基于像散分解获得望远镜主次镜对准误差的方法转让专利

申请号 : CN201310036459.2

文献号 : CN103134660B

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发明人 : 张晓明陈洪斌王继红刘顺发亓波

申请人 : 中国科学院光电技术研究所

摘要 :

本发明是基于像散分解获得望远镜主次镜对准误差的方法,首先,测得次镜四个失调量与由泽尼克多项式表示的出瞳波前误差像散项系数和慧差项系数之间的比例系数;然后,测量实时出瞳波前误差,将次镜的失调量dx和ty分为一组,将次镜的失调量dy和tx分为一组,并将像散项Ast分解为Astx和Asty;接着,构建失调量和像散项的关系模型,并求解耦合系数αx和αy;同时,构建失调量和慧差项的关系模型;最后,根据构建的失调量和波前误差的关系模型求解次镜的失调量。

权利要求 :

1.基于像散分解获得望远镜主次镜对准误差的方法,其特征在于包括以下步骤:步骤S1:对光学系统中的次镜进行测定,获得次镜四个失调量与采用泽尼克多项式表示的出瞳波前误差像散项和慧差项的泽尼克系数之间的比例系数,当测定失调量中的一项时,保持其它失调量不变;所述四个失调量包括:dx为次镜顶点沿x方向的第一平移失调量,dy为次镜顶点沿y方向的第二平移失调量,tx为次镜以次镜顶点为旋转中心绕x轴旋转的第一倾斜失调量,ty为次镜以次镜顶点为旋转中心绕y轴旋转的第二倾斜失调量;

步骤S2:以平行光或者轴上点为光源,测量光学系统出瞳处的波前误差,得到出瞳像散项和慧差项Coma的泽尼克系数;

步骤S3:将次镜的第一平移失调量和第二倾斜失调量分为一组,第二平移失调量和第一倾斜失调量分为一组,以主次镜理想位置时主镜光轴为Z轴,次镜顶点为坐标原点建立左手笛卡尔坐标系,将测得的出瞳像散项Ast分解为Astx和Asty,如下表示:其中,Astx为由第一平移失调量和第二倾斜失调量产生的像散,Asty为由第二平移失调量和第一倾斜失调量产生的像散,Ast0和Ast45分别为0°像散和45°像散;

步骤S4:构建由第一平移失调量和第二倾斜失调量共同作用产生像散Astx的关系模型,构建由第二平移失调量和第一倾斜失调量共同作用产生像散Asty之间的关系模型,如下所示:

2 2

Kadx·dx+2αx·dx·ty+Katy·ty =Astx (4)

2 2

Kady·dy+2αy·dy·tx+Katx·tx =Asty (5)分别对dx和dy求导,则有:

其中,αx和αy为耦合系数,Kadx是一个符号表示次镜第一平移失调量的平方和泽尼克系数像散项之间的比例系数,Kady是一个符号表示次镜第二平移失调量的平方和泽尼克系数像散项之间的比例系数,Katx是一个符号表示次镜第一倾斜失调量的平方和泽尼克系数像散项之间的比例系数,Katy是一个符号表示次镜第二倾斜失调量的平方和泽尼克系数像散项之间的比例系数;

步骤S5:构建由第一平移失调量和第二倾斜失调量共同作用产生慧差项Coma0的关系模型,构建由第二平移失调量和第一倾斜失调量共同作用产生慧差项Coma90的关系模型,它们之间满足如下关系:Kcdx·dx+Kcty·ty=Coma0 (8)

Kcdy·dy+Kctx·tx=Coma90 (9)

其中,Coma0和Coma90分别为0°慧差和90°慧差,Kcdx是一个符号表示次镜第一平移失调量和泽尼克系数慧差项之间的比例系数,Kcdy是一个符号表示次镜第二平移失调量和泽尼克系数慧差项之间的比例系数,Kctx是一个符号表示次镜第一倾斜失调量和泽尼克系数慧差项之间的比例系数,Kcty是一个符号表示次镜第二倾斜失调量和泽尼克系数慧差项之间的比例系数;

