隔膜阀

摘要

一种隔膜阀，开启和关闭该隔膜阀，以使得两个流路(14a、15a)彼此连通和彼此断开。以浮置方式设置在阀套(13)内的隔膜单元(31)设置有中空阀体(32)，该中空阀体设置成可在轴向方向上往复，并且中空阀体(32)具有形成于其中的用于使得两个流路(14a、15a)彼此连通的连通流路(32a)。中空阀体(32)的一个端部设置有第一隔膜(34)，并且另一端部设置有第二隔膜(36)。通过使中空阀体(32)在轴向方向上移动以使中空阀体(32)与阀座(42)相接触，关闭连通流路(32a)。

权利要求

1.一种隔膜阀，在所述隔膜阀中，具有隔膜的阀体组装在阀套中，并且所述隔膜阀执行开启和关闭操作，以在第一流路和第二流路连通的状态与阻止第一流路和第二流路连通的状态之间切换，所述隔膜阀包括：中空阀体，所述中空阀体设置成能够在所述阀套中在轴向方向上执行往复操作，并且所述中空阀体形成有将所述第一流路和所述第二流路连通的连通流路；

第一隔膜，所述第一隔膜设置于所述中空阀体的一个端部；

第二隔膜，所述第二隔膜设置于所述中空阀体的另一个端部并经由所述中空阀体与所述第一隔膜联动，其特征在于，所述隔膜阀还包括：

往复件，所述往复件设置于所述阀套并能在所述轴向方向上往复地移动且与所述中空阀体接合，其中当所述中空阀体由于所述往复件而在与所述往复件的移动方向平行的方向上移动时，所述中空阀体与设置于所述阀套的阀座部抵接以关闭所述连通流路。

2.根据权利要求1所述的隔膜阀，其中，所述阀套设置有具有所述阀座部的阀座块。

3.根据权利要求1所述的隔膜阀，其中，所述第一隔膜和所述第二隔膜具有彼此相反的凹凸关系，以使所述第一隔膜和所述第二隔膜的凹入表面在所述中空阀体的轴向方向上朝向外。

4.根据权利要求1所述的隔膜阀，其中，所述往复件是设置于通过流体压力驱动的活塞的活塞杆。

5.根据权利要求4所述的隔膜阀，其中，所述活塞是单作用型活塞。

6.根据权利要求4所述的隔膜阀，其中，所述活塞杆形成为圆柱形的形状，并且所述活塞形成为环形的形状。

7.根据权利要求1所述的隔膜阀，其中，所述中空阀体设置有偏压件，所述偏压件在朝着所述阀座部的方向上施加偏压力，当由所述第一流路中的流体施加给所述第一隔膜的开启方向推力大于关闭方向推力时，所述中空阀体与所述阀座部分离以开启所述连通流路，其中所述关闭方向推力为所述偏压件的偏压力与由所述第二流路中的流体的压力施加给所述第二隔膜的推力之和，并且当所述开启方向推力小于所述关闭方向推力时，所述中空阀体与所述阀座部抵接以关闭所述连通流路。

说明书

隔膜阀

技术领域

[0001] 本发明涉及一种隔膜阀，所述隔膜阀具有设置有隔膜的阀体，并且操作所述隔膜阀以开启/关闭流路。

背景技术

[0002] 对于作为方向控制阀以控制流体的流动方向的开启/关闭控制阀，已知将流体供应至流体线路(fluid circuit)并停止供应的流路切换阀(即，双向阀)以及允许流体在一个方向上流动并阻止流体在另一个方向上流动的止回阀(即，单向阀)。对于这种开启/关闭控制阀，已知包括作为阀体的隔膜的隔膜阀。作为一个实例，在专利文献1和2中公开了隔膜开启/关闭控制阀，并且在专利文献3中公开了隔膜止回阀。

[0003] 当将具有隔膜型阀体的开启/关闭控制阀用在流体线路中时，可将在流体线路中流动的流体与用于驱动阀体的驱动部分分开。由于在流体线路中能将该流体与该驱动部分分开，例如，以用于从喷嘴中排放诸如光致抗蚀剂液体的化学制品，因此可防止外来物质从驱动部分流入到化学制品中。

