隔离装置

摘要

[课题]提供一种应对隔离装置工作时的危险性、具有简单的结构而能够确保高安全性的隔离装置。还提供一种具有空气洁净用过滤器单元的隔离装置，该空气洁净用过滤器单元应对隔离装置工作完成后的危险性，过滤器更换作业简单且通过该更换作业污染外部环境的危险性降低，维护成本低廉。[解决手段]具备：作业室；供气构件，向作业室的内部供给从上方朝向下方的单向流的空气；以及排气构件，从作业室的下方排出单向流的空气，还具备：隔壁，沿上述单向流的空气与作业室的周壁部平行设置；和长条状的排气口，在隔壁的下端部的下方沿该下端部的宽度方向开口。在该排气口，将空气洁净用过滤器单元以使其空气导入口部与上述排气口相对的方式安装于作业室的外部。

权利要求

1.一种隔离装置，具备：作业室；供气构件，向上述作业室的内部供给从上方朝向下方的单向流的空气；排气构件，从上述作业室的下方排出上述单向流的空气；隔壁，沿上述单向流的空气与上述作业室的周壁部平行设置；以及长条状的排气口，在上述隔壁的下端部的下方沿该下端部的宽度方向开口，所述隔离装置的特征在于，

上述供气构件具有形成上述单向流的空气的整流部件，上述整流部件具备由多根框材构成的框体和以覆盖该框体的上面及底面的方式固定于上述框材的多孔性薄片，上述框材具备从其上面贯通至底面的多个贯通口，上述多孔性薄片在与上述框材抵接并固定于该框材的部分，仅覆盖上述贯通口的开口部即上述框材的上面开口部或底面开口部中的任意一个开口部。

2.根据权利要求1所述的隔离装置，其特征在于，具备：其他隔壁，与其他周壁部平行设置，所述其他周壁部与上述周壁部相对；和长条状的其他排气口，在上述其他隔壁的下端部的下方沿该下端部的宽度方向开口。

3.根据权利要求1或2所述的隔离装置，其特征在于，上述排气口形成于上述作业室的底壁部，且在上述下端部的正下方开口或比正下方靠向上述作业室的中央开口。

4.根据权利要求1或2所述的隔离装置，其特征在于，上述排气口相对于上述隔壁分别由一个或两个以上的开口部构成，上述一个或两个以上的开口部的长度方向的开口长度的总和相对于上述下端部的宽度方向的长度为50％～100％的比例。

5.根据权利要求1或2所述的隔离装置，其特征在于，上述多孔性薄片为具有连通表里的无数个细孔的网纱。

6.根据权利要求1所述的隔离装置，其特征在于，向上述整流部件供给预定量的空气时，在通过该整流部件而流动的空气中，将在上述上面开口部或上述底面开口部中被上述多孔性薄片覆盖且该多孔性薄片为一层的部分通过的空气的流速设为V1，将在上述多孔性薄片不与上述框材抵接且该多孔性薄片为两层的部分通过的空气的流速设为V2时，以使上述多孔性薄片所覆盖的上述开口部相对于上述框材的上面或底面的面积的开口率X(％)由下式表示的方式在上述框材开口上述贯通口：X＝(V2/V1)×100。

7.根据权利要求1所述的隔离装置，其特征在于，上述排气构件具备空气洁净用过滤器单元，所述空气洁净用过滤器单元安装为能够相对于从上述长条状的排气口排出的上述单向流的空气的流路拆装，上述空气洁净用过滤器单元具备：

矩形筒体，具有第1壁部和第2壁部，其中，所述第1壁部设置有用于导入空气的长条状的空气导入口部，所述第2壁部形成为与上述第1壁部交叉，并设置有用于排出从上述空气导入口部导入的空气的空气排出口部；和过滤器部件，以构成上述空气排出口部的外壁面的方式设置于该空气排出口部，用于过滤上述导入的空气，该空气洁净用过滤器单元以使上述空气导入口部与上述排气口相对的方式安装到上述作业室的外部。

8.根据权利要求7所述的隔离装置，其特征在于，上述空气洁净用过滤器单元具备其他过滤器部件，上述筒体具有第3壁部，所述第3壁部形成为与上述第2壁部相对，并设置有用于排出上述导入空气的其他空气排出口部，上述其他过滤器部件在其排气面以构成上述其他空气排出口部的外壁面的方式设置于该其他空气排出口部，将上述过滤的空气排出。

9.根据权利要求7或8所述的隔离装置，其特征在于，上述空气洁净用过滤器单元具备：

封闭上述空气导入口部的能够拆装的盖体；和

垫片，气密性地安装于该盖体的外周缘部与上述空气导入口部的内周缘部之间。

10.根据权利要求7或8所述的隔离装置，其特征在于，上述空气洁净用过滤器单元具备开关部件，所述开关部件具有从上述空气导入口部的外周缘部向内侧延伸且能够开关地封闭该空气导入口部的多张可挠性薄片。

说明书

隔离装置

技术领域

[0001] 本发明涉及隔离装置，更详细地说，涉及能够用于使内部保持无菌状态的作业、也能够用于在内部处理对人体有影响的物质的作业的、安全性高的隔离装置。

背景技术

[0002] 在洁净的气氛中进行的作业，例如半导体、电子零件的制造阶段的作业，或者医药品的制造阶段的作业中，在以污染物质不从外部环境进入的方式使内部保持无菌/无尘状态的洁净的作业环境中进行作业。当进行相关作业的作业环境规模较小时，利用如下隔离装置：使用与外部环境隔绝的腔室等，作业者能够从该腔室的外部通过手套、半身衣进行作业。将这样的隔离装置特别称为无菌隔离器。

[0003] 另一方面，在处理对人体有影响的物质的作业，例如医药品的制造阶段的作业，在医学、生物学领域处理毒性较强的微生物的作业，或者处理放射性物质的作业等中，需要保护作业者免受对人体有影响的化学物质、微生物等的污染，另外，需要防止这些对人体有影响的化学物质、微生物等从作业环境泄漏到外部环境。在相关作业中，也利用能够从与外部环境隔绝的腔室的外部通过手套、半身衣进行作业的隔离装置。将这样的隔离装置特别称为封入隔离器。

[0004] 隔离装置与作业者进行作业的外部环境气密性隔断，另外，通过过滤器净化外部的空气而供给到腔室内，并且通过过滤器净化腔室内的空气并排放到外部。因此，基本上这样的隔离装置既可以作为无菌隔离器使用也可以作为封入隔离器使用。

[0005] 另外，使用隔离装置时，通过按照目的来调节腔室内的气压，能够更加提高安全性。即，当作为无菌隔离器使用时，使腔室内的气压比外部的气压高(以下称为正压)，即使腔室发生泄漏时，由于空气从腔室侧流向外部，因此浮游菌等也不会从外部侵入到腔室内。

[0006] 另一方面，当作为封入隔离器使用时，使腔室内的气压比外部的气压低(以下称为负压)而使用，从而即使腔室发生泄漏时，由于空气从外部流向腔室内，因此腔室内的化学物质等也不会污染外部环境。

[0007] 然而，在隔离装置中设置有能够从外部从观察腔室内的玻璃窗、作业者进行作业的手套、以及用于向腔室内搬入设备或进行维护的开关门等。因此，难以完美地将隔离装置的腔室气密性封闭，还考虑到隔离装置在工作时封闭性被破坏。进一步，即使调节腔室内的气压，因外部的气压的变动等各种原因而总是设定压力差也有界限。

[0008] 这样，若隔离装置稍微发生泄漏，则在无菌隔离器中无法维持腔室内的无菌/无尘状态，另外，在封入隔离器中在腔室内处理的化学物质、微生物等会泄漏到外部环境。

[0009] 作为避免隔离装置工作时的这样的危险性的方法，在下述专利文献1中提出了如下的隔离装置的洁净维持装置：在设置于腔室的接合部的内周缘设置相对于腔室内部及外部均为负压的负压空气吸入路径，由负压空气吸入路径吸引通过接合部的内周缘的空气。

[0010] 另一方面，作为伴随着隔离装置的工作完成后的危险性的作业，存在更换使用后的过滤器的作业。例如，在封入隔离装置中，经由用于净化其内部的空气的过滤器除去空气中的化学物质等，并将净化的空气排放到外部环境。由此，防止在隔离装置等的内部处理的化学物质等泄漏到外部环境。

[0011] 这些用于净化空气的过滤器使用HEPA过滤器或ULPA过滤器等高性能过滤器，在使用后的过滤器中附着有从空气中除去的大量化学物质等。因此，更换这些使用后的过滤器时，为了作业者的安全和防止泄漏到外部环境而要求谨慎的作业。

[0012] 在该过滤器更换作业中最广泛采用的方法为袋进袋出(BAG IN-BAG OUT)方式，但是在该现有的方式中，收容过滤器的箱体的结构复杂，过滤器更换作业繁琐。

[0013] 另外，通过过滤器划分箱体的内部，沿着气流在过滤器的上游侧的面附着化学物质等，而过滤器的下游侧的面未受到污染。在这样的状态下，将使用完的过滤器从箱体内的安装板拆下并收容到袋内，但在至收容到袋内为止的阶段可能会产生附着在过滤器的上游侧的面上的化学物质等污染箱体内的过滤器的下游部的情况。

[0014] 这样，若箱体内的过滤器的下游部被化学物质等污染，则更换过滤器后使隔离装置工作时，污染箱体内的过滤器的下游部的化学物质等会泄漏到外部环境。

[0015] 作为避免这样的危险性的方法，在下述专利文献2中提出了按箱体拆下收容使用完的过滤器的箱体而更换收容新过滤器的新箱体的安全的过滤器箱体更换方式。

[0016] 在该过滤器箱体更换方式中，从在箱体上面开口的吸气口吸入隔离装置等的室内的空气，通过箱体内收容的过滤器净化空气，从在箱体侧面开口的排气口排除洁净空气。在此，将箱体的吸气口连结为能够相对于隔离装置等的作业腔室的插入口拆装，另一方面，将箱体的排气口连结为能够相对于排气侧管道拆装。

[0017] 更换该箱体时，首先，盖上隔离装置等的作业腔室侧的吸气口从而将箱体内的受到污染的部分即过滤器上游部密封。接下来，对作业腔室内进行清洗后从作业腔室的插入口拆下箱体的吸气口。另外，从排气侧管道拆下箱体的排气口并盖住。

[0018] 在该过滤器箱体更换方式中，与现有的袋进袋出方式相比，过滤器的更换作业比较简单，能够减少在箱体的拆下作业期间污染外部环境的危险性。另外，拆下的箱体由于吸排气口均被密封从而不会污染外部环境。

[0019] 现有技术文献

[0020] 专利文献

[0021] 专利文献1：日本特开2000-346418号公报

[0022] 专利文献2：WO2007/131376号公报

发明内容

[0023] 发明要解决的课题

[0024] 作为避免隔离装置工作时的危险性的方法，在上述专利文献1中提出的隔离装置的洁净维持装置，提供一种目的在于能够维持高度无菌/无尘状态的无菌隔离器，未将提供封入隔离器作为目的。另外，为了在该洁净维持装置中维持高度的安全性，需要在隔离装置的所有接合部分别设置负压空气吸入路径，存在装置的结构复杂且隔离装置的维护成本变高的问题。