步骤S6:联合公式4、5、8、9求解时需要尝试移动,以确定正确的移动方向;联合公式

6、7、8、9求解时需要先移动一个微小量Δdx和Δdy,进而求得次镜各失调量。

2.根据权利要求1所述的基于像散分解获得望远镜主次镜对准误差的方法,其特征在于:构建分别单独测定次镜各个失调量单独作用时与像散项的泽尼克系数之间的比例系数和各个失调量单独作用时与慧差项的泽尼克系数之间的比例系数时的拟合函数模型为:其中,公式(10)为像散项的拟合函数模型,公式(11)为慧差项的拟合函数模型。

3.根据权利要求1所述的基于像散分解获得望远镜主次镜对准误差的方法,其特征在于:测定耦合系数αx和αy步骤如下;

步骤S41:给定一个第二倾斜失调量,保持第二平移失调量、第一倾斜失调量均为零,测定第二倾斜失调量不为零时的像散项Ast′x与第二倾斜失调量为零时的像散项Astx的差值ΔAstdx随第一倾斜失调量的变化关系:根据上式求出耦合系数αx,同理,给定一个第一倾斜失调量有:

进而得到耦合系数αy。

4.根据权利要求1所述的基于像散分解获得望远镜主次镜对准误差的方法,其特征在于:用公式4、5、8、9构建方程组求解次镜各失调量的方法如下:(1)用公式4、5、8、9构建方程组,解方程解得两组解,方程的解为次镜各失调量的大小;

(2)先根据第一组解对次镜的失调量进行补偿,如果出瞳波前误差增大则采用第二组解进行补偿。

5.根据权利要求1所述的基于像散分解获得望远镜主次镜对准误差的方法,其特征在于:用公式6、7、8、9构建方程组求解次镜各失调量的方法如下:(a)让次镜沿x轴方向进行微小平移Δdx和沿y轴方向进行微小平移Δdy;

(b)测出次镜进行微小移动后的出瞳波前,并计算出此时Astx和Asty的微小改变量ΔAstx和ΔAsty,则此时有:(c)用公式6、7、8、9构建方程组,解方程求得唯一解,方程的解为次镜各失调量大小。

说明书 :

基于像散分解获得望远镜主次镜对准误差的方法

技术领域

[0001] 本发明属于光电检测领域,涉及对准误差的分解计算方法,具体来说就是根据出瞳波前信息计算同轴反射式望远镜主次镜对准误差的方法。

背景技术

[0002] 同轴反射式望远镜主次镜的对准误差会直接影响整个望远系统的光学特性,为了让望远镜尽可能按设计要求工作,需要尽可能减小主次镜的对准误差。特别是对于口径1m以上的大型望远镜和空间望远镜,不便于直接人工对准装调,主次镜如果对准误差过大将大大降低望远镜的成像质量,甚至使其无法完成既定任务。另外对于工作中的望远镜,由于震动、热变形、重量畸变等因素,也会引起主次镜的对准误差,为了保证望远镜一直处于最佳工作状态,必须实时修正主次镜的对准误差。基于出瞳波前误差的对准技术国内外都做了较多研究,但由于数学模型复杂或者装调过程繁琐,不便于快速、高精度对准主次镜。
[0003] 常见的对准算法有CAA算法、逆向优化算法、SPGD算法等。Gao Zhishan,Chen Lei等人在文章《Computer aided alignment for a reference transmission sphere of an interferometer》,(《Optical Engineering》,43(1),69-74(2004))中使用CAA算法对一个球面波产生器进行了对准,但该算法对于同轴反射望远镜不能很好的解耦像散,并且在实际测量时高阶像差受环境因素影响较大,不便于作为评估指标。Seonghui Kim,Ho-Soon Yang等人在文章《Merit function regression method for efficient alignment control of two-mirror optical systems》(《Optical Express》,15(8),5059-5068(2007))中提出了使用优质函数衰减算法(即逆向优化算法)对准卡式望远镜主次镜的方法,但该算法计算时间不确定,且有可能收敛于局部极值。韩杏子、俞信等人在论文《随机并行梯度下降算法用于次镜校准的仿真研究》(《激光与光电子学进展》,47,042201(2010))中提出利用SPGD算法(随机并行梯度下降算法)在无波前传感器及系统参数未知的情况下对准共轴三镜系统的次镜,该算法同样存在收敛时间不确定,且有可能收敛于局部极值的弊端,由于次镜调整时为刚体运动,各个自由度的失调量引起的波前误差也不相同、影响大小也不相同,倾斜误差和离心误差有可能不同时收敛,算法的可靠性和稳定性不高。

