基板处理系统

摘要

一种基板处理系统，具有基板处理装置、与装载台之间交接容纳器的自动物料搬运系统、主计算机；基板处理装置具有基板处理单元、装载台、内部缓冲部，主计算机与基板处理装置及自动物料搬运系统进行通信，根据基板处理装置的状况来指示自动物料搬运系统搬运容纳器；基板处理装置具有自动物料搬运系统对应控制部，在装载台因一个容纳器而处于被使用中的情况下，当应该与该装载台之间交接其它的容纳器的自动物料搬运系统的移动装置到来时，自动物料搬运系统对应控制部不通知不能够接受容纳器，直到一个容纳器的使用结束。

权利要求

1.一种基板处理系统，用于处理基板，其特征在于，具有基板处理装置、自动物料搬运系统、主计算机；

其中，所述基板处理装置具有：

基板处理单元，其对基板进行规定的处理，

装载台，其具有用以载置用于容纳基板的容纳器的物理装载台，并且在所述装载台与所述基板处理单元之间交接容纳器，内部缓冲部，其位于所述基板处理单元与所述装载台之间，并且在该内部缓冲部与所述基板处理单元之间交接基板，在该内部缓冲部与所述装载台之间交接容纳器，且在交接时暂时容置容纳器；

所述自动物料搬运系统与所述装载台之间交接容纳器；

所述主计算机与所述基板处理装置及所述自动物料搬运系统进行通信，根据所述基板处理装置的状况来指示所述自动物料搬运系统搬运容纳器；

所述基板处理装置具有自动物料搬运系统对应控制部，在所述装载台因一个容纳器而处于被使用中并处于不能接受其他的容纳器的状态的情况下，当自动物料搬运系统的移动装置保持其他的容纳器到来以向该装载台搬入时，所述自动物料搬运系统对应控制部不向所述自动物料搬运系统通知不能够搬入而使所述移动装置待机，直到所述一个容纳器对该装载台的使用结束。

2.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，在进行搬入动作时，在所述装载台内载置有其它的容纳器的情况下，所述自动物料搬运系统在其位置待机到从所述自动物料搬运系统对应控制部获得搬入许可。

3.如权利要求1或2所述的基板处理系统，其特征在于，所述基板处理装置还具有主计算机对应控制部，当所述主计算机指示搬出所述内部缓冲部的容纳器时，在开始从所述内部缓冲部向所述装载台搬出所述容纳器之后直至将所述容纳器载置于所述装载台为止的期间内，所述主计算机对应控制部向所述主计算机报告：能够搬出所述容纳器。

4.如权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于，当所述移动装置为了搬出容纳器而移动时，在没有容纳器载置于所述装载台的情况下，所述自动物料搬运系统在其位置待机到将所述容纳器载置于所述装载台。

5.如权利要求1或2所述的基板处理系统，其特征在于，还具有虚拟装载台控制装置，其对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统对该虚拟装载台进行搬运动作。

6.如权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于，还具有虚拟装载台控制装置，其对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统对该虚拟装载台进行搬运动作。

7.如权利要求4所述的基板处理系统，其特征在于，还具有虚拟装载台控制装置，其对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统对该虚拟装载台进行搬运动作。

8.如权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于，在开始从所述内部缓冲部向所述装载台搬出所述容纳器的时刻，所述主计算机对应控制部向所述主计算机报告：能够搬出所述容纳器。

说明书

基板处理系统

技术领域

[0001] 本发明涉及与基板处理装置之间搬运容纳半导体晶片、液晶显示器用基板、等离子显示器用基板、有机EL用基板、FED（Field Emission Display：场发射显示器）用基板、光学显示器用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、太阳能电池用基板（下面，简称为基板）的容纳器的基板处理系统。

背景技术

[0002] 以往，作为这种基板处理系统可列举具有基板处理装置、自动物料搬运系统和对整体进行控制的主计算机的系统，其中，所述基板处理装置具有基板处理单元、容纳器容置/搬运单元、装载台（load port），所述自动物料搬运系统根据主计算机的指示搬运容纳器。

[0003] 基板处理单元对基板进行各种处理。容纳器容置/搬运单元与基板处理单元并排设置，容置或者搬运用于容置基板的FOUP（Front Opening Unified Pod：前开式统一标准箱）。装载台与容纳器容置/搬运单元并排设置，用于载置FOUP。自动物料搬运系统（AMHS：Automated Material Handling System）具有无人搬运车（AGV：Automatic Guided Vehicles）或者为空中行走式无人搬运车（OHT：Overhead Hoist Transfer）等移动装置，用于进行与装载台之间的FOUP的交接。主计算机与控制装置之间和与自动物料搬运系统之间进行通信，进行与搬运FOUP相关的控制。

[0004] 自动物料搬运系统向基板处理装置搬运FOUP需要时间。因此，在基板处理装置具有容纳器容置/搬运单元的情况下，希望在向装载台搬入FOUP之后，尽可能快地从装载台取出FOUP并搬入容纳器容置/搬运单元，并且为了下一次的搬运而空出装载台。为了满足这样的要求，提出了一种装置，其在装载台附近设置有作为容纳器暂时避让的场所的可移动缓冲部。例如，参照日本特表2008-508731号公报。

[0005] 在该装置中，在FOUP载置于装载台时，通过可移动缓冲部使FOUP从装载台暂时沿着横向滑动移动并避让，以能够使装载台用于下一次搬运。

[0006] 然而，在具有上述结构的现有例子的情况下，存在着下面的问题。

[0007] 即，现有的装置具有使FOUP从装载台暂时避让的结构，但是，例如，在自动物料搬运系统的两个OHT连续向同一个装载台搬入FOUP的情况下，由于搬入间隔很短，所以在相对于一个OHT搬入的FOUP从装载台避让的动作，另一个OHT搬入FOUP的动作更快的情况下，存在不能向装载台搬入FOUP，导致通过OHT搬入FOUP的动作失败的问题。若发生这样的搬入失败，则装载台会立即向自动物料搬运系统发出上述另一个OHT处于“不能搬入”的状态的通知。于是，OHT通过该装载台并沿着自动物料搬运系统的循环轨道环绕，此后再次尝试搬入动作。另外，针对搬出动作也会产生同样的问题。因此，由于OHT再次环绕循环轨道需要时间，所以存在不能有效地利用自动物料搬运系统的资源的问题。

