碱可溶性树脂及其制作方法、感光性树脂组合物、光刻胶转让专利

申请号 : CN201110162205.6

文献号 : CN102653581B

文献日 :

基本信息:

PDF:

法律信息:

相似专利:

发明人 : 舒适薛建设赵吉生李琳田肖雄

申请人 : 京东方科技集团股份有限公司

摘要 :

本发明提供一种碱可溶性树脂及其制作方法、感光性树脂组合物、光刻胶,在碱可溶性树脂的分子结构中包含有酚醛环氧丙烯酸酯结构。因此,在显影时不会有耐热树脂残留,从而提高显影的效果。而且,酚醛环氧丙烯酸酯结构还可以提高光刻胶中光敏树脂与基板的附着力,从而可以避免掉胶的缺陷;而且,在图案化工艺后,环氧丙烯酸酯基团与羧基发生反应,从而增加光敏树脂的热稳定性以及化学稳定性。

权利要求 :

1.一种碱可溶性树脂的制作方法,包括使反应物发生共聚合反应步骤,其特征在于,参与共聚合反应的所述反应物包括不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物,以生成具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的碱可溶性树脂,所述制作方法包括以下步骤:将热聚合引发剂,分子量调节剂,芳香族乙烯,不饱和羧酸和/或不饱和酸酐以及溶剂均匀混合;

在氮气气氛下升温使所述芳香族乙烯、所述不饱和羧酸和/或不饱和酸酐发生聚合反应,从而生成直连聚合物;

加入不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物,使所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与所述直连聚合物发生聚合反应,生成具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物;

将所述具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物分离,从而获得碱可溶性树脂。

2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物含有通式(1)或通式(2)所示结构单元,通式(1)中,R为-H或-CH3,m为1~5;

通式(2)中,n为5~100。

3.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,加入0.01~3重量份的热聚合引发剂,0.1~5重量份的分子量调节剂,3~30重量份的芳香族乙烯,3~30重量份的不饱和羧酸和/或不饱和酸酐,30~90重量份的溶剂,0.5~5重量份的不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物。

4.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述芳香族乙烯、所述不饱和羧酸和/或不饱和酸酐是在50~90℃的温度下聚合反应1~5小时;所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与所述直连聚合物是在100~150℃的温度下聚合反应2~10小时。

5.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,在所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与所述直连聚合物发生聚合反应结束前的1~3小时,加入0.01~0.1重量份的热聚合抑制剂。

6.一种感光性树脂组合物,包括碱可溶性树脂,其特征在于,所述碱可溶性树脂的分子结构中包含有酚醛环氧丙烯酸酯结构。

7.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物,其特征在于,酚醛环氧丙烯酸酯结构在碱可溶性树脂分子结构中的摩尔百分比为0.5~60%。

8.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述碱可溶树脂在感光性树脂组合物中的重量百分含量为5~30%。

9.根据权利要求8所述的感光性树脂组合物,其特征在于,还包括:0.5~25%(重量)的感光性树脂或单体,0.1~5%(重量)的光起始剂,40~85%(重量)的溶剂。

10.根据权利要求9所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述感光性树脂或单体为含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体。

11.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体为单官能或多官能的丙烯酸酯。

12.根据权利要求11所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述单体为单官能或多官能的丙烯酸酯为环氧丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯或丙烯酸酯化丙烯酸酯。

13.根据权利要求9所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述光起始剂为苯甲酰,苯甲酰基甲醚,苯甲酰基乙醚,苯甲酰基异丙醚,苯甲酰基异丁醚,2,4,6-三甲基苯甲酰二苯膦氧化物,2,2’-二(o-氯苯)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2-乙基蒽醌,联苯酰,莰醌,苯基乙醛酸甲酯,4-羟基苯二甲基锍p-甲苯磺酸盐,三苯锍六氟锑酸盐,二苯碘鎓六氟锑酸盐,苯甲酰甲苯磺酸酯,2-羟基-2-甲基-1-苯丙基-1-酮,二乙氧基乙酰苯酚,

