一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机

摘要

一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，它包括：储酸罐，清洗机箱体，箱体内设有供腐蚀或清洗硅锭、硅块、硅棒的清洗槽，箱体的上面板部位设有安全防护门，箱体的上部接抽风系统，还包括液体管路部分、水气枪部分，整台设备底部装有接液盘，在设备的底部装有活动脚轮。本设备通过带有升降功能的移动推车将装有硅锭的篮具放入酸洗槽(清洗槽)内，通过点接触按钮开关控制相应的泵、阀进行供酸、排酸，完成硅锭、硅块、硅棒的清洗腐蚀。本发明的优点是：将大直径单晶整根位错腐蚀，避免取样或者重复取样，并且可以准确的划分滑移和无滑移部分；储酸罐的结构可以使酸重复使用，减少了酸的使用量和排放量。

权利要求

1.一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，其特征在于：它包括：储酸罐，清洗机箱体，箱体内设有供腐蚀或清洗硅锭、硅块、硅棒用的清洗槽，箱体的上部面板部位设有安全防护门，箱体的上部设接抽风系统的接口，还包括液体管路部分、水气枪部分，在设备的底部装有活动脚轮。

2.根据权利要求1所述的一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，其特征在于：箱体的骨架部分采用不锈钢方管，不锈钢方管外包德国产3mm瓷白PVC板，保证了设备的整体强度和防腐。

3.根据权利要求1所述的一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，其特征在于：所述的箱体上部接抽风系统接口设在箱体后部，形成上双排风的抽风形式。

4.根据权利要求1所述的一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，其特征在于：槽外设有防止酸液外泄的防漏盘。

5.根据权利要求4所述的一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，其特征在于：防漏盘的底部为倾斜式。

6.根据权利要求1所述的一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，其特征在于：清洗槽底部设排液口和排水口。

7.根据权利要求1所述的一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，其特征在于：加液方式采用的是PVDF隔膜泵。

8.根据权利要求1所述的一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，其特征在于：设备排酸和排水采取分流排放。

说明书

一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机

技术领域

[0001] 本发明涉及一种用于酸腐蚀、清洗硅锭、硅块、硅棒的设备，特别是一种用于大直径单晶位错腐蚀清洗的设备。

背景技术

[0002] 随着大直径单晶的生产量越来越大，客户的要求越来越严格，现在基本上要求无滑移的单晶。原检验方法是在单晶等径位置截取样品进行滑移检测。如果检测出有滑移，还要再进行取样，而且取样长度只能靠经验估计。为了更准确的划分滑移和无滑移部分，需要将整根单晶浸泡在配制的酸腐蚀液中。考虑到人的安全问题，原先在腐蚀取样样片时，腐蚀完样片的酸都要排放到酸罐里，而且排放的酸不能再重新使用，如果还按照之前的方法腐蚀整根单晶的话，单晶太重(以Φ360mm L：200mm单晶为例重量大约W：48Kg，实际生产中有Φ400mm，L：380mm的单晶)，单靠人来搬运的话，不仅单晶存在磕碰的问题，而且最重要的是人的安全无法得到保证。

发明内容

[0003] 本发明的目的是提供一种用于大直径单晶位错腐蚀、清洗的设备，使用本设备可以准确的划分滑移和无滑移部分、使酸重复使用，减少酸的使用量和排放量、保证操作人员以及单晶的安全，大大降低了生产的成本，提高了生产的效率。

[0004] 为达到上述发明的目的，本发明采用了以下技术方案：

[0005] 这种大直径单晶位错的腐蚀清洗机，它包括：储酸罐，清洗机箱体，箱体内设有供腐蚀或清洗硅锭、硅块、硅棒用的清洗槽，箱体的上部面板部位设有安全防护门，箱体的上部设接抽风系统的接口，还包括液体管路部分、水气枪部分，在设备的底部装有活动脚轮。

[0006] 箱体的骨架部分可采用不锈钢方管，不锈钢方管外包德国产3mm瓷白PVC板，保证了设备的整体强度和防腐。

[0007] 所述的箱体上部接抽风系统接口可设在箱体后部，形成上双排风的抽风形式。

[0008] 槽外设有防止酸液外泄的防漏盘，防漏盘的底部可为倾斜式。

[0009] 清洗槽底部设排液口和排水口。

[0010] 加液方式可采用的是PVDF隔膜泵。

[0011] 设备排酸和排水可采取分流排放。

[0012] 清洗工艺流程：

[0013] 检查水、电、气正常→启动电源→手动配酸→将硅锭置于篮具内→通过升降手推车将硅锭、硅棒放入酸洗槽(清洗槽)→进入酸泡程序→手动排酸(到储酸罐)→水洗(同时排液阀打开)→合格→通过升降手推车将硅锭从清洗槽取出→完成清洗。

附图说明

[0014] 图1：本清洗机的主视图

[0015] 图2：图1的右视图

[0016] 图3：图1的俯视图

[0017] 图4：图1中的筐篮示意图

[0018] 图5：本清洗机的立体图

[0019] 图中，1为安全防护门，2为酸洗和水洗用的清洗槽，3为支撑骨架，4为防漏盘，5为地脚及地轮，6为排风系统的接口，7为储酸槽，8为循环泵，9为水汽枪，10为照明，11为台面板，12为筐篮，13为操作按钮，14为4循环管，15为缓冲底板，16为清洗机箱体。

具体实施方式

[0020] 清洗机箱体：全封闭柜体式结构，为方便设备的挪动、维修、维护，在设备的底部装有活动胶轮及可调整高度的地脚5，主体采用1cr18ni9ti不锈钢方管钢外包3MMPVC板，它具有坚固耐用又有防腐蚀的作用，外形整体为10mmPVC板，安全防护门1上下高度可自由调整。箱体底部装有活动脚轮，可调整水平的地脚。

[0021] 升降手推车：SUS304，液压升降

[0022] 清洗槽：槽体采用进口10mm的PVDF焊接而成，内槽底部设有过滤网，以防止碎屑堵塞管路。槽体四周有加强筋，底部座在平板上，防止槽体变形。槽底采用倾斜式，以便清洗液排空。注酸通过气动隔膜泵自动打入酸洗槽内，废酸排放通过手阀排入储酸槽7。清洗水通过排水管路手动排出。槽内设有高液位控制，防止溶液溢出。配有PVC填充箱。

[0023] 防漏盘：为防止酸洗槽(清洗槽)内的酸液溢流而对人身安全和环境造成损害，在酸洗槽(清洗槽)的外面，设置了防漏盘。为便于排液，防漏盘底部设置为倾斜式.槽底的底处设排液口和排水口。为方便维修和清理，排液口装有可拆卸式滤网，以防止零件脱落或玻璃进入管道中阻塞管道。

[0024] 储酸罐：槽体采用10mm象牙白PVC焊接而成.槽体四周有加强筋，底部座在平板上，防止槽体变形。槽底采用倾斜式，以便清洗液排空。通过气动隔膜泵酸循环管路打入酸洗槽内，废酸及废水分别排放通过手阀排出。槽内设有高低液位控制，防止干抽及溶液溢出。

[0025] 筐篮：采用10mmPVDF材质焊接而成，

[0026] 安全防护门：为防止酸雾对人体的伤害和对周围环境的保护在设备操作部位装有透明PVC防护门，防护门的高度可以根据现场工艺人员的操作需求自由定位和滑动。

[0027] 抽风系统：设备顶部可配有抽风风量调节阀。

[0028] 管路部分：采用PVC/PVDF材质，管道尽可能使用焊接工艺，为了机器维修和运输方便，采用法兰连接。