发明内容

[0008] 本发明是鉴于上述问题而提出的，本发明的目的在于提供一种能够有效地利用自动物料搬运系统的基板处理系统。

[0009] 本发明，为了达到上述的目的，具有如下的结构。

[0010] 本发明提供一种基板处理系统，用于处理基板，具有基板处理装置、自动物料搬运系统、主计算机；所述基板处理装置具有：基板处理单元，其对基板进行规定的处理，装载台，其具有用以载置用于容纳基板的容纳器的物理装载台，并且在所述装载台与所述基板处理单元之间交接容纳器，内部缓冲部，其位于所述基板处理单元与所述装载台之间，并且在该内部缓冲部与所述基板处理单元之间交接基板，在该内部缓冲部与所述装载台之间交接容纳器，且在交接时暂时容置容纳器；所述自动物料搬运系统与所述装载台之间交接容纳器；所述主计算机与所述基板处理装置及所述自动物料搬运系统进行通信，根据所述基板处理装置的状况来指示所述自动物料搬运系统搬运容纳器；所述基板处理装置具有自动物料搬运系统对应控制部，在所述装载台因一个容纳器而处于被使用中的情况下，当应该与该装载台之间交接其它的容纳器的自动物料搬运系统的移动装置到来时，所述自动物料搬运系统对应控制部不通知不能够接受容纳器，直到所述一个容纳器的使用结束。

[0011] 根据本发明，基板处理装置具有自动物料搬运系统对应控制部，当自动物料搬运系统的移动装置为了将容纳器搬入装载台而移动时，在装载台载置有其它的容纳器且处于与内部缓冲部交接中等的状态的情况下，即使自动物料搬运系统发出搬运开始的通知，所述自动物料搬运系统对应控制部也保留向自动物料搬运系统发出能否搬入的通知，直到将容纳器向内部缓冲部内搬运结束。因此，即使在后一个移动装置接着前一个移动装置搬运容纳器的情况下，后一个移动装置也不会在循环轨道上进行不必要地环绕。其结果，能够有效地利用自动物料搬运系统进行容纳器的搬入。

[0012] 另外，在本发明中，优选在进行搬入动作时，在所述装载台内载置有其它的容纳器的情况下，所述自动物料搬运系统在其位置待机至从所述自动物料搬运系统对应控制部获得搬入的许可。

[0013] 通常，在发出搬运开始的通知之后，经过事先规定的时间时，自动物料搬运系统从其位置离开并返回循环轨道。然而，由于自动物料搬运系统在其位置待机至从自动物料搬运系统对应控制部获得搬入的许可，所以能够避免徒劳的环绕。

[0014] 另外，优选所述基板处理装置还具有主计算机对应控制部，当所述主计算机指示搬出所述内部缓冲部的容纳器时，在开始从所述内部缓冲部向所述装载台搬出所述容纳器之后直至将所述容纳器载置于所述装载台为止的期间内，所述主计算机对应控制部向所述主计算机报告：能够搬出所述容纳器。

[0015] 在从基板处理装置开始从内部缓冲部向装载台搬出容纳器到实际上将容纳器载置于装载台为止的期间内，主计算机对应控制部向主计算机报告：能够搬出容纳器。因此，与实际上将容纳器载置于装载台之后发出能够搬出的报告的情况相比，能够缩短直至自动物料搬运系统开始移动为止的时间。其结果，能够有效地利用自动物料搬运系统进行容纳器的搬出。

[0016] 另外，优选当所述移动装置为了搬出容纳器而移动时，在没有容纳器载置于所述装载台的情况下，所述自动物料搬运系统在其位置待机至将所述容纳器载置于所述装载台。

[0017] 通常，在自动物料搬运系统来搬出容纳器时，在装载台没有载置容纳器的情况下，自动物料搬运系统返回循环轨道。然而，由于自动物料搬运系统待机至将容纳器载置于装载台，所以能够避免徒劳的环绕。

[0018] 另外，本发明提供一种基板处理系统，用于处理基板，具有基板处理装置、自动物料搬运系统、主计算机；所述基板处理装置具有：基板处理单元，其对基板进行规定的处理，装载台，其具有用以载置用于容纳基板的容纳器的物理装载台，并且在所述装载台与所述基板处理单元之间交接容纳器，内部缓冲部，其位于所述基板处理单元与所述装载台之间，并且在该内部缓冲部与所述基板处理单元之间交接基板，在该内部缓冲部与所述装载台之间交接容纳器，且在交接时暂时容置容纳器，所述自动物料搬运系统与所述装载台之间交接容纳器；所述主计算机与所述基板处理装置及所述自动物料搬运系统进行通信，根据所述基板处理装置的状况来指示所述自动物料搬运系统搬运容纳器；所述基板处理装置具有主计算机对应控制部，当所述主计算机指示搬出所述内部缓冲部的容纳器时，在开始从所述内部缓冲部向所述装载台搬出所述容纳器之后直至将所述容纳器载置于所述装载台为止的期间内，所述主计算机对应控制部向所述主计算机报告：能够搬出所述容纳器。

[0019] 根据本发明，当主计算机指示搬出内部缓冲部的容纳器时，由于在直至将容纳器载置于装载台为止的期间内，向主计算机报告能够搬出容纳器，所以基板处理系统的移动装置能够快速地移动至装载台，从而能够提早搬出容纳器。

[0020] 另外，在本发明中，还具有虚拟装载台控制装置，其对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统对该虚拟装载台进行搬运动作。