[0025] 另外，在上述专利文献1的说明书中，提出了具备上述洁净维持装置的双层(double-wall)隔离装置，该隔离装置设置在与装置筐体之间形成间隙的内壁而作为空气的环绕路径，在该环绕路径形成上升气流，即使污染空气从外部侵入也会被环绕路径隔断，防护性更加提高(该文献说明书段落0030～0031)。

[0026] 该双层隔离装置适用于无菌隔离器，在环绕路径中流动的空气是从装置内吸引的，不能适用于装置内的空气中包含化学物质等的封入隔离器。

[0027] 另一方面，作为避免隔离装置工作完成后的危险性的方法，在上述专利文献2所提出的过滤器箱体更换方式中，需要具有复杂的结构的专用箱体从而制造成本变高。另外，当更换过滤器时，不仅是使用完的过滤器，专用箱体本身也变成一次性使用物，存在包含废弃成本在内的隔离装置的维护成本变高的问题。

[0028] 另一方面，HEPA过滤器、ULPA过滤器等高性能过滤器在制造后为了确认满足额定捕获效率以及过滤器无泄漏而进行泄漏检查。该泄漏检查方法例如有美国规范IEST-RP-CC006.2、ISO CD14644-3(1998)，在这些方法中，对作为更换零件的各个过滤器的排气面要求扫描测试。

[0029] 该扫描测试的方法为，将混合试验粒子的试验空气从试验过滤器的上游侧供给到试验过滤器的整个吸气面，通过扫描试验过滤器的下游侧的排气面的粒子检测器检测透过试验过滤器的粒子。在该扫描测试中，特定部位的检测粒子较多时，能够确认在该部位发生泄漏。

[0030] 然而，在上述过滤器箱体更换方式中，将过滤器完全收容在具有复杂结构的专用箱体的内部，过滤器的排气面未露出到箱体的外部。因此，扫描测试的粒子检测器无法扫描过滤器的排气面。

[0031] 因此，收容到箱体内部之前的各个过滤器可以进行扫描测试，但在组装于箱体的状态下无法通过扫描测试实施完全性检查。因此，存在无法确认过滤器箱体更换方式的更换零件即过滤器箱体本身的安全性的问题。

[0032] 因此，本发明的目的在于提供一种应对隔离装置工作时的危险性、具有简单的结构且能够确保高安全性的隔离装置，其作为无菌隔离器能够维持高度的无菌/无尘状态，并且作为封入隔离器能够高度防止化学物质、微生物等泄漏到外部环境。

[0033] 进一步，本发明的目的在于提供一种具有空气洁净用过滤器单元的隔离装置，该空气洁净用过滤器单元应对隔离装置工作完成后的危险性，过滤器更换作业简单且通过该更换作业污染外部环境的危险性得以降低，另外，具有简单的结构且包括制造成本及废弃成本在内的隔离装置的维护成本低廉，进一步，能够实施扫描测试的完全性检查从而容易确认安全性。

[0034] 用于解决课题的手段

[0035] 解决上述课题时，本申请发明人经锐意研究的结果，为应对隔离装置工作时的危险性，而在双层隔离装置中研究设置于腔室内的隔壁、在腔室内流动的气流及设置于腔室的排气口的位置之间的关系，从而发现能够实现本发明的目的而完成本发明。

[0036] 即，本发明的隔离装置，根据技术方案1的记载，其具备：作业室(10)；供气构件(20)，向上述作业室的内部供给从上方朝向下方的单向流的空气；以及排气构件(30)，从上述作业室的下方排出上述单向流的空气，所述隔离装置的特征在于，具备：隔壁(11a)，沿上述单向流的空气与上述作业室的周壁部(10a)平行设置；和长条状的排气口(18a、18b)，在上述隔壁的下端部的下方沿该下端部的宽度方向开口。

[0037] 根据上述结构，通过供气构件向作业室的内部供给从上方朝向下方的单向流(所谓的层流)的空气。在该作业室的内部，在沿上述单向流的气流的方向上设置有隔壁。该隔壁与作业室的周壁部平行地形成，通过隔壁将作业室的内部空间划分为中央的空间(以下称为中央空间)、和隔壁与周壁部之间的空间(以下称为周边空间)。因此，在作业室内从上方朝向下方的单向流的空气分为在中央空间从上方朝向下方的单向流的空气和在周边空间从上方朝向下方的单向流的空气而流动。

[0038] 另外，排气口位于隔壁的下端部的下方、即上述各单向流的空气的下游侧，并沿该下端部的宽度方向开口为长条状。由此，由于在中央空间及周边空间从上方流向下方的各单向流的空气的流动方向未发生变化，因而不会扰乱其层流状态而将其从上述排气口排出。

[0039] 在上述结构的隔离装置中进行的作业在中央空间进行，在该中央空间和外部环境之间形成有周边空间。在该状态下，在中央空间及周边空间，由供气构件供给的洁净的空气分别独立流动，并分别将这些空气从排气口排出。

[0040] 因此，隔离装置作为无菌隔离器使用时，从外部环境进入周边空间的浮游菌等会沿在周边空间流动的洁净的单向流的空气从排气口排出。由此，不会使中央空间的无菌/无尘状态受到污染，能够维持无菌隔离器的高度的安全性。

[0041] 另一方面，隔离装置作为封入隔离器使用时，从中央空间泄漏到周边空间的化学物质等会沿在周边空间流动的洁净的单向流的空气从排气口排出。由此，化学物质等不会泄漏到外部环境，能够维持封入隔离器的高度的安全性。

[0042] 因此，技术方案1所述的发明能够提供应对隔离装置工作时的危险性、具有简单的结构而能够确保高安全性的隔离装置，其作为无菌隔离器能够维持高度的无菌/无尘状态，并且作为封入隔离器能够高度防止化学物质、微生物等泄漏到外部环境。

[0043] 另外，本发明根据技术方案2的记载，在技术方案1所述的隔离装置中，其特征在于，具备：其他隔壁(11b)，与其他周壁部(10b)平行设置，所述其他周壁部与上述周壁部相对；和长条状的其他排气口(18c、18d)，在上述其他隔壁的下端部的下方沿该下端部的宽度方向开口。

[0044] 根据上述结构，与隔离装置的相对的两个周壁部分别平行地设置有隔壁，在各隔壁的下端部的下方分别开口有排气口。由此，在中央空间从上方朝向下方的单向流的空气分别被在相对的方向开口的两个排气口分开排出，作业室内的空气更加稳定地流动，并从排气口排出。

[0045] 因此，在技术方案2所述的发明中，能够进一步实现与技术方案1所述的发明同样的作用效果。

[0046] 另外，本发明根据技术方案3的记载，在技术方案1或2所述的隔离装置中，其特征在于，上述排气口形成于上述作业室的底壁部，且在上述下端部的正下方开口或比正下方靠向上述作业室的中央开口。

[0047] 根据上述结构，排气口形成于作业室的底壁部且在隔壁的下端部的正下方开口或比正下方靠向中央空间开口。如上所述，中央空间为进行作业的空间，当然比周边空间占有更大的容积。因此，流经中央空间的空气的流量比流经周边空间的空气的流量多，通过使排气口在隔壁的下端部的正下方开口或比正下方靠向中央空间开口，作业室内的空气更加稳定地流动并从排气口排出。

[0048] 因此，在技术方案3所述的发明中，能够进一步实现与技术方案1或2所述的发明同样的作用效果。

[0049] 另外，本发明根据技术方案4的记载，在技术方案1～3的任意一项所述的隔离装置中，其特征在于，上述排气口相对于上述隔壁分别由一个或两个以上的开口部构成，上述一个或两个以上的开口部的长度方向的开口长度的总和相对于上述下端部的宽度方向的长度为50%～100%的比例。

[0050] 根据上述结构，在各隔壁设置的排气口可以由一个开口部构成，另外，也可以分成两个以上的开口部构成。进一步优选，这些开口部的长度方向的开口长度的总和在预定的长度以上。由此，沿隔壁流动的空气，其方向不会发生较大改变而更加稳定地流动，并从排气口排出。

[0051] 因此，在技术方案4所述的发明中，能够进一步实现与技术方案1～3的任意一项所述的发明同样的作用效果。

[0052] 另外，本发明根据技术方案5的记载，在技术方案1～4的任意一项所述的隔离装置中，其特征在于，上述供气构件具有形成上述单向流的空气的整流部件(23)，上述整流部件具备由多根框材(24a)构成的框体(24)和以覆盖该框体的上面及底面的方式固定于上述框材的多孔性薄片(25a、25b)，上述框材具备从其上面贯通至底面的多个贯通口(24b)，上述多孔性薄片在与上述框材抵接并固定于该框材的部分，仅覆盖上述贯通口的开口部即上述框材的上面开口部或底面开口部中的任意一个开口部。

[0053] 根据上述结构，供气构件具有由框体和覆盖该框体的上面及底面的多孔性薄片构成的整流部件。由于由供气构件向作业室的内部供给的空气能够通过该整流部件中的多孔性薄片的部分(整流部件的中央部分)，因此整理其流动而形成在作业室的内部从上方朝向下方的单向流的空气。

[0054] 另一方面，空气无法通过整流部件中的框体的部分(整流部件的周缘部分)。由此认为难以向整个作业室的内部空间供给均匀的单向流的空气。因此，在构成框体的框材设置从其上面贯通至底面的多个贯通口。由此，也能够从贯通框材的贯通口的部分供给空气。

[0055] 但是，即使在框材设置多个贯通口，空气也无法从框材的未开有贯通口的部分通过。因此，来自整个框材的空气的流量(表观的流量)与来自贯通口的部分的空气的流量相等。因此，使整流部件的中央部分和周缘部分(贯通口的部分)的多孔性薄片的覆盖张数存在差别。即，在整流部件的中央部分，在上面及底面两个部位覆盖多孔性薄片，另一方面，在周缘部分(贯通口的部分)，仅在上面开口部或底面开口部的任一开口部覆盖多孔性薄片。

[0056] 由此，贯通口的部分的空气的通过阻力比整流部件的中央部分的空气的通过阻力小，贯通口的部分的空气的流速比中央部分的空气的流速大。其结果是，贯通口的部分的空气的流量比中央部分的空气的流量多。因此，整流部件的中央部分的空气的流量和周缘部分的空气的流量(表观的流量)的差别变小，通过整流部件的空气从整个整流部件成为在作业室的内部从上方朝向下方的单向流的空气而更加稳定地流动。

