气动放大器

摘要

本发明的气动放大器不增大泄放量就能够加快输出气压的稳定。将提升阀组装体(11)做成阀座部(12)与阀座保持部(13)分开的结构。将弹簧(15)收容在阀座部(12)和阀座保持部(13)之间的内部空间(14)中，在被该弹簧(15)推压的状态下，将提升阀(16)保持在阀座部(12)和阀座保持部(13)之间。在提升阀(16)中设置使收容有弹簧(15)的空间(13b)与阀塞(8)的排气通路(8b)连通的贯通孔(16c)、和使该贯通孔(16c)和输出气压室(4)连通的微细连通路(16d)。收容有弹簧(15)的空间(13b)通过O型环(23)与供给气压室(2)隔离。

权利要求

1.一种气动放大器，其包括：

形成在外壳内的输入气压室、供给气压室、输出气压室以及排气室；

由于被导入至所述输入气压室中的输入气压而发生位移的隔膜；

移动体，所述移动体具有位于所述输出气压室的开口和使该开口与所述排气室连通的排气通路，所述移动体由所述隔膜支承，并在所述外壳内移动；

提升阀，所述提升阀贯穿过形成在区划所述供给气压室和所述输出气压室的隔壁上的连通孔，并被设置为能够移动，所述提升阀一体地具有开闭所述移动体的开口的排气阀以及开闭所述连通孔的供气阀；和弹簧构件，所述弹簧构件向所述供气阀关闭所述连通孔的方向推压所述提升阀，所述气动放大器的特征在于，包括：提升阀组装体，所述提升阀组装体具有收容所述弹簧构件的空间以及所述隔壁，在使所述排气阀从形成于所述隔壁上的所述连通孔突出的状态下，所述提升阀组装体保持所述提升阀以及所述弹簧构件，所述提升阀具有连通路和微细连通路，所述连通路与和大气连通的、收容有所述弹簧构件的空间以及所述排气室中的某一方连通，所述微细连通路使该连通路与所述输出气压室连通。

2.一种气动放大器，包括：

形成在外壳内的输入气压室、第1供给气压室、第2供给气压室、第1输出气压室、第2输出气压室、第1排气室以及第2排气室；

由于被导入至所述输入气压室中的输入气压而发生位移的隔膜；

移动体，所述移动体具有位于所述第1输出气压室的第1开口、位于所述第2输出气压室的第2开口、使所述第1开口与所述第1排气室连通的第1排气通路、和使所述第2开口与所述第2排气室连通的第2排气通路，所述移动体由所述隔膜支承，并在所述外壳内移动；

第1提升阀，所述第1提升阀贯穿过形成在区划所述第1供给气压室和所述第1输出气压室的第1隔壁上的第1连通孔，并被设置为能够移动，所述第1提升阀一体地具有开闭所述移动体的第1开口的第1排气阀以及开闭所述第1连通孔的第1供气阀；

第2提升阀，所述第2提升阀贯穿过形成在区划所述第2供给气压室和所述第2输出气压室的第2隔壁上的第2连通孔，并被设置为能够移动，所述第2提升阀一体地具有开闭所述移动体的第2开口的第2排气阀以及开闭所述第2连通孔的第2供气阀；

第1弹簧构件，所述第1弹簧构件向所述第1供气阀关闭所述第1连通孔的方向推压所述第1提升阀；和第2弹簧构件，所述第2弹簧构件向所述第2供气阀关闭所述第2连通孔的方向推压所述第2提升阀，所述气动放大器的特征在于，包括：

第1提升阀组装体，所述第1提升阀组装体具有收容所述第1弹簧构件的空间以及所述第1隔壁，在使所述第1排气阀从形成于所述第1隔壁上的所述第1连通孔突出的状态下，所述第1提升阀组装体保持所述第1提升阀以及所述第1弹簧构件；

第2提升阀组装体，所述第2提升阀组装体具有收容所述第2弹簧构件的空间以及所述第2隔壁，在使所述第2排气阀从形成于所述第2隔壁上的所述第2连通孔突出的状态下，所述第2提升阀组装体保持所述第2提升阀以及所述第2弹簧构件，所述第1提升阀具有第1连通路和第1微细连通路，所述第1连通路与和大气连通的、收容有所述第1弹簧构件的空间以及所述第1排气室中的某一方连通，所述第1微细连通路使该第1连通路与所述第1输出气压室连通，所述第2提升阀具有第2连通路和第2微细连通路，所述第2连通路与和大气连通的、收容有所述第2弹簧构件的空间以及所述第2排气室中的某一方连通，所述第2微细连通路使该第2连通路与所述第2输出气压室连通。

说明书

气动放大器

技术领域

[0001] 本发明涉及一种进行气动型的调节阀(阀)的开度控制的定位器等所使用的气动放大器。

背景技术

[0002] 以往，在进行阀驱动控制、过程自动化、以及其他的一般工业设备的驱动控制时，都采用定位器，通过将该定位器安装到阀上，使得阀的开度控制成为可能。

[0003] 图20示出能够进行该阀的开度控制的定位器的主要部分的构成。在该图中，100是定位器，该定位器100具有：将从上位控制器200以电信号发送来的阀开度信号变换为气压信号Pn的电空变换部101，和将通过电空变换部101变换后的气压信号(输入气压)Pn放大作为输出气压信号(输出气压)Po输出给阀300的气动放大器(压力信号放大器)102。

[0004] 关于这样的定位器100所使用的气动放大器102，存在有对于一个输入气压Pn输出一个输出气压Po的单动型和对于一个输入气压Pn输出两个输出气压Po1、Po2的双动型。双动型的气动放大器102具有两个输出端口，在使阀300正作用的情况下使得第1端口的输出气压Po1比第2端口的输出气压Po2高，在使阀300反作用的情况下使得第2端口的输出气压Po2比第1端口的输出气压Po1高。

[0005] 图21示出单动型的气动放大器的结构。在该图中，401是外壳，在外壳401内设有输入气压室402、供给气压室403、输出气压室404以及排气室405。又，在外壳401内，设置有由于被导入输入气压室402中的输入气压(喷嘴背压)Pn而发生位移的隔膜406，阀驱动构件(移动体)407能向箭头A方向以及B方向移动地支撑在该隔膜406上。阀驱动构件407具有位于输出气压室404的开口407a、使该开口407a与排气室405连通的排气通路407b。又，输出气压室404和排气室405由隔膜408分隔，隔膜408设置在外壳401和阀驱动构件407之间。

[0006] 在供给气压室403和输出气压室404之间形成有隔壁409。在该隔壁409上形成有连通供给气压室403和输出气压室404的连通孔409a。而且，贯通该连通孔409a设置有能够左右移动的提升阀410。提升阀410一体地具有开闭驱动构件407的开口407a的排气阀410a，和开闭隔壁409的连通孔409a的供气阀410b。又，输出气压室404中设有向箭头B方向、即供气阀410b关闭连通孔409a的方向推压提升阀410的弹簧411。