发明内容

[0004] 为了克服现有技术的不足,本发明的目的是提供一种基于像散分解,建立同轴反射望远镜主次镜失调量与出瞳波前误差之间的数学模型。
[0005] 为了实现上述目的,本发明提供的基于像散分解获得望远镜主次镜对准误差的方法,获得望远镜主次镜对准误差的步骤包括以下:
[0006] 步骤S1:对光学系统中的次镜进行测定,获得次镜四个失调量与采用泽尼克多项式表示的出瞳波前误差像散项和慧差项的泽尼克系数之间的比例系数,当测定失调量中的一项时,保持其它失调量不变;所述四个失调量包括:dx为次镜顶点沿x方向的第一平移失调量,dy为次镜顶点沿y方向的第二平移失调量,tx为次镜以次镜顶点为旋转中心绕x轴旋转的第一倾斜失调量,ty为次镜以次镜顶点为旋转中心绕y轴旋转的第二倾斜失调量;
[0007] 步骤S2:以平行光或者轴上点为光源,测量光学系统出瞳处的波前误差,得到出瞳像散项和慧差项Coma的泽尼克系数;
[0008] 步骤S3:将次镜的第一平移失调量和第二倾斜失调量分为一组,第二平移失调量和第一倾斜失调量分为一组,以主次镜理想位置时主镜光轴为Z轴,次镜顶点为坐标原点建立左手笛卡尔坐标系,将测得的出瞳像散项Ast分解为Astx和Asty,如下表示:
[0009]
[0010]
[0011]
[0012] 其中,Astx为由第一平移失调量和第二倾斜失调量产生的像散,Asty为由第二平移失调量和第一倾斜失调量产生的像散,Ast0和Ast45分别为0°像散和45°像散;
[0013] 步骤S4:构建由第一平移失调量和第二倾斜失调量共同作用产生像散Astx的关系模型,构建由第二平移失调量和第一倾斜失调量共同作用产生像散Asty之间的关系模型,如下所示:
[0014] Kadx·dx2+2αx·dx·ty+Katy·ty2=Astx (4)
[0015] Kady·dy2+2αy·dy·tx+Katx·tx2=Asty (5)
[0016] 分别对dx和dy求导,则有:
[0017]
[0018]
[0019] 其中,αx和αy为耦合系数,Kadx是一个符号表示次镜第一平移失调量和泽尼克系数像散项之间的比例系数,Kady是一个符号表示次镜第二平移失调量和泽尼克系数像散项之间的比例系数,Katx是一个符号表示次镜第一倾斜失调量和泽尼克系数像散项之间的比例系数,Katy是一个符号表示次镜第二倾斜失调量和泽尼克系数像散项之间的比例系数;
[0020] 步骤S5:构建由第一平移失调量和第二倾斜失调量共同作用产生慧差项Coma0的关系模型,构建由第二平移失调量和第一倾斜失调量共同作用产生慧差项Coma90的关系模型,它们之间满足如下关系:
[0021] Kcdx·dx+Kcty·ty=Coma0 (8)
[0022] Kcdy·dy+Kctx·tx=Coma90 (9)
[0023] 其中,Coma0和Coma90分别为0°慧差和90°慧差,Kcdx是一个符号表示次镜第一平移失调量和泽尼克系数慧差项之间的比例系数,Kcdy是一个符号表示次镜第二平移失调量和泽尼克系数慧差项之间的比例系数,Kctx是一个符号表示次镜第一平移失调量和泽尼克系数慧差项之间的比例系数,Kcty是一个符号表示次镜第二倾斜失调量和泽尼克系数慧差项之间的比例系数;
[0024] 步骤S6:联合公式4、5、8、9求解时需要尝试移动,以确定正确的移动方向;联合公式6、7、8、9求解时需要先移动一个微小量Δdx和Δdy,进而求得次镜各失调量。
[0025] 本发明与现有的技术方法相比具有如下优点:
[0026] (1)本发明基于像散分解,结合慧差来计算主次镜失调量,不依赖于倾斜量、高阶像差,并且对主次镜局部面形误差不敏感、环境要求较低,同时降低了测量仪器的安装要求。
[0027] (2)本发明可以直接计算失调量,并且计算精度随着失调量的减小而提高,减小了对准过程中的盲目性,只需要几次便可以实现高精度对准,便于实现实时自动对准。
[0028] (3)本发明数学模型简单,只需测定几个系数便可以进行计算,方便实现。
[0029] 本发明成功实现了次镜失调量的解耦,从而为主次镜精确、快速对准提供了依据,可以用于主次镜实时自动对准。