[0057] 因此，在技术方案5所述的发明中，能够进一步实现与技术方案1～4的任意一项所述的发明同样的作用效果。

[0058] 另外，本发明根据技术方案6所述，在技术方案5所述的隔离装置中，其特征在于，上述多孔性薄片为具有连通表里的无数个细孔的网纱。

[0059] 根据上述结构，多孔性薄片具有连通其表里的无数个细孔。由此，通过整流部件的空气通过这些细孔整理其流动，而形成稳定的单向流的空气。

[0060] 因此，在技术方案6所述的发明中，能够进一步实现与技术方案5所述的发明同样的作用效果。

[0061] 另外，本发明根据技术方案7的记载，在技术方案5或6所述的隔离装置中，其特征在于，向上述整流部件供给预定量的空气时，在通过该整流部件而流动的空气中，将在上述上面开口部或上述底面开口部中被上述多孔性薄片覆盖且该多孔性薄片为一层的部分通过的空气的流速设为V1，将在上述多孔性薄片不与上述框材抵接且该多孔性薄片为两层的部分通过的空气的流速设为V2时，以使上述多孔性薄片所覆盖的上述开口部相对于上述框材的上面或底面的面积的开口率X(%)由下式表示的方式在上述框材开口上述贯通口：X=(V2/V1)×100。

[0062] 根据上述结构，通过上式求出在框材设置的贯通口的开口率X(%)。由此，设计整流部件时，通过测定多孔性薄片为一层的部分的空气的流速和多孔性薄片为两层的部分的空气的流速，能够更加正确地调节整流部件的中央部分的空气的流量和周缘部分的空气的流量(表观的流量)。其结果是，通过整流部件的空气从整个整流部件成为在作业室的内部从上方朝向下方的单向流的空气而更加稳定地流动。

[0063] 因此，在技术方案7所述的发明中，能够进一步实现与技术方案5或6所述的发明同样的作用效果。

[0064] 另外，本申请发明人应对隔离装置工作完成后的危险性，通过研究在双层隔离装置的排气口安装的空气洁净用过滤器单元的结构，发现能够实现本发明的目的，从而完成本发明。

[0065] 即，本发明根据技术方案8的记载，在技术方案1～3的任意一项所述的隔离装置中，其特征在于，上述排气构件(260)具备空气洁净用过滤器单元(210)，所述空气洁净用过滤器单元安装为能够相对于从上述长条状的排气口(262)排出的上述单向流的空气的流路拆装，上述空气洁净用过滤器单元具备：矩形筒体(211)，具有第1壁部和第2壁部，其中，所述第1壁部设置有用于导入空气的长条状的空气导入口部(214)，所述第2壁部形成为与上述第1壁部交叉，并设置有用于排出从上述空气导入口部导入的空气的空气排出口部(213)；和过滤器部件(212)，以构成上述空气排出口部的外壁面的方式设置于该空气排出口部，用于过滤上述导入的空气，该空气洁净用过滤器单元以使上述空气导入口部与上述排气口相对的方式安装到上述作业室的外部。

[0066] 根据上述结构，排气构件所具备的空气洁净用过滤器单元设置为能够相对于从作业室排出的的空气的流路拆装，能够从流经该流路的空气中将在作业室使用的对人体有害的化学物质等截留在过滤器单元的内部。

[0067] 另外，经由在作业室开口的排气口，将空气洁净用过滤器单元直接从外部安装到作业室。由此，能够使从作业室排出的化学物质等在刚刚排出后就被有效地截留。

[0068] 另外，该排气口在作业室的底壁部开口为长条状，另一方面，过滤器单元的空气导入口也按照该排气口的形状构成为长条状。由此，过滤器单元的更换作业等维护的安全性和作业性提高。

[0069] 在此，空气洁净用过滤器单元为筒体和过滤器部件一体地构成。由于该过滤器部件的排气面构成空气排出口部的外壁面，因而过滤器部件的吸气面收容于筒体的内部。这样，本发明的空气洁净用过滤器单元结构简单，从而能够按该过滤器单元安装到从处理对人体有害的化学物质等的作业室排出的空气的流路。

[0070] 在上述过滤器单元中，将从作业室排出的含有化学物质等的空气从空气导入口部引导至该过滤器单元的内部。将引导至该过滤器单元的内部的空气从过滤器部件的吸气面吸入并过滤，从该过滤器部件的排气面排出到上述过滤器单元的外部。由此，通过上述过滤器部件过滤的化学物质等附着在该过滤器部件的吸气面上而被截留在上述过滤器单元的内部。

[0071] 接下来，更换上述过滤器单元时，通过封闭空气导入口部能够简单地密封该过滤器单元的内部。由此，能够防止被截留在上述过滤器单元的内部的化学物质等泄漏到外部环境。因此，通过按过滤器单元来更换上述过滤器单元，能够简单地进行过滤器更换作业，另外，通过该更换作业污染外部环境的危险性被抑制为较小。

[0072] 另外，如上所述，空气洁净用过滤器单元由筒体和过滤器部件构成，为简单的结构。因此，该过滤器单元制造成本变低，另外，按过滤器单元进行废弃时的废弃成本也变低。因此，包含这些制造成本及废弃成本在内的隔离装置的维护成本被抑制为较低。

[0073] 进一步，通过将空气导入口部开口为长条状，能够使该空气导入口部开口的第1壁部的形状为长条矩形，使其长边较长并将其短边抑制为较短。第2壁部与该第1壁部的长边侧的边界交叉，在该第2壁部设置有过滤器部件。

[0074] 因此，第1壁部的长边的长度左右过滤器部件的排气面的大小。另一方面，第1壁部的短边位于与过滤器部件的排气面交叉的方向上，该短边的长度左右过滤器单元的进深。因此，通过使第1壁部的形状为长条矩形，能够使过滤器单元的排气面的面积较大而进深较窄。

[0075] 由此，过滤器单元的形状变得紧凑，另一方面，能够使排气面的面积较大。因此，安装到从作业室排出的空气的排气路径时，场所的限制减少从而提高隔离装置设计上的自由度。

[0076] 另外，如上所述，过滤器部件的排气面构成空气排出口部的外壁面。该过滤器部件的排气面形成为平面，能够进行与通常的HEPA过滤器等的泄漏试验同样的扫描测试。由此，在上述过滤器单元本身的泄漏试验中，能够用现有的方法对该排气面进行基于扫描测试的完全性检查。

[0077] 因此，技术方案8所述的发明能够提供一种具备空气洁净用过滤器单元的隔离装置，所述空气洁净用过滤器单元应对隔离装置工作完成后的危险性，过滤器更换作业简单且通过该更换作业污染外部环境的危险性得以降低，另外，具有简单的结构且包含制造成本及废弃成本在内的隔离装置的维护成本低廉，进一步，能够实施基于扫描测试的完全性检查从而容易进行安全性的确认。

[0078] 另外，本发明根据技术方案9的记载，在技术方案8所述的隔离装置中，其特征在于，上述空气洁净用过滤器单元具备其他过滤器部件，上述筒体具有第3壁部，所述第3壁部形成为与上述第2壁部相对，并设置有用于排出上述导入空气的其他空气排出口部，上述其他过滤器部件在其排气面以构成上述其他空气排出口部的外壁面的方式设置于该其他空气排出口部，将上述过滤的空气排出。

[0079] 根据上述结构，空气洁净用过滤器单元在相对的两个壁部具有两个空气排出口部，在这些空气排出口部分别设置有过滤器部件。由此，能够获得较宽的过滤器单元的通风正面积，从而提高过滤器效率。换言之，减小过滤器单元所需要的过滤器容积，能够提供小型的过滤器单元。

[0080] 因此，在技术方案9所述的发明中，能够实现与技术方案8所述的发明同样的作用效果，并且能够提供具备过滤器效率良好的小型空气洁净用过滤器单元的隔离装置。

[0081] 另外，本发明根据技术方案10的记载，在技术方案8或9所述的隔离装置中，其特征在于，上述空气洁净用过滤器单元具备：封闭上述空气导入口部的能够拆装的盖体(216)；和垫片(216a)，气密性地安装于该盖体的外周缘部与上述空气导入口部的内周缘部之间。

[0082] 根据上述结构，过滤器单元的筒体具备封闭空气导入口部的盖体和将该盖体密封于空气导入口部的垫片。因此，从排气路径更换使用完的过滤器单元时，通过密封地安装该盖体，能够进一步抑制被截留在过滤器单元的内部的化学物质等泄漏到外部环境。

[0083] 因此，在技术方案10所述的发明中，能够进一步实现与技术方案8或9所述的发明同样的作用效果。

[0084] 另外，本发明根据技术方案11的记载，在技术方案8或9所述的隔离装置中，其特征在于，上述空气洁净用过滤器单元具备开关部件(516)，所述开关部件具有从上述空气导入口部的外周缘部向内侧延伸且能够开关地封闭该空气导入口部的多张可挠性薄片(516a、516b)。

[0085] 根据上述结构，代替技术方案10所述的可拆装的盖体，固定地设置具有可挠性薄片的开关部件。该开关部件通常处于封闭空气导入口部的状态，但该开关部件具有多张可挠性薄片，能够将这些可挠性薄片压弯从而打开空气导入口部。

[0086] 因此，将过滤器单元安装到排气流路而净化空气时，将该可挠性薄片压弯而打开空气导入口部。另一方面，从排气路径更换使用完的过滤器单元时，该可挠性薄片恢复而封闭空气导入口部。由此，能够进一步抑制截留在过滤器单元的内部的化学物质等泄漏到外部环境。

[0087] 因此，在技术方案11所述的发明中，能够进一步实现与技术方案8或9所述的发明同样的作用效果。

[0088] 此外，上述各构件的括号内的符号表示与后述的实施方式所述的具体的构件之间的对应关系。

附图说明

[0089] 图1是从侧面看本发明第1实施方式的隔离装置的内部的示意图。

[0090] 图2是从上面看图1所示的隔离装置的内部的示意图。

[0091] 图3是从侧面看现有的双层隔离装置的内部的示意图。

[0092] 图4是表示将空气吸引到图1所示的隔离装置的排气口的状况的示意图。

[0093] 图5是从侧面看将空气吸引到排气口的状况的示意图，(A)表示排气口在比隔壁的正下方靠向腔室的中央开口的情况，(B)表示排气口在隔壁的正下方开口的情况。

[0094] 图6是从侧面看将空气吸引到排气口的状况的示意图，(C)表示排气口在腔室前壁的下端部开口的情况，(D)表示排气口在从腔室前壁的下端部向腔室内部突出设置的排气管道的侧壁开口的情况。