[0007] 在该气动放大器中，供给气压Ps通过空气供给管412被供给至供给气压室403，输入气压Pn通过喷嘴背压导入管413被导入至输入气压室402中。又，输出气压Po从输出气压室404通过空气输出管414被输出至阀300。另外，排气室405与大气连通。

[0008] 在该气动放大器中，增加输入气压Pn时，隔膜406、408向箭头A侧移动，被支承在隔膜406、408上的阀驱动构件407也随之向箭头A侧移动。这样的话，阀驱动构件407随着该移动抵抗弹簧411的推压力而压下提升阀410，提升阀410的供气阀410b随之打开连通孔409a。此时，阀驱动构件407的开口407a由提升阀410的排气阀410a关闭。由此，通过空气供给管412被供给至供给气压室403的空气通过连通路409a被导入到输出气压室404内，通过空气输出管414被供给至阀300。

[0009] 另一方面，使输入气压Pn减少时，隔膜406、408向箭头B侧移动，被支承在隔膜406、408上的阀驱动构件407也随之向箭头B侧移动。这样的话，提升阀410由于弹簧411的推压力而被推升，提升阀410的供气阀410b随之将连通孔409a关闭。此时，阀驱动构件
407的开口407a由提升阀410的排气阀410a打开。由此，输出气压室404内的空气从阀驱动构件407的开口407a进入排气通路407b中，被排出到排气室405中。

[0010] 这样，阀驱动构件407以及提升阀410根据被导入至输入气压室402中的输入气压Pn来动作，通过该动作，被放大的输出气压Po通过空气输出管414向阀300输出。在该情况下，通过调整输入气压Pn的压力来调整输出气压Po。

[0011] 关于该气动放大器，输入压由输入气压Pn与隔膜(输入隔膜)406的有效面积An的乘积An×Pn表示，又，输出压由输出气压Po与隔膜(输出隔膜)408的有效面积Ao的乘积Ao×Po表示。

[0012] 在输入压An×Pn与输出压Ao×Po平衡时，供气阀410b落位于隔壁409的连通孔409a，同时排气阀410a落位于阀驱动构件407的开口407a，供气和排气都停止。即，在输入压与输出压平衡时，An×Pn＝Ao×Po这样的等式成立。

[0013] 该气动放大器中，输出气压Po相对于输入气压Pn的比被设定为增益G(G＝Po/Pn)。由于An×Pn＝Ao×Po这样的等式成立，因此Po/Pn＝An/Ao，该增益G也表示为G＝An/Ao。该增益G越高，则输出气压Po越被输入气压Pn提高，因此能够提高定位器的响应性。因此，为了谋求气动放大器的高增益化，只要增大承受输入气压Pn的有效面积An、或者减小承受输出气压Po的有效面积Ao即可。

[0014] 此时，增大承受输入气压Pn的有效面积An的话，会引起响应性的降低。又，由于导致气动放大器的大型化，因此不是很理想。因此，不增大承受输入气压Pn的有效面积An，而减小承受输出气压Po的有效面积Ao的情况比较理想。

[0015] 又，在该气动放大器中，在提升阀410的供气阀410b，由于其结构而作用有由供给气压Ps与输出气压Po的差压和供气端口直径所决定的力。该作用的力是供排气不相对于输入气压Pn的变化进行切换的死区的主要原因(例如，参照专利文献1(段落〔0021〕～〔0023〕))。

[0016] 因此，为了改善该死区所造成的供排气的非线形性，在专利文献1所示的气动放大器中，设置直径较大的泄放孔，将输出气压泄放到大气中。又，专利文献2所示的气动放大器中，也设置直径较大的泄放孔，将供给气压导入输出气压，并将其泄放到大气中。

[0017] 现有技术文献

[0018] 专利文献

[0019] 专利文献1：日本专利公开2001-75651号公报

[0020] 专利文献2：日本专利公开2004-360805号公报

发明内容

[0021] 发明要解决的课题

[0022] 但是，专利文献1、专利文献2所示的气动放大器，在排气动作后，为了加快输出气压的稳定，需要增大泄放量，从而具有稳态空气消耗量增大这样的问题。

[0023] 本发明正是为了解决这样的课题而做出的，其目的在于提供一种不增大泄放量就能够加快输出气压的稳定的气动放大器。

[0024] 解决课题的手段

[0025] 为了达到这样的目的，本发明的气动放大器，包括：形成在外壳内的输入气压室、供给气压室、输出气压室以及排气室；由于被导入至输入气压室中的输入气压而发生位移的隔膜；移动体，所述移动体具有位于输出气压室的开口和使该开口与所述排气室连通的排气通路，所述移动体由隔膜支承，并在外壳内移动；提升阀，所述提升阀贯穿过形成在区划供给气压室和输出气压室的隔壁上的连通孔，并被设置为能够移动，所述提升阀一体地具有开闭移动体的开口的排气阀以及开闭连通孔的供气阀；和弹簧构件，所述弹簧构件向供气阀关闭连通孔的方向推压提升阀，所述气动放大器的特征在于，包括：提升阀组装体，所述提升阀组装体具有收容弹簧构件的空间以及隔壁，在使排气阀从形成于隔壁上的连通孔突出的状态下，所述提升阀组装体保持提升阀以及弹簧构件，提升阀具有连通路和微细连通路，所述连通路与和大气连通的、收容有所述弹簧构件的空间以及所述排气室中的某一方连通，所述微细连通路使该连通路与输出气压室连通。

[0026] 在本发明中，提升阀具有与和大气连通的、收容有弹簧构件的空间以及排气室中的某一方连通的连通路。又，还具有使该连通路与输出气压室连通的微细连通路。

[0027] 提升阀具有与排气室连通的连通路的情况下，排气动作时，微细连通路使得输出气压室的空气通过提升阀的连通路流出到排气室中，还将该空气导入收容有弹簧构件的空间内，从而使提升阀的供气阀对连通孔的闭塞迅速进行。此时，收容有弹簧构件的空间为大气压，因此能够确保通过提升阀关闭供气端口的力，且大幅度地降低了由于供给气压而施加于提升阀的力。由此，能够减小死区，且减小微细连通路所引起的输出气压的减压量，不增大泄放量就能够加快输出气压的稳定。

[0028] 提升阀具有与和大气连通的、收容有弹簧构件的空间连通的连通路的情况下，排气动作时，微细连通路使得输出气压室的空气通过提升阀的连通路，将该空气导入收容有弹簧构件的空间，使其流出到大气中，从而使提升阀的供气阀对连通孔的闭塞迅速进行。此时，收容有弹簧构件的空间为大气压，因此能够确保通过提升阀关闭供气端口的力，且大幅度地降低了由于供给气压而施加于提升阀的力。由此，能够减小死区，且减小微细连通路所造成的输出气压的减压量，不增大泄放量就能够加快输出气压的稳定。

