一种制备SiC纳米线和纳米带的方法转让专利

申请号 : CN201110359635.7

文献号 : CN102491331B

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基本信息:

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法律信息:

相似专利:

发明人 : 李贺军褚衍辉付前刚李克智

申请人 : 西北工业大学

摘要 :

本发明涉及一种制备SiC纳米线和纳米带的方法。该方法以反应烧结和原位反应相结合的两步法在制备的Si-SiC复相陶瓷基体上制备SiC纳米线和纳米带,该方法可以低成本、简单、高效地制备大量的高纯SiC纳米线和纳米带,解决了现在技术中SiC纳米线和纳米带的制备工艺复杂、成本较高、不易控制、制备的产品不纯等问题。

权利要求 :

1.一种制备SiC纳米线和纳米带的方法,其特征在于步骤如下:步骤1:称取质量百分比为70~85%的Si粉、5~15%的SiC粉、7~15%的C粉和

3~10%的Al2O3粉,置于松脂球磨罐中,球磨混合处理2~4小时得到混合粉料;

步骤2:将混合粉料一半放入石墨坩埚中,再放入块状石墨,另一半混合粉料覆盖在块状石墨之上;

步骤3:将石墨坩埚放入石墨为发热体的热压真空反应炉中,对真空炉进行真空处理后,通Ar气至常压,以5~10℃/min升温速度将炉温从室温升至2000-2200℃,保温1~3小时;关闭电源自然冷却至室温,在块状石墨表面得到Si-SiC复相陶瓷;整个过程中通Ar气保护;

步骤4:采用石墨纸包裹Si-SiC复相陶瓷,放入石墨为发热体的热压真空反应炉中,对真空炉进行真空处理后,通Ar气至常压,以5~10℃/min升温速度将炉温从室温升至

1500~1700℃,保温1-3小时;关闭电源自然冷却至室温,整个过程中通Ar气保护;

步骤5:取出Si-SiC复相陶瓷,清理表面的石墨纸,在Si-SiC复相陶瓷的表面得到SiC纳米线和SiC纳米带。

2.根据权利要求1所述制备SiC纳米线和纳米带的方法,其特征在于:所述块状石墨清洗后放入烘箱中烘干。

3.根据权利要求1所述制备SiC纳米线和纳米带的方法,其特征在于:所述对真空炉进行真空处理为:抽真空30分钟后使真空度达到-0.09MPa。

4.根据权利要求1所述制备SiC纳米线和纳米带的方法,其特征在于:所述Si粉的纯度为99.5%、粒度为300目。

5.根据权利要求1所述制备SiC纳米线和纳米带的方法,其特征在于:所述SiC粉的纯度为98.5%、粒度为300目。

6.根据权利要求1所述制备SiC纳米线和纳米带的方法,其特征在于:所述C粉的纯度为99%,粒度为320目。

7.根据权利要求1所述制备SiC纳米线和纳米带的方法,其特征在于:所述Al2O3粉的纯度为分析纯,粒度为100~200目。

说明书 :

一种制备SiC纳米线和纳米带的方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种制备SiC纳米线和纳米带的方法,以反应烧结和原位反应相结合的两步法在Si-SiC复相陶瓷基体上合成SiC纳米线和纳米带,该方法可以低成本、简单、高效地制备大量的高纯SiC纳米线和纳米带,解决了现在技术中SiC纳米线和纳米带的制备工艺复杂、成本较高、不易控制、制备的产品不纯等问题。

背景技术

[0002] 近年来,由于纳米材料在现代科技领域潜在的应用价值,关于一维纳米材料(包括:纳米管、纳米线、纳米棒、纳米带等)的制备技术受到了广泛的关注。其中一维SiC纳米材料拥有优异的电学特性、光学特性和机械性能,在场发射、纳米电子器件以及先进复合材料领域具有潜在的巨大应用价值。制备一维SiC纳米材料的方法很多,根据原料和制备工艺进行分类,主要可分为:(1)碳纳米管-模板生长法、(2)化学气相沉积法、(3)溶胶-凝胶与碳热还原法、(4)聚合物热解法、(5)微波水热法;虽然制备方法各异,但却普遍存在工艺复杂、不易控制、成本较高、污染环境、制备产品不纯等不足,在很大程度上制约了一维SiC纳米材料的研究与应用。目前,名称为“碳/碳复合材料表面碳化硅纳米线的制备方法(中国专利号:CN200510041813.6,申请日:2005年03月18日,公开日:2006年09月20日”的专利以CH3SiCl3和H2为原料制备SiC纳米线,但原料中CH3SiCl3气体对人体伤害很大,容易造成环境污染,制备工艺条件要求苛刻,成本高,不利于控制和实际生产;文献“Quantum confinement effect and field emission characteristics of ultrathin3C-SiC nanobelts.Chemical Physics Letters,461(2008):242~245”介绍了一种以Si粉、C粉和SiO2粉为原料制备SiC纳米带。但该方法制备的产物中含有大量的C粉、Si粉和SiO2粉,需要对其进行氧化纯化和酸纯化,进而导致制备的过程更加复杂工艺工程繁杂,不利于大量生产。此外,在氧化纯化过程中,制备的SiC纳米带也会在一定程度上被氧化,给提纯造成很大难度。