[0095] 图7是表示图1所示的隔离装置的整流板的结构的分解立体图。

[0096] 图8是将图1的圆形部分E所示的整流板的安装部放大的局部剖视图。

[0097] 图9是从前面看本发明的第2实施方式的隔离装置的图，是沿图10所示的Y-Y线的剖视图。

[0098] 图10是从左侧面看图9所示的隔离装置的图，是沿图9所示的X-X线的剖视图。

[0099] 图11是俯视图9所示的隔离装置的图，是沿图10所示的Z-Z线的剖视图。

[0100] 图12是表示图9所示的隔离装置中组装的空气洁净用过滤器单元的实施方式2A的立体图。

[0101] 图13是表示从侧面看将图12所示的空气洁净用过滤器单元安装到箱体的状态的剖视图。

[0102] 图14是表示在图13所示的空气洁净用过滤器单元安装盖体的状态的局部剖视图。

[0103] 图15是表示图9所示的隔离装置中组装的空气洁净用过滤器单元的其他实施方式2B的立体图。

[0104] 图16是在图9所示的隔离装置中组装的空气洁净用过滤器单元的其他实施方式2C中表示液体密封件的部分的从侧面看的局部剖视图。

[0105] 图17是表示图9所示的隔离装置中组装的空气洁净用过滤器单元的其他实施方式2D的立体图。

[0106] 图18是表示将图17所示的空气洁净用过滤器单元安装到箱体之前的状态的从侧面看的剖视图。

[0107] 图19是表示将图17所示的空气洁净用过滤器单元安装到箱体的状态的从侧面看的剖视图。

[0108] 图20是表示图9所示的隔离装置中组装的空气洁净用过滤器单元的其他实施方式2E的立体图。

[0109] 图21是表示将图20所示的空气洁净用过滤器单元安装到箱体的状态的从侧面看的剖视图。

[0110] 图22是表示在图21所示的空气洁净用过滤器单元安装盖体的状态的局部剖视图。

具体实施方式

[0111] 下面，根据附图说明本发明的隔离装置的各实施方式。

[0112] 第1实施方式

[0113] 图1是从侧面看本发明的隔离装置的内部的示意图，隔离装置A由放置在地面上的架台B、和该架台B上装载的隔离器主体C构成。

[0114] 架台B周围被由不锈钢制金属板构成的壁材覆盖，其内部收容有四个(仅图示两个)排气用一次过滤器单元31(后述)、和电气设备及机械室(未图示)。

[0115] 隔离器主体C具备腔室10、供气机构20及排气机构30。

[0116] 腔室10由不锈钢制金属板的箱体构成，除限制的吸气口及排气口以外，与作业者D进行作业的外部环境气密性隔绝。该腔室10具备对内部进行清洗的清洗液用喷雾嘴和排水槽(均未图示)。

[0117] 图2是从上面看隔离装置A的内部的示意图，在腔室10的内部，在腔室10的前壁部10a及背壁部10b各自的内侧与两壁部10a、10b平行地分别配置有前隔壁11a及背隔壁11b。两隔壁11a、11b以使左右两端部分别与相对的腔室10的左右两侧壁部10c、10d抵接的方式被该两侧壁部10c、10d支撑。

[0118] 另外，两隔壁11a、11b的下端部分别与相对的腔室10的底壁部10e不抵接而设置有一定的空间。进一步，两隔壁11a、11b的上端部分别与在相对的腔室10的上壁部10f的下方设置的整流板23(后述)不抵接而设置有一定的空间(参照图1)。

[0119] 这样，通过在腔室10的内部设置的两隔壁11a、11b，将腔室10的内部空间12划分为两隔壁11a、11b之间的空间(以下称为中央空间12a)、和两隔壁11a、11b与前后两壁部10a、10b之间的两个空间(以下称为周边空间12b、12c)。

[0120] 在腔室10的前壁部10a设置透明的玻璃窗13，另外，在与前壁部10a平行地设置的前隔壁11a也设置透明的玻璃窗14。由此，站在腔室10的前面的作业者D能够经由玻璃窗13及玻璃窗14观察腔室10的内部(参照图1)。

[0121] 设于前壁部10a的玻璃窗13具有使外部与腔室10的内部空间12连通的两个作业用开口部13a。另外，设于前隔壁11a的玻璃窗14在与作业用开口部13a相对的位置具有使中央空间12a与周边空间12b连通的两个辅助开口部14a。通过安装框13b将树脂制的手套15的基端部分别气密性安装到各作业用开口部13a，进一步，通过辅助框14b将这些手套15安装到各辅助开口部14a而使前端部插入到中央空间12a中(参照图2)。

[0122] 在腔室10的左侧壁部10c的外侧，沿腔室10的左侧面朝上设置与收容于架台B中的四个排气用一次过滤器单元31连通的管道16(参照图2)。

[0123] 另外，在腔室10的底壁部10e，在各隔壁11a、11b的下端部的下方分别开口有各两个排气口18a～18d(参照图2)。这些排气口18a～18d沿各隔壁11a、11b的下端部的宽度方向设置为长条状，在比各隔壁11a、11b的下端部的正下方靠向中央的位置、即靠向中央空间12a形成。

[0124] 供气机构20具备：供气用鼓风机21，用于向腔室10内供给外气；供气用过滤器单元22，用于过滤从该供气用鼓风机21供给的空气；以及整流板23，用于对在腔室10的内部由供气用过滤器单元22过滤了的空气进行整流并向腔室10内供气(参照图1)。

[0125] 供气用鼓风机21经由在供气用过滤器单元22的上壁部开口的一次吸气口22a(未图示)与供气用过滤器单元22的外部侧连接。将从该供气用鼓风机21排出的空气供给到供气用过滤器单元22的内部空间。

[0126] 供气用过滤器单元22经由在腔室10的上壁部10f开口的二次吸气口17设置在腔室10的上部。该供气用过滤器单元22面向二次吸气口17而具备用于过滤从供气用鼓风机21供给的空气的HEPA过滤器22b。经由在HEPA过滤器22b的下部、腔室10的内部空间12的上部经整个面设置的整流板23，将被该HEPA过滤器22b净化了的空气供给到腔室10的内部空间12(参照图1)。

[0127] 整流板23在其表面具备连通表里的无数个细孔，使供给到腔室10的空气的流动均匀化。由此，从HEPA过滤器22b供气的空气经由整流板23形成在腔室10的内部空间12从上方朝向下方的单向流(所谓的层流)的空气。

[0128] 排气机构30具备：用于净化腔室10的内部空间12的空气的排气用一次过滤器单元31、排气用二次过滤器单元32及用于将被净化的空气排出到腔室10外部的排气用鼓风机33。

[0129] 如上所述，排气用一次过滤器单元31在架台B收容四个并经由在腔室10的底壁部10e开口的四个排气口18a～18d(参照图2)分别与腔室10连通。该排气用一次过滤器单元31具备用于过滤从排气口18a～18d排出的空气的HEPA过滤器31a。另外，在该排气用一次过滤器单元31，在架台B的前面及背面密封且可开关地设置有用于更换内部的HEPA过滤器31a的开关门31b(参照图1)。

[0130] 排气用二次过滤器单元32在腔室10的上部设置在供气用过滤器单元22的前部，经由管道16与排气用一次过滤器单元31连通。该排气用二次过滤器单元32具有用于再次过滤由排气用一次过滤器单元31过滤了的空气的HEPA过滤器32a。另外，该排气用二次过滤器单元32密封且可开关地设置有用于更换内部的HEPA过滤器32a的开关门32b(参照图1)。

[0131] 排气用鼓风机33与排气用二次过滤器单元32的上部开口部连通而设置在排气用二次过滤器单元32的上壁部。该排气用鼓风机33将通过排气用一次过滤器单元31及排气用二次过滤器单元32过滤后的洁净空气排出到腔室10的外部。

[0132] 在此，说明在如上构成的本第1实施方式的隔离装置A中工作时的空气的流动。

[0133] 首先，供气用鼓风机21及排气用鼓风机31起动后，如上所述，从供气用鼓风机21排出的空气在供气用过滤器单元22的内部空间中使得压力均匀化并被供给到HEPA过滤器22b。被该HEPA过滤器22b净化的空气经由整流板23形成在腔室10的内部空间12从上方朝向下方的单向流的空气。该整流板23的结构及作用将后述。

[0134] 图1用箭头表示腔室10内的气流。在图1中，经由整流板23供给到下方的被净化的空气中的大部分的空气，通过腔室10的内部空间12中的中央空间12a，形成从上方朝向下方的单向流的空气。由此，作业者D通过手套15进行作业的中央空间12a的空气沿从上方朝向下方的单向流从在腔室10的底壁部10e开口的排气口18a～18d排出。

[0135] 因此，隔离装置A作为无菌隔离器使用时，中央空间45a的无菌/无尘的空气从排气口18a～18d排出。另一方面，隔离装置A作为封入隔离器使用时，含有中央空间12a内的作业所使用的化学药品等的空气从排气口18a～18d排出。

[0136] 另外，经由整流板23供给到下方的被净化的空气中的其他空气，通过腔室10的内部空间12中的周边空间12b、12c，形成从上方朝向下方的单向流的空气。该周边空间12b、12c通过隔壁11a、11b与中央空间12a划分开，不进行作业者D的作业。

[0137] 因此，不仅在隔离装置A作为无菌隔离器使用时，在作为封入隔离器使用时也总是在该周边空间12b、12c流通洁净的空气。在该周边空间12b、12c流动的洁净空气沿从上方朝向下方的单向流从在腔室10的底壁部10e开口的排气口18a～18d排出。在这样的状态下，腔室10内的中央空间12a及周边空间12b、12c相对于外部总是维持正压。

[0138] 说明在如此构成的本第1实施方式的隔离装置中隔壁及排气口的作用效果。

[0139] (隔壁的作用效果)

[0140] 首先，考虑隔离装置A作为无菌隔离器使用的情况。从在腔室10的前壁部10a设置的接合部、例如从在作业用开口部13a设置的安装框13b发生泄漏，而使浮游菌等从外部侵入腔室10内时，该浮游菌等会沿在周边空间12b从上方朝向下方的洁净空气而从在腔室10的底壁部10e开口的排气口18a、18b排出。此时，周边空间12b通过隔壁11a与中央空间12a划分开，因安装框13b的泄漏而侵入的浮游菌等不会侵入到在无菌/无尘状态下进行作业的中央空间12a。

[0141] 同样地，隔离装置A作为无菌隔离器使用时，从在隔壁11a设置的接合部、例如从在辅助开口部14a设置的辅助框14b发生泄漏时，在周边空间12b从上方朝向下方的单向流的空气总是洁净的空气，即使因辅助框14b的泄漏而将空气泄漏到中央空间12a，也不会使无菌/无尘状态受到污染。

[0142] 另一方面，考虑隔离装置A作为封入隔离器使用的情况。从在隔壁11a设置的接合部、例如从在辅助开口部14a设置的辅助框14b发生泄漏，而使在中央空间12a使用的化学药品等泄漏到周边空间12b时，将该化学药品等会沿在周边空间12b从上方朝向下方的洁净空气而从在腔室10的底壁部10e开口的排气口18a、18b排出。此时，通过腔室10的前壁部10a将周边空间12b与外部环境气密性隔绝，从而从辅助框14b泄漏的化学药品等不会污染外部环境。

[0143] 同样地，隔离装置A作为封入隔离器使用时，从在腔室10的前壁部10a设置的接合部、例如从在作业用开口部13a设置的安装框13b发生泄漏时，在周边空间12b从上方朝向下方的单向流的空气总是洁净的空气，即使因安装框13b的泄漏而将空气泄漏到外部环境，也不会污染外部环境。

