石英晶片腐蚀机

摘要

本发明是一种石英晶片腐蚀机，包括箱体，箱体内设有腐蚀液池和清洗池，在腐蚀液池和清洗池之间的台面上设有自动清洗摆动机构，自动清洗摆动机构包括的支臂上端通过转轴连接有横梁，横梁的前端连接有盛放晶片篮的清洗架，横梁内设有相互啮合的主动齿轮和从动齿轮，主动齿轮与横梁上的驱动电机输出轴相连，从动齿轮与清洗架相接；在腐蚀液池和清洗池上方分别设有与腐蚀液池连接的腐蚀液喷淋头以及与清洗池相连的清洗液喷淋头。本发明通过安装自动清洗摆动机构，可以使清洗架带动晶片篮在腐蚀液池和清洗池交替轮换，并使清洗架实现360°自动旋转，清洗、腐蚀更均匀，从而取代了人工操作，提高了工作效率，降低了工人劳动强度。

权利要求

1.一种石英晶片腐蚀机，包括箱体，箱体内设有腐蚀液池和清洗池，其特征在于：在腐蚀液池和清洗池之间的台面上设有自动清洗摆动机构，所述的自动清洗摆动机构包括与气缸连接并驱动其升降的支臂，支臂上端通过转轴连接有横梁，横梁的前端连接有盛放晶片篮的清洗架，所述的横梁内设有相互啮合的主动齿轮和从动齿轮，主动齿轮与横梁上的驱动电机输出轴相连，从动齿轮与清洗架相接；

在腐蚀液池和清洗池上方分别设有腐蚀液喷淋头和清洗液喷淋头，腐蚀液喷淋头通过腐蚀液管路与腐蚀液池连接，腐蚀液管路上设有腐蚀液喷淋泵，清洗液喷淋头通过清洗液管路与清洗池相连，清洗管路上设有清洗液喷淋泵；所述的箱体外设有腐蚀液储存池，腐蚀液储存池与腐蚀液池之间设有腐蚀液循环管路，循环管路上设有循环泵；所述的腐蚀液池的底部设有腐蚀液加热装置；所述的腐蚀液池下方设有与腐蚀液池连通的搅拌泵。

2.根据权利要求1所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于：所述的箱体上设有操作窗口，操作窗口上设有观察玻璃窗。

3.根据权利要求1所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于：所述的箱体的顶部设有抽风口，抽风口通过抽风管与箱体外的抽风机连接。

说明书

石英晶片腐蚀机

技术领域

[0001] 本发明涉及一种石英晶片腐蚀机。

背景技术

[0002] 石英晶片腐蚀机是用于给晶片腐蚀，使用时，将晶体片盛放在晶片篮，然后放在腐蚀液池中，摇动晶片篮对晶片进行腐蚀，腐蚀完后再把晶片篮放在清洗池中，摇动进行清洗。现有技术中都是用手拿晶片篮，手动摇动进行清洗，使用这种方式工人劳动强度大，生产效率低。

发明内容

[0003] 本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种结构合理，生产效率高，无需人工自动操作的石英晶片腐蚀机。

[0004] 本发明所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的，本发明是一种石英晶片腐蚀机，包括箱体，箱体内设有腐蚀液池和清洗池，其特点是：在腐蚀液池和清洗池之间的台面上设有自动清洗摆动机构，所述的自动清洗摆动机构包括与气缸连接并驱动其升降的支臂，支臂上端通过转轴连接有横梁，横梁的前端连接有盛放晶片篮的清洗架，所述的横梁内设有相互啮合的主动齿轮和从动齿轮，主动齿轮与横梁上的驱动电机输出轴相连，从动齿轮与清洗架相接；

[0005] 在腐蚀液池和清洗池上方分别设有腐蚀液喷淋头和清洗液喷淋头，腐蚀液喷淋头通过腐蚀液管路与腐蚀液池连接，腐蚀液管路上设有腐蚀液喷淋泵，清洗液喷淋头通过清洗液管路与清洗池相连，清洗管路上设有清洗液喷淋泵。

