢化率为100％，重均分子量(Mw)为94000，分子量分布(Mw/Mn)为
2.57，玻璃化转变温度为176℃。组成比[A]/[B]＝10/90，氟原子含有率为27.9质量％。

[0303] 接着，对得到的氢化后的聚合物粉进行热压，制成厚度为0.36mm的热压片材。由拉伸模式下测定的固体粘弹性测定结果，在玻璃化转变温度以上的温度领域内未见储能模
量或损耗模量的变化平缓的区域。

[0304] 另外，将得到的聚(1，2-二氟-1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)和聚2，5
(3-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1 ]亚癸基乙烯)共聚物(组成比[A]/[B]＝10/90)以
20质量％的浓度溶解在环己酮中，将配制的溶液30mg滴加到模具A的图案上，通过棒涂进
行均匀涂布。在氮气流和室温下干燥30分钟，然后在200℃下干燥60分钟。将模具在氮气
下冷却至室温，用SEM观察从模具上剥离的膜的转印面，结果图案混乱，未得到良好的转印
体。

[0305] 本发明还可采取以下方式。

[0306] (a)一种转印体，其特征在于，表面上具有通过将模具表面的微细图案转印到含有通式(1)表示的重复结构单元、且氟原子含有率为40～75质量％的含氟环状烯烃聚合物
上而得到的微细图案。

[0307] 化9

[0308]

[0309] (式(1)中，R1～R4中的至少1个为氟，或含有氟的碳原子数1～10的烷基，不1 4 1 4
含氟的其它R ～R 选自氢、或碳原子数1～10的烷基，R ～R 可以相互结合而形成环结
构。)

[0310] (b)如(a)中所述的转印体，其特征在于，上述含氟环状烯烃聚合物具有在玻璃化转变温度以上的温度区域内储能模量或损耗模量相对于温度变化的变化为-1～0MPa/℃
的区域。

[0311] (c)如(b)中所述的转印体，其特征在于，上述含氟环状烯烃聚合物在玻璃化转变温度以上的温度区域内的平缓的储能模量或损耗模量的变化区域处于0.1MPa以上的储能
模量区域或损耗模量区域内。

[0312] (d)如(a)～(c)中任一项所述的转印体的制造方法，其特征在于，通过使由上述含氟环状烯烃聚合物和有机溶剂组成的溶液与表面上形成有微细图案的模具进行接触，并
使溶剂蒸发，从而转印模具的图案。

[0313] (e)如(a)～(c)中任一项所述的转印体的制造方法，其特征在于，通过在含有上述含氟环状烯烃聚合物的膜上按压表面上形成有微细图案的模具，从而转印模具的图案。

[0314] (f)一种固化物的制造方法，其特征在于，使(a)～(e)中任一项所述的转印体的具有微细图案的面和光固化性单体组合物进行接触，照射光而固化后脱离转印体，从而在
光固化树脂的表面上具有转印的微细图案。

[0315] 产业上的可利用性

[0316] 本发明的具有特定的结构的含氟环状烯烃聚合物可以用作采用纳米压印法而得到的转印体本身或用作复制模具，工业价值极高。使用本发明的制造方法得到的具有微细
图案的转印体或固化物可用作光学元件(微透镜阵列、光波导、光开关、菲涅耳环板、二元
光学元件、闪耀光学元件、光子晶体等)、抗反射滤光片、生物芯片、微反应器芯片、记录介
质、显示器材料、催化剂载体等。