[0004] 现有技术文献

[0005] 专利文献

[0006] 专利文献1：日本专利申请特许公开No.H09-217843

[0007] 专利文献2：日本专利No.4146535

[0008] 专利文献3：日本专利申请特许公开No.2001-41333

[0009] 本发明的公开

[0010] 本发明要解决的问题

[0011] 当起动开启/关闭控制阀的阀体时，阀体在连通流路中移动，从而阀体使连通流路中的流体在起动阀体时移动，例如，当通过朝着阀座移动阀体而关闭连通流路时，流体反向流动。因此，在专利文献1所描述的双向阀中，阀套设置有使隔膜的中央部分变形的用于开启/关闭的挤压件以及使隔膜的外围部分变形的补充挤压件。当通过隔膜开启/关闭阀口时，隔膜防止连通流路的容积变化。然而，当通过隔膜开启/关闭阀口以导致用于开启/关闭的挤压件和补充挤压件使隔膜的两个不同部分变形时，需要将两个活塞组装在阀套中，以驱动相应的部分。

[0012] 另一方面，在专利文献2所描述的流体控制设备中，面向形成有连通流路的圆柱形体的一个端部的隔膜型阀体和面向圆柱形体的另一个端部的隔膜型容积调节体布置成彼此分离。当起动阀体时，容积调节体由布置在阀套的外侧上的接合件驱动。如此，阀室的容积变化在起动阀体时被容积调节室抵消，从而防止流体在流体线路中反向流动。然而，遇到了这样一个问题，即，为了使阀体与容积调节体彼此分离并独立地操作它们，需要设置接合件，以覆盖阀套，从而不可能缩小流体控制设备的尺寸。而且，复杂的连通流路造成流体的压力损失增大。

[0013] 本发明的一个目的在于在使流体线路中的流体不移动的情况下开启/关闭阀体。

[0014] 本发明的另一目的在于缩小隔膜阀的尺寸。

[0015] 本发明的又一目的在于减少隔膜阀的连通流路中的压力损失、紊流等。

[0016] 解决问题的手段

[0017] 在根据本发明的隔膜阀中，具有隔膜的阀体组装在阀套中，隔膜阀执行开启和关闭操作，以在第一流路和第二流路连通的状态与阻止第一流路和第二流路连通的状态之间切换。隔膜阀包括：中空阀体，所述中空阀体设置成能够在阀套中在轴向方向上执行往复操作，并且所述中空阀体形成有连通流路，第一流路和第二流路通过所述连通流路彼此连通；第一隔膜，所述第一隔膜设置于中空阀体的一个端部；以及第二隔膜，所述第二隔膜设置于中空阀体的另一个端部并经由中空阀体与第一隔膜联动，其中，通过使中空阀体在轴向方向上移动，中空阀体与设置于阀套的阀座部抵接以关闭连通流路。

[0018] 在根据本发明的隔膜阀中，阀套设置有具有阀座部的阀座块。在根据本发明的隔膜阀中，阀套设置有用于使中空阀体在轴向方向上往复的驱动装置。在根据本发明的隔膜阀中，设置于阀套以能够在与中空阀体的移动方向平行的轴向方向上执行往复运动的往复件接合至中空阀体，并且阀套中设置有用流体压力驱动往复件的活塞。

[0019] 在根据本发明的隔膜阀中，中空阀体设置有偏压件，所述偏压件在朝着阀座部的方向上施加偏压力，当由第一流路中的流体施加给第一隔膜的开启方向推力大于关闭方向推力时，所述关闭方向推力为偏压件的偏压力与由第二流路中的流体的压力施加给第二隔膜的推力之和，中空阀体与阀座部分离以开启连通流路，并且当开启方向推力小于关闭方向推力时，中空阀体与阀座部抵接以关闭连通流路。

[0020] 在根据本发明的隔膜阀中，第二隔膜的外径设为大于第一隔膜的外径，当由第一流路中的流体施加给第一隔膜的开启方向推力大于由第二流路中的流体施加给第二隔膜的关闭方向推力时，中空阀体与阀座部分离以开启连通流路，并且当开启方向推力小于关闭方向推力时，中空阀体与阀座部抵接以关闭连通流路。

