一种基于级联马赫-曾德干涉仪型可重构梳状滤波器及其制备方法

摘要

一种基于级联马赫-曾德干涉仪型可重构梳状滤波器及其制备方法，包括：平面光波光路PLC芯片和第一光纤阵列和第二光纤阵列，所述平面光波光路PLC芯片包括：硅衬底，在硅衬底上设有二氧化硅缓冲层，在二氧化硅缓冲层上设有波导，在波导上设有覆盖层，所述波导包括输入级Y分支、第一长度固定臂和第二长度固定臂、第一开放臂、第二开放臂、第三开放臂、和第四开放臂、第一级3dB耦合器、第二级3dB耦合器和输出级3dB耦合器。制备方法为：在硅衬底上制备缓冲层、波导，得到PLC芯片部分，切片研磨后和光纤阵列耦合，最后将相应的光纤连接。本发明可以实现可重构、相位精细可调、平顶型滤波、低非线性输出。