[0021] 由此，能够同时通过多个移动装置向一个物理装载台搬运多个容纳器，从而能够高效率地搬运多个容纳器。

[0022] 在以下的图中所示的仅为用于说明发明的目前的优选的几种方式，但是应该理解为发明并非局限于图中所示的结构及方案。

附图说明

[0023] 图1是表示实施例的基板处理系统的概要的俯视图。

[0024] 图2是表示实施例的基板处理系统的概略结构的框图。

[0025] 图3是表示搬入处理时的顺序的时序图及流程图。

[0026] 图4是表示搬入处理时的过程的示意图，表示自动物料搬运系统的状态。

[0027] 图5是表示搬入处理时的过程的示意图，表示通知向基板处理装置开始搬运。

[0028] 图6是表示搬入处理时的过程的示意图，表示向自动物料搬运系统发出的通知。

[0029] 图7是表示搬入处理时的过程的示意图，表示向装载台搬入。

[0030] 图8是表示搬入处理时的过程的示意图，表示通过下一个自动物料搬运系统开始搬运的通知。

[0031] 图9是表示搬入处理时的过程的示意图，表示保留搬入请求。

[0032] 图10是表示搬入处理时的过程的示意图，表示通知搬入请求。

[0033] 图11是表示搬入处理时的过程的示意图，表示向装载台搬入。

[0034] 图12是表示搬出处理时的顺序的时序图及流程图。

[0035] 图13是表示搬出处理时的过程的示意图，表示指示向基板处理装置进行送出。

[0036] 图14是表示搬出处理时的过程的示意图，表示开始送出。

[0037] 图15是表示搬出处理时的过程的示意图，表示通知能够向主计算机进行搬出。

[0038] 图16是表示搬出处理时的过程的示意图，表示对自动物料搬运系统发出搬出的指示。

[0039] 图17是表示搬出处理时的过程的示意图，表示自动物料搬运系统的移动。

[0040] 图18是表示搬出处理时的过程的示意图，表示通知搬运开始。

[0041] 图19是表示搬出处理时的过程的示意图，表示通知搬出请求。

[0042] 图20是表示搬出处理时的过程的示意图，表示从装载台搬出。

[0043] 图21是表示实施例的基板处理系统的概要的俯视图。

[0044] 图22是表示实施例的基板处理系统的概略结构的框图。

[0045] 图23是表示搬入处理时的顺序的时序图。

[0046] 图24是表示搬入处理时的过程的示意图，表示向主计算机发出通知。

[0047] 图25是表示搬入处理时的过程的示意图，表示主计算机的搬运指示。

[0048] 图26是表示搬入处理时的过程的示意图，表示自动物料搬运系统的移动。

[0049] 图27是表示搬入处理时的过程的示意图，表示通过自动物料搬运系统开始进行搬入。

[0050] 图28是表示搬入处理时的过程的示意图，表示装载台的对应关系。

[0051] 图29是表示搬入处理时的过程的示意图，表示报告虚拟装载台的状态变化。

[0052] 图30是表示搬入处理时的过程的示意图，表示接受搬入的图。

[0053] 图31是表示搬入处理时的过程的示意图，表示自动物料搬运系统的移动。

[0054] 图32是表示搬入处理时的过程的示意图，表示FOUP向内部缓冲部移动。

[0055] 图33是表示搬入处理时的过程的示意图，表示报告搬入状况。

[0056] 图34是表示搬入处理时的各部之间的信号等的收发的示意图。

具体实施方式

[0057] 下面，基于附图，详细说明了本发明优选的实施例。

[0058] 图1是表示实施例的基板处理系统的概要的俯视图，图2是表示实施例的基板处理系统的概略结构的框图。

[0059] 本基板处理系统1具有下面的功能，即，将基板W连同FOUP3一起搬入并对基板W进行处理，并连同FOUP3搬出处理完的基板W。FOUP3为Front Opening Unified Pod（前开式统一标准箱）的简称，其在密闭状态下将基板W容纳在干净的环境内。

[0060] 该基板处理系统1例如具有基板处理装置5、自动物料搬运系统7、主计算机9。通常具有多个基板处理装置5，作为一个例子在图1中示出了两个基板处理装置5。

[0061] 基板处理装置5具有基板处理单元11、装载台13、内部缓冲部15。基板处理单元11对从FOUP3中取出的基板W进行规定的处理。规定的处理例如包括清洗处理、蚀刻处理、光致抗蚀剂去除处理等。装载台13用于在基板处理装置5与自动物料搬运系统7之间交接FOUP3。在本例子中，装载台13包括两个物理装载台LP1和LP2。内部缓冲部15配置在基板处理单元11和装载台13之间，在内部缓冲部15与装载台13之间交接FOUP3，并且在内部缓冲部15与基板处理单元11之间交接从FOUP3中取出的基板W。另外，该内部缓冲部15具有如下的缓冲的功能，即，在从装载台13搬入FOUP3而在基板处理单元11处于不能接受基板W的状态的情况下或者在装载台13处于不能搬出FOUP3的状态的情况下，该内部缓冲部15暂时容置FOUP3。

[0062] 此外，上述的FOUP3相当于本发明中的“容纳器”。

[0063] 自动物料搬运系统7在基板处理装置5之间搬运FOUP3，或者在未图示的FOUP3的保管库与基板处理装置5之间搬运FOUP3。作为自动物料搬运系统7例如能够列举具有AVG（Automatic Guided Vehicle）、OHT（Overhead Hoist Transport）等移动装置的AMHS（Automated Material Handling Systems）。在本实施例中，作为一个例子采用作为移动装置的OHT17围绕两个基板处理装置5的周边移动的结构。在此，作为一个例子采用两个OHT17，分别为OHT17A和OHT17B。

[0064] 主计算机9在上述基板处理装置5与自动物料搬运系统7之间进行通信。主计算机9对应于基板处理装置5的状况指示自动物料搬运系统7搬运FOUP3。在此所说的“搬运”表示用于向基板处理装置5搬入FOUP3的搬运即“搬入”和用于从基板处理装置5搬出FOUP3的搬运即“搬出”。

[0065] 如图2所示，上述的基板处理装置5具有装载台管理部19。装载台管理部19判断两个物理装载台LP1、LP2的状态，并与自动物料搬运系统7及主计算机9之间进行通信。另外，进行将物理装载台LP1分配为用于搬入，将物理装载台LP2分配为用于搬出等的处理。

[0066] 基板处理装置5具有主计算机对应控制部21、内部缓冲部管理部23、自动物料搬运系统对应控制部25。主计算机对应控制部21主要进行与主计算机9之间的通信。内部缓冲部管理部23判断内部缓冲部15的使用状况等，并且判断将FOUP3容纳于哪个架子上，或者从哪个架子上搬出FOUP3等。自动物料搬运系统对应控制部25与自动物料搬运系统7进行通信。

[0067] 自动物料搬运系统对应控制部25按照各种条件进行搬入控制，后面详细进行说明。例如，在搬入FOUP3的情况下，在自动物料搬运系统7为了向装载台13搬入FOUP3而移动过来时，即使基于装载台管理部19中的装载台13的管理状况，判断为处于在装载台13上载置有其它FOUP3的状态，即处于没有完成从装载台13向内部缓冲部15的交接的状态，也进行保留而不向自动物料搬运系统7发送不能够搬入的通知，直至将上述其它FOUP3向内部缓冲部15的搬运结束为止。此外，此时，例如，在为了进行搬入而OHT17B接着自动物料搬运系统7的OHT17A进行移动的情况下，只要不满足特定的条件，后一个OHT17B在其位置待机，直至从自动物料搬运系统对应控制部25获得搬入许可。

