显影机及其加显影液的系统和方法

摘要

本发明提供一种显影机及其加显影液的系统和方法，属于显影技术领域，其可解决现有的加显影的工艺可靠性差的问题。本发明的显影机加显影液的系统包括：带有控制阀的输液管道；液位传感器；用于驱动该控制阀开闭的驱动机构；控制器，用于接收液位传感器的测量结果，并根据测量结果向驱动机构发出控制信号从而控制该控制阀的开闭。本发明的显影机包括显影液罐和上述的显影机加显影液的系统。本发明的显影机加显影液的方法包括：用液位传感器测量显影液罐中显影液的液位，并将测量结果发送给控制器；当液位为第一液位时，控制器控制驱动机构打开输液管道上的控制阀，通过输液管道向显影液罐输送显影液。本发明可用于半导体制造工艺中。

权利要求

1.一种显影机加显影液的系统，包括：

带有控制阀的输液管道，连接在显影液供液系统和显影机的显影液罐间，用于从所述显影液供液系统向所述显影液罐输送显影液；

液位传感器，用于测量所述显影液罐中显影液的液位；

其特征在于，所述控制阀为电磁阀；

所述显影机加显影液的系统还包括：

驱动机构，用于驱动所述电磁阀的开闭；

控制器，用于接收所述液位传感器的测量结果，并根据所述测量结果向所述驱动机构发出控制信号从而控制所述电磁阀的开闭。

2.根据权利要求1所述的显影机加显影液的系统，其特征在于，所述控制器为可编程序控制器。

3.根据权利要求1或2所述的显影机加显影液的系统，其特征在于，所述控制器用于在所述显影液的液位为第一液位时打开所述电磁阀。

4.根据权利要求3所述的显影机加显影液的系统，其特征在于，所述控制器还用于在所述显影液的液位为第二液位时关闭所述电磁阀，其中所述第一液位低于所述第二液位。

5.根据权利要求4所述的显影机加显影液的系统，其特征在于，所述控制器还用于在所述显影液的液位为第三液位时停止显影机的工作，其中所述第三液位低于所述第二液位。

6.根据权利要求1或2所述的显影机加显影液的系统，其特征在于，还包括报警装置，所述报警装置用于接收所述液位传感器的测量结果，并根据所述测量结果发出报警。

7.一种显影机，包括用于储存显影液的显影液罐，其特征在于，所述显影机还包括上述任意一项权利要求所述的显影机加显影液的系统。

8.根据权利要求7所述的显影机，其特征在于，所述显影机为涂胶显影机。

9.一种显影机加显影液的方法，其特征在于，包括：用液位传感器测量显影机的显影液罐中显影液的液位，并将测量结果发送给控制器；

当所述显影液的液位为第一液位时，所述控制器控制驱动机构打开输液管道上的电磁阀，通过所述输液管道向所述显影液罐输送显影液。

10.根据权利要求9所述的显影机加显影液的方法，其特征在于，在所述控制器打开输液管道上的电磁阀，通过输液管道向所述显影液罐输送显影液后，还包括：当所述显影液的液位为第二液位时，所述控制器控制所述驱动机构关闭输液管道上的电磁阀，停止输送显影液，其中所述第一液位低于所述第二液位。

说明书

显影机及其加显影液的系统和方法

技术领域

[0001] 本发明涉及显影技术领域，尤其涉及用于半导体工艺中的显影机及其加显影液的系统和方法。

背景技术

[0002] 显影机是半导体工艺中的一种常用设备，用于将显影液喷在涂覆有光刻胶的基板上，以进行显影。显然，为保证显影机的连续生产，需对显影机的显影液罐中的显影液进行及时补充。如图1所示，在现有的显影机(例如SVG 90S涂胶显影机)的加显影液的系统中，带有控制11阀的输液管道1连接显影液供液系统3(例如场务供液系统)和显影机的显影液罐2，显影液罐2中设有与报警装置5相连的液位传感器4，当显影液罐2中显影液的液位降到低液位21时，液位传感器4向报警装置5发出信号，报警装置5发出蜂鸣报警，并显示TANK LOW，操作人员听到报警后手动打开控制阀11，通过输液管道1向显影液罐2加显影液，待显影液罐2中的液位达到高液位22时，报警装置5停止报警，显示TANK HIGH，操作人员再手动关闭控制阀11。