[0021] 本发明的效果

[0022] 根据本发明，由于隔膜设置于形成有连通流路的中空阀体的相应端部，并且中空阀体被悬置，以可在阀套中由于隔膜而在轴向方向上移动，当中空阀体与阀座部抵接时，关闭连通流路，而当中空阀体与阀座部分离时，开启连通流路。当中空阀体开启/关闭连通流路时，设置于中空阀体的端部的隔膜彼此同步地弹性变形，从而防止隔膜阀中的流体响应于用于开启/关闭的中空阀体的移动而改变容积。因此，可防止流体线路中的流体响应于用于开启/关闭的中空阀体的移动而移动。由于连通流体路径与中空阀体构成直线通路，所以可防止在流体线路中出现压力损失或流体的扰动。

[0023] 由于隔膜设置于中空阀体的两个端部并且隔膜与中空阀体同步地弹性变形，所以隔膜阀直接由中空阀体驱动。因此，可缩小隔膜阀的尺寸。

[0024] 图的简要说明

[0025] 图1(A)为示出了根据本发明的一个实施例的隔膜阀中的流路的关闭状态的剖视图；

[0026] 图1(B)为示出了流路的开启状态的剖视图；

[0027] 图2为沿着图1(A)中的线2-2截取的剖视图；

[0028] 图3为从图2中的箭头3的方向看到的侧视图；

[0029] 图4为沿着图1(A)中的线4-4截取的剖视图；

[0030] 图5为沿着图1(A)中的线5-5截取的剖视图；

[0031] 图6(A)为示出了其中容纳有图1(A)和图1(B)中所示的隔膜单元的外壳的透视图；

[0032] 图6(B)为沿着图6(A)中的线6B-6B截取的剖视图；

[0033] 图7为示出了根据本发明的另一个实施例的隔膜阀的剖视图；

[0034] 图8(A)为示出了根据本发明的又一个实施例的隔膜阀的纵向剖视图；

[0035] 图8(B)为沿着图8(A)中的线8B-8B截取的横截面图；

[0036] 图9(A)为示出了根据本发明的再一个实施例的隔膜阀的横截面图；

[0037] 图9(B)为沿着图9(A)中的线9B-9B截取的剖视图；

[0038] 图10(A)为示出了根据本发明的另一个实施例的隔膜阀中的流路的关闭状态的剖视图；

[0039] 图10(B)为示出了其流路的开启状态的剖视图；

[0040] 图10(C)为沿着图10(A)中的线10C-10C截取的剖视图；

[0041] 图11(A)为示出了根据本发明的又一个实施例的隔膜阀中的流路的关闭状态的剖视图；

[0042] 图11(B)为示出了其流路的开启状态的剖视图；以及

[0043] 图11(C)为沿着图11(A)中的线11C-11C截取的剖视图。

[0044] 用于实现本发明的最佳方式

[0045] 在下文中，将参照各图详细地描述本发明的实施例。彼此共有的部件用相同的参考标号表示。

[0046] 图1(A)、图1(B)以及图2至图4中所示的隔膜阀10a具有第一壳体11以及附接至第一壳体11的第二壳体12。在壳体11和12在其邻接表面处彼此邻接的状态中，通过用螺钉件紧固壳体11和12，由壳体11和12构成阀套13。具有流路14a的第一管道14附接至第一壳体11，而具有流路15a的第二管道15附接至第二壳体12。在流路14a和15a同轴地布置成彼此相对的状态中，管道14和15附接至相应的壳体11和12。

[0047] 在第一壳体11中，其邻接表面侧上形成有接收凹入部16，同时其形成有延伸至接收凹入部16的大直径的安装孔17以及与大直径的安装孔17同轴地布置的小直径的安装孔18。第一管道14的一个端部设置有插入到安装孔17和18中的凸缘部21，并且在凸缘部与介于大直径的安装孔17与小直径的安装孔18之间的邻接表面19抵接的状态中，凸缘部21附接至第一壳体11。凸缘部21的内表面以这样的渐缩表面21a形成，即，内径朝着第二壳体12变大。阀座块22附接至第一壳体11的安装孔17，并且阀座块22定位成邻近构成连接件23的凸缘部21。

