一种X射线KBA显微成像系统

摘要

本发明涉及一种X射线KBA显微成像系统，该系统包括物镜M1、物镜M2、物镜M3、物镜M4、光学棱镜块N1及光学棱镜块N2，其中在子午方向上的物镜M1和物镜M2的工作反射面顶靠在光学棱镜块N1具有夹角η1的两个相邻面T1面和T2面上，在弧矢方向上的物镜M3和物镜M4的工作反射面顶靠在光学棱镜块N2具有夹角η2的两个相邻面T3面和T4面上。与现有技术相比，本发明结构简单，对物镜工作反射面与背面的角度和厚度没有精度要求，显著降低了KBA系统的光学元件加工难度和成本，提高了KBA系统的装配精度以及最终成像质量。