一种多面体主基板及其制造方法和加工方法

摘要

一种多面体主基板，用于安装支撑装置、测量装置和镜筒装置，所述主基板上开设有至少一个工位，所述主基板的外表面是由所述支撑装置、测量装置、镜筒装置的安装区域的多边形包络面所限定，并由若干其他平面按凸包规则连接构成的凸多面体。本发明基于多面体结构设计，获得的主基板整体结构更为简单高效，能够达到更好的动态性能和稳定性。同时也符合主基板整体铸造的加工特性，其组合构成的主基板相比现有结构具有高模态、低质量的性能优势。

权利要求

1.一种多面体主基板，用于安装支撑装置、测量装置和镜筒装置，所述主基板上开设有至少一个工位，其特征在于，所述主基板的外表面是由所述支撑装置、测量装置、镜筒装置的安装区域的多边形包络面所限定，并由若干其他平面按凸包规则连接构成的凸多面体，所述主基板外表面包括：主基板上表面，开设有至少一个工位，并设置有对应所述支撑装置的安装区域，所述主基板上表面为多边形结构，所述多边形结构的边缘由所述支撑装置的安装区域限定；

主基板下表面，对应主基板上表面开设有相应的工位，并分别设置有对应若干测量系统的安装区域，所述主基板下表面为多边形结构，所述多边形结构的边缘由所述各测量系统的安装区域限定；以及，外围板，包括若干多边形面板，所述外围板对所述主基板上表面的多边形顶点与所述主基板下表面的多边形顶点以若干多边形面板进行过渡连接，并使所述主基板上表面、主基板下表面和外围板连接形成凸多面体。

2.如权利要求1所述的多面体主基板，其特征在于，所述主基板上表面和主基板下表面之间还设置有若干肋板。

3.如权利要求1所述的多面体主基板，其特征在于，所述各肋板呈纵横交错均匀排布于所述主基板上表面和主基板下表面之间。

4.如权利要求1所述的多面体主基板，其特征在于，所述主基板上表面的多边形结构是以各减振器安装区域的包络所限定的多边形。

5.如权利要求1所述的多面体主基板，其特征在于，所述主基板上表面和主基板下表面对应开设的工位包括至少一个曝光位和至少一个测量位。

6.如权利要求1所述的多面体主基板，其特征在于，所述支撑装置是减振器。

7.如权利要求1或6所述的多面体主基板，其特征在于，所述支撑装置的数量为三个或四个。

8.如权利要求7所述的多面体主基板，其特征在于，所述支撑装置设置在至少两个不同高度的平面上，所述主基板上表面由至少两个分别对应连接所述不同高度的平面连接而成。

9.如权利要求1所述的多面体主基板，其特征在于，所述主基板下表面的多边形结构是以各测量系统安装区域的包络所限定的多边形。

10.如权利要求1或9所述的多面体主基板，其特征在于，所述测量系统包括工件台激光干涉仪，零位传感器，离轴对准装置，调平调焦装置和二次预对准装置。

11.如权利要求1所述的多面体主基板，其特征在于，所述外围板中的各多边形面板连接形成的空间包络是由凸包条件限定的。

12.一种如权利要求1所述的多面体主基板的制造方法，所述主基板通过若干支撑装置安装在一基础框架上，其包括以下步骤：提供主基板上表面：确定所述主基板上表面对应所述各支撑装置的安装区域，以所述各支撑装置安装区域作为边缘点确定主基板上表面的多边形结构，并在所述主基板上表面开设至少一个工位；

提供主基板下表面：确定所述主基板下表面上分别对应若干测量系统的安装区域，以所述各测量系统安装区域作为边缘点确定所述主基板下表面的多边形结构，并在所述主基板下表面开设对应主基板上表面的工位；以及，提供外围板：对所述主基板上表面的多边形顶点与所述主基板下表面的多边形顶点以若干多边形面板进行过渡连接，并使所述主基板上表面、主基板下表面和外围板连接形成凸多面体。

