一种激光器光源波长校准方法及系统转让专利

申请号 : CN201210239511.X

文献号 : CN102751658B

文献日 :

基本信息:

PDF:

法律信息:

相似专利:

发明人 : 邱妮苗玉龙徐瑞林张继菊姚强

申请人 : 重庆市电力公司电力科学研究院国家电网公司

摘要 :

本发明公开了一种激光器光源波长校准的方法和系统,所述方法包括:接收激光器发出的包含有入射光强信息的入射激光信号,经封装于气体室内的预设浓度的标准气体吸收所述入射激光信号的能量后,得到能量变化后的透射激光信号,将所述透射激光信号转化成包含有出射光强信息的第一电信号,第一处理器依据所述出射光强信息,获取所述标准气体对应的吸收峰位置,确定与所述吸收峰位置对应的中心波长,以所述中心波长为基准,校准所述激光器的波长,解决了由于温度、老化以及半导体激光制作工艺造成的漂移问题,所述方法应用于系统中,实现了对激光器光源波长的校准,从而得到准确的激光器光源波长。

权利要求 :

1.一种气体浓度测量的方法,其特征在于,包括:

接收激光器发出包含有入射光强信息的入射激光信号;

所述入射激光信号经第一透射窗片进入气体室中,预设于所述气体室内的预设浓度的标准气体吸收所述入射激光信号的能量,得到能量变化后的透射激光信号,所述透射激光信号经第二透射窗片发射给第一传感器;

所述第一传感器接收所述透射激光信号,并将其转化成包含有所述透射激光信号出射光强信息的第一电信号;

第一处理器通过所述第一电信号中的出射光强信息,分析整个扫描过程中吸收比例的变化值,找出吸收率最高的位置,获取所述标准气体对应的吸收峰位置,确定与所述吸收峰位置对应的中心波长,以所述中心波长为基准,通过调节激光器的受驱动电流和自身温度来校准所述激光器的波长;

接收所述校准波长后的激光器发出包含有入射光强的入射激光信号,并将其通过待测标准气体模块;

所述待测标准气体模块吸收所述校准波长后的激光信号的能量,得到能量变化后的校准波长的透射激光信号,将所述校准波长的透射激光信号发射给第二传感器;

所述第二传感器接收所述校准波长的透射激光信号,并将其转化成包含有所述校准波长的透射激光信号出射光强信息的第二电信号;

第二处理器依据所述第二电信号中的出射光强信息,获取所述待测标准气体对应的吸收峰位置,通过计算得到入射光强信息;

并获得所述吸收峰位置上所述校准波长后的激光信号的入射光强和校准波长后的透射激光信号的出射光强的比值,依据所述比值计算得到所述待测标准气体的浓度值。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述计算得到所述待测标准气体的浓度值后,还包括:判断所述待测标准气体的浓度值是否符合预设浓度值,如果是,则不进行校准,如果否,则进行校准。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述校准浓度值的过程,包括:获取由校准波长后的激光器通过所述气体室得到的第一光程长度值和第一气体压强值;

获取与所述待测标准气体模块分别对应的第二光程长度值和第二气体压强值;

通过调节第一气体压强值和第二气体压强值以及第一光程长度值和第二光程长度值来实现对待测标准气体的浓度的校准。

4.一种气体浓度测量系统,其特征在于,包括:经激光器光源波长的校准系统校准后的激光器、待测标准气体模块、第二传感器和第二处理器;

所述激光器光源波长的校准系统包括:激光器、封装有预设浓度的标准气体的气体室、第一透射窗片、第二透射窗片、第一传感器和第一处理器;

所述激光器用于发出包含有入射光强信息的入射激光信号,并将所述入射激光信号通过所述第一透射窗片;

所述封装有预设浓度的标准气体的气体室用于吸收所述入射激光信号的能量,得到能量变化后的透射激光信号,所述透射激光信号经第二透射窗片发射给所述第一传感器;

所述第一传感器用于依据所述透射激光信号,并将所述透射激光信号转化成包含有所述透射激光信号出射光强信息的第一电信号;

所述第一处理器用于通过所述第一电信号中的出射光强信息,获取所述标准气体对应的吸收峰位置,确定与所述吸收峰位置对应的中心波长,以所述中心波长为基准,校准所述激光器的波长;