[0048] 在第二壳体12中，其邻接表面侧上形成有大直径的安装孔24，而邻接表面的相对侧上形成有小直径的安装孔25。而且，第二壳体12中形成有配置(allocate)在安装孔24和25之间且与锥形孔26b连续的邻接表面26a。第二管道的15的端部设置有插入到大直径的安装孔24中的凸缘部27以及对应于锥形孔26b的锥形部28，并且在凸缘部27与邻接表面26a抵接的状态中，凸缘部27附接至壳体12。第二连接件29由凸缘部27和锥形部28构成。

[0049] 隔膜单元31可拆卸地设置在阀套13中。隔膜单元31的中空阀体32具有使得第一流路14a和第二流路15a彼此连通的连通流路32a，并且中空阀体32由圆柱形件(即套管形件)形成。当环形的第一安装部33设置于第一隔膜的外周部分时，第一隔膜34整体地设置于中空阀体32的一个端部。当环形的第二安装部35设置于第二隔膜的外周部分时，第二隔膜36整体地设置于中空阀体32的另一个端部。第一隔膜34的第一安装部33通过阀座块22固定至阀套13，并且用于第二隔膜36的第二安装部35通过凸缘部27固定到阀套13。

[0050] 当中空阀体32在其轴向方向上移动时，第一和第二隔膜34和36中的每个与中空阀体32同步地弯曲并弹性地变形。因此，中空阀体32处于这样的状态，即，在所述状态中，中空阀体由整体地设置在中空阀体32的两个端部处的第一和第二隔膜34和36悬挂并可移动地支撑。而且，第一和第二隔膜34和36相对地布置成使得在中空阀体32的轴向方向上向外引导隔膜的凹面。

[0051] 第一隔膜单元31容纳在外壳37内。如图6(A)所示，外壳37具有两个外壳体37a和37b，并且通过促使外壳体37a和37b彼此抵接而形成外壳37。如图6(B)所示，相应的外壳体37a和37b设置有与形成在第一安装部33的外周表面上的环形凹槽接合的接合爪38和与形成在第二安装部35的外周表面上的环形凹槽接合的接合爪39。如图6(A)和图
6(B)所示，外壳体37a和37b的相应表面上形成有开口部40。

[0052] 通过促使两个外壳体37a和37b彼此抵接，将隔膜单元31容纳在外壳37内。隔膜单元31附接在阀套13内，以通过将其一个端部装配在阀座块22内并且将其另一端部装配在凸缘部27内而呈现浮置状态。虽然如上所述，隔膜单元31通过阀座块22和凸缘部27附接至阀套13，但是隔膜单元可直接附接至阀套13。而且，当用另一隔膜单元替换隔膜单元31时，通过将外壳37从阀套13中拆出，可容易地进行该替换。

[0053] 如图1(A)和图1(B)所示，阀座块22具有装配在安装孔17中的圆形基底部41，并且基底部41的内表面侧上设置有与中空阀体32的端面抵接的阀座部42。如图5所示，穿过基底部41延伸的多个通孔43径向地形成在阀座部42的外部，并且流路14a和连通流路32a通过通孔43彼此连通。如图5所示，每个通孔43延伸并形成为弧形。突出到中空阀体32的连通流路32a中的锥形突起44设置于阀座块22的径向中央部，并且朝着凸缘部21突出的锥形突起45设置在突起44的相反侧上。

[0054] 如图1(A)所示，当中空阀体32的一个端面与阀座部42抵接时，关闭中空阀体32的连通流路32a，以使第一流路14a和第二流路15a呈现阻塞状态。相反，如图1(B)所示，当中空阀体32在轴向方向上移动并且中空阀体32的一个端部与阀座部42分离时，第一流路14a和第二流路15a呈现连通状态，以通过连通流路32a彼此连通。

[0055] 当隔膜阀10a内的第一连接件23被限定为流入侧连接件并且第二连接件29被限定为流出侧连接件时，在将流体(比如液体)从用作流入侧流路的第一流路14a供应至用作流出侧流路的第二流路15a的状态与停止流体的供应的状态之间进行切换。如图1(B)所示，为了将流体从第一流路14a供应至第二流路15a，使中空阀体32与阀座部42分离。另一方面，如图1(A)所示，为了停止流体的供应，迫使中空阀体32与阀座部42抵接。因此，隔膜阀10a配置为流路切换阀，以在将流体从流入侧流路供应至流出侧流路的状态与停止流体的供应的状态之间进行切换，即配置为双向阀。