[0029] 另外，不增大泄放量就能够加快输出气压的稳定是指，即便减小泄放量，输出气压的稳定也不会变慢。这意味着，即便减小泄放量，也能够加快输出气压的稳定，即，使缩小微细连通路的孔径、减少稳态消耗空气量成为可能。又，本发明不仅能够适用于单动型的气动放大器，也能够同样适用于双动型的气动放大器。

[0030] 发明的效果

[0031] 采用本发明，在提升阀中设置有与和大气连通的、收容有弹簧构件的空间以及排气室中的某一方连通的连通路、以及使该连通路与输出气压室连通的微细连通路，因此收容有弹簧构件的空间为大气压，确保了通过提升阀关闭供气端口的力，且使得供给气压对提升阀施加的力大幅度地降低，由此，能够减小死区，且减小微细连通路对输出气压的减压量，不增大泄放量就能够加快输出气压的稳定。又，减小微细连通路的孔径，能够使得稳态消耗空气量减少。

附图说明

[0032] 图1为示出本发明的气动放大器的一实施形态(单动型的气动放大器)的结构的图。

[0033] 图2为放大示出该单动型的气动放大器中的提升阀的周边的图。

[0034] 图3为将该单动型的气动放大器中的提升阀周边的结构与本申请人当前采用的结构(以往的结构)对照而示出的图。

[0035] 图4示出在该单动型的气动放大器中将使输出气压室和排气室连通的微细连通路(泄放孔)设置在外壳上的实例。

[0036] 图5示出在该单动型的气动放大器中将使输出气压室和排气室连通的微细连通路设置在阀塞上的实例。

[0037] 图6示出在该单动型的气动放大器中将使输出气压室直接与大气连通的微细连通路设置在外壳上的实例。

[0038] 图7示出在该单动型的气动放大器中在输出气压室和排气室之间设置偏压室的实例。

[0039] 图8为比较本申请的结构和以往的结构对该单动型的气动放大器的提升阀的稳定时间进行说明的图(泄放孔的孔径相同)。

[0040] 图9为比较本申请的结构和以往的结构对该单动型的气动放大器的提升阀的稳定时间进行说明的图(泄放孔的孔径小(本申请的结构))。

[0041] 图10为示出在提升阀中设置使输出气压室与收容有弹簧的空间连通的微细连通路的实例的图。

[0042] 图11示出在阀座保持部中设置使收容有弹簧的空间与大气连通的连通路的实例。

[0043] 图12为示出本发明的气动放大器的其他实施形态的结构(双动型的气动放大器)的图。

[0044] 图13为放大示出该双动型的气动放大器中的第1提升阀的周边的图。

[0045] 图14为放大示出该双动型的气动放大器中的第2提升阀的周边的图。

[0046] 图15示出在该双动型的气动放大器中将使输出气压室和排气室连通的微细连通路设置在外壳上的实例。

[0047] 图16示出在该双动型的气动放大器中将使输出气压室和排气室连通的微细连通路设置在阀塞上的实例。

[0048] 图17示出在该双动型的气动放大器中将使输出气压室直接与大气连通的微细连通路设置在外壳上的实例。

[0049] 图18示出在该双动型的气动放大器中在第1输出气压室和第1排气室之间设置偏压室的实例。

[0050] 图19示出在该双动型的气动放大器中在输入气压室和第2输出气压室之间设置偏压室的实例。

[0051] 图20为使用气动放大器的定位器的主要部分的构成图。

[0052] 图21为示出现有的单动型的气动放大器的结构的图。

[0053] 符号说明

[0054] 1…外壳，1a，1b…微细连通路，2…输入气压室，3…供给气压室，4…输出气压室，5…排气室，6…偏压室，7-1…第1隔膜，7-2…第2隔膜，7-3…第3隔膜，8…阀塞(移动体)，
8a…开口，8b…排气通路，8c…微细连通路，9…通路，9a…开口部，10…提升阀组装体安装部，11…提升阀组装体，12…阀座部，12a…上表面，12b…连通孔，13…阀座保持部，13a…底面，13b…空间，13c…连通路，14…内部空间，15…弹簧，16…提升阀，16a…排气阀，16b…供气阀，16c…贯通孔，16d…微细连通路，16e…外周面(引导部)，16f…非贯通孔，16g…微细连通路，16b…非贯通孔，17…挡板，18…空气供给管，19…喷嘴背压导入管，20…空气输出管，21～23…O型环，51…外壳，51a、51b、51c、51d…微细连通路，52…输入气压室，53…第
1供给气压室，54…第2供给气压室，55…第1输出气压室，56…第2输出气压室，57-1…第1排气室，57-2…第2排气室，57…排气室，58…偏压室，59-1…第1隔膜，59-2…第2隔膜，59-3…第3隔膜，59-4…第4隔膜，59-5…第5隔膜，60…阀塞(移动体)，60a…第1开口，60b…第2开口，60c1…第1排气通路，60c2…第2排气通路，60c…排气通路，60d…非通路部分，61…通路，61a…开口部，62…第1提升阀组装体安装部，63…通路，63a…开口部，
64…第2提升阀组装体安装部，65…第1提升阀组装体，66…第2提升阀组装体，67…阀座部，67a…上表面，67b…第1连通孔，68…阀座保持部，68a…底面，68b…底面，69…内部空间，70…第1弹簧，71…第1提升阀，71a…排气阀，71b…供气阀，71c…贯通孔，71d…微细连通路，71e…外周面(引导部)，72…阀座部，72a…上表面，72b…第2连通孔，73…阀座保持部，73a…底面，74…内部空间，75…第2弹簧，76…第2提升阀，76a…排气阀，76b…供气阀，
76c…贯通孔，76d…微细连通路，76e…外周面(引导部)，77，78…挡板，79…空气供给管，
80…喷嘴背压导入管，81…第1空气输出管，82…第2空气输出管，83～88…O型环，89…偏压室。

具体实施方式

[0055] 以下，基于附图对本发明的实施形态进行详细的说明。

[0056] 〔实施形态1：单动型〕

[0057] 图1是示出本发明所涉及的气动放大器的一实施形态的结构的图。该气动放大器为单动型。在该图中，1是外壳，在外壳1内设有输入气压室2、供给气压室3、输出气压室4、排气室5以及偏压室6。

[0058] 在该外壳1中，排气室5隔着第1隔膜7-1与输出气压室4相邻，且隔着第2隔膜7-2与偏压室6相邻。又，输入气压室2隔着第3隔膜7-3与偏压室6相邻。第1～第3隔膜7-1～7-3被设置在外壳1和阀塞(移动体)8之间，阀塞8能够向A方向以及B方向移动地由第1～第3隔膜7-1～7-3支承着。