13.如权利要求12所述的多面体主基板的制造方法，其特征在于，还包括在所述主基板上表面和主基板下表面之间设置肋板的步骤。

14.如权利要求12所述的多面体主基板的制造方法，其特征在于，所述主基板上表面的多边形结构是以各减振器安装区域的包络所限定的多边形。

15.如权利要求12所述的多面体主基板的制造方法，其特征在于，所述主基板上表面和主基板下表面对应开设的工位包括至少一个曝光位和至少一个测量位。

16.如权利要求12所述的多面体主基板的制造方法，其特征在于，所述主基板下表面的多边形结构是以各测量系统安装区域的包络所限定的多边形。

17.如权利要求12或16所述的多面体主基板的制造方法，其特征在于，所述测量系统包括工件台激光干涉仪，零位传感器，离轴对准装置，调平调焦装置和二次预对准装置。

18.如权利要求12所述的多面体主基板的制造方法，其特征在于，所述外围板的多边形面板是采用凸包算法对所述主基板上表面和主基板下表面的多边形顶点在三维空间中进行求解，在满足安装空间的条件下，获得各多边形面板的结构。

19.如权利要求12或18所述的多面体主基板的制造方法，其特征在于，在所述提供外围板的步骤中，还包括对外围板进行模型修正的步骤，所述模型修正包括，将所述外围板的多边形面板分为上下两层进行构建；将所述外围板中各多边形面板的多边形边数保持在最少。

20.一种如权利要求1所述的多面体主基板的加工方法，包括以下步骤：

板材落料、零件预加工，根据主基板设置工位、支撑装置安装区域以及测量系统安装区域分别加工对应主基板外表面各平面的多边形板材，所述主基板外表面包括主基板上表面、主基板下表面和外围板；

板材焊接，包括焊接主基板下表面的底板和对应测量装置和镜筒装置的基座板；依次焊接主基板上表面和主基板下表面之间纵横交错的肋板，完成内部骨架的搭建；以及，焊接外围板的各多边形面板板材。

21.如权利要求20所述的多面体主基板的加工方法，其特征在于，所述主基板各板材之间采用焊接工艺，其工艺顺序采用先下后上，先内后外的方式。

说明书

一种多面体主基板及其制造方法和加工方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种半导体制造设备，尤其涉及一种用于光刻设备的多面体主基板结构及其制造方法和加工方法。

背景技术

[0002] 主基板和测量支架是光刻机整机框架设计的核心，它既需要具备高模态的特征指标，以满足短期稳定性动态性能的需求，同时又必须在材料和传热领域寻找到一个很好的平衡点以满足长期热稳定性的需求。此外，随着物镜和测量系统质量的增加，又迫使主基板和测量支架设计要满足低质量、轻量化的发展趋势。因此主基板和测量支架的设计方向需要具备高模态和轻量化的双重特征。

[0003] 就空间约束而言，由于投影物镜的发展使得共轭距不断增大，这使得整机内部世界，具体包括主基板和测量支架，需要提供从掩模面(物镜物面)到硅片面(物镜像面)跨度更大Z向高度的尺寸，为掩模台激光干涉仪和工件台激光干涉仪提供有效的安装平面。同时，光刻机为提高整机工作效率，主基板的发展趋势由一个工作位增加至两个工作位，以适应双工件台和双曝光设计的X和Y向平面空间需求。因此，主基板和测量支架需要为光刻机物镜和测量系统提供为空间跨度更大的安装和支持面。

[0004] 美国专利US7130019提供了一种铝制混合材料的主基板制造方法，并增加反馈温控系统进行主动冷却和温度补偿。这样的主基板可以使用较高热膨胀系数的材料，同时这种新材料具备较高的刚度以达到同等的动态性能。但是，如果采用殷钢(Invar)等低热膨胀系数的材料来制造主基板，会产生以下缺陷：殷钢制造成本高，可加工性难，交货期长。另一方面，受殷钢材料性质的影响也存在动态性能的瓶颈等问题。美国专利US7130019所公开的主基板为一种双工位、大面积主基板，虽然其质量较轻，但模态值相对偏低，不利于整机动态性能。