[0068] 另外，主计算机对应控制部21按照各种条件进行与搬出相关的控制，后面详细进行说明。例如，在主计算机9指示搬出内部缓冲部15内的FOUP3时，基于装载台管理部19的管理状况，将该FOUP3从内部缓冲部15向装载台13中的某一个物理装载台LP1、LP2搬运。在开始进行上述搬运之后且将该FOUP3载置于物理装载台LP1、LP2的某一个上之前的期间内，即，在装载台13因FOUP3而处于被使用中的期间内，向主计算机9报告能够搬出FOUP3。

[0069] 此外，此时，在自动物料搬运系统7为了搬出FOUP3而移动的情况下，在装载台13的物理装载台LP1、LP2的任一个中都没有载置FOUP3时，即，在没有完成从内部缓冲部15向装载台13的交接的状态时，保留与自动物料搬运系统7能否交接的通知，因此自动物料搬运系统7在其位置待机。

[0070] ＜搬入处理＞

[0071] 接着，参照图3～图11，对上述的基板处理系统1搬入FOUP3的“搬入”流程进行说明。

[0072] 此外，图3是表示搬入处理时的顺序的时序图及流程图。另外，图4～图11是表示搬入处理时的过程的示意图，图4表示自动物料搬运系统的状态，图5表示通知向基板处理装置开始搬运，图6表示向自动物料搬运系统发出的通知，图7表示向装载台搬入，图8表示通知通过下一个自动物料搬运系统开始进行搬运，图9表示保留搬入请求，图10表示通知搬入请求，图11表示向装载台搬入。

[0073] 在下面的说明中，如图4所示，自动物料搬运系统7的OHT17A保持FOUP3a，OHT17B保持FOUP3b，两者按顺序向基板处理装置5移动，并且都处于等待搬入处理的状态。

[0074] 自动物料搬运系统7针对基板处理装置5的自动物料搬运系统对应控制部25接通VALD信号（VALD信号ON）（图5）。该VALD信号是表示搬运开始的信号。基板处理装置5的自动物料搬运系统对应控制部25检测出VALD信号接通（步骤S1）。在本例子中，两台OHT17A、17B中先行的OHT17A接通VALD信号。

[0075] 考虑到装载台管理部19的状况，自动物料搬运系统对应控制部25根据条件进行不同的处理（步骤S2）。“第一条件”是指能够搬入的情况。若能够搬入，则接通L_REQ信号（L_REQ信号ON）。该L_REQ信号表示准许搬入。另一方面，“第二条件”是指，装载台13正在处于使用中或者其FOUP3正在向内部缓冲部15搬运的情况。即，严格来说，装载台13处于不能使用的状态。“第三条件”是指除了第一条件、第二条件以外的状况。例如，装载台13发生故障而处于不能使用的状态等情况。

[0076] 在此，就最初的OHT17A而言，由于装载台13是空的，所以满足第一条件。因此，如图6所示，自动物料搬运系统对应控制部25针对自动物料搬运系统7接通OHT17A的L_REQ信号（L_REQ信号ON）（步骤S3）。该L_REQ（Load Request）信号表示搬入请求。接收了搬入请求的自动物料搬运系统7的OHT17A进行移载，将FOUP3a载置于物理装载台LP1（图7）。然后，OHT17A从该位置离开，返回到自动物料搬运系统7的循环轨道。

[0077] 接着，OHT17B移动至基板处理装置5的面前，并针对自动物料搬运系统对应控制部25接通表示搬运开始的VALD信号（VALD信号ON）（图8）。此时，物理装载台LP1处于载置有前一个FOUP3a的状态。

[0078] 考虑到内部缓冲部15的使用状况，内部缓冲部管理部23开始使FOUP3a向内部缓冲部15的适当的架子移动（图9）。此时，自动物料搬运系统对应控制部25接收VALD信号，通常应该发出搬入请求，但是在本发明中保留向自动物料搬运系统7发出的搬入请求，并且，也不立即发出不能搬入的通知。这是因为前一个FOUP3a刚开始移动，装载台13还不能够使用。具体来说，由于满足图3中的步骤S2的第二条件，所以从步骤S2转移至步骤S4，进行时间调整。详细地说，自动物料搬运系统对应控制部25等待来自内部缓冲部管理部23的移动结束通知，此后向自动物料搬运系统7发出搬入请求（图10）。接收了搬入请求的自动物料搬运系统7将FOUP3b从OHT17B向物理装载台LP1移载（图11）。完成移载的OHT17B向循环轨道返回。

[0079] 此外，满足上述的第三条件的情况下，断开HO_AVBLE信号（HO_AVBLE信号OFF）（步骤S5），并中止搬入处理。由此，由于中止了搬入，所以自动物料搬运系统7使移动至基板处理装置5的面前并且正在待机的OHT17返回到循环轨道。由此，能够避免OHT17在基板处理装置5面前持续待机的问题。

[0080] 这样，基板处理装置5具有如下的自动物料搬运系统对应控制部25，在该自动物料搬运系统对应控制部25中，在自动物料搬运系统7为了将FOUP3搬入装载台13进行移动时，在处于在装载台13上载置有其它的FOUP3a的状态的情况下，即使自动物料搬运系统7发出搬运开始的通知，在将FOUP3a向内部缓冲部15的搬运结束之前，该自动物料搬运系统对应控制部25不向自动物料搬运系统7发出能否搬入的通知，使该自动物料搬运系统7待机。因此，即使在OHT17B接在前一个OHT17A之后搬运FOUP3b的情况下，后一个OHT17B也不会在循环轨道上进行不必要地环绕。其结果，能够有效地利用自动物料搬运系统7进行FOUP3的搬入。

[0081] 另外，自动物料搬运系统7在搬入时，在装载台13载置有其它的FOUP3的情况下，在获得来自自动物料搬运系统对应控制部25的搬入许可之前，自动物料搬运系统7在其位置上待机，因此不会在循环轨道上徒劳地环绕。为此，优选改变自动物料搬运系统7所具有的定时器的值。具体来说，将用于测量从请求搬入开始（接通VALD信号）到接受搬入请求（接通L_REQ信号）为止的等待时间的定时器的值，例如从标准的2秒左右改变为10秒左右。该时间为从装载台13向内部缓冲部15搬运FOUP3所需的时间。此外，只要是实际搬运所需要的时间即可，可以为了安全起见在考虑安全余量（margin）的情况下将该时间设定得略长。