2-甲基-2-吗啉代-1-(4-甲基苯硫基),2-羟基-2-甲基-1-[4-(甲基乙稀)苯基]丙基-1-酮,2,4-二(三氯甲烷基)-6-(四-甲氧基苯)-1,3,5-三嗪,2,4-二(三氯甲基)-6-胡椒基1,3,5-三嗪,2,4-二(三氯甲烷)-6-[2-(5-甲基呋喃)-乙烯基]-1,3,5三嗪,2-苯基苄-2-二甲基胺-1-(4-吗啉苄苯基)丁酮中的一种或两种以上的组合。

14.根据权利要求9所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述溶剂为甲酸、乙酸、氯仿,丙酮,丁酮,脂肪醇、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚、乙二醇单丁醚、甲乙酮、甲基异丁基酮、单甲基醚乙二醇酯、γ-丁内酯、丙酸-3-乙醚乙酯、丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯、丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚醋酸酯、环己烷、二甲苯、异丙醇中的一种或两种以上的组合。

15.一种光刻胶,包含有感光性树脂组合物组分,其特征在于,所述感光性树脂组合物采用权利要求6-14任意一项所述的感光性树脂组合物。

说明书 :

碱可溶性树脂及其制作方法、感光性树脂组合物、光刻胶

技术领域

[0001] 本发明涉及一种碱可溶性树脂及其制作方法、感光性树脂组合物以及光刻胶,特别适用于制作彩色液晶显示器的彩色滤光片。

背景技术

[0002] 彩色滤光片是TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)产业的核心部件之一,背光源的白光经过彩色滤光片的红、绿、蓝三色颜料光阻,被过滤为红光、绿光和蓝光,最后在人眼中混合成彩色图像。
[0003] 制作彩色滤光片的主要步骤将黑色光刻胶涂布在基板上(涂胶),然后进行预烘烤(前烘),用特定图案掩膜并曝光,曝光部分因化学交联而在后面的碱液显影中保留,未曝光部分则被碱液洗去,保留的图案用水清洗并吹干(显影),再高温硬烤(后烘),从而完成黑色矩阵层(BM)制作。之后经同样的涂胶、前烘、曝光、显影以及后烘工艺再分别制作红色滤光层、绿色滤光层和蓝色滤光层。
[0004] 由上述制作过程可知,在制作在后的颜色滤光层(如绿色滤光层或蓝色滤光层)时,黑色矩阵层和在先制作的颜色滤光层(如红色滤光层)还要经过多次前烘、后烘工艺,这就要求光刻胶必须具有良好的化学稳定性、热稳定性和高附着力等性能。目前采用的方法是在光刻胶中加入耐热树脂,然而,当耐热树脂与光刻胶中的碱可溶性树脂相容性不佳时,在显影时将会导致耐热树脂的残留,从而影响显影的效果;而且,由于光刻胶附着力较差,因此经常出现掉胶的缺陷。