[0005] 美国专利US5691806提供了一种铸型主基板框架，所述铸型框架安装在工件台上方。铸型框架的顶部是箱体结构，内部设有许多加强筋，将框架分割成若干个小箱体，以增强铸型框架的刚度，同时在框架内填满减振泡沫，提高系统稳定性。铸型框架是封闭式结构，不会有颗粒污染工件台。美国专利US5691806所公开的主基板为一种单工位、小面积主基板，虽然其结构强度好、模态值高，但是因为是铸型主基板而导致质量过大。

[0006] 针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明多面体主基板结构及其制造方法和加工方法。

发明内容

[0007] 本发明是针对现有技术中，现有的光刻机主基板制造成本高，可加工性难，交货期长，动态性能差，以及质量过大等缺陷，提供一种多面体主基板结构。

[0008] 为了解决上述问题，本发明提供一种多面体主基板，用于安装支撑装置、测量装置和镜筒装置，所述主基板上开设有至少一个工位，其中，所述主基板的外表面是由所述支撑装置、测量装置、镜筒装置的安装区域的多边形包络面所限定，并由若干其他平面按凸包规则连接构成的凸多面体。

[0009] 进一步，所述主基板外表面包括：主基板上表面，开设有至少一个工位，并设置有对应所述支撑装置的安装区域，所述主基板上表面为多边形结构，所述多边形结构的边缘由所述支撑装置的安装区域限定；主基板下表面，对应主基板上表面开设有相应的工位，并分别设置有对应若干测量系统的安装区域，所述主基板下表面为多边形结构，所述多边形结构的边缘由所述各测量系统的安装区域限定；外围板，包括若干多边形面板，所述外围板对所述主基板上表面的多边形顶点与所述主基板下表面的多边形顶点以若干多边形面板进行过渡连接，并使所述主基板上表面、主基板下表面和外围板连接形成凸多面体。

[0010] 可选的，所述主基板上表面和主基板下表面之间还设置有若干肋板。

[0011] 可选的，所述各肋板呈纵横交错均匀排布于所述主基板上表面和主基板下表面之间。

[0012] 可选的，所述主基板上表面的多边形结构是以各减振器安装区域的包络所限定的多边形。

[0013] 可选的，所述主基板上表面和主基板下表面对应开设的工位包括至少一个曝光位和至少一个测量位。

[0014] 可选的，所述支撑装置是减振器。

[0015] 可选的，所述支撑装置的数量为三个或四个。

[0016] 可选的，所述支撑装置设置在至少两个不同高度的平面上，所述主基板上表面由至少两个分别对应连接所述不同高度的平面连接而成。

[0017] 可选的，所述主基板下表面的多边形结构是以各测量系统安装区域的包络所限定的多边形。

[0018] 可选的，所述测量系统包括工件台激光干涉仪，零位传感器，离轴对准装置，调平调焦装置和二次预对准装置。

[0019] 可选的，所述外围板中的各多边形面板连接形成的空间包络是由凸包条件限定的。

[0020] 本发明的又一目的是针对现有技术的缺陷，提供一种制造上述多面体主基板的制造方法。

[0021] 为了达到上述目的，本发明提供一种多面体主基板的制造方法，所述主基板通过若干支撑装置安装在一基础框架上，其包括以下步骤：提供主基板上表面：确定所述主基板上表面对应所述各支撑装置的安装区域，以所述各支撑装置安装区域作为边缘点确定主基板上表面的多边形结构，并在所述主基板上表面开设至少一个工位；提供主基板下表面：确定所述主基板下表面上分别对应若干测量系统的安装区域，以所述各测量系统安装区域作为边缘点确定所述主基板下表面的多边形结构，并在所述主基板下表面开设对应主基板上表面的工位；提供外围板：对所述主基板上表面的多边形顶点与所述主基板下表面的多边形顶点以若干多边形面板进行过渡连接，并使所述主基板上表面、主基板下表面和外围板连接形成凸多面体。