[0082] ＜搬出处理＞

[0083] 接着，参照图12～图20，对上述的基板处理系统1搬出FOUP3的“搬出”流程进行说明。

[0084] 此外，图12是表示搬出处理时的顺序的时序图及流程图。另外，图13～图20是表示搬出处理时的过程的示意图，图13表示向基板处理装置发出送出的指示，图14表示开始送出，图15表示向主计算机通知能够进行搬出，图16表示指示自动物料搬运系统进行搬出，图17表示自动物料搬运系统的移动，图18表示通知搬运开始，图19表示通知搬出请求，图20表示从装载台搬出。

[0085] 在下面的说明中，对自动物料搬运系统7的OHT17A搬出基板处理装置5中的FOUP3的处理进行说明。此外，OHT17A在循环轨道上环绕。

[0086] 主计算机9对基板处理装置5发出搬出FOUP3的指示（图13）。考虑到内部缓冲部管理部23的状况，接收了上述指示的基板处理装置5开始进行从内部缓冲部15的架子搬出被指定的FOUP3的处理（图14，步骤S11）。

[0087] 虽然基板处理装置5刚开始使FOUP3向装载台13移动，还没有完成向装载台13的移动，但向主计算机9发出搬出许可（接通RTU（Ready To Unload）信号）的通知（图15，步骤S12）。主计算机9接收该通知，并向自动物料搬运系统7的OHT17A发出搬出的指示（图16）。OHT17A向基板处理装置5移动（图17），在移动结束的时刻接通搬入开始的信号（VALD信号ON）（图18，步骤S13）。

[0088] 考虑装载台管理部19的状况，主计算机对应控制部21按照条件进行不同的处理。“第一条件”是指在装载台13上载置有FOUP3，并且能够搬出FOUP3的情况。“第二条件”是指从内部缓冲部15搬送FOUP3的搬送中，并且还没有完成向装载台13送出FOUP3的情况。
“第三条件”是指除了第一条件、第二条件以外的状况。例如，内部缓冲部15或装载台13发生故障而处于不能使用的情况等。

[0089] 在此，在第一条件的情况下，接收搬入开始的信号，并向自动物料搬运系统7发出搬运请求（接通U_REQ（Unload Request）信号）（图19，步骤S15）。自动物料搬运系统7对OHT17A发出从装载台13搬出FOUP3的指示。OHT17A从装载台13接受FOUP3并开始搬运（图20）。

[0090] 另外，在第二条件的情况下，进行时间调整（步骤S16），在该期间内，保留搬运请求。此后，发出搬运请求（步骤S15）。在第三条件的情况下，断开HO_AVBAL信号（HO_AVBAL信号OFF）（步骤S16），并中止搬出处理。

[0091] 这样，在基板处理装置5开始从内部缓冲部15向装载台13搬出FOUP3的时刻，主计算机对应控制部21向主计算机9报告：能够搬出FOUP3。因此，与FOUP3实际载置于装载台13之后发出能够搬出的报告的情况相比，能够提早主计算机9指示自动物料搬运系统7开始移动的时间。其结果，能够有效地利用自动物料搬运系统7进行FOUP3的搬出。

[0092] 此外，通常，在自动物料搬运系统7来搬出FOUP3时，在装载台13没有载置容纳器的情况下，自动物料搬运系统7使OHT17返回循环轨道。然而，在本实施方式中，保留搬运请求、不能搬运等的能否交接的通知，直到装载台13与内部缓冲部15交接结束，并且进行待机直到FOUP3载置于装载台13上，所以能够避免徒劳的环绕。

[0093] 此外，本发明有效用于如下情况，即，在向基板处理装置5搬入FOUP3的过程中，多个移动装置即OHT17不怎么隔开间隔地连续向基板处理装置5搬运FOUP3的情况。另外，在这种基板处理装置与自动物料搬运系统的控制中，通常控制一个OHT向一个用于搬入的装载台进行搬入作业，因此在那样的控制方式中，很少会如上述的那样使多个OHT17不怎么隔开间隔连续向基板处理装置5搬运FOUP3。因此，在控制多个OHT同时向一个用于搬入的装载台进行搬入动作的情况下，本发明能够发挥更好的效果。下面，对这样的控制的实施例进行说明。在此，与上述的实施例相同或者相应的部分标注相同的附图标记。

[0094] 图21是表示实施例的基板处理系统的概要的俯视图，图22是表示实施例的基板处理系统的概略结构的框图。

[0095] 实施例中的基板处理系统1具有下面的功能，即，将基板W连同FOUP3一起搬入并对基板W进行处理，并连同各个FOUP3搬出处理完的基板W。FOUP3为Front Opening Unified Pod（前开式统一标准箱）的简称，其在密闭状态下将基板W容纳在干净的环境内。

[0096] 该基板处理系统1具有基板处理装置5、自动物料搬运系统7、主计算机9。通常具有多个基板处理装置5，作为一个例子在图21中示出了两个基板处理装置5。

[0097] 基板处理装置5具有基板处理单元11、装载台13、内部缓冲部15。该基板处理单元11对从FOUP3中取出的基板W进行规定的处理。规定的处理例如包括清洗处理、蚀刻处理、光致抗蚀剂去除处理等。装载台13用于在基板处理装置5与自动物料搬运系统7之间交接FOUP3。在本例子中，装载台13包括两个物理装载台R-LP1和R-LP2。内部缓冲部15配置在基板处理单元11和装载台13之间，在内部缓冲部15与装载台13之间交接FOUP3，并且在内部缓冲部15与基板处理单元11之间交接从FOUP3中取出的基板W。另外，该内部缓冲部15具有如下的缓冲的功能，即，在从装载台13搬入FOUP3而在基板处理单元11处于不能接受基板W的状态的情况下或者在装载台13处于不能搬出FOUP3的状态的情况下，该内部缓冲部15暂时容置FOUP3。

[0098] 此外，上述的FOUP3相当于本发明中的“容纳器”。

[0099] 自动物料搬运系统7在基板处理装置5与容纳保管多个FOUP3的保管库（图中省略）之间或者基板处理装置5与其它基板处理装置之间搬运FOUP3。作为自动物料搬运系统7例如能够列举AVG（Automatic Guided Vehicle）、OHT（Overhead Hoist Transport）等的AMHS（Automated Material Handling Systems）。在本实施例中，作为一个例子采用了多个OHT17在两个基板处理装置5的周边循环移动的结构。

[0100] 主计算机9在上述基板处理装置5与自动物料搬运系统7之间进行通信。主计算机9对应于基板处理装置5的状况指示自动物料搬运系统7搬运FOUP3。在此所说的“搬运”表示用于向基板处理装置5搬入FOUP3的搬运即“搬入”和用于从基板处理装置5搬出FOUP3的搬运即“搬出”。