附图说明

[0030] 图1是本发明基于像散分解获得同轴反射式望远镜主次镜对准误差的方法;
[0031] 图2a至图2c为主次镜对准失调量示意图;
[0032] 图3为主次镜对准误差检测光路示意图;
[0033] 图4a至图4b为耦合系数αx的测定示例。

具体实施方式

[0034] 以下结合附图,说明本发明的实施例。
[0035] 如图1示出基于像散分解获得望远镜主次镜对准误差的方法,具体步骤为:
[0036] 步骤S1:对光学系统中的次镜进行测定,获得次镜四个失调量与采用泽尼克多项式表示的出瞳波前误差像散项和慧差项的泽尼克系数之间的比例系数,当测定失调量中的一项时,保持其它失调量不变;所述四个失调量包括:dx为次镜顶点沿x方向的第一平移失调量,dy为次镜顶点沿y方向的第二平移失调量,tx为次镜以次镜顶点为旋转中心绕x轴旋转的第一倾斜失调量,ty为次镜以次镜顶点为旋转中心绕y轴旋转的第二倾斜失调量;
[0037] 步骤S2:以平行光或者轴上点为光源,测量光学系统出瞳处的波前误差,得到出瞳像散项Ast和慧差项Coma的泽尼克系数;
[0038] 步骤S3:将次镜的第一平移失调量dx和第二倾斜失调量ty分为一组,第二平移失调量dy和第一倾斜失调量tx分为一组,以主次镜理想位置时主镜光轴为Z轴,次镜顶点为坐标原点建立左手笛卡尔坐标系,将测得的出瞳像散项Ast分解为Astx和Asty,如下表示:
[0039]
[0040]
[0041]
[0042] 其中,Astx为由第一平移失调量dx和第二倾斜失调量ty产生的像散,Asty为由第二平移失调量dy和第一倾斜失调量tx产生的像散,Ast0和Ast45分别为0°像散和45°像散;
[0043] 步骤S4:构建由第一平移失调量dx和第二倾斜失调量ty共同作用产生像散Astx的关系模型,构建由第二平移失调量dy和第一倾斜失调量tx共同作用产生像散Asty之间的关系模型,如下所示:
[0044] Kadx·dx2+2αx·dx·ty+Katy·ty2=Astx (4)
[0045] Kady·dy2+2αy·dy·tx+Katx·tx2=Asty (5)
[0046] 分别对dx和dy求导,则有:
[0047]
[0048]
[0049] 其中,αx和αy为耦合系数,Kadx是一个符号表示次镜第一平移失调量dx和泽尼克系数像散项之间的比例系数,Kady是一个符号表示次镜第二平移失调量dy和泽尼克系数像散项之间的比例系数,Katx是一个符号表示次镜第一倾斜失调量tx和泽尼克系数像散项之间的比例系数,Katy是一个符号表示次镜第二倾斜失调量ty和泽尼克系数像散项之间的比例系数;
[0050] 步骤S5:构建由第一平移失调量dx和第二倾斜失调量ty共同作用产生慧差项Coma0的关系模型,构建由第二平移失调量dy和第一倾斜失调量tx共同作用产生慧差项Coma90的关系模型,它们之间满足如下关系:
[0051] Kcdx·dx+Kcty·ty=Coma0 (8)
[0052] Kcdy·dy+Kctx·tx=Coma90 (9)
[0053] 其中,Coma0和Coma90分别为0°慧差和90°慧差,Kcdx是一个符号表示次镜第一平移失调量dx和泽尼克系数慧差项之间的比例系数,Kcdy是一个符号表示次镜第二平移失调量dy和泽尼克系数慧差项之间的比例系数,Kctx是一个符号表示次镜第一平移失调量tx和泽尼克系数慧差项之间的比例系数,Kcty是一个符号表示次镜第二倾斜失调量ty和泽尼克系数慧差项之间的比例系数;
