振镜式激光直写光刻机

摘要

一种振镜式激光直写光刻机，采用模块化设计，由激光扫描模块、自动聚焦模块、样品台模块、位移台模块、样片监测模块和控制模块组成。本发明采用双振镜激光扫描、大范围二维位移台，可实现高速、大范围、高精度的激光直写光刻，适于快速经济地制作微纳结构。