[0144] 这样，本第1实施方式的隔离装置A无论作为无菌隔离器还是作为封入隔离器，在任何情况下都能确保高度的安全性。

[0145] 在此，为了明确本第1实施方式的隔离装置A的作用效果，对现有的双层隔离装置的气流进行说明。图3是从侧面看现有的隔离装置F的内部的示意图。图3中用箭头表示腔室110内的气流。图3与图1相比，将两隔壁111a、111b的上端部与腔室110的上壁部110f抵接。另外，在腔室110的底壁部110e未设置排气口。

[0146] 由此，经由整流板123供给到腔室110内的空气仅在中央空间112a形成从上方朝向下方的单向流的空气。该仅在中央空间112a从上方朝向下方的单向流的空气，其流动方向在隔壁111a、111b的下端部逆转，而在周边空间112b、112c从下方流向上方，并经由排气用过滤器单元131、132通过排气用鼓风机133排出到外部。

[0147] 考虑该现有的隔离装置F作为无菌隔离器使用的情况。从在腔室110的前壁部110a设置的接合部、例如从在作业用开口部113a设置的安装框113b发生泄漏，而使浮游菌等从外部侵入腔室110内时，该浮游菌等沿着从中央空间112a供给、在周边空间112b从下方朝向上方的洁净空气，被排出到在腔室110的上部前方设置的排气用过滤器单元131、
132。此时，周边空间112b通过隔壁111a与中央空间112a划分开，因安装框113b的泄漏而侵入的浮游菌等不会侵入到在无菌/无尘状态下进行作业的中央空间112a。这是现有的双层隔离装置的作用效果。

[0148] 同样地，现有的隔离装置F作为无菌隔离器使用时，从在隔壁111a设置的接合部、例如从在辅助开口部114a设置的辅助框114b发生泄漏时，在周边空间112b从下方朝向上方的单向流的空气是从中央空间112a供给的洁净空气，即使因辅助框114b的泄漏而将空气泄漏到中央空间112a，也不会使无菌/无尘状态受到污染。这也是现有的双层隔离装置的作用效果。

[0149] 另一方面，考虑现有的隔离装置F作为封入隔离器使用的情况。从在腔室110的前壁部110a设置的接合部、例如从在作业用开口部113a设置的安装框113b发生泄漏时，从处理化学物质等的中央空间112a供给在周边空间112b从下方朝向上方的空气。即，在周边空间112b从下方朝向上方的空气总是包含化学物质等。由此，从安装框113b发生泄漏时，对人体有害的化学物质等会污染外部环境。因此，没有双层的效果，与通常的单层隔离装置没有改变，因此无法确保高度的安全性。

[0150] 这样，现有的隔离装置F即使作为无菌隔离器能够确保高度的安全性，作为封入隔离器也无法确保高度的安全性。

[0151] (排气口的作用效果)

[0152] 接下来，说明在腔室10的底壁部10e开口的排气口18a～18d的作用效果。在本第1实施方式中，如上所述，在腔室10的底壁部10e中比各隔壁11a、11b的下端部的正下方靠向中央空间12a地沿该下端部的长度方向设置有排气口18a～18d。

[0153] 在此，在图4中说明从腔室10内吸入到排气口18a～18d的气流。在隔壁11a的图示背面侧(中央空间12a)从上方流向下方的空气a1、a2被从隔壁11a的图示背面侧吸引到排气口18a，在隔壁11a的图示前面侧(周边空间12b)从上方流向下方的空气b1、b2被从隔壁11a的图示前面侧吸引到排气口18a。

[0154] 同样地，在隔壁11a的图示背面侧(中央空间12a)从上方流向下方的空气a3、a4被从隔壁11a的图示背面侧吸引到排气口18b，在隔壁11a的图示前面侧(周边空间12b)从上方流向下方的空气b3、b4被从隔壁11a的图示前面侧吸引到排气口18b。

[0155] 这样，在各隔壁11a、11b的下端部的下方、即从上方流向下方的单向流的空气的下游侧，沿该下端部的宽度方向将各排气口18a～18d设置为长条状，从而在中央空间12a及周边空间12b、12c从上方朝向下方的单向流的空气的流动方向不会发生变化，因此不会扰乱其层流状态便被吸引到各排气口18a～18d。

[0156] 接下来，说明在腔室10的底壁部10e的排气口18a～18d的位置。图5是从侧面看将腔室10内的空气吸引到排气口18a的状况的示意图。在图5(A)中，排气口18a在比隔壁11a的下端部的正下方靠向中央空间12a的位置开口。在该状态下，在周边空间12b从上方流向下方的空气c1不会扰乱其层流状态而被吸引到排气口18a。同样地，在中央空间12a从上方流向下方的空气c2、c3不会扰乱其层流状态而被吸引到排气口18a。

[0157] 在此，如上所述，中央空间12a为进行作业的空间，当然比周边空间12b占有更大的容积，流经中央空间12a的空气的流量比流经周边空间12b的空气的流量更多。因此，排气口18a在比隔壁11a的下端部的正下方靠向中央空间12a的位置开口时，排气口18a附近的气流不会扰乱其层流状态而非常稳定。

[0158] 另外，在图5(B)中，排气口18a在隔壁11a的下端部的正下方开口。在该状态下，在周边空间12b从上方流向下方的空气d1不会扰乱其层流状态而被吸引到排气口18a。同样地，在中央空间12a从上方流向下方的空气d2、d3不会扰乱其层流状态而被吸引到排气口18a。这样，排气口18a在隔壁11a的下端部的正下方开口时，排气口18a附近的气流也不会扰乱其层流状态而稳定。

[0159] 与此相对，在图6(C)中，排气口19a在腔室10的前壁部10a的下端部开口。在该状态下，在周边空间12b从上方流向下方的空气e1及在中央空间12a从上方流向下方的空气e2、e3被吸引到排气口19a，但由于流经中央空间12a的大量空气通过隔壁11a的下端部，因此认为在该下端部附近会产生轻微的乱流e4。但是，由于排气口19a在前壁部10a的下端部的较低位置开口，因而该乱流e4会被引入在周边空间12b从上方流向下方的空气e1而从排气口19a排出，并不会成为问题。

[0160] 另外，在图6(D)中，排气口19b在从腔室10的前壁部10a的下端部向腔室内部凸出设置的排气管道19的侧壁开口。在该状态下，在周边空间12b从上方流向下方的空气f1及在中央空间12a从上方流向下方的空气f2、f3虽然被吸引到排气口19b，但流经周边空间12b的空气f1会因隔壁11a的下端部和排气管道19的外壁导致其流路缩窄而使流速增加，没有消除排气口19b附近的气流扰乱的情况而被吸引到排气口19b。

[0161] 另外，根据本第1实施方式的结构，在隔离装置A的前壁部10a及背壁部10b分别设置隔壁11a、11b，在各隔壁11a、11b的下端部的下方分别开口排气口18a～18d。由此，在中央空间12a从上方朝向下方的单向流的空气分别在相对的两个方向的排气口(18a和18b、18c和18d)分开排出。因此，中央空间12a的空气能够不扰乱其层流状态而更加稳定地流动。

[0162] 另外，根据本第1实施方式的结构，在各隔壁11a、11b的下端部的下方设置的各排气口分别由两个开口部(18a和18b、18c和18d)构成。但是，各排气口对一个隔壁并不限定于两个开口部，也可以由一个开口部构成，或者，也可以由三个以上的开口部分开构成。此时优选，这些开口部的长度方向的开口长度的总计在预定的长度以上。

[0163] 在本第1实施方式中，如图2所示，在设于隔壁11a的下端部的下方的两个排气口中，排气口18a的开口长度(Y1)和排气口18b的开口长度(Y2)的总和(Y1+Y2)相对于隔壁11a的下端部的宽度方向的长度(Z)为60%。

[0164] 另一方面，在设于隔壁11b的下端部的下方的两个排气口中，排气口18c的开口长度(Y3)和排气口18d的开口长度(Y4)之和(Y3+Y4)相对于隔壁11b的下端部的宽度方向的长度(Z)为60%。

[0165] 在此优选，对于各隔壁，在其下端部设置的各排气口的开口长度的总和相对于隔壁的下端部的宽度方向的长度为50%～100%的比例，另外，更优选为60%～100%的比例。由此，沿隔壁流动的空气，其方向不会发生较大改变而从排气口排出，并且腔室10内的空气能够不扰乱其层流状态而更加稳定地流动。

[0166] 由此，在本第1实施方式中，能够提供一种应对隔离装置工作时的危险性、具有简单的结构且能够确保高安全性的隔离装置，其作为无菌隔离器能够维持高度的无菌/无尘状态，并且作为封入隔离器能够高度防止化学物质、微生物等泄漏到外部环境。

[0167] (整流板的结构及作用效果)

[0168] 接下来，根据图7及图8说明在本第1实施方式的隔离装置A中使在中央空间12a及周边空间12b、12c从上方朝向下方的单向流的空气更加稳定地被供给的整流板23的结构及作用。

[0169] 如上所述，整流板23在HEPA过滤器22b的下部且在腔室10的内部空间12的上部经整个面设置(参照图1)。该整流板23由不锈钢制金属的矩形框体24和以覆盖该框体24的上面及底面的方式粘贴到框体24的网纱25a、25b构成(参照图8)。

[0170] 框体24以覆盖腔室10的内部的横截面形状(参照图2)的周缘部的方式将四根矩形管24a组装成矩形。构成该框体的矩形管24a具备从其上面贯通至底面的多个贯通口24b。另外，用于承接框体24的底面并将其架设到腔室10的侧壁部10a～10d的承接部件
26由截面为L字形的不锈钢制金属板构成，在其底板26a上与贯通口24b相对的位置具备同样的贯通口26b(参照图7)。这些贯通口24b及贯通口26b的作用将后述。

[0171] 网纱25a、25b为一般由合成纤维长纤维构成的织物，通过该织物的经纱和纬纱的间隙形成连通表里的无数个细孔。由此，通过整流板23的空气经这些无数个细孔整理其流动，在腔室10的内部空间12形成从上方朝向下方的稳定的单向流的空气。

[0172] 形成该网纱25a、25b的合成纤维长纤维的丝径优选为30～200μm，孔径优选为30～200μm。另外，网纱25a、25b的材料可以任意，但在本第1实施方式中使用聚乙烯纱。

[0173] 将这样构成的整流板23与从框体24的底面承接该框体24的承接部件26一起架设到腔室10的上部。首先，承接部件26承载在部分地设置于腔室10的周壁部10a～10d的上部的小型横梁10g上(参照图2)，通过紧固件26d将其铅垂板26c气密性地固定到腔室10的周壁部10a～10d。从上方将整流板23气密性地装载到该承接部件26的Ｌ字部。此时，以使彼此的贯通口24b、26b连通的方式固定整流板23和承接部件26。根据这样的结构，容易进行整流板23的清洗及更换。

[0174] 这样，在腔室10的内部空间12的上方架设整流板23，考虑通过该整流板23将洁净的空气供给到内部空间12的情况。如图8所示，在不存在矩形管24a的部分(以下称为整流板23的中央部分)和存在矩形管24a的部分(以下称为整流板23的周缘部分)，空气的通过状态不同。