发明内容

[0005] 本发明要解决的技术问题就是针对现有技术中存在的上述缺陷,提供一种碱可溶性树脂,其不仅可以提高光刻胶的热稳定性、化学稳定性和附着力,而且在显影时不会残留耐热树脂。
[0006] 为此,本发明还提供一种碱可溶性树脂的制作方法,由该方法获得的碱可溶性树脂不仅可以提高光刻胶的热稳定性、化学稳定性和附着力,而且在显影时不会残留耐热树脂,从而提高显影效果。
[0007] 此外,本发明还提供一种感光性树脂组合物,不仅可以提高光刻胶的热稳定性、化学稳定性和附着力,而且在显影时不会残留耐热树脂,从而提高显影效果。
[0008] 另外,本发明还提供一种光刻胶,该光刻胶具有高的热稳定性、化学稳定性和附着力,而且在显影时不会残留耐热树脂,显影效果好。
[0009] 解决上述技术问题的所采用的技术方案是提供一种碱可溶性树脂,在碱可溶性树脂的分子结构中包含有酚醛环氧丙烯酸酯结构。
[0010] 优选地,酚醛环氧丙烯酸酯结构在碱可溶性树脂分子结构中的摩尔百分比为0.5~60%。
[0011] 另外,本发明还提供一种碱可溶性树脂的制作方法,包括使反应物发生共聚合反应步骤,参与共聚合反应的所述反应物包括不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物,以生成具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的碱可溶性树脂。
[0012] 优选地,所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物含有通式(1)或通式(2)所示结构单元,
[0013]
[0014] 通式(1)中,R为-H或-CH3,m为1~5;
[0015]
[0016] 通式(2)中,n为5~100。
[0017] 优选地,所述的制作方法包括以下步骤:
[0018] 将热聚合引发剂,分子量调节剂,芳香族乙烯,不饱和羧酸和/或不饱和酸酐以及溶剂均匀混合;
[0019] 在氮气气氛下升温使所述芳香族乙烯、所述不饱和羧酸和/或不饱和酸酐发生聚合反应,从而生成直连聚合物;
[0020] 加入不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物,使所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与所述直连聚合物发生聚合反应,生成具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物;
[0021] 将所述具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物分离,从而获得碱可溶性树脂。
[0022] 优选地,加入0.01~3重量份的热聚合引发剂,0.1~5重量份的分子量调节剂,3~30重量份的芳香族乙烯,3~30重量份的不饱和羧酸和/或不饱和酸酐,30~90重量份的溶剂,0.5~5重量份的不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物。
[0023] 优选地,所述芳香族乙烯、所述不饱和羧酸和/或不饱和酸酐是在50~90℃的温度下聚合反应1~5小时;所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与所述直连聚合物是在100~150℃的温度下聚合反应2~10小时。
[0024] 优选地,在所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与所述直连聚合物发生聚合反应结束前的1~3小时,加入0.01~0.1重量份的热聚合抑制剂。
[0025] 此外,本发明还提供一种感光性树脂组合物,包括碱可溶性树脂,所述碱可溶性树脂采用本发明提供的所述碱可溶性树脂。
[0026] 优选地,所述碱可溶树脂在感光性树脂组合物中的重量百分含量为5~30%。
[0027] 优选地,还包括:0.5~25%(重量)的感光性树脂或单体,0.1~5%(重量)的光起始剂,40~85%(重量)的溶剂。
[0028] 优选地,所述感光性树脂或单体为含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体。
[0029] 优选地,所述含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体为单官能或多官能的丙烯酸酯、环氧丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯或丙烯酸酯化丙烯酸酯。