[0003] 发明人发现现有技术中至少存在如下问题：由于现有的显影机的加显影液操作要靠操作人员手动进行，受人为因素影响大，容易误操作，可靠性差。

发明内容

[0004] 本发明的实施例提供一种显影机加显影液的系统，其可靠性好。

[0005] 为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

[0006] 一种显影机加显影液的系统，包括：

[0007] 带有控制阀的输液管道，连接在显影液供液系统和显影机的显影液罐间，用于从所述显影液供液系统向所述显影液罐输送显影液；

[0008] 液位传感器，用于测量所述显影液罐中显影液的液位；

[0009] 驱动机构，用于驱动所述控制阀的开闭；

[0010] 控制器，用于接收所述液位传感器的测量结果，并根据所述测量结果向所述驱动机构发出控制信号从而控制所述控制阀的开闭。

[0011] 由于本发明的实施例的显影机加显影液的系统中通过控制器自动开闭控制阀，不受人为因素的影响，故可靠性好。

[0012] 本发明的实施例还提供一种显影机，其可靠性好。

[0013] 为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

[0014] 一种显影机，包括用于储存显影液的显影液罐以及上述的显影机加显影液的系统。

[0015] 由于本发明的实施例的显影机具有上述的显影机加显影液的系统，故其可自动开闭控制阀，不受人为因素的影响，可靠性好。

[0016] 本发明的实施例还提供一种显影机加显影液的方法，其可靠性好。

[0017] 为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

[0018] 一种显影机加显影液的方法，包括：

[0019] 用液位传感器测量显影机的显影液罐中显影液的液位，并将测量结果发送给控制器；

[0020] 当所述显影液的液位为第一液位时，所述控制器控制驱动机构打开输液管道上的控制阀，通过所述输液管道向所述显影液罐输送显影液。

[0021] 由于本发明的实施例的显影机加显影液的方法中，控制阀在控制器的控制下自动开闭，不受人为因素的影响，故可靠性好。

附图说明

[0022] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

[0023] 图1为现有的显影机加显影液的系统的结构示意图；

[0024] 图2为本发明实施例一的显影机加显影液的系统的结构示意图；

[0025] 图3为本发明实施例二的显影机加显影液的系统的结构示意图；

[0026] 图4为本发明实施例四的显影机加显影液的方法的流程图。

具体实施方式

[0027] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

[0028] 实施例一

[0029] 本发明实施例提供一种显影机加显影液的系统，如图2所示，其包括：

[0030] 带有控制阀11的输液管道1，连接在显影液供液系统3和显影机的显影液罐2间，用于从所述显影液供液系统3向所述显影液罐2输送显影液；

[0031] 驱动机构111，用于驱动所述控制阀11的开闭；

[0032] 液位传感器4，用于测量所述显影液罐2中显影液的液位；

[0033] 控制器6，用于接收所述液位传感器4的测量结果，并根据所述测量结果向所述驱动机构111发出控制信号从而控制所述控制阀2的开闭。

[0034] 由于本发明的实施例的显影机加显影液的系统中通过控制器自动开闭控制阀，不受人为因素的影响，故可靠性好；其不会因操作人员忘记打开控制阀而造成显影液耗干，从而避免了因显影机在无显影液的情况下工作而造成产品返工或报废的现象，也不会因操作人员忘记关闭控制阀而导致显影液溢出显影液罐。

[0035] 实施例二

[0036] 本发明实施例提供一种涂胶显影机加显影液的系统，如图3所示，其包括：

[0037] 带有电磁阀11(控制阀)的输液管道1，其连接在显影液供液系统3和显影机显影液罐2间，用于从显影液供液系统3向显影液罐2输送显影液；

[0038] 液位传感器4，用于测量显影液罐2中显影液的液位，并将测量结果发送给可编程序控制器6和报警装置5；

[0039] 驱动机构111，用于驱动控制阀11的开闭；本实施例中驱动机构111为控制电磁阀11通断电的电路，难以分开，因此在图3中其与电磁阀11显示为一个部件；

[0040] 可编程序控制器(控制器)6，用于根据液位传感器4的测量结果向驱动机构111发出控制信号，从而控制电磁阀11的开闭(实际为控制电磁阀11的通断电)。其中，当显影液罐2中显影液的液位降到低液位21(第一液位)时，可编程序控制器6控制电磁阀11打开以通过输液管道1从显影液供液系统3向显影液罐2输送显影液；而当显影液的液位上升到高液位22(第二液位)时，可编程序控制器6控制电磁阀11关闭，停止显影液供应；而假如因显影液供液系统3故障等原因，显影液的液位在经过低液位21后继续降低到最低液位23(第三液位)，可编程序控制器6则向涂胶显影机发出终止工作的命令，以防止涂胶显影机在没有显影液的情况下继续工作而造成产品报废或返工。

[0041] 报警装置5，用于根据液位传感器4的测量结果发出报警信号，以提醒操作人员注意。例如，当显影液的液位降到低液位21时，报警装置5可发出蜂鸣报警；当显影液的液位上升到高液位22可停止报警；而若显影液的液位降低到最低液位23，报警装置5可发出另一种不同声音的报警。

[0042] 显然，上述实施例的涂胶显影机加显影液的系统可进行许多变化，例如：液位传感器、报警装置、驱动机构、可编程序控制器之间可如图3所示通过电线连接，也可不连接而通过无线方式传递信号；液位传感器可为超声波液位传感器、磁翻板液位传感器、静压式液位传感器、浮球液位传感器等多种类型，可为一个也可为多个；电磁阀可为其它形式的阀门(如机械阀、气阀等)，其所对应的驱动机构也可为其它类型(如气动式驱动机构)；可编程序控制器也可为电脑、电控柜等；可编程序控制器可不根据高液位信号关闭电磁阀，而是在打开电磁阀后经过特定的时间或特定的显影液流量(需增设流量监控装置)即关闭电磁阀；还可设置第二控制装置，以方便操作人员直接对系统进行操作。

[0043] 实施例三

[0044] 本发明实施例提供一种显影机，其包括用于储存显影液的显影液罐以及上述的显影机加显影液的系统。

[0045] 可选地，该显影机为涂胶显影机。

[0046] 由于本发明的实施例的显影机具有上述的显影机加显影液的系统，故其可自动开闭控制阀，不受人为因素的影响，可靠性好。

[0047] 实施例四

[0048] 本发明实施例提供一种显影机加显影液的方法，其包括：

[0049] S01、用液位传感器测量显影机的显影液罐中显影液的液位，并将测量结果发送给控制器。

[0050] S02、当所述显影液的液位为第一液位时，所述控制器控制驱动机构打开输液管道上的控制阀，通过所述输液管道向所述显影液罐输送显影液。

[0051] 可选地，所述方法还包括：

[0052] S03、当所述显影液的液位为第二液位时，所述控制器控制所述驱动机构关闭输液管道上的控制阀，停止输送显影液，其中所述第一液位低于所述第二液位。

[0053] 由于本发明的实施例的显影机加显影液的方法中，控制阀在控制器的控制下自动开闭，不受人为因素的影响，故可靠性好。

[0054] 以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。