发明内容

[0003] 要解决的技术问题
[0004] 为了解决现在技术中SiC纳米线和纳米带的制备工艺复杂、成本较高、不易控制、制备的产品不纯等问题,本发明提供一种制备SiC纳米线和纳米带的方法。该方法以反应烧结和原位反应相结合的两步法在Si-SiC复相陶瓷基体上合成SiC纳米线和纳米带,该方法可以低成本、简单、高效地制备大量的高纯SiC纳米线和纳米带。
[0005] 技术方案
[0006] 一种制备SiC纳米线和纳米带的方法,其特征在于步骤如下:
[0007] 步骤1:称取质量百分比为70~85%的Si粉,5~15%的SiC粉,7~15%的C粉和3~10%的Al2O3粉,置于松脂球磨罐中,球磨混合处理2~4小时得到混合粉料;
[0008] 步骤2:将混合粉料一半放入石墨坩埚中,再放入块状石墨,另一半混合粉料覆盖在块状石墨之上;
[0009] 步骤3:将石墨坩埚放入石墨为发热体的热压真空反应炉中,对真空炉进行真空处理后,通Ar气至常压,以5~10℃/min升温速度将炉温从室温升至2000-2200℃,保温1~3小时;关闭电源自然冷却至室温,在块状石墨表面得到Si-SiC复相陶瓷;整个过程中通Ar气保护;
[0010] 步骤4:采用石墨纸包裹Si-SiC复相陶瓷,放入石墨为发热体的热压真空反应炉中,对真空炉进行真空处理后,通Ar气至常压,以5~10℃/min升温速度将炉温从室温升至1500~1700℃,保温1-3小时;关闭电源自然冷却至室温,整个过程中通Ar气保护;
[0011] 步骤5:取出Si-SiC复相陶瓷,清理表面的石墨纸,在Si-SiC复相陶瓷的表面得到SiC纳米线和SiC纳米带。
[0012] 所述块状石墨清洗后放入烘箱中烘干。
[0013] 所述对真空炉进行真空处理为:抽真空30分钟后使真空度达到-0.09Mpa。
[0014] 所述Si粉的纯度为99.5%、粒度为300目。
[0015] 所述SiC粉的纯度为98.5%、粒度为300目。
[0016] 所述C粉的纯度为99%,粒度为320目。
[0017] 所述Al2O3粉的纯度为分析纯,粒度为100~200目。
[0018] 有益效果
[0019] 本发明提出的一种制备SiC纳米线和纳米带的方法,以反应烧结和原位反应相结合的两步法在Si-SiC复相陶瓷基体上合成SiC纳米线和纳米带,可以低成本、简单、高效地制备大量的高纯SiC纳米线和纳米带,解决了现在技术中SiC纳米线和纳米带的制备工艺复杂、成本较高、不易控制、制备的产品不纯等问题。
[0020] 本发明的有益效果:该方法生产成本低、工艺简单、易于操作、反应过程中不产生污染环境的有害气体,利于环保和规模化生产,合成的SiC纳米线和纳米带的产率和纯度高;所得SiC纳米线,粗细均匀,长度可控,最长可达几百个微米;所得SiC纳米带宽度为100~600nm,厚度为30~60nm,长度可控,最长可达几百个微米。