[0022] 可选的，本方法还包括在所述主基板上表面和主基板下表面之间设置肋板的步骤。

[0023] 可选的，所述主基板上表面的多边形结构是以各减振器安装区域的包络所限定的多边形。

[0024] 可选的，所述主基板上表面和主基板下表面对应开设的工位包括至少一个曝光位和至少一个测量位。

[0025] 可选的，所述主基板下表面的多边形结构是以各测量系统安装区域的包络所限定的多边形。

[0026] 可选的，所述测量系统包括工件台激光干涉仪，零位传感器，离轴对准装置，调平调焦装置和二次预对准装置。

[0027] 可选的，所述外围板的多边形面板是采用凸包算法对所述主基板上表面和主基板下表面的多边形顶点在三维空间中进行求解，在满足安装空间的条件下，获得各多边形面板的结构。

[0028] 可选的，在所述提供外围板的步骤中，还包括对外围板进行模型修正的步骤，所述模型修正包括，将所述外围板的多边形面板分为上下两层进行构建；将所述外围板中各多边形面板的多边形边数保持在最少。

[0029] 针对上述多面体主基板，本发明还提供一种多面体主基板的加工方法，包括以下步骤：板材落料、零件预加工，根据主基板设置工位、支撑装置安装区域以及测量系统安装区域分别加工对应主基板外表面各平面的多边形板材，所述主基板外表面包括主基板上表面、主基板下表面和外围板；板材焊接，包括焊接主基板下表面的底板和对应测量装置和镜筒装置的基座板；依次焊接主基板上表面和主基板下表面之间纵横交错的肋板，完成内部骨架的搭建；以及，焊接外围板的各多边形面板板材。

[0030] 可选的，所述主基板各板材之间采用焊接工艺，其工艺顺序采用先下后上，先内后外的方式。

[0031] 综上所述，相对于现有结构主基板，本发明采用了多面体结构的设计理念，根据光刻设备中支撑装置和各测量装置的安装需求，将主基板上表面和主基板下表面的结构限定为更为简洁高效的多边形结构形式，并在主基板上表面和主基板下表面之间以多边形面板连接成凸多面体结构，形成的主基板整体结构更为紧凑高效，能够达到更好的动态性能和稳定性。

[0032] 另外，多边形和多面体的几何结构不仅适合板材切割和焊接的制造工艺，而且也符合主基板整体铸造的加工特性，其组合构成的主基板相比现有结构具有高模态、低质量的性能优势。

附图说明

[0033] 图1是本发明多面体主基板上表面的结构示意图；

[0034] 图2是本发明多面体主基板下表面的结构示意图；

[0035] 图3是本发明多面体主基板侧面外围板的结构示意图；

[0036] 图4是本发明多面体主基板背面外围板的结构示意图；

[0037] 图5是本发明多面体主基板的结构透视图；

[0038] 图6是本发明主基板上支撑装置和测量系统安装区域的示意图；

[0039] 图7是本发明主基板安装在基础框架上的结构示意图；

[0040] 图8是本发明主基板加工制造流程图。

具体实施方式

[0041] 为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。

[0042] 本发明多面体主基板，用于安装支撑装置、测量装置和镜筒装置，所述主基板上开设有至少一个工位。其中，所述主基板的外表面是由所述支撑装置、测量装置、镜筒装置的安装区域的多边形包络面所限定，并由若干其他平面按凸包规则连接构成的凸多面体。在具体实施方式中，列举所述多面体主基板为双工位主基板，不应视为对本发明的限制。

[0043] 请参阅图1、图2，图1与图2所示为主基板100的外部结构示意图。所述主基板100的外部结构包括由顶板(未图示)构成的主基板上表面204、由底板(未图示)构成的主基板下表面203，以及用于所述主基板上表面204与所述主基板下表面203进行有效过渡连接的外围板205。在本实施例中，所述主基板100为双工位主基板，具体包括安装投影物镜的曝光位101和进行测量校正的测量位102。