[0030] 优选地,所述光起始剂为苯甲酰,苯甲酰基甲醚,苯甲酰基乙醚,苯甲酰基异丙醚,苯甲酰基异丁醚,2,4,6-三甲基苯甲酰二苯膦氧化物,2,2’-二(o-氯苯)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2-乙基蒽醌,联苯酰,莰醌,苯基乙醛酸甲酯,4-羟基苯二甲基锍p-甲苯磺酸盐,三苯锍六氟锑酸盐,二苯碘鎓六氟锑酸盐,苯甲酰甲苯磺酸酯,2-羟基-2-甲基-1-苯丙基-1-酮,二乙氧基乙酰苯酚,2-甲基-2-吗啉代-1-(4-甲基苯硫基),2-羟基-2-甲基-1-[4-(甲基乙稀)苯基]丙基-1-酮,2,4-二(三氯甲烷基)-6-(四-甲氧基苯)-1,3,5-三嗪,2,4-二(三氯甲基)-6-胡椒基1,3,5-三嗪,2,4-二(三氯甲烷)-6-[2-(5-甲基呋喃)-乙烯基]-1,3,5三嗪,2-苯基苄-2-二甲基胺-1-(4-吗啉苄苯基)丁酮中的一种或两种以上的组合。
[0031] 优选地,所述溶剂为甲酸、乙酸、氯仿,丙酮,丁酮,脂肪醇、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇二乙醚乙酸乙酯、甲乙酮、甲基异丁基酮、单甲基醚乙二醇酯、γ-丁内酯、丙酸-3-乙醚乙酯、丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯、丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚醋酸酯、环己烷、二甲苯、异丙醇中的一种或两种以上的组合。
[0032] 此外,本发明还提供一种光刻胶,包含有感光性树脂组合物组分,所述感光性树脂组合物采用本发明提供的所述的感光性树脂组合物。
[0033] 本发明具有以下有益效果:
[0034] 本发明提供的碱可溶性树脂由于在其分子结构中含有酚醛环氧丙烯酸酯结构,其可以使碱可溶性树脂与光刻胶中的其它树脂(如分散剂、分散树脂、含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体)保持良好的相容性,在显影时不会残留耐热树脂,从而提高显影的效果。另外,酚醛环氧丙烯酸酯结构还可以提高光刻胶中光敏树脂与基板的附着力,从而可以避免掉胶的缺陷;而且,在图案化工艺后,环氧丙烯酸酯基团与羧基发生反应,从而增加光敏树脂的热稳定性以及化学稳定性。
[0035] 类似地,本发明提供的碱可溶性树脂的制作方法,加入不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物参与乙烯基不饱和单体的共聚合反应,从而使碱可溶性树脂的分子结构中含有酚醛环氧丙烯酸酯结构,其可以使碱可溶性树脂与光刻胶中的其它树脂(如分散剂、分散树脂、含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体)保持良好的相容性,从而在显影时可以避免耐热树脂的残留,进而提高显影的效果。另外,含有酚醛环氧丙烯酸酯结构的碱可溶性树脂还可以提高光刻胶中光敏树脂与基板的附着力,从而可以避免掉胶的缺陷;而且,在图案化工艺后,环氧丙烯酸酯基团与羧基发生反应,从而增加光敏树脂的热稳定性以及化学稳定性。
[0036] 本发明提供的感光性树脂组合物,其碱可溶性树脂组分中含有酚醛环氧丙烯酸酯结构,因此可以使碱可溶性树脂与光刻胶中的其它树脂(如分散剂、分散树脂、含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体)保持良好的相容性,从而可以避免在显影时耐热树脂的残留,进而提高显影的效果。另外,含有酚醛环氧丙烯酸酯结构的感光性树脂组合物还可以提高光刻胶中光敏树脂与基板的附着力,从而可以避免掉胶的缺陷;而且,在图案化工艺后,环氧丙烯酸酯基团与羧基发生反应,从而增加光敏树脂的热稳定性以及化学稳定性。
[0037] 本发明提供的光刻胶,在感光性树脂组合物中包含有酚醛环氧丙烯酸酯结构的碱可溶性树脂组分,其可以使碱可溶性树脂与光刻胶中的其它树脂(如分散剂、分散树脂、含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体)保持良好的相容性,从而在显影时可以避免耐热树脂的残留,进而提高显影的效果。另外,含有酚醛环氧丙烯酸酯结构的光刻胶还可以提高光刻胶中光敏树脂与基板的附着力,从而可以避免掉胶的缺陷;而且,在图案化工艺后,环氧丙烯酸酯基团与羧基发生反应,从而增加光敏树脂的热稳定性以及化学稳定性。