[0056] 当比如在流体线路中使用该隔膜阀10a以从喷嘴中排放诸如光致抗蚀剂液体之类的化学制品时，氟树脂可用作与化学制品接触的连接件23和29、隔膜单元31、阀座块22等的材料。因此，可防止与化学制品接触的部分被该化学制品腐蚀。由于渐缩表面21a设置在相应连接件23和29上，并且锥形突起44和45设置在阀座块22的两侧上，因此通过连通流路32a从第一流路14a流动到第二流路15a的诸如化学制品之类的流体平稳地流动，未作停留。顺便提一下，根据流路内流动的液体的种类，氟树脂或金属以外的另一树脂可用作与液体接触的部件。

[0057] 当在如图1(A)所示的通过中空阀体32在轴向方向上的移动关闭流路的状态与如图1(B)所示的开启流路的状态之间进行切换时，由于两个隔膜34和36与中空阀体32成一体，所以中空阀体32的移动未改变连接件23和29之间的液体容积。即，当中空阀体32从关闭状态移动到开启状态时，通过由两个隔膜34和36执行的悬挂而处于浮置状态中的中空阀体32随着连通流路32a内的液体移动，并且通过第二隔膜36的收缩变形而被推出的液体进入膨胀并且变形的第一隔膜的内部，从而连接件23和29之间的液体容积没有改变。当中空阀体32从开启状态移动到关闭状态(即阻塞状态)时，类似地，液体容积未改变。据此，即使隔膜阀10a移动以开启/关闭，设置有隔膜阀10a的流体线路内的液体未移动。

[0058] 由于两个隔膜34和36设置于中空阀体32的两个端部并且在彼此相反的相应方向上被引导，所以当中空阀体32移动以开启/关闭时，液体容积未改变。此外，由于阀体由中空阀体32构成，并且隔膜34和36设置于中空阀体32的两个端部以通过中空阀体32彼此同步地移动，所以能够缩小隔膜阀10a的尺寸。而且，由于中空阀体32的连通流路32a形成为直线形状，所以能够消除连通流路32a内的流体的压力损失，并且防止紊流的出现。

[0059] 为了将中空阀体32移动到开启位置和关闭位置，两个汽缸腔51a和51b形成在第二壳体12内，并且活塞52a和52b安装在相应汽缸腔51a和51b内，以可在轴向方向上往复地移动。活塞52a和52b分别设置有用作往复件的活塞杆53a和53b。用螺钉件54固定至一个活塞杆53a的接合件55a的远端与形成在中空阀体32的外周表面上的环形凹槽46的大致一半弧形部接合。用螺钉件54固定至另一个活塞杆53b的接合件55b的远端与环形凹槽46的剩余的大致一半弧形部接合。如图4所示，接合件55a和55b通过螺钉件56彼此接合，并且两个活塞52a和52b的合力施加至中空阀体32的中央部。然而，一个活塞能够驱动中空阀体32。

[0060] 在上述隔膜阀10a中，活塞52a和52b中的每个为双作用型活塞，在轴向方向上将推力施加至中空阀体32的活塞52a和52b的向前和向后移动通过压缩空气执行。然而，活塞52a和52b中的每个可为单作用型活塞，一个向前和向后移动可通过气压执行，另一个向前和向后移动可通过弹簧执行。而且，在上述隔膜阀10a中，第一管道14用作流入侧管道，第二管道15用作流出侧管道。然而，可以相反的方式使用这些管道。

[0061] 为了允许通过流体压力(比如压缩空气)使活塞52a和52b往复，如图2和图3所示，形成在壳体12内的注入/排放口58通过流路58a与用于向后移动的压力腔57a连通。类似地，形成在壳体12内的注入/排放口59通过流路(未示出)与用于向前移动的压力腔57b连通。因此，当将压缩空气供应至注入/排放口59时，活塞杆53a和53b向前移动，以突出到第一壳体11中，从而朝着阀座部42驱动中空阀体32。另一方面，当将压缩空气供应至注入/排放口58时，活塞杆53a和53b向后移动，从而在远离阀座部42的方向上驱动中空阀体32。当活塞杆53a和53b往复时，通过形成在壳体12中的通气孔60注入/排放接收凹入部16内的空气。