[0054] 步骤S6:联合公式4、5、8、9求解时需要尝试移动,以确定正确的移动方向;联合公式6、7、8、9求解时需要先移动一个微小量Δdx和Δdy,进而求得次镜各失调量。
[0055] 其中:构建分别单独测定次镜各个失调量单独作用时与像散项的泽尼克系数之间的比例系数和各个失调量单独作用时与慧差项的泽尼克系数之间的比例系数时的拟合函数模型为:
[0056] Ast0=Kadx·dx2
[0057] Ast0=Kady·dy2 (10)
[0058] Ast0=Katx·tx2
[0059] Ast0=Katy·ty2
[0060] Coma0=Kcdx·dx
[0061] Coma90=Kcdy·dy (11)
[0062] Coma90=Kctx·tx
[0063] Coma0=Kcty·ty
[0064] 其中,公式10为像散项的拟合函数模型,公式11为慧差项的拟合函数模型。
[0065] 其中:测定耦合系数αx和αy步骤如下;
[0066] 步骤S41:给定一个第二倾斜失调量ty,保持第二平移失调量dy、第一倾斜失调量tx均为零,测定第二倾斜失调量ty不为零时的像散项Ast′x与第二倾斜失调量ty为零时的像散项Astx的差值ΔAstdx随第一倾斜失调量dx的变化关系:
[0067] ΔAstdx=Ast′x-Astx|ty=0
[0068] =Kadx·dx2+2αx·dx·ty+Katy·ty2-Kadx·dx2 (12)
[0069] =2αx·dx·ty+Katy·ty2
[0070] 根据上式求出耦合系数αx,同理,给定一个第一倾斜失调量tx有:
[0071] ΔAstdy=Ast′y-Asty|tx=0
[0072] =Kady·dy2+2αy·dy·tx+Katx·tx2-Kady·dy2 (13)
[0073] =2αy·dy·tx+Katx·tx2
[0074] 进而得到耦合系数αy。
[0075] 其中:用公式4、5、8、9构建方程组求解次镜各失调量的方法如下:
[0076] (1)用公式4、5、8、9构建方程组,解方程解得两组解,方程的解为次镜各失调量的大小;
[0077] (2)先根据第一组解对次镜的失调量进行补偿,如果出瞳波前误差增大则采用第二组解进行补偿。
[0078] 其中:用公式6、7、8、9构建方程组求解次镜各失调量的方法如下:
[0079] (a)让次镜沿x轴方向进行微小平移Δdx和沿y轴方向进行微小平移Δdy;
[0080] (b)测出次镜进行微小移动后的出瞳波前,并计算出此时Astx和Asty的微小改变量ΔAstx和ΔAsty,则有:
[0081]
[0082] (c)用公式6、7、8、9构建方程组,解方程求得唯一解,方程的解为次镜各失调量大小。
[0083] 本发明中涉及的主次镜对准误差的定义如图2a至图2c所示,主次镜对准是实现主次镜光轴重合的过程,如果以主镜4为参考,则所有的对准误差可均视为次镜3相对于主镜产生的。因为在实际测量过程中改变主镜会引起入射光入射角的改变,并且也会让测量系统所测量的视场发生变化。这样在调整与计算过程中很难保证各种边界条件的正确性。此外,再使用本发明进行对准之前,必须首先对主次镜进行粗对准,至少保证测量系统可以测得出瞳波前误差。以理想系统中次镜顶点为原点,光轴为z轴建立左手笛卡尔坐标系xoy,主次镜对准误差均在此坐标系下定义。