附图说明

[0038] 图1为本发明提供的碱可溶性树脂制作方法的流程图。

具体实施方式

[0039] 为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图对本发明提供的碱可溶性树脂及其制作方法、感光性树脂组合物、光刻胶进行详细描述。
[0040] 本实施例提供一种碱可溶性树脂,在碱可溶性树脂的分子结构中包含有酚醛环氧丙烯酸酯结构,而且,酚醛环氧丙烯酸酯结构在碱可溶性树脂分子结构中的摩尔百分比为0.5~60%。
[0041] 本实施例提供的碱可溶性树脂由于在其分子结构中含有酚醛环氧丙烯酸酯结构,其可以使碱可溶性树脂与光刻胶中的其它树脂(如分散剂、分散树脂、含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体)保持良好的相容性,从而在显影时可以避免耐热树脂的残留,进而提高显影的效果。另外,酚醛环氧丙烯酸酯结构还可以提高光刻胶中光敏树脂与基板的附着力,从而可以避免掉胶的缺陷;而且,在图案化工艺后,环氧丙烯酸酯基团与羧基发生反应,从而增加光敏树脂的热稳定性以及化学稳定性。
[0042] 本实施例还提供一种碱可溶性树脂的制作方法,该碱可溶性树脂在其分子结构中含有酚醛环氧丙烯酸酯结构。图1为本发明提供的碱可溶性树脂制作方法的流程图。请参阅图1,碱可溶性树脂的制作方法包括以下步骤:
[0043] 步骤s10,将热聚合引发剂、分子量调节剂、芳香族乙烯、不饱和羧酸以及溶剂均匀混合。
[0044] 将0.01~3重量份的热聚合引发剂、0.1~5重量份的分子量调节剂、3~30重量份的芳香族乙烯、3~30重量份的不饱和羧酸、30~90重量份的溶剂搅拌回流混合10~45分钟,以使其均匀混合。
[0045] 其中,芳香族乙烯和不饱和羧酸为反应物,而且,不饱和羧酸也可以用不饱和酸酐代替,或者将不饱和羧酸和不饱和酸酐同时加入。热聚合引发剂可以是偶氮二异丁腈(AIBN)、过氧化二苯甲酰(BPO);分子量调节剂可以采用巯基化合物,如二巯基乙醇;芳香族乙烯可以采用苯乙烯、丙烯酸苄酯等芳香族乙烯;溶剂采用丙二醇单乙醚。
[0046] 步骤s20,在氮气气氛下升温以使芳香族乙烯、不饱和羧酸发生聚合反应,生成直连聚合物。
[0047] 在氮气气氛下,使芳香族乙烯和不饱和羧酸在50~90℃的温度下聚合反应1~5小时,生成直连聚合物。
[0048] 步骤s30,加入不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物,使所述不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与直连聚合物发生聚合反应,生成具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物。
[0049] 加入0.5~5重量份的不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物,并使不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与直连聚合物在100~150℃的温度下搅拌回流聚合反应2~10小时,以使酚醛环氧丙烯酸酯基团与直连聚合物分子连接,从而生成含有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物,即生成含有酚醛环氧丙烯酸酯结构的生成物。
[0050] 不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物含有通式(1)或通式(2)所示结构单元,[0051]
[0052] 通式(1)中,R为-H或-CH3,m为1~5;
[0053]
[0054] 通式(2)中,n为5~100。
[0055] 在步骤s30中,在不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与所述直连聚合物聚合反应结束前的1~3小时,加入0.01~0.1重量份的热聚合抑制剂终止聚合反应,以防止含有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物因继续发生聚合反应而变性。
[0056] 另外,不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物可以通过现有的制备方法获得,如通过酚醛环氧树脂和(甲基)丙烯酸在加热催化条件下制得,其中,酚醛环氧基团与(甲基)丙烯酸的摩尔比为5~20∶1。