所述校准波长后的激光器用于发出包含有入射光强的激光信号,并将所述激光信号通过待测标准气体模块;

所述待测标准气体模块用于吸收所述校准波长后的激光信号的能量,得到能量变化后的校准波长的透射激光信号,将所述校准波长的透射激光信号发射给所述第二传感器;

所述第二传感器用于依据接收所述校准波长的透射激光信号,并将其转化为包含有所述校准波长的透射激光信号出射光强信息的第二电信号;

所述第二处理器用于依据所述第二电信号中的出射光强信息,获取所述待测标准气体对应的吸收峰位置,通过计算得到入射光强信息,并获得所述吸收峰位置上所述校准波长后的激光信号的入射光强和校准波长后的透射激光信号的出射光强的比值,计算得到所述待测标准气体的浓度值。

5.根据权利要求4所述的系统,所述系统还包括:第三处理器;

所述第三处理器用于通过调节获取的由校准波长后的激光器通过所述气室得到的第一光程长度值和第一气体压强和由校准波长后的激光器通过所述待测标准气体模块得到的第二光程长度值和第二气体压强,来实现对所述待测标准气体的浓度值的校准。

说明书 :

一种激光器光源波长校准方法及系统

技术领域

[0001] 本发明涉及电力领域,特别是一种激光器光源波长校准方法及系统。

背景技术

[0002] 由于长时间的使用激光器,会由于温度、老化以及半导体激光器制作工艺及温度漂移等因素会造成激光器光源波长会在中心波长附近发生漂移,导致激光器发出的激光光源的波长不断改变,因此无法得到准确的激光光源波长。
[0003] 目前,气体检测浓度在众多行业有着广泛的应用,有毒有害气体、易燃易爆气体浓度的检测历来对安全生产具有重要意义。同时气体的定量定性分析在国民生产生活中一直是重要的事情。特别在电力设备中经常使用SF6作为绝缘介质,而一旦SF6气体中掺入了其他杂质,绝缘灭弧效果就会大打折扣,甚至引发安全事故,同时,石油化工、环境保护和防疫等领域也需要检测一些气体浓度。
[0004] 对于目前检测气体浓度的方法中,原理大都是使用激光器发射的激光来照射某种气体,利用所述气体的某一物理特性或者化学特性的变化程度来推断气体的浓度,由于激光器光源的波长没有进行校准,就直接用来测量待测气体的浓度值,因此造成了测量准确度低的问题。

