对称结构的太赫兹波偏振分束器转让专利
申请号 : CN201210449774.3
文献号 : CN102928916B
文献日 : 2014-01-08
发明人 : 李九生
申请人 : 中国计量学院
摘要 :
权利要求 :
1.一种对称结构的太赫兹波偏振分束器,其特征在于包括信号输入端(1)、第一信号输出端(2)、第二信号输出端(3)、上端凹槽形波导(4)、偏振分束波导区域(5)、下端凹槽形波导(6)、基体(7);基体(7)上设有上端凹槽形波导(4)、偏振分束波导区域(5)、下端凹槽形波导(6),上端凹槽形波导(4)凹槽中心底端与偏振分束波导区域(5)的中心顶端连接,偏振分束波导区域(5)的中心底端与下端凹槽形波导(6)的凹槽中心顶端连接,偏振分束波导区域(5)包括圆环波导(8)、两个矩形环波导(9)、两个小圆环波导(10)和两个矩形柱波导(11),圆环波导(8)外左右对称设有矩形环波导(9),矩形环波导(9)与圆环波导(8)的外环连接,圆环波导(8)内左右对称顺次设有矩形柱波导(11)、小圆环波导(10),小圆环波导(10)通过矩形柱波导(11)与圆环波导(8)的内环连接;信号输入端(1)位于上端凹槽形波导(4)的左端位置,第一信号输出端(2)位于上端凹槽形波导(4)的右端位置,第二信号输出端(3)位于下端凹槽形波导(6)的右端位置,太赫兹波信号从信号输入端(1)输入,分束波分别从第一信号输出端(2),第二信号输出端(3)输出。
2.根据权利要求1所述的一种对称结构的太赫兹波偏振分束器,其特征在于所述的基体(7)的材料是二氧化硅,基体(7)的长度为2000μm~2200μm,宽度为1800μm~2000μm,厚度为200μm~300μm;所述波导的材料为硅,厚度均为40μm~50μm。
3.根据权利要求1所述的一种对称结构的太赫兹波偏振分束器,其特征在于所
述的上端凹槽形波导(4)由两条水平波导和一条凹形波导组成,凹形波导的长度为
900μm~1000μm,宽度为40μm~80μm,凹形波导的深度为80μm~100μm,两条水平波导的长度均为400μm~500μm,宽度均为40μm~80μm。
4.根据权利要求1所述的一种对称结构的太赫兹波偏振分束器,其特征在于所述的下端凹槽形波导(6)由左侧水平波导、右侧水平波导和凹形波导组成,凹形波导的长度为
900μm~1000μm,宽度为40μm~80μm,凹形波导的深度为80μm~100μm,左侧水平波导的长度为200μm~300μm,宽度为40μm~80μm;右侧水平波导的长度为400μm~500μm,宽度为40μm~80μm。
5.根据权利要求1所述的一种对称结构的太赫兹波偏振分束器,其特征在于所述的圆环波导(8)的波导宽度为40μm~80μm,最外圈的半径为500μm~600μm。
6.根据权利要求1所述的一种对称结构的太赫兹波偏振分束器,其特征在于所述的矩形环波导(9)的外环长度为150μm~300μm,外环宽度为400μm~600μm,波导的宽度为
40μm~80μm。
7.根据权利要求1所述的一种对称结构的太赫兹波偏振分束器,其特征在于所述的小圆环波导(10)的外环半径为200μm~250μm,波导宽度为40μm~80μm。
8.根据权利要求1所述的一种对称结构的太赫兹波偏振分束器,其特征在于所述的矩形柱波导(11)的长度为80μm~100μm,宽度为50μm~60μm。
说明书 :
对称结构的太赫兹波偏振分束器
技术领域
背景技术
发明内容
所述的上端凹槽形波导由两条水平波导和一条凹形波导组成,凹形波导的长度为
900μm~1000μm,宽度为40μm~80μm,凹形波导的深度为80μm~100μm,两条水平波导的长度均为400μm~500μm,宽度均为40μm~80μm。所述的下端凹槽形波导由左侧水平波导、右侧水平波导和凹形波导组成,凹形波导的长度为900μm~1000μm,宽度为
40μm~80μm,凹形波导的深度为80μm~100μm,左侧水平波导的长度为200μm~300μm,宽度为40μm~80μm;右侧水平波导的长度为400μm~500μm,宽度为40μm~80μm。所述的圆环波导的波导宽度为40μm~80μm,最外圈的半径为500μm~600μm。所述的矩形环波导的外环长度为150μm~300μm,外环宽度为400μm~600μm,波导的宽度为40μm~80μm。
所述的圆环波导的外环半径为200μm~250μm,波导宽度为40μm~80μm。所述的矩形柱波导的长度为80μm~100μm,宽度为50μm~60μm。
具体实施方式
所述的上端凹槽形波导4由两条水平波导和一条凹形波导组成,凹形波导的长度为
900μm~1000μm,宽度为40μm~80μm,凹形波导的深度为80μm~100μm,两条水平波导的长度均为400μm~500μm,宽度均为40μm~80μm。所述的下端凹槽形波导6由左侧水平波导、右侧水平波导和凹形波导组成,凹形波导的长度为900μm~1000μm,宽度为
40μm~80μm,凹形波导的深度为80μm~100μm,左侧水平波导的长度为200μm~300μm,宽度为40μm~80μm;右侧水平波导的长度为400μm~500μm,宽度为40μm~80μm。所述的圆环波导8的波导宽度为40μm~80μm,最外圈的半径为500μm~600μm。所述的矩形环波导9的外环长度为150μm~300μm,外环宽度为400μm~600μm,波导的宽度为
40μm~80μm。所述的圆环波导10的外环半径为200μm~250μm,波导宽度为40μm~80μm。
所述的矩形柱波导11的长度为80μm~100μm,宽度为50μm~60μm。
99.36%,TE波最大输出功率为0.17%。