[0057] 步骤s40,将所述具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物分离,从而获得碱可溶性树脂。
[0058] 聚合反应完成后,使生成物冷却减压,并通过蒸馏方式将所述具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物分离出来,从而获得碱可溶性树脂。
[0059] 本实施例提供的碱可溶性树脂的制作方法,加入不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物参与乙烯基不饱和单体的共聚合反应,从而使碱可溶性树脂的分子结构中含有酚醛环氧丙烯酸酯结构,其可以使碱可溶性树脂与光刻胶中的其它树脂(如分散剂、分散树脂、含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体)保持良好的相容性,从而在显影时可以避免耐热树脂的残留,进而提高显影的效果。另外,含有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物的碱可溶性树脂还可以提高光刻胶中光敏树脂与基板的附着力,从而可以避免掉胶的缺陷;而且,在图案化工艺后,环氧丙烯酸酯基团与羧基发生反应,从而增加光敏树脂的热稳定性以及化学稳定性。
[0060] 本实施例还提供一种感光性树脂组合物,其包括:5~30%(重量)的碱可溶树脂,0.5~25%(重量)的感光性树脂或单体,0.1~5%(重量)的光起始剂,40~85%(重量)的溶剂。
[0061] 使用时,将碱可溶树脂、感光性树脂或单体、光起始剂以及溶剂按上述比例均匀混合即可。
[0062] 其中,感光性树脂或单体为含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体。含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体为单官能或多官能的丙烯酸酯、环氧丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯或丙烯酸酯化丙烯酸酯。
[0063] 光起始剂可以是自由基型光起始剂或阳离子型光起始剂,或者是自由基型光起始剂和阳离子型光起始剂组合。具体地,光起始剂可以是苯甲酰,苯甲酰基甲醚,苯甲酰基乙醚,苯甲酰基异丙醚,苯甲酰基异丁醚,2,4,6-三甲基苯甲酰二苯膦氧化物,2,2’-二(o-氯苯)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2-乙基蒽醌,联苯酰,莰醌,苯基乙醛酸甲酯,4-羟基苯二甲基锍p-甲苯磺酸盐,三苯锍六氟锑酸盐,二苯碘鎓六氟锑酸盐,苯甲酰甲苯磺酸酯,2-羟基-2-甲基-1-苯丙基-1-酮,二乙氧基乙酰苯酚,2-甲基-2-吗啉代-1-(4-甲基苯硫基),2-羟基-2-甲基-1-[4-(甲基乙稀)苯基]丙基-1-酮,2,4-二(三氯甲烷基)-6-(四-甲氧基苯)-1,3,5-三嗪,2,4-二(三氯甲基)-6-胡椒基1,3,5-三嗪,2,4-二(三氯甲烷)-6-[2-(5-甲基呋喃)-乙烯基]-1,3,5三嗪,2-苯基苄-2-二甲基胺-1-(4-吗啉苄苯基)丁酮中的一种或两种以上的组合。
[0064] 溶剂为甲酸、乙酸、氯仿,丙酮,丁酮,脂肪醇、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇二乙醚乙酸乙酯、甲乙酮、甲基异丁基酮、单甲基醚乙二醇酯、γ-丁内酯、丙酸-3-乙醚乙酯、丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯、丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚醋酸酯、环己烷、二甲苯、异丙醇中的一种或两种以上的组合。在使用过程中,优选丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚醋酸酯、环己烷、丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯和γ-丁内酯。
[0065] 本实施例提供的感光性树脂组合物,其碱可溶性树脂组分中含有酚醛环氧丙烯酸结构,因此可以使碱可溶性树脂与光刻胶中的其它树脂(如分散剂、分散树脂、含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体)保持良好的相容性,从而可以避免在显影时耐热树脂的残留,进而提高显影的效果。另外,含有酚醛环氧丙烯酸结构的感光性树脂组合物还可以提高光刻胶中光敏树脂与基板的附着力,从而可以避免掉胶的缺陷;而且,在图案化工艺后,环氧丙烯酸酯基团与羧基发生反应,从而增加光敏树脂的热稳定性以及化学稳定性。