附图说明

[0021] 图1:是发明实施例2所制备的SiC纳米线和纳米带的低倍SEM照片[0022] 图2:是发明实施例2所制备的SiC纳米线和纳米带的高倍SEM照片具体实施方式
[0023] 现结合实施例、附图对本发明作进一步描述:
[0024] 实施例1:
[0025] 将块状石墨用无水乙醇洗涤干净,于烘箱中烘干备用。
[0026] 分别称取75g的Si粉,15g的SiC粉,15g的C粉,10g的Al2O3粉。置于松脂球磨罐中,取不同数量不同直径的玛瑙球放入球磨罐中,在行星式球磨机上进行球磨混合处理4小时,得到混合粉料。
[0027] 将混合粉料的一半放入石墨坩埚,放入制备好的块状石墨,再放入另一半混合粉料,轻微的摇晃坩埚,使粉料均匀地包埋块状石墨,然后将石墨坩埚放入石墨作为发热体的热压真空反应炉中。抽真空30分钟后使真空度达到-0.09MPa,保真空30分钟,观察真空表指示是否变化,如无变化,说明系统密封完好。通Ar气至常压。此过程重复三次。之后将炉温升至2200℃,升温速率为10℃/min,然后保温1小时。随后关闭电源自然冷却至室温,整个过程中通Ar保护。随后取出坩埚,清理粉料,在块状石墨表面得到Si-SiC复相陶瓷。
[0028] 将得到的Si-SiC复相陶瓷用石墨纸包裹后,放入石墨作为发热体的热压真空反应炉中。抽真空30分钟后使真空度达到-0.09MPa,保真空30分钟,观察真空表指示是否变化,如无变化,说明系统密封完好。通Ar至常压。此过程重复三次。之后将炉温升至1500℃,升温速率为5℃/min,然后保温3小时。随后关闭电源自然冷却至室温,整个过程中通Ar保护。随后取出Si-SiC复相陶瓷,清理表面的石墨纸,在Si-SiC复相陶瓷的表面得到大量的SiC纳米线和以及少量的SiC纳米带。
[0029] 实施例2:
[0030] 将块状石墨用无水乙醇洗涤干净,于烘箱中烘干备用。
[0031] 分别称取78g的Si粉,10g的SiC粉,11g的C粉,6g的Al2O3粉。置于松脂球磨罐中,取不同数量不同直径的玛瑙球放入球磨罐中,在行星式球磨机上进行球磨混合处理3小时,得到混合粉料。
[0032] 将上述混合粉料的一半放入石墨坩埚,放入制备好的块状石墨,再放入另一半烧结料,轻微的摇晃坩埚,使混合粉料均匀地包埋块状石墨,然后将石墨坩埚放入石墨作为发热体的热压真空反应炉中。抽真空30分钟后使真空度达到-0.09MPa,保真空30分钟,观察真空表指示是否变化,如无变化,说明系统密封完好。通Ar气至常压。此过程重复三次。之后将炉温升至2100℃,升温速率为7℃/min,然后保温2小时。随后关闭电源自然冷却至室温,整个过程中通Ar保护。随后取出坩埚,清理粉料,在块状石墨表面得到Si-SiC复相陶瓷。
[0033] 将上述得到的Si-SiC复相陶瓷用石墨纸包裹后,放入石墨作为发热体的热压真空反应炉中。抽真空30分钟后使真空度达到-0.09MPa,保真空30分钟,观察真空表指示是否变化,如无变化,说明系统密封完好。通Ar至常压。此过程重复三次。之后将炉温升至1600℃,升温速率为7℃/min,然后保温2小时。随后关闭电源自然冷却至室温,整个过程中通Ar保护。随后取出Si-SiC复相陶瓷,清理表面的石墨纸,在Si-SiC复相陶瓷的表面得到大量的高纯SiC纳米线和SiC纳米带。由图1和2可见,在Si-SiC复相陶瓷表面上存在大量的高纯SiC纳米线和纳米带。所得SiC纳米线,粗细均匀,长度可控,最长可达几百个微米;所得SiC纳米带宽度为100~600nm,厚度为30~60nm,长度可控,最长可达几百个微米。
[0034] 实施例3:
[0035] 将块状石墨用无水乙醇洗涤干净,于烘箱中烘干备用。
[0036] 分别称取85g的Si粉,5g的SiC粉,7g的C粉,3g的Al2O3粉。置于松脂球磨罐中,取不同数量不同直径的玛瑙球放入球磨罐中,在行星式球磨机上进行球磨混合处理2小时,得到混合粉料。
[0037] 将上述混合粉料的一半放入石墨坩埚,放入制备好的块状石墨,再放入另一半包埋料,轻微的摇晃坩埚,使混合粉料均匀地包埋块状石墨,然后将石墨坩埚放入石墨作为发热体的热压真空反应炉中。抽真空30分钟后使真空度达到-0.09MPa,保真空30分钟,观察真空表指示是否变化,如无变化,说明系统密封完好。通Ar气至常压。此过程重复三次。之后将炉温升至2000℃,升温速率为5℃/min,然后保温1小时。随后关闭电源自然冷却至室温,整个过程中通Ar保护。随后取出坩埚,清理粉料,在块状石墨表面得到Si-SiC复相陶瓷。
[0038] 将得到的Si-SiC复相陶瓷用石墨纸包裹后,放入石墨作为发热体的热压真空反应炉中。抽真空30分钟后使真空度达到-0.09MPa,保真空30分钟,观察真空表指示是否变化,如无变化,说明系统密封完好。通Ar至常压。此过程重复三次。之后将炉温升至1700℃,升温速率为10℃/min,然后保温1小时。随后关闭电源自然冷却至室温,整个过程中通Ar保护。随后取出Si-SiC复相陶瓷,清理表面的石墨纸,在Si-SiC复相陶瓷的表面得到大量的SiC纳米线和少量的SiC纳米带。
[0039] 所有实施例中,Si粉的纯度为99.5%、粒度为300目,SiC粉的纯度为98.5%、粒度为300目,C粉的纯度为99%,粒度为320目,Al2O3粉的纯度为分析纯,粒度为100~200目。