图2a中含有次镜3、主镜4,符号F、D、T在此图中均为误差示意标记符号,只是为了形象的说明这几种误差的空间形式,不具有严格的数学界定,符号F表示离焦误差,符号D表示次镜顶点偏离主光轴的离心误差,符号T表示次镜光轴与主镜光轴存在一定夹角时的倾斜误差;图2b中符号tx表示次镜光轴绕x轴的旋转与主镜光轴存在夹角时的第一倾斜失调量,符号dy表示次镜顶点沿y轴偏离主镜光轴时的离心第二平移失调量;图2c中符号ty表示次镜光轴绕y轴的旋转与主镜光轴存在夹角时的第二倾斜失调量,符号dx表示次镜顶点沿x轴偏离主镜光轴时的离心第一平移失调量。以下分析计算均是在此定义下进行的,如果调整时以其他旋转中心来进行调整,则需要将计算所得的误差量通过坐标变化,转换为实际调整时所在的坐标系下。
[0084] 本发明所用的检测光路如图3所示,其中,图中包括平行光管1,为波前传感器2、次镜3、主镜4。这里采用平行光为参考光,实际中可以用平行光管1或者星光作为参考光。测量时先保证参考光与主镜4的光轴平行,如果采用星光作为参考光,则需要保证星点在主镜4的光轴上。然后,将波前传感器2放置在望远镜理论焦点位置附近。测量之前还需要获取主镜4和次镜3的面形检测数据,以作为实际测量时的修正值。次镜3调整时可以采用六自由度调整机构。为了测定算法的有效性,用光学设计软件ZEMAX建立一个卡式望远镜的光学模型,并且设定次镜3的第一平移失调量为dx=1mm,第二平移失调量dy=1mm,第一倾斜失调量为tx=0.5°,第二倾斜移失调量ty=2°。
[0085] 在以上定义和要求下,本发明按以下步骤实现一个实施例:
[0086] 第一步,测定次镜3各失调量与波前误差像散项和慧差项系数之间的比例系数,当测定其中一项时,保持次镜3的其他失调量不变,例如测定dx的比例系数时,需要保持次镜3的失调量dy、tx、ty均为零或者保持不变,测得各个系数分别为:Kadx为-0.104、Kady为0.104、Katx为0.6616、Katy为-0.6616、Kcdx为1.2654、Kcdy为1.2654、Kctx为-3.3855和Kcty为3.3855;
[0087] 第二步,以平行光作为参考光,测量主镜4和次镜3出瞳处的波前误差,得到像散项和慧差项的泽尼克系数(采用Fringe排列方式):Ast0为-1.961、Ast45为1.425、Coma0为8.043、Coma90为-0.4188,Ast0和Ast45分别为0°像散和45°像散的泽尼克系数,Coma0和Coma90分别为0°慧差和90慧差泽尼克系数;
[0088] 第三步,将次镜3的第一平移失调量dx和第二倾斜失调量ty分为一组,第二平移失调量dy和第一倾斜失调量tx分为一组。由第一平移失调量dx和第二倾斜失调量ty产生的像散定义为Astx,由第二平移失调量dy和第一倾斜失调量tx产生的像散定义为Asty,利用如下方法将测得的出瞳像散分解为Astx和Asty:
[0089]
[0090]
[0091]
[0092] 其中,由于Kadx和Katy为负值,所有Astx取为-2.192;
[0093] 第四步,测定αx和αy:
[0094] 给定一个ty,在此条件下测定像散项Ast′x随dx的变化,如图4a所示。图4a中横坐标表示次镜顶点沿x轴偏离主镜光轴的距离,即失调量dx的大小;图4a中纵坐标表示出瞳波前误差Ast经分解后获得的Astx;图4a中实线表示次镜的第二倾斜失调量ty为0°时Astx随第一平移失调量dx变化的情况,图中其它线分别表示次镜第二倾斜失调量ty为不同值时Astx随第一平移失调量dx变化的情况。然后根据下式:
[0095] ΔAstdx=Ast′x-Astx|ty=0