[0066] 下面的实施例一至实施例五介绍碱可溶性树脂的制作方法。
[0067] 实施例一
[0068] a.将3重量份的偶氮二异丁腈、5重量份的二巯基乙醇、20重量份的马来酸酐、20重量份的苯乙烯、47重量份的丙二醇单乙醚溶剂搅拌回流混合45分钟。
[0069] b.在氮气气氛下,将反应物加热到50℃,以使马来酸酐和丙烯酸苄酯发生聚合反应1小时,生成直连聚合物。
[0070] c.加入5重量份的不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物,并升温至120℃,使不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与直连聚合物搅拌回流聚合反应7小时,以使酚醛环氧丙烯酸酯基团与直连聚合物分子连接,从而生成具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物。
[0071] d.加入0.1重量份的甲氧基氢醌,然后使不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与直连聚合物继续反应3小时。
[0072] e.使生成物冷却至室温,然后减压蒸馏获得碱可溶性树脂。
[0073] 实施例二
[0074] a.将0.01重量份的偶氮二异丁腈、0.1重量份的二巯基乙醇、5重量份的马来酸酐、10重量份的丙烯酸、5重量份的苯乙烯、0.1重量份的丙烯酸苄酯、79.28重量份的丙二醇单乙醚溶剂搅拌回流混合10分钟。
[0075] b.在氮气气氛下,将反应物加热到60℃,以使马来酸酐和丙烯酸苄酯发生聚合反应5小时,生成直连聚合物。
[0076] c.加入0.5重量份的不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物,并升温至100℃,使不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与直连聚合物搅拌回流聚合反应5小时,以使酚醛环氧丙烯酸酯基团与直连聚合物分子连接,生成具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物。
[0077] d.加入0.01重量份的甲氧基氢醌,然后使不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与直连聚合物继续反应2小时。
[0078] e.使生成物冷却至室温,然后减压蒸馏获得碱可溶性树脂。
[0079] 实施例三
[0080] a.将0.1重量份的偶氮二异丁腈、1重量份的二巯基乙醇、10重量份的马来酸酐、1重量份的丙烯酸、15重量份的苯乙烯、8重量份的丙烯酸苄酯、65.85重量份的丙二醇单乙醚溶剂搅拌回流混合20分钟。
[0081] b.在氮气气氛下,将反应物加热到70℃,以使马来酸酐和丙烯酸苄酯发生聚合反应3小时,生成直连聚合物。
[0082] c.加入1重量份的不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物,并升温至150℃,使不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与直连聚合物搅拌回流聚合反应5小时,以使酚醛环氧丙烯酸酯基团与直连聚合物分子连接,生成具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物。
[0083] d.加入0.05重量份的甲氧基氢醌,然后使不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与直连聚合物继续反应1小时。
[0084] e.使生成物冷却至室温,然后减压蒸馏获得碱可溶性树脂。
[0085] 实施四
[0086] a.将1重量份的偶氮二异丁腈、2重量份的二巯基乙醇、10重量份的丙烯酸、20重量份的苯乙烯、6重量份的丙烯酸苄酯、55.94重量份的丙二醇单乙醚溶剂搅拌回流混合30分钟。
[0087] b.在氮气气氛下,将反应物加热到90℃,以使马来酸酐和丙烯酸苄酯发生聚合反应2小时,生成直连聚合物。