[0059] 阀塞8具有位于输出气压室4的开口8a、使该开口8a与排气室5连通的排气通路8b。通路9作为提升阀组装体安装部10设置在外壳1中，该通路9的开口部9a朝着外壳1的外侧。在该提升阀组装体安装部10，从朝向外壳1的外侧的通路9的开口部9a起，沿着该通路9的内壁面，能够滑动地安装有提升阀组装体11，剩余在该通路9的底部的空间被作为输出气压室4。

[0060] 提升阀组装体11被做成圆筒状的阀座部12与圆柱状的阀座保持部13分开的结构，该阀座部12能够拆装地安装在阀座保持部13的前面，在阀座部12和阀座保持部13之间形成有内部空间14。在阀座部12的上表面12a形成有使内部空间14和输出气压室4连通的连通孔12b。该阀座部12的上表面12a起到区划供给气压室3和输出气压室4的隔壁的作用。

[0061] 弹簧15被收容在阀座部12和阀座保持部13之间的内部空间14中，在被该弹簧15推压的状态下，提升阀16被保持在阀座部12和阀座保持部13之间。内部空间14与供给气压室3连通。在提升阀16的顶端部具有排气阀16a，在排气阀16a的后方具有供气阀
16b。又，提升阀16具有贯通其轴心的贯通孔16c。

[0062] 在该保持状态下，提升阀16贯通被形成在阀座部12上的连通孔12b，能够左右移动地被弹簧15推压。又，供气阀16b被推向关闭连通孔12b的方向，排气阀16a从连通孔12b突出。另外，在提升阀16的排气阀16a和供气阀16b之间，形成有微细连通路(泄放孔)16d，该微细连通路16d与形成在提升阀16内部的贯通孔16c连通。在该提升阀组装体11中，做成阀座部12与阀座保持部13分开的结构，因此弹簧15以及提升阀16的组装作业比较容易。

[0063] 相对于提升阀组装体11，在将该提升阀组装体11安装于提升阀组装体安装部10中之后，即在将提升阀组装体11从朝向外壳1的外侧的开口部9a推入通路9内之后，将环状的挡板17安装于该通路9的开口部9a。即，使挡板17的环状面与提升阀组装体11的朝向外壳1外侧的面(阀座保持部13的底面13a)面接触，限制提升阀组装体安装部10中的提升阀组装体11的位置。

[0064] 在该单动型的气动放大器中，供给气压Ps通过空气供给管18被供给至供给气压室3以及偏压室6，输入气压Pn通过喷嘴背压导入管19被导入至输入气压室2中。又，输出气压Po从输出气压室4通过空气输出管20被输出至阀300。

[0065] 另外，排气室5与大气连通，在提升阀组装体11的阀座部12以及阀座保持部13上，在外壳1与阀座部12以及阀座保持部13之间分别安装有O型环21、22。又，在提升阀组装体11上，在提升阀16和阀座保持部13之间安装有O型环23。通过该O型环23，阀座保持部13中的收容有弹簧15的空间13b与供给气压室2隔离，该空间13b被做成与提升阀16的贯通孔16c连通的一个室。

[0066] 在该单动型的气动放大器中，增加输入气压Pn时，隔膜7-1～7-3向箭头A侧移动，被支承在隔膜7-1～7-3上的阀塞8也随之向箭头A侧移动。这样的话，阀塞8随着该移动抵抗弹簧15的推压力而压下提升阀16，提升阀16的供气阀16b随之打开连通孔12b。此时，阀塞8的开口8a由提升阀16的排气阀16a关闭。由此，通过空气供给管18被供给至供给气压室3的空气通过连通孔12b被导入至输出气压室4内，通过空气输出管20被供给至阀300。

[0067] 另一方面，使输入气压Pn减少时，隔膜7-1～7-3向箭头B侧移动，被支承在隔膜7-1～7-3上的阀塞8也随之向箭头B侧移动。这样的话，提升阀16由于弹簧15的推压力而被推升，提升阀16的供气阀16b随之将连通孔12b关闭。此时，阀塞8的开口8a通过提升阀16的排气阀16a被打开。由此，输出气压室4内的空气从阀塞8的开口8a进入排气通路8b，被排出到排气室5。

[0068] 这样，阀塞8以及提升阀16根据被导入至输入气压室2的输入气压Pn来动作，通过该动作，被放大的输出气压Po通过空气输出管20被输出向阀300。在该情况下，通过调整输入气压Pn的压力来调整输出气压Po。

[0069] 另外，在该提升阀16的供气阀16b要关闭连通孔12b的情况下，形成在提升阀16中的微细连通路16d起到如下的作用，即，将输出气压室4的空气通过形成在提升阀16中的贯通孔16c引导至阀塞8的排气通路8b，使得该空气流出到排气室5中，还将该空气引导至收容有弹簧15的阀座保持部13的空间13b中，从而迅速地进行提升阀16的供气阀16b对连通孔12b的闭塞(供气端口的密封)。关于该微细连通路16d、贯通孔16c以及空间13b的作用，将在后面的改善死区所造成的供排气的非线形性的项目中详细说明。

[0070] 图2放大示出提升阀16的周边。在该单动型的气动放大器中，提升阀16具有与供气阀16b相连的供给气压室3侧的外周面16e，其作为引导提升阀16的移动的引导部。又，在设隔膜7-1的有效直径为φD0，连通孔12b的直径为φD1，阀塞8的开口8a的直径为φD2，引导部16e的直径为φD3，设隔膜7-1的有效面积为A0，连通孔12b的截面积为A1，阀塞8的开口8a的截面积为A2，引导部16e的截面积为A3的情况下，这些面积A0、A1、A2、A3的关系为A0＞A1＞A2＞A3。

[0071] 又，通过提升阀16的供气阀16b开关的连通孔12b的直径φD1被增大，该连通孔12b的直径φD1与隔膜7-1的有效直径φD0的差被缩小。由此，隔膜7-1的有效面积A0与连通孔12b的截面积A1的差被缩小，在由G＝An/Ao表示的示出气动放大器的增益的公式中，承受输出气压Po的有效面积Ao减小，承受输入气压Pn的有效面积An不改变，在这样的状态下，实现了高增益化。

[0072] 在图3中，与本申请人当前所采用的结构(以往的结构)相对比地示出提升阀周边的结构。图3的(a)是以往的结构，在该以往的结构中，由提升阀16’开闭的连通孔12b’的直径φD1’比图3(b)所示的本实施形态的结构(本申请的结构)的连通孔12b的直径φD1小得多(φD1＞φD1’)。例如，φD0为12mm左右，本申请的结构中的连通孔12b的直径φD1为8mm左右，以往的结构中的连通孔12b’的直径φD1’为4mm左右。