发明内容

[0005] 本发明所要解决的问题是:提供一种激光光源波长校准方法及系统,以解决现有技术中无法得到准确的激光光源波长的问题。
[0006] 本发明提供一种激光光源波长校准方法,包括:
[0007] 接收激光器发出包含有入射光强信息的入射激光信号;
[0008] 所述入射激光信号经第一透射窗片进入气体室中,预设于所述气体室内的预设浓度的标准气体吸收所述入射激光信号的能量,得到能量变化后的透射激光信号,所述透射激光信号经第二透射窗片发射给第一传感器;
[0009] 所述第一传感器接收所述透射激光信号,并将其转化成包含有所述透射激光信号出射光强信息的第一电信号;
[0010] 第一处理器通过所述第一电信号中的出射光强信息,获取所述标准气体对应的吸收峰位置,确定与所述吸收峰位置对应的中心波长,以所述中心波长为基准,校准所述激光器的波长。
[0011] 优选地,所述校准激光器的波长,包括:通过调节激光器的受驱动电流和自身温度来校准所述激光器的波长。
[0012] 一种气体浓度测量的方法,包括:
[0013] 将激光器的波长按照如权利要求1所述步骤进行校准;
[0014] 接收所述校准波长后的激光器发出包含有入射光强的入射激光信号,并将其通过待测标准气体模块;
[0015] 所述待测标准气体模块吸收所述校准波长后的激光信号的能量,得到能量变化后的校准波长的透射激光信号,将所述校准波长的透射激光信号发射给第二传感器;
[0016] 所述第二传感器接收所述校准波长的透射激光信号,并将其转化成包含有所述校准波长的透射激光信号出射光强信息的第二电信号;
[0017] 第二处理器依据所述第二电信号中的出射光强信息,获取所述待测标准气体对应的吸收峰位置,通过计算得到入射光强信息;
[0018] 并获得所述吸收峰位置上所述校准波长后的激光信号的入射光强和校准波长后的透射激光信号的出射光强的比值,依据所述比值计算得到所述待测标准气体的浓度值。
[0019] 优选地,所述计算得到所述待测标准气体的浓度值后,还包括:
[0020] 判断所述待测标准气体的浓度值是否符合预设浓度值,如果是,则不进行校准,如果否,则进行校准。
[0021] 优选地,所述校准浓度值的过程,包括:
[0022] 获取由校准波长后的激光器通过所述气体室得到的第一光程长度值和第一气体压强值;
[0023] 获取与所述待测标准气体模块分别对应的第二光程长度值和第二气体压强值;
[0024] 通过调节第一气体压强值和第二气体压强值以及第一光程长度值和第二光程长度值来实现对待测标准气体的浓度的校准。
[0025] 一种激光器光源波长的校准系统,所述系统包括:激光器、封装有预设浓度的标准气体的气体室、第一透射窗片、第二透射窗片、第一传感器和第一处理器;
[0026] 所述激光器用于发出包含有入射光强信息的入射激光信号,并将所述入射激光信号通过所述第一透射窗片;
[0027] 所述封装有预设浓度的标准气体的气体室用于吸收所述入射激光信号的能量,得到能量变化后的透射激光信号,所述透射激光信号经第二透射窗片发射给所述第一传感器;
[0028] 所述第一传感器用于依据所述透射激光信号,并将所述透射激光信号转化成包含有所述透射激光信号出射光强信息的第一电信号;
[0029] 所述第一处理器用于通过所述第一电信号中的出射光强信息,获取所述标准气体对应的吸收峰位置,确定与所述吸收峰位置对应的中心波长,以所述中心波长为基准,校准所述激光器的波长。
[0030] 一种气体浓度测量系统,包括:如权利要求6所述系统校准后的激光器、待测标准气体模块、第二传感器和第二处理器;
[0031] 所述校准波长后的激光器用于发出包含有入射光强的激光信号,并将所述激光信号通过待测标准气体模块;
[0032] 所述待测标准气体模块用于吸收所述校准波长后的激光信号的能量,得到能量变化后的校准波长的透射激光信号,将所述校准波长的透射激光信号发射给所述第二传感器;
[0033] 所述第二传感器用于依据接收所述校准波长的透射激光信号,并将其转化为包含有所述校准波长的透射激光信号出射光强信息的第二电信号;
[0034] 所述第二处理器用于依据所述第二电信号中的出射光强信息,获取所述待测标准气体对应的吸收峰位置,通过计算得到入射光强信息,并获得所述吸收峰位置上所述校准波长后的激光信号的入射光强和校准波长后的透射激光信号的出射光强的比值,计算得到所述待测标准气体的浓度值。
[0035] 优选地,还包括:第三处理器;
[0036] 所述第三处理器用于通过调节获取的由校准波长后的激光器通过所述气室得到的第一光程长度值和第一气体压强和由校准波长后的激光器通过所述待测标准气体模块得到的第二光程长度值和第二气体压强,来实现对所述待测标准气体的浓度值的校准。
[0037] 从以上技术方案可以看出,本发明提供了一种激光光源波长校准方法及系统,所述方法包括:接收激光器发出的包含有入射光强信息的入射激光信号,所述入射激光信号经预设于气体室的预设浓度的标准气体后得到了透射激光信号,所述传感器接收了所述透射激光信号,将其转化为包含有所述透射激光信号出射光强信息的第一电信号,第一处理器依据所述出射光强信息,获取所述标准气体对应吸收峰位置,确定与所述吸收峰位置对应的中心波长,以所述中心波长为基准,校准所述激光器的波长,通过调节所述激光器的属性,以达到在所述吸收峰的位置上有光强的吸收,那么此时所述吸收峰位置对应的波长为校准波长,所述方法解决了由于温度、老化以及半导体激光制作工艺及温度漂移造成的波长发生漂移的问题,实现了对激光器光源波长进行校准。

