真空容器内局部位置的真空度测量系统及测量方法

摘要

本发明公开了一种真空容器内局部位置的真空度测量系统及测量方法，该系统包括一端设置在真空容器上的波纹管，波纹管与真空容器之间通过密封法兰进行真空密封，真空规设置在波纹管的另一端，并根据真空规的具体接口进行密封，真空规的引线穿过波纹管引出到真空容器外，通过移动设置真空规的波纹管一端，至待测量真空度的位置，并通过真空规进行该位置真空度的测量。本发明由于通过将真空规放入真空容器内进行测量，能够完成局部位置的真空度测量，此外，测量系统结构简单、规模小，对现有的真空规不要求改动，易于实现。

权利要求

1.一种真空容器内局部位置的真空度测量系统，包括一端设置在真空容器上的波纹管，波纹管与真空容器之间通过密封法兰进行真空密封，真空规设置在波纹管的另一端，并根据真空规的具体接口进行密封，真空规的引线穿过波纹管引出到真空容器外，通过移动设置有真空规的波纹管一端，至待测量真空度的位置，并通过真空规进行该位置真空度的测量。

2.一种采用权利要求1所述的测量系统测量真空容器内局部位置的真空度的方法，包括将波纹管设置在真空容器壁上并进行真空密封，真空规设置在波纹管的另一端并进行真空规接口的密封，通过移动波纹管使真空规到达真空容器的待测部位进行真空度的测量，其中，真空规在真空容器内部工作的同时，其外部仍处于大气下，使得真空规正常工作。

说明书

真空容器内局部位置的真空度测量系统及测量方法

技术领域

[0001] 本发明属于真空测试领域，具体来说，涉及一种真空容器内部局部位置真空度的测量方法，特别是采用普通的真空规对真空容器内部的真空度进行测量方法。

背景技术

[0002] 通常真空容器内的真空度的测量是使用真空规来进行测量，真空规安装于真空容器壁上，只能反映安装位置附近的真空度情况。对于真空容器内部某些位置的真空度测量，则需要将真空规放置于该位置工作才可以完成。但如果需要的测量范围覆盖低真空测量及高真空测量，其所需要使用的复合真空规中具有相关的工作电路，在真空下工作，一方面由于没有空气可能无法散热，另一方面当真空度较低时，电极距离与真空度乘积将和气体击穿电压具有一定关系，当达到最低点时，可能会引起低气压下的击穿放电，损坏真空规内部的电路。因此，如何测量真空容器内部某一位置的真空度目前还未能解决。

发明内容

[0003] 为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种可以使真空规接近测量真空容器内部某些部位的真空度的系统，且该系统结构简单，成本低。同时本发明也提供了一种利用该系统接近测量真空容器内局部位置的真空度的测量方法。

[0004] 为了实现上述目的，本发明采用了如下的技术方案：

[0005] 一种真空容器内局部位置的真空度测量系统，包括一端设置在真空容器上的波纹管，波纹管与真空容器之间通过密封法兰进行真空密封，真空规设置在波纹管的另一端，并根据真空规的具体接口进行密封，真空规的引线穿过波纹管引出到真空容器外，通过移动设置真空规的波纹管一端，至待测量真空度的位置，并通过真空规进行该位置真空度的测量。

[0006] 一种采用上述测量系统测量真空容器内局部位置的真空度的方法，包括将波纹管设置在真空容器壁上并进行真空密封，真空规设置在波纹管的另一端并进行真空规接口的密封，通过移动波纹管使真空规到达真空容器的待测部位进行真空度的测量，其中，真空规在真空容器内部工作的同时，其外部仍处于大气下，使得真空规正常工作。

[0007] 本发明与现有技术相比具有如下优点：本发明由于通过将真空规放入真空容器内进行测量，能够完成局部位置的真空度测量，此外，测量系统结构简单、规模小，对现有的真空规不要求改动，易于实现。

附图说明

[0008] 图1是本发明的真空容器内局部位置的真空度测量系统示意图。

[0009] 其中，1-波纹管，2-真空容器，3-待测量真空度的位置，4-真空规，5-密封法兰，6-真空规的引线。

具体实施方式

[0010] 以下参照附图对本发明进行详细说明，但附图仅未示例的目的，并不旨在对本发明的保护范围进行任何限制，其范围由所附的权利要求书进行限定。

[0011] 图1为是本发明的真空容器内局部位置的真空度测量系统示意图。其中，本发明真空容器内局部位置的真空度测量系统，包括一端设置在真空容器2上的波纹管1，波纹管与真空容器之间通过密封法兰5进行真空密封，真空规4设置在波纹管1的另一端，并根据真空规的具体接口进行密封，真空规的引线6穿过波纹管1引出到真空容器2外，通过移动设置真空规4的波纹管1一端，至待测量真空度的位置3，并通过真空规4进行该位置真空度的测量。

[0012] 同样地，采用本发明的真空容器内局部位置的真空度测量系统测量真空容器内局部位置真空的方法包括将波纹管1设置在真空容器壁2上并进行真空密封，真空规4设置在波纹管1的另一端并进行真空规接口的密封，通过移动波纹管1使真空规到达真空容器2的待测部位进行真空度的测量，其中，真空规4在真空容器2内部工作的同时，其外部仍处于大气下，使得真空规4正常工作。

[0013] 尽管上文对本发明的具体实施方式给予了详细描述和说明，但是应该指明的是，本领域的技术人员可以依据本发明的精神对上述实施方式进行各种等效改变和修改，其所产生的功能作用在未超出说明书及附图所涵盖的精神时，均应在本发明保护范围之内。