[0073] 在这里，承受输出气压Po的受压面积，在本申请的结构中被表示为Ao＝A0-A1＝2 2 2 2
(π/4)·(D0-D1)，在以往的结构中被表示为Ao’＝A0-A1’＝(π/4)·(D0-D1’)。而且，如果输入气压室2的受压面积An相同的话，在本申请的结构中，增益被表示为G＝An/Ao，在以往的结构中，增益被表示为G’＝An/Ao’，由于Ao＜Ao’，因此G＞G’。因此，与以往的结构比较，本申请的结构的增益更高。

[0074] 又，在本申请的结构中，连通孔12b的直径φD1(截面积A1)与阀塞8的开口8a的直径φD2(截面积A2)的关系为φD1＞φD2(A1＞A2)。此时，使得连通孔12b的直径φD1(供气端口直径)与阀塞8的开口8a的直径φD2(排气端口直径)尽量接近的话，提升阀16在供排气时不会乱动，易于稳定。

[0075] 又，在本申请的结构中，阀塞8的开口8a的直径φD2(截面积A2)与引导部16e的直径φD3(截面积A3)的关系为φD2＞φD3(A2＞A3)。由此，即便在输出气压Po变为了供给气压Ps的情况下，也能够确保供气端口的自密封。

[0076] 〔为了将供气端口自密封的条件〕

[0077] 图2示出排气模式时的提升阀附近的样子。在以下示出此时对提升阀16施加的力。

[0078] (1)提升阀排气侧附近(Po)：F1＝(π/4)·(D22-D42)·Po

[0079] (2)提升阀供气侧附近(Po)：F2＝-(π/4)·(D12-D42)·Po

[0080] (3)提升阀供气侧附近(Ps)：F3＝(π/4)·(D12-D32)·Ps

[0081] (4)提升阀保持用弹簧力：f

[0082] 由此，为了将供气端口自密封的条件被表示为：

[0083] F＝F1+F2+F3+f＝(π/4)·(D22-D12)·Po+(π/4)·(D12-D32)·Ps+f＞0[0084] …·(1)

[0085] 在该(1)式中，最严格的条件为Po＝Ps时。考虑到这一情况的话，上述(1)式由下述(2)式表示。

[0086] F＝(π/4)·(D22-D32)·Ps+f＞0 …·(2)

[0087] 满足该(2)式的就是将供气端口自密封的条件。

[0088] 因此，设φD2＞φD3(A2＞A3)，在上述(2)式中，通过增大(π/4)·(D22-D32)·Ps的项，即便在输出气压Po变为供给气压Ps的情况下，也能够确保供气端口的自密封。

[0089] 又，在该单动型的气动放大器中，如图1所示那样，输出气压室4隔着第1隔膜7-1与排气室5相邻，排气室5隔着第2隔膜7-2与偏压室6相邻，偏压室6隔着第3隔膜7-3与输入气压室2相邻。

[0090] 从这样的各个室的配置可知，在该单动型的气动放大器中，在输入气压室2和输出气压室4之间设置有偏压室6和排气室5，输入气压室2与输出气压室4不相邻，隔膜7-1～7-3中没有压力的正负变化剧烈的隔膜。因此，与使得输入气压室2和输出气压室4相邻并在它们之间设置隔膜那样的结构相比较，隔膜的耐久性提高。

[0091] 另外，在本实施形态中，是将微细连通路16d设置在提升阀16中，但也可以如图4所示，在外壳1中形成微细连通路1a，使输出气压室4和排气室5连通。又，也可以如图5所示，在阀塞8中形成微细连通路8c，通过排气通路8b使输出气压室4和排气室5连通。又，也可以如图6所示，在外壳1中形成使输出气压室4直接与大气连通的微细连通路1b。
在本实施形态中，由于在提升阀16中设置了微细连通路16d，因此可以不对外壳1、阀塞8进行加工，微细连通路16d的维护也变得容易。

[0092] 又，在本实施形态中，是将偏压室6设置在输入气压室2和排气室5之间，但也可以在输出气压室4和排气室5之间设置偏压室6。图7示出在输出气压室4和排气室5之间设置偏压室6的实例。在该实例中，偏压室6隔着第1隔膜7-1与输出气压室4相邻，且隔着第2隔膜7-2与排气室5相邻。又，输入气压室2隔着第3隔膜7-3与排气室5相邻。另外，此时，阀塞8中的排气通路8b延长到阀塞8的深处，使该排气通路8b对位于偏压室
6的后方的排气室5开口。

[0093] 〔死区所造成的供排气的非线形性的改善〕

[0094] 在本实施形态中，形成于提升阀16中的微细连通路16d起到使供气端口的闭塞迅速进行的作用。在提升阀16的供气阀16b，由于其结构而作用有由供给气压Ps与输出气压Po的差压和供气端口直径所决定的力，该力就是供排气不相对于输入气压Pn的变化进行切换的死区的主要原因。为了改善该死区所造成的供排气的非线形性，在提升阀16中形成微细连通路16d，使得输出气压Po泄放到大气中。

[0095] 由于供给气压Ps而施加于提升阀16的力Fv对气动放大器的死区(不灵敏区)造成影响。又，排气动作之后，要通过压力平衡稳定提升阀16，就需要使得微细连通路16d对输出气压Po的减压量ΔPo与力Fv均衡。

[0096] 即，如果能够在确保通过提升阀16关闭供气端口的力的情况下，尽可能地减小Fv的话，就能够减小死区，且减小ΔPo。即，能够以更短的时间稳定提升阀16。

[0097] 因此，在本实施形态中，在提升阀16的供气阀侧设置用于使得供给气压Ps抵销的空间13b，利用O型环23来进行密封，通过贯通提升阀16的轴心而设置的贯通孔16c将该空间13b开放为大气压。而且，实际上，由于供气阀16b需要停止力，因此消耗了某种程度的差压、或者通过弹簧15的一点点的推压力来保持。通过这样的构成，使得作用于提升阀16的力Fv大幅度降低，由此使得死区减小，且使得ΔPo变小。

[0098] 采用图8对提升阀16的稳定时间进行说明。在不设置用于抵销供给气压Ps的空间13b的情况下(以往的结构)，如图示虚线所示出的特性I那样，ΔPo变大，到提升阀16稳定为止的时间T(TA)变长。相对于此，在设置有用于抵销供给气压Ps的空间13b的情况下(本申请的结构)，如图示虚线所示出的特性II那样，ΔPo变小，到提升阀16稳定为止的时间T(TB)变短。

[0099] 另外，此时的以往的结构是指，在图3中将微细连通路(泄放孔)设置在例如阀塞8等的构造，以往的结构中的泄放孔的孔直径与本申请的结构中的泄放孔的孔直径相同。根据这样的比较可知，通过做成本申请的结构，可以不增大泄放量地加快输出气压的稳定。

[0100] 在这里，作为至稳定为止的时间T，如果设定为容许相同时间(TA＝TB)的话，采用本申请的结构，能够使得微细连通路(泄放孔)16d的孔径更小(参照图9所示的特性III)。此时，微细连通路16d的孔径的减小量就直接成为气动放大器的稳态空气消耗量的降低量。例如，设微细连通路16d的孔径为0.2～0.25mm的话，就能够使得气动放大器的稳态空气消耗量下降30～50％。

