一种表面具有金属镀层的硅料回收方法

摘要

本发明涉及一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，该方法是将带有金属镀层的硅料经过下列处理步骤：A：采用纯氢氟酸浸泡一定时间，直到表层的金属镀层发生脱落现象后停止；B：采用王水煮泡一定时间；C：采用普通的硅材料清洗工艺清洗；D：采用离子水超洗。采用本发明，可以有效地将硅料表面具有的金属镀层去除，达到重新回收利用的目的。

权利要求

1.一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，其特征在于将带有金属镀层的硅料经过下列处理步骤：A：采用纯氢氟酸浸泡一定时间，直到表层的金属镀层发生脱落现象后停止；

B：采用王水煮泡一定时间；

C：采用普通的硅材料清洗工艺清洗；

D：采用离子水超洗。

2.根据权利要求1所述的一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，其特征在于纯氢氟酸为工业级，体积浓度比为55～56％。

3.根据权利要求1所述的一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，其特征在于采用纯氢氟酸浸泡时间在5～10天。

4.根据权利要求1所述的一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，其特征在于王水为工业级硝酸和盐酸按体积1∶3配比制成，配比前硝酸的体积浓度比为62～63％，配比前盐酸的体积浓度比为36～38％。

5.根据权利要求1所述的一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，其特征在于采用王水煮泡一定时间，是指将硅料放入王水至浸没，加热至100～120℃，保持时间在1小时以上。

说明书

一种表面具有金属镀层的硅料回收方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种表面具有金属镀层的硅料回收方法。

背景技术

[0002] 目前，对于用重掺测试仪测试，有响声，表现为重掺的一种表面具有金属镀层的废硅料，通常情况下当废料处理，没有进行回收利用。

发明内容

[0003] 本发明的目的是提供能去除表面金属，回收硅料的一种表面具有金属镀层的硅料回收方法。

[0004] 本发明采取的技术方案是：一种表面具有金属镀层的硅料回收方法，其特征在于将带有金属镀层的硅料经过下列处理步骤：

[0005] A：采用纯氢氟酸浸泡一定时间，直到表层的金属镀层发生脱落现象后停止；

[0006] B：采用王水煮泡一定时间；

[0007] C：采用普通的硅材料清洗工艺清洗；

[0008] D：采用离子水超洗。

[0009] 所述的纯氢氟酸为工业级，体积浓度比为55～56％。

[0010] 所述的采用纯氢氟酸浸泡时间在5～10天。

[0011] 所述的王水为工业级硝酸和盐酸按体积1∶3配比制成，配比前硝酸的体积浓度比为62～63％，配比前盐酸的体积浓度比为36～38％。

[0012] 所述的采用王水煮泡一定时间，是指将硅料放入王水至浸没，加热至100～120℃，保持时间在1小时以上。

[0013] 采用本发明，可以有效地将硅料表面具有的金属镀层去除，达到重新回收利用的目的。

具体实施方式

[0014] 下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。

[0015] 本发明将带有金属镀层的硅料经过下列处理步骤：

[0016] 一、采用体积浓度比为55～56％，工业级的纯氢氟酸浸泡5～10天，直到表层的金属镀层发生脱落现象后停止。

[0017] 二、制作王水，以工业级硝酸和盐酸按体积1∶3配比制成，配比前硝酸的体积浓度比为62～63％，配比前盐酸的体积浓度比为36～38％。

[0018] 三、将硅料放入王水至浸没，并加热至100～120℃，保持时间在1小时以上，然后取出。

[0019] 四、采用普通的硅材料清洗工艺清洗，即经过离子水清洗→离子水超声→烘干。

[0020] 五、采用离子水超洗。