惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及电子设备

摘要

本发明提供一种半导体元件、半导体元件的制造方法以及电子设备，其降低了寄生电容。本发明的半导体元件（1）的特征在于，包括：底基板（12）；第一半导体布线（50）和第二半导体布线（50），其以在所述底基板（12）上相互并列的方式而配置；所述底基板（12）在所述第一半导体布线（50）与所述第二半导体布线（50）之间，具备沿着所述第一半导体布线（50）和所述第二半导体布线（50）的延伸方向的开口部（布线间槽（54）、狭缝（56））。