[0006] 本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，所述的箱体外设有腐蚀液储存池，腐蚀液储存池与腐蚀液池之间设有腐蚀液循环管路，循环管路上设有循环泵。

[0007] 本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，所述的腐蚀液池的底部设有腐蚀液加热装置。

[0008] 本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，所述的腐蚀液池下方设有与腐蚀液池连通的搅拌泵。

[0009] 本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，所述的箱体上设有操作窗口，操作窗口上设有观察玻璃窗。

[0010] 本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，所述的箱体的顶部设有抽风口，抽风口通过抽风管与箱体外的抽风机连接。

[0011] 与现有技术相比，本发明通过安装自动清洗摆动机构，可以使清洗架带动晶片篮在腐蚀液池和清洗池交替轮换，同时通过驱动电机驱动主动齿轮和从动齿轮，使清洗架实现360°自动旋转，清洗、腐蚀更均匀，从而取代了人工操作，提高了工作效率，降低了工人劳动强度，通过腐蚀液喷淋头和清洗液喷淋头从上向下喷淋可以使石英晶片腐蚀均匀，水洗均匀。

附图说明

[0012] 图1是本发明的结构示意图。

[0013] 图2是图1的左视结构示意图。

具体实施方式

[0014] 以下参照附图，进一步描述本发明的具体技术方案，以便于本领域的技术人员进一步地理解本发明，而不构成对其权利的限制。

[0015] 参照附图，一种石英晶片腐蚀机，包括箱体1，箱体1内设有腐蚀液池10和清洗池8，腐蚀液池10为酸洗池，清洗池8为水洗池，在腐蚀液池10和清洗池8之间的台面上设有自动清洗摆动机构，所述的自动清洗摆动机构包括与气缸连接并驱动其升降的支臂12，支臂12上端通过转轴连接有横梁14，横梁14可以在腐蚀液池10和清洗池8上方来回旋转摆动，横梁14的前端连接有盛放晶片篮的清洗架9，所述的横梁14内设有相互啮合的主动齿轮5和从动齿轮13，主动齿轮5与横梁14上的驱动电机输出轴相连，从动齿轮13与清洗架
9相接，从而可以带动清洗架9实现360°旋转。

[0016] 在腐蚀液池10和清洗池8上方分别设有腐蚀液喷淋头4和清洗液喷淋头7，腐蚀液喷淋头4通过腐蚀液管路2与腐蚀液池10连接，腐蚀液管路2上设有腐蚀液喷淋泵，清洗液喷淋头7通过清洗液管路6与清洗池8相连，清洗管路上设有清洗液喷淋泵，可以通过腐蚀液喷淋泵或清洗液喷淋泵使腐蚀液或清洗液从腐蚀液喷淋头4或清洗液喷淋头7中喷洒，从而使石英晶片腐蚀或清洗更均匀。

[0017] 箱体1外设有腐蚀液储存池3，腐蚀液储存池3与腐蚀液池10之间设有腐蚀液循环管路11，循环管路上设有循环泵。当天气冷时，防止腐蚀液结冰，应此可以通过将腐蚀液循环来防止结冰，腐蚀液储存池3内也可以设有加热装置。

[0018] 腐蚀液池10的底部设有腐蚀液加热装置，当腐蚀液温度低时可以启动腐蚀液加热装置，腐蚀液加热装置可以为电炉丝。

[0019] 腐蚀液池10下方设有与腐蚀液池10连通的搅拌泵，启动搅拌泵，腐蚀液在腐蚀液池10中循环可以使腐蚀液温度和浓度均匀。

[0020] 箱体1上设有操作窗口，操作窗口上设有观察玻璃窗，在清洗或腐蚀的过程中关上观察玻璃窗，防止腐蚀液溅出。整个石英晶片腐蚀机都是采用塑料制成。

[0021] 箱体1的顶部设有抽风口，抽风口通过抽风管与箱体1外的抽风机连接，可以将箱体1内的腐蚀液雾气抽出，防止伤害操作人员的。