[0101] 在该实例中，使得稳定时间T相同来对以往的结构和本申请的结构进行了比较，相反地，即便减小泄放量，也能够加快输出气压的稳定。即，通过做成本申请的结构，减小微细连通路16d的孔径，能够减少稳态消耗空气量。

[0102] 另外，也可以如图10所示，在提升阀16中设置使输出气压室4与收容有弹簧15的空间13b连通的连通路。在该实例中，在提升阀16中设置向输出气压室4开口的微细连通路16g，还在提升阀16中设置向收容有弹簧15的空间13b侧开口的非贯通孔16h，通过使该非贯通孔16h与微细连通路16g连通而形成连通路。

[0103] 此时，收容有弹簧15的空间13b变为大气压，因此能够确保通过提升阀16关闭供气端口的力，且大幅度地降低由于供给气压而施加于提升阀16的力。由此，能够减小死区，且减小微细连通路16g所引起的输出气压的减压量ΔPo，不增大泄放量就能够加快输出气压的稳定。又，减小微细连通路16g的孔径，能够使得稳态消耗空气量减少。

[0104] 又，也可以如图11所示，在提升阀16中设置使输出气压室4与排气室5连通的连通路。在该实例中，在提升阀16中设置向输出气压室4开口的微细连通路16d，还在提升阀16中设置向排气室5开口的非贯通孔16f，通过使该非贯通孔16f与微细连通路16d连通而形成连通路。

[0105] 此时，排气室5为大气压，因此能够确保通过提升阀16关闭供气端口的力，且大幅度地降低由于供给气压而施加于提升阀16的力。由此，能够减小死区，且减小微细连通路16d所引起的输出气压的减压量ΔPo，不增大泄放量就能够加快输出气压的稳定。又，减小微细连通路16d的孔径，能够使得稳态消耗空气量减少。

[0106] 〔实施形态2：双动型〕

[0107] 图12是示出本发明所涉及的气动放大器的其他实施形态的结构的图。该气动放大器为双动型。在该图中，51是外壳，在外壳51内形成有输入气压室52、第1供给气压室53、第2供给气压室54，第1输出气压室55、第2输出气压室56、第1排气室57-1、第2排气室57-2以及偏压室58。

[0108] 在该外壳51中，第1排气室57-1隔着第1隔膜59-1与第1输出气压室55相邻，且隔着第2隔膜59-2与偏压室58相邻。又，输入气压室52隔着第3隔膜59-3与偏压室58相邻，且隔着第4隔膜59-4与第2排气室57-2相邻。又，第2排气室57-2隔着第5隔膜59-5与第2输出气压室56相邻。第1～第5隔膜59-1～59-5被设置在外壳51和阀塞(移动体)60之间，阀塞60能够向A方向以及B方向移动地由第1～第5隔膜59-1～
59-5支承着。

[0109] 阀塞60具有：位于第1输出气压室55的第1开口60a、位于第2输出气压室56的第2开口60b、使第1开口60a与第1排气室57-1连通的第1排气通路60c1、以及使第2开口60b与第2排气室57-2连通的第2排气通路60c2。在阀塞60中，第1排气通路60c1与第2排气通路60c2由非通路部分60d阻断。

[0110] 又，在外壳51的一侧的端部，设置有通路61作为第1提升阀组装体安装部62，该通路61的开口部61a朝向外壳51的外侧，在外壳51的另一侧的端部，设置有通路63作为第2提升阀组装体安装部64，该通路63的开口部63a朝向外壳51的外侧。

[0111] 在第1提升阀组装体安装部62，从朝向外壳51的外侧的通路61的开口部61a，沿着该通路61的内壁面，能够滑动地安装有第1提升阀组装体65，剩余在该通路61的底部的空间被作为第1输出气压室55。又，在第2提升阀组装体安装部64，从朝向外壳51的外侧的通路63的开口部63a，沿着该通路63的内壁面，能够滑动地安装有第2提升阀组装体66，剩余在该通路63的底部的空间被作为第2输出气压室56。

[0112] 第1提升阀组装体65被做成圆筒状的阀座部67与圆柱状的阀座保持部68分开的结构，该阀座部67能够拆装地安装在阀座保持部68的前面，在阀座部67和阀座保持部68之间形成有内部空间69。在阀座部67的上表面67a形成有使内部空间69和第1输出气压室55连通的第1连通孔67b。该阀座部67的上表面67a起到区划第1供给气压室53和第1输出气压室55的第1隔壁的作用。

[0113] 第1弹簧70被收容在阀座部67和阀座保持部68之间的内部空间69中，在被该第1弹簧70推压的状态下，第1提升阀71被保持在阀座部67和阀座保持部68之间。内部空间69与第1供给气压室53连通。在第1提升阀71的顶端部具有排气阀71a，在排气阀71a的后方具有供气阀71b。又，第1提升阀71具有贯通其轴心的贯通孔71c。

[0114] 在该保持状态下，第1提升阀71贯通被形成在阀座部67上的第1连通孔67b，能够左右移动地被第1弹簧70推压。又，供气阀71b被推向关闭第1连通孔67b的方向，排气阀71a从第1连通孔67b突出。另外，在第1提升阀71的排气阀71a和供气阀71b之间，形成有微细连通路71d，该微细连通路71d与形成在第1提升阀71内部的贯通孔71c连通。

[0115] 第2提升阀组装体66也具有与第1提升阀组装体65相同的构成。即，第2提升阀组装体66被做成圆筒状的阀座部72与圆柱状的阀座保持部73分开的结构，该阀座部72能够拆装地安装在阀座保持部73的前面，在阀座部72和阀座保持部73之间形成有内部空间74。在阀座部72的上表面72a形成有使内部空间74和第2输出气压室56连通的第2连通孔72b。该阀座部72的上表面72a起到区划第2供给气压室54和第2输出气压室56的第2隔壁的作用。

[0116] 第2弹簧75被收容在阀座部72和阀座保持部73之间的内部空间74中，在被该第2弹簧75推压的状态下，第2提升阀76被保持在阀座部72和阀座保持部73之间。内部空间74与第2供给气压室54连通。在第2提升阀76的顶端部具有排气阀76a，在排气阀76a的后方具有供气阀76b。又，第2提升阀76具有贯通其轴心的贯通孔76c。

[0117] 在该保持状态下，第2提升阀76贯通被形成在阀座部72上的第2连通孔72b，能够左右移动地被第2弹簧75推压。又，供气阀76b被推向关闭第2连通孔72b的方向，排气阀76a从第2连通孔72b突出。另外，在第2提升阀76的排气阀76a和供气阀76b之间，形成有微细连通路76d，该微细连通路76d与形成在第2提升阀76内部的贯通孔76c连通。