[0175] 在整流板23的周缘部分，若未在矩形管24a开口贯通口24b，则空气无法从该部分通过。另外，在该整流板23的周缘部分的下方，存在通过隔壁11a划分的周边空间12b。由此，在腔室10内的中央空间12a和周边空间12b之间空气的流量不同。此时，流经中央空间12a和周边空间12b的空气的状态可能会产生差异，若在腔室10的下方扰乱空气的层流状态，则难以确保隔离装置A的高安全性。

[0176] 因此，在本第1实施方式中，如上所述，在框体24的矩形管24a及承接部件26设置从上面贯通至底面的贯通口24b、26b(参照图8)。由此，由于空气也从贯通矩形管24a和承接部件26的贯通口24b、26b的部分通过，因此也能够将空气供给到整流板23的周缘部分的下方。

[0177] 但是，为了维持框体24的强度，能够在矩形管24a开口的贯通口24b的开口率存在界限。因此，增多来自贯通口24b、26b的部分的空气的流量，使来自整流板23的整个周缘部分的空气的流量(表观的流量)接近来自整流板23的中央部分的空气的流量。因此，整流板23的中央部分和周缘部分(贯通口的部分)的网纱的覆盖张数存在差别。即，在整流板23的中央部分，在上面及底面覆盖两张网纱25a、25b，另一方面，在周缘部分(贯通口的部分)，仅在底面开口部覆盖一张网纱25a(参照图8)。

[0178] 由此，整流板23的贯通口部分的空气的通过阻力比整流板23的中央部分的空气的通过阻力小，贯通口24b部分的空气的流速比中央部分的空气的流速大。其结果是，贯通口24b部分的空气的流量比中央部分的空气的流量多。因此，整流板23的中央部分的空气的流量与周缘部分的空气的流量(表观的流量)的差别变小。由此，通过整流板23的空气从整个整流板23成为在腔室10的内部空间12从上方朝向下方的单向流的空气而稳定地流动，从而腔室内的层流状态更加稳定且能够维持高安全性。

[0179] 进一步，通过调节与矩形管24a的底面的面积相对的贯通口24b的开口率，从而能够确保更高的安全性。在该方法中，将通过只覆盖了网纱25a的贯通口24b的底面部(网纱为一层的部分)的空气的流速设为V1，将通过覆盖了网纱25a及网纱25b的部分(网纱为两层的部分)的空气的流速设为V2时，通过下式求出贯通口24b的开口率X(%)：

[0180] X=(V2/V1)×100。

[0181] 由此，设计整流板23时，通过测定网纱为一层的部分的空气的流速和网纱为两层的部分的空气的流速，能够更加正确地调节整流板23的中央部分的空气的流量和周缘部分的空气的流量(表观的流量)。其结果是，通过整流板23的空气从整个整流板23成为在腔室10的内部空间12从上方朝向下方的单向流的空气而更加稳定地流动。

[0182] 第2实施方式

[0183] 根据附图说明本发明的隔离装置的第2实施方式。如图9～图11所示，隔离装置A由放置在地面上的架台B、和该架台B上装载的隔离器主体C构成。

[0184] 架台B周围被由不锈钢制金属板构成的壁材覆盖，其内部收容有用于安装空气洁净用过滤器单元210(以下称为过滤器单元210)的四个箱体220、和电气设备及机械室230。在该架台B的前面及背面密封且可开关地设置有用于从各箱体220更换过滤器单元
210的开关门221。

[0185] 四个箱体220中，在图9中，在架台B的前面侧收容的两个箱体220相互连通，在架台B的背面侧收容的两个箱体220相互连通。

[0186] 隔离器主体C具备腔室240、供气机构250及排气用机构260。

[0187] 腔室240由不锈钢制金属板的箱体构成，与作业者进行作业的外部环境气密性隔绝，该腔室240具备清洗内部的清洗液用喷雾嘴和排水槽(均未图示)。

[0188] 在腔室240的前面及背面的两壁部241a分别设置能够观察内部的透明的玻璃窗242。另外，在腔室240的内部，在各玻璃窗242的内侧分别与玻璃窗242平行地配置有玻璃隔壁243。各玻璃隔壁243在使上下左右的各端部243a～243c不与分别相对的壁面
241b～241e抵接而保持一定的距离的状态下被四个支撑件244从前面及背面的两壁部
241a支撑。由此，将腔室240的内部空间245划分为中央空间245a和前面及背面的两个周边空间245b。

[0189] 各玻璃窗242分别具有使外部与腔室240的内部空间245连通的两个作业用开口部246。另外，各玻璃隔壁243在与作业用开口部246相对的位置分别具有使中央空间245a与周边空间245b连通的两个辅助开口部247。通过安装框246a将树脂制的手套248的基端部分别气密性安装到各作业用开口部246，进一步，再通过辅助框247a将这些手套248安装到各辅助开口部247而将其前端部配置到中央空间245a。

[0190] 在腔室240的右侧面的壁部241b密封且可开关地设置有用于向腔室240内搬入设备及维护内部的开关门241(参照图11)。另外，在腔室240的左侧面的壁部241c的外侧，沿腔室240的左侧面朝上设置与收容于架台B的四个箱体220连通的管道249(参照图9)。

[0191] 供气机构250具备：供气用鼓风机251，用于向腔室240内供给外气；供气用过滤器252，用于过滤从该供气用鼓风机251供给的空气；以及整流板253，用于对过滤的空气进行整流并向腔室240内供气。

[0192] 供气用鼓风机251经由在腔室240的上壁部241d开口的吸气口254(未图示)与腔室240的外部侧连接。该供气用鼓风机251吸入外部的空气，从该供气用鼓风机251排出的空气供给到供气用过滤器252。

[0193] 供气用过滤器252设置在腔室240的内部空间245的上部，由用于过滤从供气用鼓风机251供给的空气的HEPA过滤器构成。经由在供气用过滤器252的下部且在腔室240内的上部经整个面设置的整流板253，将被该供气用过滤器252净化的空气供给到腔室240的内部空间245。

[0194] 该整流板253具有多个空气通过孔而使气流均匀化。由此，从供气用过滤器252供给的空气经由整流板253形成在腔室240的内部空间245从上方朝向下方的单向流(所谓的层流)的空气。

[0195] 排气机构260具备用于净化腔室240的内部空间245的空气的过滤器单元210、和用于将被该过滤器单元210净化的空气经由箱体220及管道249排出到腔室240的外部的排气用鼓风机261。

[0196] 过滤器单元210安装在经由在腔室240的底壁部241e开口的排气口262与腔室240连通的箱体220内。该过滤器单元210的结构及在箱体220内的安装状态将后述。

[0197] 排气用鼓风机261与管道249的上部开口部连通而设置在腔室240的上壁部241d的外侧、供气用鼓风机251的背面侧。该排气用鼓风机261将经由箱体220及管道249送来的空气排出到腔室240的外部。

[0198] (空气洁净用过滤器单元的实施方式2A)

[0199] 在此，说明过滤器单元210的结构。在图12中，过滤器单元210为内部具有空洞的矩形筒体，具备由不锈钢制金属板构成的筒体211和两个HEPA过滤器212。

[0200] 筒体211由顶板211a、底板211b及两张横板211c构成，其前面和背面分别作为空气排出口部213而矩形状地开放。另外，在顶板211a上设置有沿空气排出口部213的面与顶板211a交叉的边界线211d开口为长条状的空气导入口部214。

[0201] 两个HEPA过滤器212由以下部件构成：将由玻璃纤维构成的滤材折弯成波状而形成的过滤器212a；和保持该过滤器212a的周缘部的矩形外框212b。两个HEPA过滤器212分别以覆盖空气排出口部213的方式以外框212b的外缘部固定于筒体211的内缘部。

[0202] 由此，两个HEPA过滤器212以使彼此的吸气面212c朝向过滤器单元210的内侧且彼此相对的方式并行排列。另一方面，两个HEPA过滤器212使彼此的排气面212d朝向过滤器单元210的外侧，通过这些排气面212d构成过滤器单元210的前面和背面的外壁面。

[0203] 另外，过滤器单元210具备作为环状的密封部件的橡胶制的垫片215，其环绕在顶板211a上开口的空气导入口部214。

[0204] 接下来，说明将如上构成的过滤器单元210安装到箱体220内的状态。图13是从侧面看安装有过滤器单元210的箱体220的剖视图。

[0205] 在图13中，箱体220由不锈钢制金属板的箱体构成，如上所述，收容于架台B。箱体220的上壁部220a是与腔室240的底壁部241e共用的壁部，如上所述，在箱体220的前面的壁部220b密封且可开关地设置有用于从箱体220更换过滤器单元210的开关门221。

[0206] 如上所述，箱体220与相邻的箱体220连通，并且与管道249连通，形成从在腔室240的底壁部241e(与箱体220的上壁部220a对应)开口的排气口262朝向排气用鼓风机
261的排气流路(参照图9)。

[0207] 在开口于箱体220的上壁部220a的排气口262的周缘部形成有环状的上方延伸部262a和环状的下方延伸部262b，其中，所述上方延伸部262a在周缘部的全周向腔室240侧(上方侧)延伸，所述下方延伸部262b在周缘部的全周向箱体220侧(下方侧)延伸。

[0208] 在箱体220的底壁部220c设置有配置于排气口262的下方部并用于将过滤器单元210推压到排气口262的两个单元推压件222(参照图9及图13)。该单元推压件222由承接过滤器单元210的下端部的承接部件222a和使该承接部件222a丝杠式上下移动的可动部件222b构成。

[0209] 在这样构成的箱体220内，将过滤器单元210安装为使空气导入口部214与排气口262相对并使垫片215沿下方延伸部262b的外周部与箱体220的上壁部220a抵接。此时，过滤器单元210的下端部被承接部件222a承接并由可动部件222b向上方推压，过滤器单元210经由其空气导入口部214通过垫片215密封地安装到排气口262。

[0210] 在此，说明如上构成的本第2实施方式的隔离装置A中工作时的气流。

[0211] 在图10中，供气用鼓风机251及排气用鼓风机261起动后，如上所述，从供气用鼓风机251排出的空气供给到供气用过滤器252。被该供气用过滤器252净化的空气经由整流板253形成在腔室240的内部空间245从上方朝向下方的单向流的空气。

[0212] 换言之，经由整流板253供给到下方的被净化的空气中的大部分的空气，通过腔室240的内部空间245中的中央空间245a，形成从上方朝向下方的单向流的空气。由此，在中央空间245a内的作业所使用的化学药品等通过中央空间245a沿从上方朝向下方的单向流从排气口262排出。

[0213] 另一方面，经由整流板253供给到下方的被净化的空气中的其他空气，通过腔室240的内部空间245中的周边空间245b，形成从上方朝向下方的单向流的空气。该周边空间245b通过玻璃隔壁243与中央空间245a划分开，不直接进行使用化学药品等的作业。因此，在周边空间245b内流通被净化的空气。由此，即使在手套248的安装框246a等处发生泄漏时，中央空间245a内的化学药品等也不会泄漏到腔室240的外部。