[0088] c.加入5重量份的不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物,并升温至140℃,使不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与直连聚合物搅拌回流聚合反应7小时,以使酚醛环氧丙烯酸酯基团与直连聚合物分子连接,生成具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物。
[0089] d.加入0.06重量份的甲氧基氢醌,然后使不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与直连聚合物继续反应1.5小时。
[0090] e.使生成物冷却至室温,然后减压蒸馏获得碱可溶性树脂。
[0091] 实施例五
[0092] a.将3重量份的偶氮二异丁腈、3.9重量份的二巯基乙醇、20重量份的马来酸酐、10重量份的丙烯酸、20重量份的苯乙烯、8重量份的丙烯酸苄酯、30重量份的丙二醇单乙醚溶剂搅拌回流混合25分钟。
[0093] b.在氮气气氛下,将反应物加热到90℃,以使马来酸酐和丙烯酸苄酯发生聚合反应4小时,生成直连聚合物。
[0094] c.加入5重量份的不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物,并升温至150℃,使不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与直连聚合物搅拌回流聚合反应6小时,以使酚醛环氧丙烯酸酯基团与直连聚合物分子连接,生成具有酚醛环氧丙烯酸酯结构的聚合物。
[0095] d.加入0.1重量份的甲氧基氢醌,然后使不饱和酚醛环氧丙烯酸酯低聚物与直连聚合物继续反应2.5小时。
[0096] e.使生成物冷却至室温,然后减压蒸馏获得碱可溶性树脂。
[0097] 下面的实施例六至实施例九介绍感光树脂组合物的配比。
[0098] 实施例六
[0099] 感光性树脂组合物包含有5%(重量)的碱可溶树脂,0.5%(重量)的感光性树脂或单体,4.5%(重量)的光起始剂,90%(重量)的溶剂。
[0100] 实施例七
[0101] 感光性树脂组合物包含有30%(重量)的碱可溶树脂,25%(重量)的感光性树脂或单体,5%(重量)的光起始剂,40%(重量)的溶剂。
[0102] 实施例八
[0103] 感光性树脂组合物包含有10%(重量)的碱可溶树脂,10%(重量)的感光性树脂或单体,1%(重量)的光起始剂,79%(重量)的溶剂。
[0104] 实施例九
[0105] 感光性树脂组合物包含有20%(重量)的碱可溶树脂,5%(重量)的感光性树脂或单体,0.1%(重量)的光起始剂,74.9%(重量)的溶剂。
[0106] 比较例1
[0107] 感光树脂组合物包括10重量份市售的型号为天星110的碱可溶树脂,10重量份的感光性聚氨酯丙烯酸酯,2重量份的苯甲酰基异丙醚(光起始剂),78重量份的丙酸-3-乙醚乙酯(溶剂)。
[0108] 比较例2
[0109] 感光树脂组合物包括15重量份市售的型号为天星110的碱可溶树脂,15重量份的感光性聚氨酯丙烯酸酯,4重量份的酚醛环氧树脂(南箭61788-97-4),1重量份的苯甲酰基异丙醚(光起始剂),65重量份的丙酸-3-乙醚乙酯(溶剂)。
[0110] 表1为实施例六至实施例九以及比较例1、比较例2所述感光树脂组合物性能测试比较。
[0111]
[0112] 从表1可知,实施例六至实施例九提供的感光树脂组合物在显影时无掉胶缺陷,而且显影时不会有耐热树脂残留,因此,可以提高显影的效果,进而可以提高液晶显示器的质量。另外,实施例六至实施例九提供的感光树脂组合物在5%(质量)NaOH溶液浸泡5分钟前后的色差小于2,这表明感光树脂组合物的化学稳定性好。
[0113] 本实施例还提供一种光刻胶,该光刻胶中包含有本实施例提供的感光性树脂组合物组分,即在光刻胶中含有酚醛环氧丙烯酸酯结构的碱可溶性树脂组分,这可以使碱可溶性树脂与光刻胶中的其它树脂(如分散剂、分散树脂、含乙烯基或环氧基团的感光性树脂或单体)保持良好的相容性,因此在显影时不会有耐热树脂的残留,从而提高显影的效果。另外,含有酚醛环氧丙烯酸酯结构的光刻胶还可以提高光刻胶中光敏树脂与基板的附着力,从而避免掉胶的缺陷;而且,在图案化工艺后,环氧丙烯酸酯基团与羧基发生反应,从而增加光敏树脂的热稳定性以及化学稳定性。
[0114] 需要说明的是,本发明提供的感光性树脂组合物还可以用于制作用于支撑玻璃基板的隔垫物。
[0115] 可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。