附图说明

[0038] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0039] 图1为本发明实施例一公开的一种激光器光源波长的校准方法的流程示意图;
[0040] 图2为本发明实施例二公开的一种气体浓度测量的方法的流程示意图;
[0041] 图3为本发明实施例三公开的一种气体浓度测量的方法的流程示意图;
[0042] 图4为本发明实施例四公开的一种气体浓度测量的方法的流程示意图;
[0043] 图5为本发明实施例五公开的一种激光器光源波长的校准系统的结构示意图;
[0044] 图6为本发明实施例六公开的一种气体浓度测量系统的结构示意图;
[0045] 图7为本发明实施例七公开的一种气体浓度测量系统的结构示意图。

具体实施方式

[0046] 下面结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明的保护范围。
[0047] 本发明实施例一公开了一种激光器光源波长的校准方法,参见图1为所述方法的流程示意图,该方法步骤包括:
[0048] 步骤S101:接收激光器发出包含有入射光强信息的入射激光信号;
[0049] 步骤S102:所述入射激光信号经第一透射窗片进入气体室中,预设于所述气体室内的预设浓度的标准气体吸收所述入射激光信号的能量,得到能量变化后的透射激光信号;
[0050] 步骤S103:所述透射激光信号经第二透射窗片发射给第一传感器;
[0051] 步骤S104:所述第一传感器接收所述透射激光信号,并经其转化为包含有所述透射激光信号出射光强信息的第一电信号;
[0052] 步骤S105:第一处理器通过所述第一电信号中的出射光强信息,获取所述标准气体对应的吸收峰位置,确定与所述吸收峰位置对应的中心波长,以所述中心波长为基准,校准所述激光器的波长。
[0053] 其中,通过透射激光的出射光强强度Fout与半导体激光器驱动器的电流信号Iin成正比,我们可以假设:
[0054] 激光器发射激光进入校准模块之前,光强强度Fin=K1*Iin;
[0055] 而出射光强Fout,Fout=Fin*K2*K3,其中K2为光路损耗比例,K3为气体吸收比例;
[0056] 入射光强与出射光强比例f=Fout/Fin=Fout/(K1*Iin);
[0057] 在整个扫描过程中,如果激光器波长不在气体吸收峰位置上,则K3=1,此时f=K2是一常数。
[0058] 如果激光器波长在吸收峰位置上,则K3为介于0~1之间的一个小数,f小于K2,分析整个扫描过程中吸收比例的变化值,找出吸收率最高的位置(即f最小),便可以找出吸收峰的位置。
[0059] 其中,通过调节激光器的受驱动电流和自身温度来校准所述激光器的波长,实际使用调谐技术来校准所述激光器的波长。
[0060] 上述实施例中,本发明公开了一种对激光器光源波长进行校准的方法,所述方法包括:将包含有入射光强信息的入射激光信号经第一透射窗片进入气体室中,预设于所述气体室内的预设浓度的标准气体吸收所述入射激光信号的能量,得到能量变化后的透射激光信号,所述透射激光信号经第二透射窗片发射给第一传感器,所述第一传感器接收所述透射激光信号,并将其转化成包含有所述透射激光信号出射光强信息的第一电信号,第一处理器通过所述第一电信号中的出射光强信息,获取所述标准气体对应的吸收峰位置,确定与所述吸收峰位置对应的中心波长,以所述中心波长为基准,通过调节所述激光器的受驱动电流和自身温度来校准所述激光器的波长,因此得到准确的激光光源波长的激光器。
[0061] 本发明实施例二公开了一种气体浓度测量的方法,参见图2为所述方法的流程示意图,该方法步骤包括:
[0062] 步骤S201:将激光器的波长按照实施例一公开的方法进行校准;
[0063] 步骤S202:接收所述校准波长后的激光器发出包含有入射光强的入射激光信号,并将其通过待测标准气体模块;
[0064] 步骤S203:所述待测标准气体模块吸收所述校准波长后的激光信号的能量,得到能量变化后的校准波长的透射激光信号,将所述校准波长的透射激光信号发射给第二传感器;