[0096] =Kadx·dx2+2αx·dx·ty+Katy·ty2-Kadx·dx2
[0097] =2αx·dx·ty+Katy·ty2
[0098] 可以求出第二倾斜失调量ty不为0°时的像散项Ast′x与第二倾斜失调量ty为0°时的像散项Astx的差值ΔAstdx,如图4b所示。图4b中横坐标表示次镜顶点沿x轴偏离主镜光轴的距离;图4a中纵坐标表示第二倾斜失调量ty不为零时的像散项Ast′x与第二倾斜失调量ty为0°时的像散项Astx的差值ΔAstdx;图4a中实线表示次镜的第二倾斜失调量ty为0.5°时的像散项Ast′x与次镜的第二倾斜失调量ty为0°时的像散项Astx的差值ΔAstdx随第一平移失调量dx变化的情况,图中其它线分别表示次镜第二倾斜失调量ty为不同值时ΔAstdx随第一平移失调量dx变化的情况。根据拟合的直线参数,便可以求得αx,为了计算简便这里取为0.104,即和Kadx的绝对值相等。其实,αx是随第二倾斜失调量ty变化的一个数,如果为了追求大失调量范围的计算精度,则需要按第二倾斜失调量ty的多项式进行拟合。在这里选取在失调量较少时的计算结果,一方面是为了计算的简便,另一方面是为了保证收敛的精度,即保证在失调量较小时由较高的解算精度。
[0099] 同理可得αy为0.104;
[0100] 第五步,可以采用两种方式计算次镜的失调量:
[0101] (1)直接进行求解,求解后dx和ty、dy和tx两组分别都有两组解,由于边界条件不足,因此需要先按其中一组的1/2或者其他适宜值进行修正,如果出瞳波前的像散项和慧差项均明显减小,则按此组解进行修正;如果出瞳波前像散项和慧差项均明显增大,则直接按另一组解进行修正。
[0102] 根据计算方法(1)第一次对准后残余误差为:
[0103] δdx=-0.1357mm,δdy=0.2459mm,δtx=5.667′,δty=2.921′,[0104] 第二次对准后残余误差为:
[0105] δdx=0.126μm,δdy=-0.264μm,δtx=0.9792″,δty=0.5616″。
[0106] (2)采用微分方程进行求解,此时需要先使次镜3产生定量的Δdx和Δdy失调量,该主动失调量以目标不出视场为宜,则此时有:
[0107] 根据计算方法(2)第一次对准后残余误差为:
[0108] δdx=1.03mm,δdy=1.045mm,δtx=23.59′,δty=-2321′,[0109] 第二次对准后残余误差为:
[0110] δdx=-34.68μm,δdy=-34.65μm,δtx=40.49″,δty=40.66″。
[0111] 以上两种计算方法在第一次对准时都有较大的计算误差,而第二次计算精度明显大大提高,这和耦合系数的选取有关。
[0112] 从计算结果来看,两种求解方法均可以有效的计算失调量。其中,计算方法(2)是以微分近似求解的,在离理想值很近时由于移动量不易把握,并且由于近似引起的相对误差较大,因此在失调量距理想值很近时该算法精度不高。计算方法(1)虽然计算精度高,但是需要解二次方程,计算比较复杂,并且计算方法(2)在远离理想值时也有足够的计算精度,所以在失调量距理想值较远时采用计算方法(2),在距离理想值较近时采用计算方法(1)。
[0113] 以上所述,仅为本发明中的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉该技术的人在本发明所揭露的技术范围内,可理解想到的变换或替换,都应涵盖在本发明的包含范围之内。