[0062] 当在流体线路中使用上述隔膜阀10a以从喷嘴中排放光致抗蚀剂液体时，第一连接件23用作液体的流入侧部件，第二连接件29用作流出侧部件。当从如图1(A)所示的由于中空阀体32与阀座部42抵接而阻塞连通流路32a的状态切换至如图1(B)所示的开启连通流路32a的状态时，将压缩空气从注入/排放口58供应至用于向后移动的压力腔57a，同时将用于向前移动的压力腔57b内的空气从注入/排放口59中排出。另一方面，当中空阀体32从开启状态切换至阻塞状态时，将压缩空气从注入/排放口59供应至用于向前移动的压力腔57b，同时将用于向后移动的压力腔57a内的空气向外排出。

[0063] 当由活塞52a和52b通过轴向推力使中空阀体32在轴向方向上移动时，由于隔膜34和36整体地设置在中空阀体32的相应端部上，所以当中空阀体32移动以开启/关闭时，隔膜阀10a内的液体容积未改变。这样，当中空阀体32移动以开启/关闭时，由于设置有隔膜阀10a的流体线路内的液体未移动，所以能够抑制连通流路32a内的压力损失和紊流。比如，当从喷嘴排出液体时，能够以高精度排出液体并且能够抑制液体中的泡沫产生。

[0064] 图7为示出了根据本发明的另一个实施例的隔膜阀10b的剖视图，该隔膜阀10b的基本结构与上述隔膜阀10a的基本结构相同。

[0065] 当隔膜阀10a的中空阀体32形成有与接合件55a和55b的远端接合的环形凹槽46时，隔膜阀10b的中空阀体32设置有环形突起48。具有与环形突起48接合的凹入部的弧形接合端部49设置于接合件55a和55b的相应远端部。在这种类型的隔膜阀10b中，隔膜单元31可拆卸地安装在阀套13上。

[0066] 图8(A)和图8(B)为示出了根据本发明的又一个实施例的隔膜阀10c的剖视图。隔膜阀10c在将推力施加至中空阀体32的驱动机构上与上述隔膜阀10a不同。但是在剩余结构方面与隔膜阀10a相同。

[0067] 在隔膜阀10c内，第二壳体12由内部61a和附接至内部61a的外部的圆柱形外部61b构成，环形活塞52组装在形成在这些部分61a和61b之间的汽缸腔51内。圆柱形活塞杆53作为往复件设置于环形活塞52，并且该活塞杆53通过接合件55a和55b接合到中空阀体32。用于向后移动的形成在壳体12内的压力腔57a与注入/排放口58连通，并且用于向前移动的压力腔57b与注入/排放口59连通。虽然环形活塞52为双作用型活塞，但是如上所述，也可为单作用型活塞。

[0068] 图9(A)和图9(B)为示出了根据本发明的又一个实施例的隔膜阀10d的剖视图。该隔膜阀10d的阀座13具有设置在第一壳体11与第二壳体12之间的连接块62，并且该连接块62构成第二连接件29。第二管道15整体地设置在连接块62中，并且第二管道15与第一管道14成直角地定位。隔膜单元31的第二安装部35固定到用作连接件29的连接块
62，如图9(A)和图9(B)所示。

[0069] 汽缸腔51以与中空阀体32共轴的关系形成在第二壳体12中，并且由盖47覆盖。活塞52安装在汽缸腔51内，以能够在轴向方向上进行往复运动。两个接合杆63作为往复件安装在连接块62上，以能够在轴向方向上进行往复运动。外螺纹部64设置于活塞52上所设置的活塞杆53，并且接合件66用螺母65安装至活塞杆53，所述螺母连接到该外螺纹部64。该接合件66用螺钉件67安装至接合杆63。从形成在第二壳体12中的注入/排放口58和59，将压缩空气供给至由活塞52在汽缸腔51中限定的用于向前移动的压力腔57b和用于向后移动的压力腔57a。因此，在图9(A)和图9(B)中所示的隔膜阀10d内，由一个活塞52通过接合杆63将轴向推力施加至中空阀体32，以使中空阀体在第一管道14的流路
14a和第二管道15的流路15a彼此连通的状态与阻塞该连通的状态之间切换。

[0070] 图10(A)到图10(C)为示出了根据本发明的另一个实施例的隔膜阀10e的剖视图。隔膜阀10e为单向阀，即止回阀，其允许流体从第一管道14的流路14a流动到第二管道15的流路15a，并且防止流体在相反方向上流动。