[0065] 步骤S204:所述第二传感器接收所述校准波长的透射激光信号,并将其转化成包含有所述校准波长的透射激光信号出射光强信息的第二电信号;
[0066] 步骤S205:第二处理器依据所述第二电信号中的出射光强信息,获取所述待测标准气体对应的吸收峰位置,通过计算得到入射光强信息;
[0067] 步骤S206:获得所述吸收峰位置上所述校准波长后的激光信号的入射光强和校准波长后的透射激光信号的出射光强的比值,通过所述比值计算得到所述待测标准气体的浓度值。
[0068] 其中,采用朗伯-比尔定律
[0069]
[0070] 式中:
[0071] It——透射光强;
[0072] Io——入射光强;
[0073] P——为气体的总压;
[0074] C——为气体的浓度;
[0075] L——为气体的透射光程;
[0076] S(t)——谱线的线强度,表示该线谱的吸收强度,只与温度有关;
[0077] f(vt)——为线型函数,它表示了被测吸收谱线的形状,
[0078] 上述实施例中,本发明公开了一种气体浓度测量的方法,在所述方法中,对激光器光源波长进行了校准,得到校准波长后的激光器,使用所述校准波长后的激光器发出的包含有入射光强信息的入射激光信号,经过待测标准气体模块,得到能量变化后的透射激光信号,并将其通过所述第二传感器转化成包含有所述校准波长的透射激光信号出射光强信息的第二电信号,所述第二处理器依据所述第二电信号中的出射光强信息,获取所述待测标准气体对应的吸收峰位置,通过计算得到入射光强信息,并获得所述吸收峰位置上所述校准波长后的激光信号的入射光强和校准波长后的透射激光信号的出射光强的比值,计算得到所述待测标准气体的浓度值,所述方法中,使用了校准波长后的激光器对待测气体浓度进行了测量,比没有使用校准波长的激光器对待测气体浓度的测量得到的浓度值精度高,提高了测量的准确率。
[0079] 本发明实施例三公开了一种气体浓度测量方法,参见图3为本实施例公开的流程示意图,在上述实施例的基础上,增加了当计算得到所述待测标准气体的浓度值后,还包括:
[0080] 步骤S301:判断所述待测标准气体的浓度值是否符合预设浓度值,如果是,则执行步骤S302,如果否,则执行步骤S303;
[0081] 步骤S302:则不进行校准;
[0082] 步骤S303:则进行校准。
[0083] 本实施例公开了当计算得到所述待测标准气体的浓度值后,为了确保得到的浓度值符合预设浓度值,需要进行判断,提高了检测浓度值的准确率。
[0084] 本发明实施例四公开了一种气体浓度测量方法,参见图4为本实施例公开的流程示意图,当所述待测浓度值需要校准时,所述方法包括:
[0085] 步骤S401:获取由校准波长后的激光器通过所述气室得到的第一光程长度值和第一气体压强值;
[0086] 步骤S402:获取由校准波长后的激光器通过所述待测标准气体模块得到的第二光程长度值和第二气体压强值;
[0087] 步骤S403:通过调节所述第一气体压强值和所述第二气体压强值以及所述第一光程长度值和所述第二光程长度值来实现对所述待测标准气体的浓度的校准。
[0088] 本实施例中,当所述待测标准气体的浓度值需要校准时,通过调节获取由校准波长后的激光器通过所述气室得到的第一光程长度值和第一气体压强值和由校准波长后的激光器通过所述待测标准气体模块得到的第二光程长度值和第二气体压强值来实现对所述待测标准气体浓度的校准。
[0089] 实施例五公开了一种激光器光源波长的校准系统,参见图5为结构示意图,所述系统包括:激光器101、封装有预设浓度的标准气体的气体室102、第一透射窗片103、第二透射窗片104、第一传感器105和第一处理器106;
[0090] 所述激光器101用于,发出包含有入射光强信息的入射激光信号,并将所述入射激光信号通过所述第一透射窗片103;
[0091] 所述封装有预设浓度的标准气体的气体室102用于,吸收所述入射激光信号的能量,得到能量变化后的透射激光信号,所述透射激光信号经第二透射窗片104发射给所述第一传感器105;
[0092] 其中,所述第一透射窗片设置于所述封装有预设浓度的标准气体的气体室的第一表面,在与所述第一表面对应的第二表面上设置有所述第二透射窗片,其中,所述第一透射窗片可与所述第一表面成一定的角度,同理第二透射窗片也同样设置,这样可以避免反射光直接反射。