[0044] 其中，所述主基板100的外部结构呈Y向对称多面体形状。在所述主基板上表面204上设置有对应支撑装置的安装平面。在本实施例中，所述支撑装置为主动减振器201。
所述主动减振器201为三个或者四个，所述主基板上表面204对应为近似三角形结构，所述主动减振器201的安装区域分别设置于三角形顶点位置。

[0045] 由于本实施例中所述主动减振器201设置在至少两个不同高度的平面上，所述主基板上表面204由至少两个分别对应连接主动减振器201高度的平面连接而成，使主基板100平稳安装在基础框架上(可参阅图7)。

[0046] 所述主基板下表面203设置有对应工件台激光干涉仪301和其它光刻机测量系统的安装接口(参阅图6所示)，所述主基板下表面203的结构是以上述各测量系统安装区域的包络所限定的多边形。本发明中所述的包络是指包围指定区域外围的周长最小的轮廓结构，其所限定的多边形即为包围指定区域外围的最小凸多边形。

[0047] 在本实施例中，所述测量系统的外围包络由六台工件台激光干涉仪301(分别对应曝光位101和测量位102)构成，由于所述工件台激光干涉仪301安装区域存在一定宽度，因此安装区域包络所限定的主基板下表面203对应工件台激光干涉仪301的结构呈近似八边形结构。

[0048] 本发明的主基板是应用于光刻设备中，安装光刻机的支撑装置和测量系统。由于在光刻设备中，支撑系统布局(对应主动减振器等)和测量系统布局(对应激光干涉仪、对准装置等)在功能特点、设计需求等方面完全不同，使支撑系统和测量系统的安装区域也随之不同，从而分别获得本发明主基板上、下表面不同的结构形式。

[0049] 需要指出的是，本发明中所指的主基板上表面、主基板下表面仅为便于更清楚说明主基板组成部分及其相对关系所作的定义，不应当理解为对相应部位绝对位置的限定，事实上，所述主动减振器201和工件台激光干涉仪301等测量系统的安装面完全可以整体或部分互换，主基板上、下表面也可以平置或倾斜放置，均不影响本发明技术方案的实施，应当属于本发明的保护范围。

[0050] 请参阅图3、图4，在主基板上表面204和主基板下表面203的轮廓点之间采用若干个多边形面板组成外围板205，所述外围板205构成主基板100的凸多面体结构，并在所述主基板上表面204与所述主基板下表面203之间形成有效连接过渡。在本实施例中，所述外围板205是由各多边形面板对所述主基板上表面204与主基板下表面203的多边形顶点连接形成的凸多面体，所述各多边形面板的构成和连接可以根据凸包算法求解获得。

[0051] 请参阅图5，图5所示为主基板100的结构透视图。所述主基板100内部设置有沿X向和Y向交错的内部肋板207。所述内部肋板207之间以预设距离呈空间平行布置，在曝光位、测量位等重要区域外围还设置有连接于X、Y向内部肋板207之间的斜侧肋板。所述主基板100到主动减振器201安装处的左右两侧设置有约呈45°倾斜的加强板206。所述加强板206作为主基板100的安装加强肋板，使得所述加强板206自然过渡并能够与外围板205形成整体加强。

[0052] 另一方面，本发明还提供一种上述多面体主基板的制造方法，具体包括以下步骤。

[0053] 执行步骤S1：数据采集；

[0054] 请继续参阅图6、图7，图6所示为多面体主基板和测量系统接口和安装位置示意图，图7所示为主基板安装在基础框架上的结构示意图。如图6所示，首先对主基板100和测量支架(未图示)的安装面上的测量系统接口和支撑装置位置进行有效识别和定义，明确所有相关接口的位置点或安装区域的三维空间数据。在本实施例中，所述主基板100为双工位主基板，具体包括安装投影物镜的曝光位101和进行测量校正的测量位102。需要采集和定义的接口位置和安装区域包括：安装在主基板下表面203的若干测量系统(未图示)，所述测量系统包括但不限于工件台激光干涉仪、零位传感器、离轴对准、调平调焦、二次预对准，所述测量系统的安装方式可为嵌入式安装或者平置式安装；安装在所述测量支架上表面202的掩模台激光干涉仪(未图示)；设置在所述主基板上表面204上的3个主动减振器201安装位置。如图7所示，所述主动减振器201设置在基础框架上，所述主基板100平置在主动减振器201上，并通过主动减振器201的气浮压力来支撑达到静态平衡。