[0118] 相对于第1提升阀组装体65，在将该第1提升阀组装体65安装于第1提升阀组装体安装部62之后，在其通路61的开口部61a安装环状的挡板77。即，使挡板77的环状面与第1提升阀组装体65的朝向外壳51外侧的面(阀座保持部68的底面68a)面接触，限制第1提升阀组装体安装部62中的第1提升阀组装体65的位置。

[0119] 对于第2提升阀组装体66也是同样的，在将该第2提升阀组装体66安装于第2提升阀组装体安装部64之后，在其通路63的开口部63a安装环状的挡板78。即，使挡板78的环状面与第2提升阀组装体66的朝向外壳51外侧的面(阀座保持部73的底面73a)面接触，限制第2提升阀组装体安装部64中的第2提升阀组装体66的位置。

[0120] 在该双动型的气动放大器中，供给气压Ps通过空气供给管79被供给至第1供给气压室53、第2供给气压室54以及偏压室58，输入气压Pn通过喷嘴背压导入管80被导入至输入气压室52中。又，输出气压Po1从第1输出气压室55通过第1空气输出管81被输出给阀300，输出气压Po2从第2输出气压室56通过第2空气输出管82被输出给阀300。

[0121] 另外，第1排气室57-1以及第2排气室57-2与大气连通，在第1提升阀组装体65的阀座部67以及阀座保持部68上，在外壳51与阀座部67以及阀座保持部68之间分别安装有O型环83、84。又，在第2提升阀组装体66的阀座部72以及阀座保持部73，在外壳51与阀座部72以及阀座保持部73之间也分别安装有O型环85、86。又，对于第1提升阀组装体65，在第1提升阀71和阀座保持部68之间安装有O型环87，对于第2提升阀组装体66，在第2提升阀76和阀座保持部73之间安装有O型环88。

[0122] 在该双动型的气动放大器中，增加输入气压Pn时，隔膜59-1～59-5向箭头A侧移动，被支承在隔膜59-1～59-5上的阀塞60也随之向箭头A侧移动。这样的话，阀塞60随着该移动抵抗第1弹簧70的推压力而压下第1提升阀71，第1提升阀71的供气阀71b随之打开第1连通孔67b。此时，阀塞60的第1开口60a由第1提升阀71的排气阀71a关闭。另一方面，第2提升阀76由于第2弹簧75的推压力而被推升，第2提升阀76的供气阀76b随之关闭第2连通孔72b。此时，阀塞60的第2开口60b由第2提升阀76的排气阀76a打开。

[0123] 由此，通过空气供给管79被供给至第1供给气压室53的空气进入第1提升阀组装体65的内部空间69，在通过第1连通孔67b被导入第1输出气压室55内之后，通过第1空气输出管81被供给阀300。另一方面，来自阀300的空气通过第2空气输出管82返回到第2输出气压室56内之后，从阀塞60的第2开口60b进入排气通路60c，被排出到排气室57。

[0124] 另一方面，使输入气压Pn减少时，隔膜59-1～59-5向箭头B侧移动，被支承在隔膜59-1～59-5上的阀塞60也随之向箭头B侧移动。这样的话，阀塞60随着该移动抵抗第2弹簧75的推压力而压下第2提升阀76，第2提升阀76的供气阀76b随之打开第2连通孔72b。此时，阀塞60的第2开口60b由第2提升阀76的排气阀76a关闭。另一方面，第1提升阀71由于第1弹簧70的推压力而被推升，第1提升阀71的供气阀71b随之关闭第1连通孔67b。此时，阀塞60的第1开口60a由第1提升阀71的排气阀71a打开。

[0125] 由此，通过空气供给管79被供给至第2供给气压室54的空气进入第2提升阀组装体66的内部空间74，在通过第2连通孔72b被导入第2输出气压室56内之后，通过第2空气输出管82被供给阀300。另一方面，来自阀300的空气通过第1空气输出管81返回到第1输出气压室55内之后，从阀塞60的第1开口60a进入排气通路60c，被排出到排气室57。

[0126] 这样，阀塞60以及一对提升阀71，76根据被导入至输入气压室2中的输入气压Pn来动作，通过该动作，被放大的输出气压Po1以及Po2通过空气输出管81以及82被输出向阀300。此时，通过调整输入气压Pn的增加方向的压力，来调整使阀300正作用时的输出气压Po1，通过调整输入气压Pn的减少方向的压力，来调整使阀300反作用时的输出气压Po2。

[0127] 另外，形成于第1提升阀71中的微细连通路71d，在该第1提升阀71的供气阀71b要关闭第1连通孔67b的情况下，起到如下的作用，即，使第1输出气压室55的空气通过形成于第1提升阀71中的贯通孔71c，将该空气导向阀塞60的第1排气通路60c1，使其流出到第1排气室57-1中，还将该空气导入收容有第1弹簧70的阀座保持部68的空间68b中，对第1提升阀71进一步施加推压力，从而迅速地进行第1提升阀71的供气阀71b对第1连通孔67b的闭塞。

[0128] 另外，形成于第2提升阀76中的微细连通路76d，在该第2提升阀76的供气阀76b要关闭第2连通孔72b的情况下，起到如下的作用，即，使第2输出气压室56的空气通过形成于第2提升阀76中的贯通孔76c，将该空气导向阀塞60的第2排气通路60c2，使其流出到第2排气室57-2中，还将该空气导入收容有第2弹簧75的阀座保持部73的空间73b中，对第2提升阀76进一步施加推压力，从而迅速地进行第2提升阀76的供气阀76b对第2连通孔72b的闭塞。

[0129] 在该双动型的气动放大器中，第1提升阀71具有与供气阀71a连接的第1供给气压室53侧的外周面71e，其作为引导提升阀71的移动的引导部(参照图13)。又，在设隔膜59-1的有效直径为φD01，第1连通孔67b的直径为φD11，阀塞60的第1开口60a的直径为φD21，引导部71e的直径为φD31，设隔膜59-1的有效面积为A01，第1连通孔67b的截面积为A11，阀塞60的第1开口60a的截面积为A21，引导部71e的截面积为A31的情况下，这些面积A01、A11、A21、A31的关系为A01＞A11＞A21＞A31。又，通过第1提升阀71的供气阀71b开关的第1连通孔67b的直径φD11被增大，该第1连通孔67b的直径φD11与隔膜59-1的有效直径φD01的差被缩小。

[0130] 又，第2提升阀76具有与供气阀76a连接的第2供给气压室54侧的外周面76e，其作为引导该提升阀的移动的引导部(参照图14)。又，在设隔膜59-5的有效直径为φD02，第2连通孔72b的直径为φD12，阀塞60的第2开口60b的直径为φD22，引导部76e的直径为φD32，设隔膜59-5的有效面积为A02，第2连通孔72b的截面积为A12，阀塞60的第2开口60b的截面积为A22，引导部76e的截面积为A32的情况下，这些面积A02、A12、A22、A32的关系为A02＞A12＞A22＞A32。又，通过第2提升阀76的供气阀76b开关的第2连通孔72b的直径φD12被增大，该第2连通孔72b的直径φD12与隔膜59-5的有效直径φD02的差被缩小。