[0093] 所述第一传感器105用于,依据所述透射激光信号,并将所述透射激光信号转化成包含有所述透射激光信号出射光强信息的第一电信号;
[0094] 所述第一处理器106用于,通过所述第一电信号中的出射光强信息,获取所述标准气体对应的吸收峰位置,确定与所述吸收峰位置对应的中心波长,以所述中心波长为基准,校准所述激光器的波长。
[0095] 本实施例公开了一种激光器光源波长的校准系统,所述系统包括:激光器、气室、第一传感器和第一处理器,所述激光器发出包含有入射光强信息的入射激光信号经所述气室后,得到能量变化后的透射激光信号,所述透射激光信号经第二透射窗片发射给第一传感器,所述第一传感器接收所述透射激光信号,并将其转化成包含有所述透射激光信号出射光强信息的第一电信号,第一处理器通过所述第一电信号中的出射光强信息,获取所述标准气体对应的吸收峰位置,确定与所述吸收峰位置对应的中心波长,以所述中心波长为基准,通过调节所述激光器的受驱动电流和自身温度来校准所述激光器的波长,因此得到准确的激光光源波长的激光器。
[0096] 实施例六公开了一种气体浓度测量系统,参见图6为所述系统的结构示意图,所述系统包括:校准波长后的激光器201、待测标准气体模块202第二传感器203和第二处理器204;
[0097] 所述校准波长后的激光器201用于,发出包含有入射光强的激光信号,并将所述激光信号通过待测标准气体模块202;
[0098] 所述待测标准气体模块202用于,吸收所述校准波长后的激光信号的能量,得到能量变化后的校准波长的透射激光信号,将所述校准波长的透射激光信号发射给所述第二传感器203;
[0099] 所述第二传感器203用于,依据接收所述校准波长的透射激光信号,并将其转化为包含有所述校准波长的透射激光信号出射光强信息的第二电信号;
[0100] 所述第二处理器204用于,依据所述第二电信号中的出射光强信息,获取所述待测标准气体对应的吸收峰位置,通过计算得到入射光强信息,并获得所述吸收峰位置上所述校准波长后的激光信号的入射光强和校准波长后的透射激光信号的出射光强的比值,计算得到所述待测标准气体的浓度值。
[0101] 本实施例中,使用所述校准波长后的激光器发出的包含有入射光强信息的入射激光信号,经过待测标准气体模块,得到能量变化后的透射激光信号,并将其通过所述第二传感器转化成包含有所述校准波长的透射激光信号出射光强信息的第二电信号,所述第二处理器依据所述第二电信号中的出射光强信息,获取所述待测标准气体对应的吸收峰位置,通过计算得到入射光强信息,并获得所述吸收峰位置上所述校准波长后的激光信号的入射光强和校准波长后的透射激光信号的出射光强的比值,计算得到所述待测标准气体的浓度值,所述方法中,使用了校准波长后的激光器对待测气体浓度进行了测量,比没有使用校准波长的激光器对待测气体浓度的测量得到的浓度值精度高,提高了测量的准确率。
[0102] 本发明实施例七公开了一种气体浓度测量的系统,参见图7为所述系统的结构示意图,在上述实施例六公开的系统的基础上,所述系统还包括:第三处理器205;
[0103] 所述第三处理器205,分别获取由校准波长后的激光器通过所述封装有预设浓度的标准气体的气体室102和所述待测标准气体模块202的第一光程长度值和第一气体压强值和第二光程长度值和第二气体压强值,通过调节上述值来实现对所述待测标准气体的浓度值的校准。
[0104] 本实施例中,对上述实施例中计算得到的待测标准气体的浓度值,通过调节获取的由校准波长后的激光器通过所述气室的第一光程长度值和第一气体压强和由校准波长后的激光器通过所述待测标准气体模块的第二光程长度值和第二气体压强来进一步提高待测标准气体浓度值的准确率。
[0105] 本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言,由于其与实施例公开的方法相对应,所以描述的比较简单,相关之处参见方法部分说明即可。
[0106] 对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽范围。