[0055] 执行步骤S2：主基板外部结构构建；

[0056] 请参阅图7，并结合参阅图1至图4，构建主基板100的外部整体结构需要分别构建主基板上表面204、主基板下表面203和外围板205三个部分。其中，构建所述主基板上表面204是以三个主动减振器201的安装区域所限定的近似三角形结构，其上开设有安装投影物镜的曝光位101和进行测量校正的测量位102。

[0057] 所述主基板下表面203是以上述步骤S1中定义的各测量系统的安装区域外围包络所限定的多边形结构(在本实施例中，下表面各测量系统的外围包络由六台工件台激光干涉仪限定)，并对应开设有曝光位101和测量位102。

[0058] 在主基板上表面204的多边形顶点与所述主基板下表面203的多边形顶点之间使用若干多边形面板进行过渡连接，并使主基板上表面204、主基板下表面203和外围板205形成凸多面体结构。

[0059] 在本实施例中，上述外围板205的多边形面板是采用凸包算法对所述主基板上表面和主基板下表面的多边形顶点在三维空间中进行求解获得的，算法求解的具体步骤如下。

[0060] 请参阅图1至图4，并结合参阅图6。图6所示为多面体主基板和测量系统接口和安装位置示意图，求解时可以根据上述步骤S1中采集的测量系统接口和支撑装置位置三维空间数据作为输入参数，采用计算几何中的凸包算法对三维空间中已知的任意点进行求解，在满足安装空间的前提条件下，输出获得主基板100的外围板205结构。

[0061] 通过上述设计构建步骤，可使所述主基板100的整体结构更简洁高效，能够有效减小上、下表面吊装安装面积。同时，在主基板上表面204和主基板下表面203之间采用若干个多边形组成外围板205，以作为所述主基板上表面204与所述主基板下表面203的有效过渡，削除了主基板100外侧多余的体积，使得上下表面合理有效的搭接和过渡。多边体和多边形的几何形状不仅适合板材切割和焊接的制造工艺，而且也符合主基板100整体铸造的加工特性，使主基板100呈现高模态、低质量的性能优势。

[0062] 执行步骤S3：主基板外部结构模型修正。

[0063] 模型修正是指根据更多的设计约束对算法所得的主基板100的外部结构进行有效的修正，它是一种对模型进行局部的、应用性的修正和完善的过程。所述模型修正包括：(1)简化主基板下表面203的底板和减少外围板205数量，所述底板可根据应用需要进行局部结构简化，在本实施例中，外围板205采用将初步规划的多边形面板模型进行多边形边数简化，合并距离较近的一些多边形顶点，从而使各多边形面板的多边形边数保持在最小；
(2)考虑到主基板和基础框架空间上存在干涉，将外围板的多面体结构分为上下两层进行规划(参阅图3、图4)，在本实施例中，外围板205的多边形面板以基础框架所在高度为分界，其上下两层多边形面板之间形成凸多面体外围板结构；(3)根据主动减振器201受光刻机布局的约束情况，在本实施例中，根据基础框架将主动减振器201安装在两个不同的高度平面，并对主动减振器201安装处进行局部肋板加强，并考虑安装和预留维修维护空间。

[0064] 执行步骤S4：主基板内部结构构建。

[0065] 请参阅图5，针对主基板的肋板设计，采用纵横交错的肋板进行内部加强，包括沿X向和Y向交错的内部肋板207，所述内部肋板207之间以预设距离呈空间平行布置，在曝光位、测量位等重要区域外围还设置有连接于X、Y向内部肋板207之间的斜侧肋板。