[0131] 由此，隔膜59-1的有效面积A01与第1连通孔67b的截面积A11的差被缩小，隔膜59-5的有效面积A02与第2连通孔72b的截面积A12的差被缩小，在由G＝An/Ao表示的示出气动放大器的增益的公式中，承受输出气压Po(Po1，Po2)的有效面积Ao(Ao1，Ao2)减小，承受输入气压Pn的有效面积An不改变，在这样的状态下，实现了高增益化。

[0132] 又，在本实施形态2的结构中，第1连通孔67b的直径φD11(截面积A11)与阀塞60的第1开口60a的直径φD21(截面积A21)的关系为φD11＞φD21(A11＞A21)。此时，使得第1连通孔67b的直径φD11(供气端口直径)与阀塞60的第1开口60a的直径φD21(排气端口直径)尽量接近的话，第1提升阀71在供排气时不会乱动，易于稳定。

[0133] 又，在本实施形态2的结构中，第2连通孔72b的直径φD12(截面积A12)与阀塞60的第2开口60b的直径φD22(截面积A22)的关系为φD12＞φD22(A12＞A22)。此时，使得第2连通孔72b的直径φD12(供气端口直径)与阀塞60的第2开口60b的直径φD22(排气端口直径)尽量接近的话，第2提升阀76在供排气时不会乱动，易于稳定。

[0134] 又，在本实施形态2的结构中，阀塞60的第1开口60a的直径φD21(截面积A21)与引导部71e的直径φD31(截面积A31)的关系为φD21＞φD31(A21＞A31)。由此，即便在输出气压Po1变为了供给气压Ps的情况下，也能够确保供气端口的自密封。又，阀塞60的第2开口60b的直径φD22(截面积A22)与引导部76e的直径φD32(截面积A32)的关系为φD22＞φD32(A22＞A32)。由此，即便在输出气压Po2变为了供给气压Ps的情况下，也能够确保供气端口的自密封。

[0135] 又，在该双动型的气动放大器中，如图12所示那样，在阀塞60中设置有使位于第1输出气压室55的第1开口60a与第1排气室57-1连通的第1排气通路60c1、和使位于第2输出气压室56的第2开口60b与第2排气室57-2连通的第2排气通路60c2，第1排气通路60c1和第2排气通路60c2由非通路部分60d阻断。关于该结构，阀塞60可以由非通路部分60d上下分割或者左右分割，通过螺旋夹等的简单的方法来组装阀塞60，从而能够提高生产率。

[0136] 又，在该双动型的气动放大器中，第1输出气压室55隔着第1隔膜59-1与第1排气室57-1相邻，第1排气室57-1隔着第2隔膜59-2与偏压室58相邻。又，输入气压室52隔着第3隔膜59-3与偏压室58相邻，第2输出气压室56隔着第5隔膜59-5与第2排气室57-2相邻。

[0137] 从这样的各个室的配置可知，在该气动放大器中，在输入气压室52和第1输出气压室55之间设置有偏压室58和第1排气室57-1，在输入气压室52和第2输出气压室56之间设置有第2排气室57-2，由于输入气压室52与第1输出气压室55和第2输出气压室56都不相邻，因此在隔膜59-1～59-5中没有压力的正负变化剧烈的隔膜。因此，与使得输入气压室52和输出气压室55、56相邻并在它们之间设置隔膜那样的结构相比较，隔膜的耐久性提高。

[0138] 另外，在本实施形态2中，是在第1提升阀71中设置微细连通路71d，在第2提升阀76中设置微细连通路76d，但也可以如图15所示，在外壳51中形成微细连通路51a、51b，使得第1输出气压室55和第1排气室57-1通过微细连通路51a而连通，还使得第2输出气压室56和第2排气室57-2通过微细连通路51b而连通。又，也可以如图16所示，在阀塞60中形成微细连通路60e、60f，使得第1输出气压室55和第1排气室57-1通过微细连通路60e而连通，还使得第2输出气压室56和第2排气室57-2通过微细连通路60f而连通。又，也可以如图17所示，在外壳1中形成微细连通路51c、51d，使得第1输出气压室55通过微细连通路51c直接与大气连通，使得第2输出气压室56通过微细连通路51d直接与大气连通。

[0139] 又，在本实施形态2中，是将偏压室58设置在输入气压室52和第1排气室57-1之间，但也可以在第1输出气压室55和第1排气室57-1之间设置偏压室58。

[0140] 图18示出在第1输出气压室55和第1排气室57-1之间设置偏压室58的实例。在该实例中，偏压室58隔着第1隔膜59-1与第1输出气压室55相邻，且隔着第2隔膜59-2与第1排气室57-1相邻。又，输入气压室52隔着第3隔膜59-3与第1排气室57-1相邻，且隔着第4隔膜59-4与第2排气室57-2相邻。又，第2排气室57-2隔着第5隔膜59-5与第2输出气压室56相邻。

[0141] 在该结构中，在阀塞60中也设置有使第1开口60a与第1排气室57-1连通的第1排气通路60c1、和使第2开口60b与第2排气室57-2连通的第2排气通路60c2，第1排气通路60c1和第2排气通路60c2由非通路部分60d阻断。

[0142] 关于该结构，第1排气通路60c1在阀塞60的中央部分对第1排气室57-1开口，但阀塞60可以由非通路部分60d上下分割或者左右分割，通过螺旋夹等的简单的方法来组装阀塞60，从而能够提高生产率。

[0143] 又，在该结构中，由于输入气压室52与第1输出气压室55和第2输出气压室56都不相邻，因此不存在分隔输入气压室52和输出气压室55、56之间的隔膜，提高了隔膜的耐久性。

[0144] 又，也可以如图19所示，在阀塞60中设置连结第1开口60a和第2开口60b的贯通孔作为排气通路60c，在输入气压室52和第2输出气压室56之间设置偏压室89来替代第2排气室57-2，将第1排气室57-1作为一个排气室57，将从阀塞60的第1开口60a以及第2开口60b引入的空气向排气室57排出。

[0145] 又，在上述实施形态1，2中，将φD0设为12mm左右，将φD1设为8mm左右，但这终究只是一个实例，只要φD0与φD1的差、即A0与A1的差比以往的结构中的差值小即可，也可以通过A0与A1的比率(大约2.5以下)等减小其差值。

[0146] 产业上的可利用性

[0147] 本发明的气动放大器可以作为放大输入气压信号的压力信号放大器利用在进行空气动作型的调节阀的开度控制的定位器等中。