[0071] 外壳37和组装在其中的隔膜单元31的结构与图1(A)和图1(B)中所示的结构相同，第二壳体12中未设置图1(A)和图1(B)中所示的驱动机构。与形成在中空阀体32的外周表面上的环形凹槽46的大致一半弧形部接合的接合件71a以及与环形凹槽46的剩余的大致一半弧形部分接合的接合件71b组装在第一壳体11内所形成的接收凹入部16内。如图10(C)所示，接合件71a和71b通过螺钉件72彼此接合。相应接合件71a和71b分别整体地设置有半圆形的圆柱部73，并且通过用螺钉件72紧固接合件71a和71b，圆柱部73形成圆柱部。压缩卷簧74为作为偏压件附接在圆柱部73内的弹簧件，以通过压缩卷簧74将朝着阀座部42引导的偏压力施加至中空阀体32。

[0072] 由于以这种方式将朝着阀座部42引导的偏压力施加至中空阀体32，所以将关闭方向推力施加至中空阀体32，所述关闭方向推力为施加至隔膜36的由于流体压力造成的推力与由于弹簧力造成的推力之和。因此，当由第一流路14a内的流体施加至隔膜34的开启方向推力变得大于在相反方向上施加至隔膜36的关闭方向推力时，中空阀体32与阀座部42分离，从而实现连通流路32a与流路14a连通的这种开启状态。另一方面，当开启方向推力小于关闭方向推力时，中空阀体32与阀座部42抵接，从而关闭连通流路32a。因此，图10(A)到图10(C)中所示的隔膜阀10e构成止回阀，该止回阀允许从流路14a到流路15a的流动，并且阻止相反方向上的流动。通过使圆柱部73与第二壳体12的端面抵接，限制中空阀体32与阀座部42的分离冲程。

[0073] 图11(A)到图11(C)为示出了根据本发明的又一个实施例的隔膜阀10f的剖视图。隔膜阀10f为止回阀，该止回阀允许流体从第一管道14的流路14a流动至第二管道15的流路15a，并且阻止流体在相反方向上以及上述隔膜阀10e内流动。然而，该隔膜阀10f内未设置如图10(A)和图10(B)所示的压缩卷簧74，所以未将朝着阀座部42的关闭方向上的弹簧力施加至中空阀体32。

[0074] 在如图11(A)到图11(C)所示的隔膜阀10f中，第二隔膜36的外径d2设为大于第一隔膜34的外径d1。在如图11(A)到图11(C)所示的隔膜阀10f中，因此，当流路14a内的流体的压力变得高于流路15a内的流体的压力时，由施加至第一隔膜34的流路14a内的流体对中空阀体32施加的开启方向推力变得大于由施加至隔膜36的流路15a内的流体施加的关闭方向推力，从而中空阀体32与阀座部42分离，以开启连通流路32a。相反，当开启方向推力小于关闭方向推力时，中空阀体32与阀座部42抵接，从而关闭连通流路32a。因此，与隔膜阀10e一样，图11(A)到图11(C)中所示的隔膜阀10f为止回阀，该止回阀允许从流路14a到流路15a的流动，并且阻止相反方向上的流动。

[0075] 两个导向件75a和75b附接至中空阀体32，并且与环形凹槽46接合，以限制中空阀体32距离阀座部42的移动距离，并且中空阀体32在轴向方向上的移动由两个导向件75a和75b引导，相应导向件75a和75b沿着外壳37的开口部40移动。

[0076] 本发明不限于上述实施例，在不违背本发明的主旨的范围内可进行各种更改。比如，在所示隔膜阀中，与管道14一起整体地设置的凸缘部21作为连接件23而构成，但是与管道14分离的连接件可设置在阀套13上。这也适用于第二连接件29。而且，作为适于使中空阀体32在轴向方向上往复的驱动装置，在上述实施例中使用活塞，其中由压缩空气或加压流体驱动活塞，但是该活塞可由电动机驱动，并且该活塞可手动驱动。

[0077] 工业适用性

[0078] 本发明的隔膜阀用于开启/关闭流体流路，本隔膜阀引导从泵排放至流体排放部(比如喷嘴)的流体或者防止流体的反向流动。