[0214] 这样，通过排气用鼓风机261的吸引，将流经内部空间245a及周边空间245b的各单向流的空气从在腔室240内设置的四个排气口262(参照图11)排出到腔室240外。

[0215] 从排气口262排出到腔室240外的空气包含中央空间245a内的作业所使用的化学药品等。如图10及图13所示，从排气口262排出的空气从密封地安装到排气口262的过滤器单元210的空气导入口部214导入至过滤器单元210的内部空间。导入至该过滤器单元210的内部的空气被从两个HEPA过滤器212的吸气面212c吸引，被这些HEPA过滤器212净化后，从两个HEPA过滤器212的排气面212d排出到箱体220内。

[0216] 从过滤器单元210的排气面212d排出的被净化的空气从箱体220的内部通过管道249，通过排气用鼓风机261的吸引而排出到腔室240的外部(参照图9)。

[0217] 这样使用的过滤器单元210使大量化学药品等附着到其内部的空间及HEPA过滤器212的吸气面212c上。在此，对将该使用完的过滤器单元210从箱体220拆下的作业进行说明。

[0218] 首先，停止供气用鼓风机251及排气用鼓风机261，使用清洗液用喷雾嘴(未图示)清洗腔室240的内部。另外，清洗排出口262的周边，实施使处于过滤器单元210内部的HEPA过滤器212的吸气面212c湿润的加湿操作(wet down)。通过该加湿操作能够防止大量附着在HEPA过滤器212的吸气面212c的化学物质等的飞散。

[0219] 接下来，将盖体216从腔室240的内部安装到过滤器单元210的空气导入口部214(参照图14)。该盖体216具有在全周环绕其外周缘的橡胶制的垫片216a。通过垫片
216a将该盖体216密封地安装到在空气导入口部214设置的安装槽214a。由此，将被化学物质等污染的过滤器单元210的内部密封，从而内部的化学物质等不会泄漏到外部环境。

[0220] 在这样将过滤器单元210的内部密封的状态下，打开箱体220的开关门221，将向上方推压过滤器单元210的可动部件222b的螺丝拧松，将承接部件222a拉到下方从而将过滤器单元210从排气口262拆下。

[0221] 在如上构成的本第2实施方式的隔离装置A中组装的过滤器单元的实施方式2A中，筒体与两个HEPA过滤器成为一体而构成过滤器单元。该两个HEPA过滤器的排气面均构成空气排出口部的外壁面。另一方面，两个HEPA过滤器的吸气面均收容在筒体的内部。这样，本实施方式2A的过滤器单元结构简单，按该过滤器单元安装到与处理对人体有害的化学物质等的隔离装置的腔室的排气口连通设置的箱体。

[0222] 在上述过滤器单元中，将从腔室的排气口排出的包含化学物质等的空气从空气导入口部引导至该过滤器单元的内部。将引导至该过滤器单元的内部的空气从两个HEPA过滤器的吸气面吸入并过滤，从这两个HEPA过滤器的排气面排出到过滤器单元的外部。由此，通过两个HEPA过滤器过滤的空气中包含的化学物质等附着在这两个HEPA过滤器的吸气面而被截留在过滤器单元的内部。

[0223] 接下来，更换上述过滤器单元时，通过用盖体关闭空气导入口部能够简单地密封过滤器单元的内部。由此，能够防止被截留在过滤器单元内部的化学物质等泄漏到外部环境。因此，通过按过滤器单元来更换过滤器单元，能够简单地进行过滤器更换作业，另外，通过该更换作业将污染外部环境的危险性抑制为较小。

[0224] 另外，在本第2实施方式的隔离装置A中组装的过滤器单元的实施方式2A中，如上所述，为由筒体和两个HEPA过滤器构成的简单的结构。因此，该过滤器单元的制造成本变低，另外，按过滤器单元进行废弃时废弃成本也变低。因此，将包含这些制造成本及废弃成本在内的隔离装置的维护成本抑制为较低。

[0225] 另外，根据本第2实施方式的隔离装置A中组装的过滤器单元的实施方式2A，通过将空气导入口部开口为长条状，能够使该空气导入口部开口的顶板的形状为长条矩形，使其长边较长并将其短边抑制为较短。各HEPA过滤器的排气面在该顶板的长边侧的两个边界交叉。因此，顶板的长边的长度左右HEPA过滤器的排气面的大小。另一方面，顶板的短边位于与两个HEPA过滤器的排气面交叉的方向上，该短边的长度左右过滤器单元的进深。因此，通过使顶板的形状为长条矩形而使长边较长、短边较短，能够使过滤器单元的排气面的面积较大且使进深较窄。

[0226] 由此，过滤器单元的形状变得紧凑，与该紧凑的形状相对，能够使排气面的面积较大。因此，安装到从腔室排出的空气的排气路径时，场所的限制减少从而提高隔离装置设计上的自由度。由此，在本实施方式2A中，能够在腔室的下部设置箱体，并在隔离装置的架台收容四个该箱体。

[0227] 进一步，根据本实施方式2A，过滤器单元具备两个HEPA过滤器。这样，如上所述，通过使用两个HEPA过滤器，能够获得较宽的过滤器单元的通风正面积，从而提高过滤器效率。因此，减小过滤器单元所需要的过滤器容积，能够提供小型的过滤器单元。

[0228] 另外，如上所述，两个HEPA过滤器的排气面构成空气排出口部的外壁面。该HEPA过滤器的排气面形成为平面，能够实施与通常的HEPA过滤器等的泄漏试验同样的扫描测试。由此，在上述过滤器单元本身的泄漏试验中，能够对两个排气面直接进行扫描测试，能够用现有的方法对过滤器单元进行完全性检查。

[0229] 另一方面，在具备上述过滤器单元的本第2实施方式的隔离装置中，由供气机构供给在腔室的内部从上方朝向下方的单向流的空气。另外，在该腔室的内部，在沿上述单向流的气流的方向上设置有隔壁。该隔壁与周壁部平行地形成，将腔室的内部空间划分为中央空间和周边空间。因此，在腔室内从上方朝向下方的单向流的空气分为在中央空间从上方朝向下方的单向流的空气和在周边空间从上方朝向下方的单向流的空气而流动。

[0230] 另外，在腔室内处理的化学物质等在中央空间内进行处理，并被流经该中央空间内的单向流的空气引导至排气口。另一方面，由于在周边空间中不处理化学物质等，因而在该周边空间总是流通洁净的单向流的空气。因此，即使因某种原因导致腔室内的空气泄漏到外部环境，因存在该周边空间，在腔室内处理的化学物质等也不会泄漏到外部环境。

[0231] 另外，在腔室的底壁部设置的排气口沿隔壁的下端部的宽度方向开口为长条状。因此，在中央空间及周边空间从上方流向下方的各单向流的空气不被扰乱而从该排气口排出。净化从这样构成的安全性较高的腔室排出的空气时，通过采用上述过滤器单元，能够确保更加高度的安全性。

[0232] 另外，在现有的隔离装置中，为了降低更换过滤器时的风险而在排气路径中采用多个过滤器。但是，在上述过滤器单元的更换作业中，高度防止了过滤的化学物质等的泄漏。因此，在本第2实施方式的隔离装置中，通过采用一个过滤器单元就能够降低更换过滤器时的风险。更换的过滤器单元为一个即可，这对隔离装置设计及维护成本的方面有利。

[0233] (空气洁净用过滤器单元的实施方式2B)

[0234] 接下来，说明本发明的过滤器单元的实施方式2B。如图15所示，过滤器单元310为内部具有空洞的矩形筒体，具备由不锈钢制金属板构成的筒体311和一个HEPA过滤器212。

[0235] 筒体311由顶板311a、底板311b、两张横板311c及背板311d构成，其前面作为空气排出口部213而矩形状地开放。另外，在顶板311a上设置有沿空气排出口部213的面与顶板311a交叉的边界线311e开口为长条状的空气导入口部214。

[0236] HEPA过滤器212与上述实施方式2A结构相同。该HEPA过滤器212以覆盖空气排出口部213的方式以外框212b的外缘部固定于筒体311的内缘部。

[0237] 由此，HEPA过滤器212以使吸气面212c朝向过滤器单元310的内部且与背板311d相对的方式并行排列。另一方面，HEPA过滤器212使排气面212d朝向过滤器单元310的外侧，通过该排气面212d构成过滤器单元310的前面的外壁面。

[0238] 另外，过滤器单元310具备作为环状的密封部件的橡胶制的垫片215，其环绕在顶板311a上开口的空气导入口部214。

[0239] 将如上构成的过滤器单元310安装到箱体220内的状态与上述实施方式2A相同。

[0240] 如上构成的本实施方式2B的过滤器单元在仅具有一个HEPA过滤器这一点上，与具备两个HEPA过滤器的上述实施方式2A的过滤器单元不同。这意味着过滤器单元的排气面积减小，处理的空气的容量减少。但是，除此之外，与上述实施方式2A的过滤器单元没有变化。

[0241] 因此，本实施方式2B的过滤器单元在处理的空气的容量较少的情况下、隔离装置设计上的原因、或者需要更加小型且更加廉价的过滤器单元的情况下有效。另外，因HEPA过滤器的排气面为一面，因而更加易于进行泄漏试验的扫描测试。

[0242] (空气洁净用过滤器单元的实施方式2C)

[0243] 接下来，说明本发明的过滤器单元的实施方式2C。过滤器单元410与上述实施方式2A的过滤器单元210结构相同。但是，代替垫片215，具备液体密封件415(参照图16)。该液体密封件415由密封凸部415a、密封凹部415b及填充在它们之间的密封剂415c构成。

[0244] 图16表示过滤器单元410使其空气导入口部214对准与在箱体220的上壁部220a开口的排气口262相对的位置而安装的状态。在排气口262的周缘部形成有上方延伸部262a，其在周缘部的全周向腔室240侧(上方侧)延伸。另一方面，无在上述实施方式2A中设置的下方延伸部262b，作为其替代，在比排气口262的周缘部向外侧离开的位置形成环状的密封凸部415a，其环绕排气口262并向箱体220侧(下方侧)延伸。

[0245] 另外，过滤器单元410具备环状的密封凹部415b，其环绕在顶板411a上开口的空气导入口部214且截面为凹状。在该密封凹部415b的槽中填充液体有机硅等密封剂415c。

[0246] 如图16所示，在箱体220内使空气导入口部214与排气口262相对，并将密封凸部415a插入密封凹部415b的环状的槽中，从而通过单元推压件222(未图示)将这样构成的过滤器单元410推起。

[0247] 此时，由于密封凸部415a在全周浸入密封凹部415b的槽中填充的密封剂415c中，因而排气口262与空气导入口部414密封性连通。由此，从排气口262导入至过滤器单元410的空气被引导到过滤器单元410的内部，并通过HEPA过滤器212除去化学物质等。

[0248] 如上构成的本实施方式2C的过滤器单元在为了使其空气导入口部与腔室的排气口密封性连通而使用液体密封件作为密封部件这一点上，与使用垫片的上述实施方式2A及实施方式2B的过滤器单元不同。但是，除此之外，与上述实施方式2A及实施方式2B的过滤器单元没有变化。