[0101] 如图22所示，基板处理装置5具有主计算机对应控制部21、装载台管理部19、内部缓冲部管理部23、自动物料搬运系统对应控制部25，该主计算机对应控制部21、装载台管理部19、内部缓冲部管理部23、自动物料搬运系统对应控制部25构成装载台控制装置20。构成该装载台控制装置20的主计算机对应控制部21、装载台管理部19、内部缓冲部管理部23、自动物料搬运系统对应控制部25具有与通常的基板处理装置所包含的结构相同的功能。即，在通常的基板处理系统中，装载台管理部19与设置在基板处理装置5上的装载台13的物理装载台R-LP1、R-LP2及内部缓冲部15相连接，与它们进行通信，识别它们的状态，控制它们的动作等，来这样进行管理。另外，在通常的基板处理系统中，主计算机对应控制部21与主计算机9相连接，并且参照装载台管理部19所识别的物理装载台R-LP1、R-LP2的状态，向主计算机9发出FOUP3的搬入请求等的通信。另外，在通常的基板处理系统中，自动物料搬运系统对应控制部25与自动物料搬运系统7相连接，参照装载台管理部
19识别的物理装载台R-LP1、R-LP2的状态等，进行与自动物料搬运系统7间的FOUP3的搬入动作的控制相关的通信（后述的CS信号等）。考虑到内部缓冲部15的使用状况等，内部缓冲部管理部23判断将FOUP3容纳于哪个架子，或者搬出哪个架子上的FOUP3等。

[0102] 并且，在本实施方式中，与上述的通常的基板处理系统不同，在主计算机对应控制部21与主计算机9之间以及在自动物料搬运系统对应控制部25与自动物料搬运系统7之间，连接有虚拟装载台控制部19a。即，本实施方式的基板处理系统1是在通常的基板处理装置与主计算机9及自动物料搬运系统7之间追加插入虚拟装载台控制装置19a而构成的。在此，追加连接的虚拟装载台控制装置19a也包含在基板处理装置5中。

[0103] 虚拟装载台控制装置19a分别对两个物理装载台R-LP1、R-LP2分配多个虚拟装载台。并且，使自动物料搬运系统7和主计算机9将多个虚拟装载台视为多个物理装载台。换言之，虚拟装载台控制装置19a以使自动物料搬运系统7和主计算机9认为存在比实际存在的两个物理装载台R-LP1、R-LP2更多的物理装载台的方式，与自动物料搬运系统7和主计算机9进行信号处理及通信。

[0104] 另外，针对在认为存在比实际存在的物理装载台更多的物理装载台的前提下进行动作的主计算机9及自动物料搬运系统7的动作，基板处理装置5的主计算机对应控制部21和自动物料搬运系统对应控制部25将与上述动作对应的信息分配给实际存在的两个物理装载台R-LP1、R-LP2。具体来说，虚拟装载台控制装置19a具有主计算机对应控制部27、虚拟装载台管理部29、自动物料搬运系统对应控制部31。虚拟装载台管理部29具有转换表存储部33。在转换表存储部33中预先存储规定了物理装载台与虚拟装载台的对应关系的“转换表”。该转换表由操作员通过设定部35适当地设定。

[0105] 主计算机对应控制部27接收来自装载台管理部19的与物理装载台R-LP1、R-LP2相关的通知，参照虚拟装载台管理部29的信息，将接收的通知变换为与分配给上述物理装载台的虚拟装载台相关的通知，并发送给主计算机9。

[0106] 自动物料搬运系统对应控制部31接收来自自动物料搬运系统7的与虚拟装载台V-LP1～V-LP4相关的通知，参照虚拟装载台管理部29的信息，将接收的通知变换为与被分配了上述虚拟装载台的物理装载台相关的通知，并发送给自动物料搬运系统对应控制部25，或者反之接收来自动物料搬运系统对应控制部25的与物理装载台R-LP1、R-LP2相关的通知，参照虚拟装载台管理部29的信息，将接收的通知变换为与分配给上述物理装载台的虚拟装载台相关的通知，并发送给自动物料搬运系统7。

[0107] 接着，参照图23～图34，对上述的基板处理系统1搬入FOUP3的“搬入”的流程进行说明。

[0108] 此外，图23是表示搬入处理时的顺序的时序图。另外，图24～图33是表示搬入处理时的过程的示意图，图24是表示向主计算机通知的图，图25是表示主计算机的搬运指示的图，图26是表示自动物料搬运系统的移动的图，图27是表示通过自动物料搬运系统开始搬入的图，图28是表示装载台的对应关系的图，图29是表示报告虚拟装载台的状态变化的图，图30是表示接受搬入的图，图31是表示自动物料搬运系统的移动的图，图32是表示将FOUP向内部缓冲部移动的图，图33是表示报告搬入状况的图，图34是表示搬入处理时的各部之间的信号等的收发的示意图。

[0109] 在下面的说明中，如图24所示，使物理装载台R-LP1与两个虚拟装载台V-LP1、2对应，使物理装载台R-LP2与两个虚拟装载台V-LP3、4对应。该对应关系由上述转换表存储部33的转换表规定。另外，在此，将两个虚拟装载台V-LP1、2设定为用于搬入的装载台，在下面的说明中，为了便于理解，仅对虚拟装载台V-LP1、2进行说明。

[0110] 1．基板处理装置5向主计算机9通知是否能够向两个虚拟装载台V-LP1、2搬入FOUP3（图24）。具体来说，虚拟装载台控制装置19的主计算机对应控制部27参照虚拟装载台管理部29，通知主计算机9能够向被称为虚拟装载台V-LP1、2的装载台搬入FOUP3。

[0111] 更详细地说，首先，管理物理装载台R-LP1的装载台管理部23将物理装载台R-LP1的状态识别为“能够搬入”。对应于此，主计算机对应控制部21参照装载台管理部19的识别结果，输出“能够搬入”的通知。如果为现有的通常结构，该输出被直接发送到主计算机9。但是，在本发明中，主计算机对应控制部21输出的“能够搬入”的通知被发送到虚拟装载台控制装置19a的主计算机对应控制部27。主计算机对应控制部27接收该通知，参照内部的转换表存储部33所存储的转换表识别出：被通知为“能够搬入”的物理装载台R-LP1与虚拟装载台V-LP1、V-LP2对应。然后，虚拟装载台管理部29向主计算机对应控制部27通知虚拟装载台V-LP1、V-LP2处于“能够搬入”的状态，从而使主计算机对应控制部27取代被通知为“能够搬入”的物理装载台R-LP1而将虚拟装载台V-LP1、V-LP2视为处于“能够搬入”的状态。主计算机对应控制部27基于上述通知向主计算机9通知虚拟装载台V-LP1、V-LP2处于“能够搬入”的状态。