[0066] 本发明主基板的加工工艺方法请参阅图8，图8所示为主基板100加工制造流程图。主基板100的各板材之间采用焊接工艺，其工艺为“先下后上，先内后外”的顺序。所述主基板100焊接制造工艺流程包括：依据设计零件图纸，进行板材落料，零件预加工，具体为：对板材外形进行预加工，达到板材的设计形状，完成零件的准备工作；零件预装配，检验整体结构；板材焊接，焊接工艺包括：焊接主基板下表面203的底板和投影物镜及离轴对准的基座板(未图示)；依次焊接主基板100内纵横交错的内部肋板207，完成内部骨架的搭建；焊接外围板205多边形板材，外围板205的焊接顺序依然采用“先下后上”的顺序；焊接主基板上表面204的顶板，完成对主基板100整体的焊接和封闭；测试模态，性能检测。

[0067] 在焊接外围板205时可设置特殊的工装和有角度的支架进行辅助支撑和定位，确保板材之间的尺寸精度和焊接质量。在焊接工艺的步骤上首先以点焊定位，随后进行整条连接边的断续焊或满焊。在主基板上表面204的顶板同内部肋板207及外围板205的连接边之间会预先设有榫孔结构，以实现断续焊接。

[0068] 通过在Hyperworks和Nastran有限元软件中对本实施例中的主基板100进行仿真验证，计算模态和重量，本发明主基板100呈现高模态、低质量的双重性能优势。同现有主基板设计相比较模态提高10％，重量降低30％，取得了明显的效果。光刻机内部世界振动控制主基板振动加速度的PSD值，且其关键位置的响应控制在最大幅值在1nm范围内。

[0069] 综上所述，本发明基于主基板整体多面体结构设计，不仅能有效提高整机内部世界的动态性能，而且有效的减轻内部世界的质量，同时降低采购成本和制造周期。

[0070] 需要指出的是，本实施例仅为详细说明本发明的具体结构特征及运作方式，并不对本发明的技术方案构成实质性限定。本领域技术人员根据本发明记载的技术方案应当能够将本发明的思想推及应用到其他常见实施场景中，包括但不限于以下情况。

[0071] 本实施例中列举的主基板工位配置类型不对本发明主基板结构构成限制，本领域技术人员完全可以根据实际需要自由选用仅有单曝光位的单工位主基板，具有单曝光位、单测量位的双工位主基板，或者具有两个以上工位的多工位主基板。

[0072] 本实施例中列举的基础框架支撑装置的配置数量和类型不对本发明主基板技术方案构成限制，该支撑装置可以是主动减振器、减振块或者其他常用支撑装置，数量可以是三个、四个或者其他可以实现稳定支撑的布局数量，支撑装置可以位于同一高度平面上，也可以位于两个甚至超过两个不同高度的平面上。

[0073] 本实施例中列举的测量系统的种类、安装方式和配置数量不对本发明主基板技术方案构成限制，所述测量系统根据实际应用需要可以是工件台激光干涉仪、零位传感器、离轴对准、调平调焦、二次预对准或其他常用测量装置中的一种或多种，各测量装置的位置布局和数量也可以根据实际测量需要进行选择。

[0074] 本实施例中列举的采用凸包算法求解获得多边形面板不对本发明外围板的构建方式构成限制，本领域技术人员在理解本发明技术思想的基础上，完全可以根据需要构建主基板上下表面多边形顶点之间的多边形面板拼接方式，并且使得多边形面板组成的外围板为凸多面体结构，即可实现本发明的基本目的。在顶点和安装条件确定的前提下，可以使用计算几何的一般原理或已有算法模型，或者采用现有数学计算软件产品(例如：Wolfram公司提供的Mathematica计算平台等)，甚至可以根据实际需求手工设计多边形面板的结构和组合方式。

[0075] 本领域技术人员均应了解，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可以对本发明进行各种修改和变型。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的保护范围内时，应当认为本发明涵盖这些修改和变型。