[0249] (空气洁净用过滤器单元的实施方式2D)

[0250] 接下来，说明本发明的过滤器单元的实施方式2D。过滤器单元510与上述实施方式2A的过滤器单元210结构相同。但是，代替在过滤器单元210的空气导入口部214安装的盖体216，设置为可挠性的橡胶薄片516封闭空气导入口部214(参照图17)。

[0251] 如图17所示，橡胶薄片516由两片大致梯形的橡胶薄片516a和两片大致三角形的橡胶薄片516b构成，在被过滤器单元510的顶板511a和橡胶制的垫片215夹持的状态下固定而一体化。在该固定的状态下，在橡胶薄片516的中央部形成沿空气导入口部214的长度方向的一条狭缝516c和从该狭缝的两端部朝向周缘部的四条狭缝516d。

[0252] 在此，作为用于可挠性的橡胶薄片516的橡胶，只要具有可挠性即可。此外，在本实施方式2D中，橡胶薄片516使用3mm厚的硅橡胶薄片。

[0253] 接下来，说明将如上构成的过滤器单元510安装到箱体220内的状态。图18是从侧面看安装过滤器单元510之前的箱体220的剖视图。

[0254] 箱体220如图18所示，在箱体220的上壁部220a开口的排气口262的开口宽度与上述实施方式2A相比变窄，另外，在排气口262的周缘部设置的下方延伸部262b的延伸长度与上述实施方式2A相比变长。

[0255] 由此，将过滤器单元510安装到排气口262时，下方延伸部262b将橡胶薄片516压弯并插入到过滤器单元510的空气导入口部214的内部。下面说明该状态。

[0256] 在图18中，过滤器单元510使其下端部被单元推压件222的承接部件222a承接而配置在排气口262的下方。此时，承接部件222a处于被可动部件222b拉到下方的状态，过滤器单元510的空气导入口部214未安装到排气口262。

[0257] 接下来，如图19所示，旋转单元推压件222的可动部件222b的螺丝而将承接部件222a推到上方后，排气口262的下方延伸部262b将橡胶薄片516向下方压弯并插入到过滤器单元510的空气导入口部214的内部。此时，橡胶薄片516被插入到空气导入口部214的内周部和下方延伸部262b的外周部之间而起到密封材料的作用。

[0258] 在该状态下，过滤器单元510安装为使空气导入口部214与排气口262相对且将垫片215与箱体220的上面的壁部220a抵接。此时，过滤器单元510的下端部被承接部件222a承接并被可动部件222b向上方推压，过滤器单元510经由该空气导入口部214而通过垫片215密封地安装到排气口262。

[0259] 在上述那样的状态下使用的过滤器单元510使大量化学药品等附着到其内部空间及HEPA过滤器212的吸气面212c上。因此，将该使用完的过滤器单元510从箱体220拆下时，如上所述实施加湿操作。

[0260] 此外，在过滤器单元510中，与上述实施方式2A不同，不将盖体216安装到空气导入口部214，而是打开箱体220的开关门221，将向上方推压过滤器单元510的可动部件222b的螺丝拧松，将承接部件222a拉到下方从而将过滤器单元510从排气口262拆下。

[0261] 此时，被下方延伸部262b向下方压弯的橡胶薄片516恢复到封闭空气导入口部214的位置。由此，将被化学物质等污染的过滤器单元510的内部密封，内部的化学物质等不会泄漏到外部环境。

[0262] 如上述构成的本实施方式2D的过滤器单元空气导入口部固定地具备可挠性的橡胶薄片，在这一点上与具备可拆装的盖体从而密封过滤器单元的内部的上述实施方式2A～实施方式2C的过滤器单元不同。该可挠性的橡胶薄片由四张橡胶薄片组成，通常处于封闭空气导入口部的状态，但通过将这些橡胶薄片压弯就能够打开空气导入口部。

[0263] 因此，将过滤器单元安装到箱体而净化空气时，将该可挠性的橡胶薄片压弯而打开空气导入口部。另一方面，从箱体更换使用完的过滤器单元时，该可挠性的橡胶薄片恢复而封闭空气导入口部。由此，能够抑制被截留在过滤器单元的内部的化学物质等泄漏到外部环境。

[0264] (空气洁净用过滤器单元的实施方式2E)

[0265] 接下来，说明本发明的过滤器单元的实施方式2E。过滤器单元610与上述实施方式2A的过滤器单元210结构相同。但是，在开口于过滤器单元610的顶板611a的空气导入口部214的周缘部设置有环状的安装口部217，其由在周缘部的全周向上方延伸的不锈钢制金属板构成(参照图20)。

[0266] 接下来，说明将如上构成的过滤器单元610安装到箱体220内的状态。图21是从侧面看安装有过滤器单元610的箱体220的剖视图。

[0267] 在与上述实施方式2A结构相同的箱体220中，过滤器单元610使空气导入口部214与排气口262相对，将安装口部217沿下方延伸部262b的内周部插入排气口262，并且将垫片215沿下方延伸部262b的外周部与箱体220的上壁部220a抵接。此时，过滤器单元610的下端部被承接部件222a承接并被可动部件222b向上方推压，过滤器单元610经由该空气导入口部214通过垫片215密封地安装到排气口262。

[0268] 另外，更换过滤器单元610时，通过垫片216a将与上述实施方式2A相同的盖体216密封地安装到在安装口部217设置的安装槽217a。由此，将被化学物质等污染的过滤器单元610的内部密封，内部的化学物质等不会泄漏到外部环境。

[0269] 如上构成的本实施方式2E的过滤器单元在空气导入口部设置有由不锈钢制金属板构成的环状的安装口部，在这一点上与未设置该安装口部的上述实施方式2A～实施方式2D的过滤器单元不同。

[0270] 因此，将过滤器单元安装到箱体时，能够将该安装口部沿下方延伸部的内周部插入到排气口中，过滤器单元相对于箱体的安装稳定。另外，由于安装盖体的安装口部的延伸端部延伸至下方延伸部，因而易于进行盖体的安装。由此，过滤器单元的更换作业变得更加简单。

[0271] 如上所述，在上述第2实施方式中，能够提供一种具备空气洁净用过滤器单元的隔离装置，所述空气洁净用过滤器单元应对隔离装置工作完成后的危险性，过滤器更换作业简单且通过该更换作业污染外部环境的危险性降低，另外，具有简单的结构且包含制造成本及废弃成本在内的隔离装置的维护成本低廉，进一步，能够实施基于扫描测试的完全性检查从而容易进行安全性的确认。

[0272] 此外，实施本发明时，不限于上述各实施方式，列举如下的各种变形例。

[0273] (1)在上述各实施方式中，在腔室的前面及背面设置两个隔壁，但在腔室中设置的隔壁的数量并不限定于此，可以仅设置一面，或者，也可以设置三面、四面。

[0274] (2)在上述第1实施方式中，构成整流板的框体的框材使用中空的矩形管，但并不限定于此，代替矩形管可以使用矩形金属棒等。另外，截面形状也可以不为矩形。

[0275] (3)在上述第1实施方式中，在构成整流板的框体的矩形管开口的贯通口的形状为椭圆，但并不限定于此，圆形或矩形等任何形状均可。

[0276] (4)在上述第1实施方式中，在构成整流板的框体的矩形管形成贯通口，但并不限定于此，也可以使用上面及底面均由冲孔板构成的矩形管。

[0277] (5)在上述第1实施方式中，作为整流板的多孔性薄片，在上面及底面使用丝径相同、孔径相同的网纱，但并不限定于此，在上面和底面使用的网纱的丝径或孔径也可以不同。此时，例如，通过增大底面侧(粘贴到框材的一侧)的网纱的孔径，能够使一层的部分与两层的部分的空气的通过阻力的差别更大。另外，代替网纱，多孔性薄片也可以使用具有连通孔的多孔性陶瓷板等。

[0278] (6)在上述第1实施方式中，整流板采用了网纱为一层的部分和两层的部分的组合，但并不限定于此，也可以采用两层的部分和三层的部分的组合、或者一层的部分和三层的部分的组合等任意的组合。

[0279] (7)在上述各实施方式中，供气用及排气用的过滤器使用HEPA过滤器，但并不限定于HEPA过滤器，根据在腔室内的作业的使用目的适当选择ULPA过滤器及其他的高性能过滤器即可。

[0280] (8)在上述第2实施方式中，过滤器单元的更换作业未使用袋进袋出法。但并不限定于此，利用简略化的袋进袋出法是有效的。例如，若在安装过滤器单元时预先在承接部件的下方安装袋，则在进行加湿操作时能够截留清洗水从排气面的渗漏。另外，在拆下过滤器单元时通过收容在该袋中安全性更加提高。

[0281] (9)在上述第2实施方式中，在停止供气用鼓风机和排气用鼓风机的状态下更换过滤器单元。但并不限定于此，例如，可以在排气用鼓风机工作的状态下进行更换作业。此时，即使在更换作业中因某种原因导致化学物质等飞散时，也能够通过排气用鼓风机的吸气来防止化学物质等从箱体内泄漏到外部环境。此时，在箱体的下游侧安装其他的过滤器是有效的。

[0282] 符号说明

[0283] A 隔离装置

[0284] B 架台

[0285] C 隔离器主体

[0286] D 作业者

[0287] 10、240 腔室

[0288] 11a、11b 隔壁

[0289] 243 玻璃隔壁

[0290] 12、245 内部空间

[0291] 12a、245a 中央空间

[0292] 12b、245b 周边空间

[0293] 13、14、242 玻璃窗

[0294] 15、248 手套

[0295] 18a～18d、262 排气口

[0296] 20、250 供气机构

[0297] 21、251 供气用鼓风机

[0298] 252 供气用过滤器

[0299] 254 吸气口

[0300] 22 供气用过滤器单元

[0301] 22b、31a、32a、212 HEPA过滤器

[0302] 23、253 整流板

[0303] 24 框体

[0304] 24a 框材

[0305] 24b、26b 贯通口

[0306] 25a、25b 网纱

[0307] 26 承接部件

[0308] 30、260 排气机构

[0309] 31 排气用一次过滤器单元

[0310] 32 排气用二次过滤器单元

[0311] 33 排气用鼓风机

[0312] 210 空气洁净用过滤器单元

[0313] 211 筒体

[0314] 212a 过滤器

[0315] 212b 外框

[0316] 212c 吸气面

[0317] 212d 排气面

[0318] 213 空气排出口部

[0319] 214 空气导入口部

[0320] 215 垫片

[0321] 216 盖体

[0322] 217 安装口部

[0323] 220 箱体

[0324] 221 开关门

[0325] 222 单元推压件

[0326] 222a 承接部件

[0327] 222b 可动部件

[0328] 230 电气设备及机械室

[0329] 246 作业用开口部

[0330] 247 辅助开口部

[0331] 249 管道

[0332] 415 液体密封件

[0333] 516 橡胶薄片。