[0112] 2．接收了上述通知的主计算机9对自动物料搬运系统7进行指示，将应该被基板处理装置5处理的两个FOUP3分别向虚拟装载台V-LP1、2搬入（图25）。

[0113] 3．自动物料搬运系统7从前一个工序的基板处理装置或者保管库中取出第一、第二FOUP3，将第一FOUP3保持在第一OHT17上，将第二FOUP3保持在第二OHT17上，并且分别开始向下达了搬入指示的基板处理装置5移动。在此，假设第一OHT17、第二OHT17都向同一个基板处理装置5进行搬入，第一OHT17位于最先到达基板处理装置5的位置，第二OHT17位于比第一OHT17晚到达基板处理装置5的位置。

[0114] 4．当第一OHT17移动并到达基板处理装置5时，自动物料搬运系统7通知基板处理装置5：向虚拟装载台V-LP1搬入第一FOUP3（图27）。具体来说，自动物料搬运系统7接通CS_0信号（CS_0信号ON），并且接通表示搬运开始的VALID信号（VALID信号ON），且发送给自动物料搬运系统对应控制部31。此外，CS信号是用来指定装载台的搬运器/载物台信号，由SEMI规格E84来规定。

[0115] 5．基板处理装置5参照从自动物料搬运系统7接收的CS_0信号（表示虚拟装载台V-LP1）和转换表，将虚拟装载台V-LP1和相应的一个物理装载台R-LP1对应（图28）。具体来说，虚拟装载台管理部29基于自动物料搬运系统对应控制部31接收的信号，建立对应关系。

[0116] 6-1．基板处理装置5将已经开始向虚拟装载台V-LP1进行搬入的情况作为“状态发生变化”，报告给主计算机9（图29）。具体来说，虚拟装载台管理部29经由主计算机对应控制部27向主计算机9进行报告。

[0117] 6-2．接收了报告的主计算机9识别出：在虚拟装载台V-LP1中已经开始进行搬入动作（图29）。

[0118] 7．基板处理装置5向物理装载台R-LP1发出接收的指示，并且请求自动物料搬运系统7进行搬入，以便于使物理装载台R-LP1接受由自动物料搬运系统7向虚拟装载台V-LP1搬运的第一FOUP3（图30）。具体来说，虚拟装载台管理部29经由自动物料搬运系统对应控制部31，向自动物料搬运系统对应控制部25发出向物理装载台R-LP1搬入的通信指示。自动物料搬运系统对应控制部25接收上述通信后，向装载台管理部19发出向物理装载台R-LP1进行搬入动作的指示，并且向自动物料搬运系统对应控制部31发出开始向物理装载台R-LP1搬入的“搬入开始”的请求。此外，如果为现有的基板处理系统，则上述请求向自动物料搬运系统7发送，而在本发明中，上述请求向虚拟装载台控制装置19a的自动物料搬运系统对应控制部31发送。

[0119] 自动物料搬运系统对应控制部31能够识别出：来自自动物料搬运系统对应控制部25的上述“搬入开始”的请求信号为与在上述“4．”中从自动物料搬运系统7接收的向虚拟装载台V-LP1搬入第一FOUP3的搬入通知对应的信号。然后，基于上述识别，自动物料搬运系统对应控制部31将上述“搬入开始”的请求信号作为开始向虚拟装载台V-LP1搬入的“搬入开始”的请求，发送给自动物料搬运系统7。作为上述请求信号，自动物料搬运系统对应控制部31针对自动物料搬运系统7接通L_REQ信号（L_REQ信号ON）。此外，L_REQ信号为装载请求信号，表示搬入的请求。

[0120] 8．自动物料搬运系统7根据自动物料搬运系统对应控制部31的“搬入开始”的请求，进行将第一OHT17保持的第一FOUP3向虚拟装载台V-LP1搬运的动作。在此，在自动物料搬运系统7中，将此时的搬运目的地即虚拟装载台V-LP1的位置信息设定为物理装载台R-LP1的真实的位置，自动物料搬运系统7向虚拟装载台V-LP1的搬运实际上是执行向物理装载台R-LP1的搬运（图31）。

[0121] 9．基板处理装置5将搬入到物理装载台R-LP1的第一FOUP3搬运到内部缓冲部15中的适当的位置（图32）。

[0122] 10．基板处理装置5在上述的搬入过程中，将完成向物理装载台R-LP1内搬入第一FOUP3的搬入结束的状况作为向虚拟装载台V-LP1的搬入结束的状况报告给主计算机9（图33）。具体来说，装载台管理部19识别物理装载台R-LP1的状况，经由主计算机对应控制部21、主计算机对应控制部27将其报告给主计算机9。

[0123] 此时，主计算机对应控制部21将来自装载台管理部19的向物理装载台R-LP1的“搬入结束”的报告向主计算机对应控制部27报告。主计算机对应控制部27能够识别出：来自主计算机对应控制部21的上述“搬入结束”的报告是与在上述“6-1．”和“6-2．”中从虚拟装载台管理部29接收的向虚拟装载台V-LP1开始搬入第一FOUP3的搬入开始通知相对应的报告。并且，基于上述识别，主计算机对应控制部27将上述“搬入结束”的报告作为向虚拟装载台V-LP1的“搬入结束”的报告，发送给主计算机9。

[0124] 另外，在通过上述“9．”而搬入到物理装载台R-LP1的第一FOUP3被搬运到内部缓冲部15时，物理装载台R-LP1再次变为能够接收FOUP3的状态，因此与上述“1．”相同，装载台管理部19将物理装载台R-LP1的状态识别为“能够搬入”的状态。对应于此，主计算机对应控制部21参照装载台管理部19的识别，将“能够搬入”的通知发送给虚拟装载台控制装置19a的主计算机对应控制部27。主计算机对应控制部27接收上述“能够搬入”的通知，与上述“搬入结束”的报告相同，认定虚拟装载台V-LP1为“能够搬入”的状态，并通知给主计算机9。根据向内部缓冲部15搬运FOUP3的时间的不同，上述“能够搬入”的通知紧接着上述“搬入结束”的报告或者稍微晚一些。此外，在上述“1．”中已经发出虚拟装载台V-LP2为“能够搬入”的状态的通知，与此对应的第二OHT17已经开始搬运第二FOUP3，因此在此不进行与虚拟装载台V-LP2相关的新通知。

[0125] 11．在第二OHT17稍微迟于第一OHT17到达基板処置装置5时，与上述“4．”相同，自动物料搬运系统7向基板处理装置5通知：向虚拟装载台V-LP2搬入第二FOUP3。具体来说，自动物料搬运系统7接通（ON）CS_1信号（表示虚拟装载台V-LP2），接通表示开始搬运的VALID信号（VALID信号ON），且发送给自动物料搬运系统对应控制部31。下面，与上述相同，进行向物理装载台R-LP1搬入的动作来作为向虚拟装载台V-LP2搬入的动作。

[0126] 此外，如果在上述“2．”的时刻，在应该通过基板处理装置5处理的FOUP3只有第一FOUP3时，主计算机9指示向虚拟装载台V-LP1进行搬运，但不立即指示向虚拟装载台V-LP2进行搬运，而是等待应该处理的第二FOUP3被准备完毕。

[0127] 根据这样的实施方式，对一个物理装载台R-LP1分配两个虚拟装载台V-LP1、V-LP2，能够使该两个虚拟装载台V-LP1、V-LP2成为“能够搬入”的状态，同时移动两个OHT17来分别对两个虚拟装载台V-LP1、V-LP2进行搬运动作，从而与仅通过一个OHT17向一个物理装载台R-LP1进行搬运动作的情况相比，能够增大每单位时间能够搬运的FOUP3的个数，换言之，能够缩短每搬运一个FOUP3所需要的时间。

[0128] 另外，从图34也能够清楚地了解到，虚拟装载台控制装置19a，与基板处理装置5本来具有的主计算机对应控制部21及自动物料搬运系统对应控制部25之间仅处理与物理装载台R-LP1相关的信号，与主计算机9及自动物料搬运系统7之间仅处理与虚拟装载台V-LP1、V-LP2相关的信号。即，虚拟装载台控制装置19a在基板处理装置5与主计算机9及自动物料搬运系统7之间，建立物理装载台R-LP1与虚拟装载台V-LP1、V-LP2的对应关系并进行信号的变换。因此，不改变现有的基板处理装置5与主计算机9及自动物料搬运系统7的任何的硬件或软件的结构，只在现有的基板处理装置5与主计算机9及自动物料搬运系统7之间插入虚拟装载台控制装置19a，就能够简单地实施本发明的控制，另外只拆除虚拟装载台控制装置19a，就能够简单地还原成现有的基板处理系统的结构。

[0129] 此外，虚拟装载台V-LP2为与同一个物理装载台R-LP1建立对应关系的另一个虚拟装载台。在上述的搬入过程中，从自动物料搬运系统7的OHT17为了搬运一个FOUP3而开始向基板处理装置5移动的时刻到实际上将该FOUP3载置到与一个虚拟装载台V-LP1对应的物理装载台R-LP1上为止，虚拟装载台控制装置19a向主计算机9报告：能够向另一个虚拟装载台即虚拟装载台V-LP2进行搬入动作。另外，在开始将FOUP3从与一个虚拟装载台V-LP1相对应的物理装载台R-LP1向内部缓冲部15搬运的时刻，向主计算机9报告：能够向与对应于虚拟装载台V-LP1的物理装载台R-LP1对应的、与虚拟装载台V-LP1不同的另一个虚拟装载台V-LP2进行搬入动作。

[0130] 因此，主计算机9在上述期间内，能够使自动物料搬运系统7接通表示虚拟装载台V-LP2的CS_1信号（CS_1信号ON），指示向同一个物理装载台R-LP1进行搬入动作。因此，即使在以往搬入时所占用的期间内，主计算机9也能够进行搬入的指示。因此，能够高效率地进行搬入处理。

[0131] 此外，在上述的说明中，在被搬运到虚拟装载台V-LP1的前一个（第一）FOUP3的搬运结束之后，FOUP3被搬入到内部缓冲部15，此后，向被分配到同一个物理装载台R-LP1的虚拟装载台V-LP2搬入下一个（第二）FOUP3。因此，向同一物理装载台R-LP1的搬入过程不会产生问题。然而，在下一个（第二）FOUP3到达同一个物理装载台R-LP1的时间比完成将前一个（第一）FOUP3取出并搬入到内部缓冲部15的时间早的情况下，满足上述实施方式中图3的步骤S1的第二条件。此时，与上述实施方式相同，自动物料搬运系统对应控制部25不向自动物料搬运系统7发出不能搬入的通知而是保留该通知。该保留状态持续到完成将前一个（第一）FOUP3取出并搬入到内部缓冲部15为止。然后，若将前一个（第一）FOUP3取出并搬入内部缓冲部15的动作结束，内部缓冲部管理部23发送FOUP3的移动结束的通知，则自动物料搬运系统对应控制部25经由自动物料搬运系统对应控制部31向自动物料搬运系统7发出下一个（第二）FOUP3的搬入请求。以上述方式，能够紧接在第一FOUP3之后在短时间内快速地执行向物理装载台R-LP1搬运第二FOUP3的动作。

[0132] 另外，即使以上述的方式保留下一个FOUP3的搬入开始动作，与现有的基板处理系统那样，在向内部缓冲部15取入FOUP3而物理装载台R-LP1能够接收搬入下一个FOUP3之后，指示搬运下一个（第二）FOUP3的方式相比，本发明能够更早地开始搬运下一个（第二）FOUP3，因此即使产生上述的待机状况，与以往相比也能够进行高效率的搬运。

[0133] 本发明不限于上述实施方式，还能够如下述那样进行变形。

[0134] （1）在上述的实施例中，在搬出处理中，在基板处理装置5开始从内部缓冲部15向装载台13搬出FOUP3的时刻，发出能够搬出的报告。但是，也可以在从基板处理装置5开始从内部缓冲部15向装载台13搬出FOUP3到实际上将FOUP3载置于装载台13为止的期间内，发出能够搬出的报告。与现有技术相比，在该期间内的任意时刻发出能够搬出的报告，都能够缩短直至自动物料搬运系统开始移动为止的时间。

[0135] （2）在上述的实施例中，列举了自动物料搬运系统7具有OHT17的情况，还可以采用AGV（Automatic Guided Vehicle）取而代之。

[0136] 本发明能够在不脱离其思想或本质的情况下以其它的具体方式实施，因而并不是由以上的说明来确定发明的保护范围，而应该参照附加的权利要求书来确定发明的保护范围。