具有埋设型电极的传感器及其制造方法

摘要

本发明公开一种具有埋设型电极的传感器，该传感器可减少制造费用并有广泛的应用前景。所述传感器包括：感测堆，由第一导电层和第二导电层隔着分离层而被层叠埋设而构成；电极端子，分别电连接于所述第一导电层和第二导电层而设置于所述感测堆的侧面，其中，在除了设置有所述电极端子的侧面以外的至少一个侧面上露出所述第一导电层及第二导电层而形成感测面。

权利要求

1.一种具有埋设型电极的传感器，其特征在于，包括：

感测堆，由第一导电层和第二导电层隔着分离层而被层叠埋设而构成；

电极端子，分别电连接于所述第一导电层和第二导电层而设置于所述感测堆的两个相对的侧面，其中，所述电极端子包括第一电极端子和第二电极端子，

所述第一导电层被构成为在所述感测堆的所述两个相对的侧面中的一侧面上暴露而在相反侧面上借助于所述分离层而没有暴露，所述第二导电层被构成为在所述感测堆的所述两个相对的侧面中的所述相反侧面上暴露而在所述一侧面上借助于所述分离层而没有暴露，而且，在除了设置有所述电极端子的侧面以外的至少一个侧面上露出所述第一导电层及第二导电层而形成感测面。

2.如权利要求1所述的具有埋设型电极的传感器，其特征在于，在所述感测面上贯穿整个层叠方向而形成一个以上的狭缝或凹槽。

3.如权利要求1所述的具有埋设型电极的传感器，其特征在于，设置有所述电极端子的侧面和所述感测面被上下切割或研磨而达到平整。

4.如权利要求1所述的具有埋设型电极的传感器，其特征在于，所述第一导电层和第二导电层或者相互重叠，或者因埋设的端部分开而没有重叠。

5.如权利要求1所述的具有埋设型电极的传感器，其特征在于，通过使所述第一导电层和第二导电层的长度各不相同，从而使一部分导电层相重叠而其余导电层不重叠。

6.如权利要求1所述的具有埋设型电极的传感器，其特征在于，所述电极端子按各导电层分别电分离为多个子电极端子而构成多个独立的传感器模块。

7.如权利要求6所述的具有埋设型电极的传感器，其特征在于，所述子电极端子上电连接有不同个数的导电层。

8.如权利要求1所述的具有埋设型电极的传感器，其特征在于，所述电极端子向所述感测面的相反侧面延伸，而所述第一导电层和第二导电层分别在所述电极端子的延伸部分电连接于所述电极端子。

9.一种具有埋设型电极的传感器的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：通过夹设分离层而层叠第一导电层和第二导电层，从而形成感测堆；

形成第一电极端子，该第一电极端子上电连接有暴露于所述感测堆的两个相对的侧面中的一侧面而在另一侧面借助于所述分离层而没有暴露的所述第一导电层，并形成第二电极端子，该第二电极端子上电连接有暴露于所述感测堆的所述两个相对的侧面中的所述另一侧面而在所述一侧面上借助于所述分离层而没有暴露的所述第二导电层；

使除了所述感测堆的所述两个相对的侧面中的一侧面和另一侧面之外的其余侧面中的至少一个侧面上露出所述第一导电层和第二导电层，从而成为感测面，并在所述感测面上涂覆感应物质而形成传感器。

10.如权利要求9所述的具有埋设型电极的传感器的制造方法，其特征在于，所述感测堆的所述两个相对的侧面中的一侧面、另一侧面和所述感测面在上下方向上被切割或研磨。

11.如权利要求9所述的具有埋设型电极的传感器的制造方法，其特征在于，所述第一导电层和第二导电层相互重叠而层叠，或者使埋设的端部分开而层叠为不重叠。

12.如权利要求9所述的具有埋设型电极的传感器的制造方法，其特征在于，通过使所述第一导电层和第二导电层的长度各不相同，从而使所述第一导电层及第二导电层中的一部分相重叠而其余的不重叠。

13.如权利要求9所述的具有埋设型电极的传感器的制造方法，其特征在于，还包括在所述感测面上贯穿整个层叠方向而形成狭缝的步骤。

14.如权利要求9所述的具有埋设型电极的传感器的制造方法，其特征在于，通过在所述感测面上形成凹槽或狭缝而使所述第一导电层及第二导电层均露出。

15.如权利要求9所述的具有埋设型电极的传感器的制造方法，其特征在于，还包括对露出的所述第一导电层和第二导电层的剖面进行镀覆而实现金属生长，并将所述感应物质涂覆于经所述金属生长的所述第一导电层和第二导电层各自的端部之间并进行平整化的步骤。

16.一种具有埋设型电极的传感器，其特征在于，包括：

感测堆，在内部埋设第一导电层和第二导电层而构成；

第一电极端子和第二电极端子，分别电连接于所述第一导电层及第二导电层并设置于所述感测堆的两个相对的侧面，所述第一导电层被构成为在所述感测堆的所述两个相对的侧面中的一侧面上暴露而在相反侧面上没有暴露，所述第二导电层被构成为在所述感测堆的所述两个相对的侧面中的所述相反侧面上暴露而在所述一侧面上没有暴露，而且，通过在除了设置有所述电极端子的侧面之外的至少一个侧面上露出所述第一导电层及第二导电层而形成感测面。

17.一种具有埋设型电极的传感器，其特征在于，包括：

感测堆，由第一导电层和第二导电层隔着分离层而被层叠埋设而构成；

第一电极端子和第二电极端子，分别电连接于所述第一导电层及第二导电层并设置于所述感测堆的两个相对的侧面，所述第一导电层被构成为在所述感测堆的所述两个相对的侧面中的一侧面上暴露而在相反侧面上借助于所述分离层而没有暴露，所述第二导电层被构成为在所述感测堆的所述两个相对的侧面中的所述相反侧面上暴露而在所述一侧面上借助于所述分离层而没有暴露，而且，在除了设置有所述第一电极端子和第二电极端子的侧面之外的至少一个侧面上形成一个以上具有预定宽度的凹槽或狭缝，从而形成感测面，且在所述凹槽或狭缝的底面上或者在所述凹槽或狭缝的底面和侧壁上露出所述第一导电层和第二导电层。

说明书

具有埋设型电极的传感器及其制造方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种具有埋设型电极的传感器及其制造方法，具体而言，涉及一种可减少制造费用并能够广泛应用的具有埋设型电极的传感器及其制造方法。

背景技术

[0002] 针对用于感测气体、包含红外线的光、生物材料等的传感器的结构及制造方法的研发持续至今。

[0003] 这种传感器大部分是在基板上形成一对感测电极图案，并形成将感应物质涂覆于一对感测电极图案上的感测膜，从而构成传感器。

[0004] 这种传感器在有气体或光接触于感测膜时发生感测膜的电导率（或者电阻值）的变化，通过测定电导率的变化而实现感测。

[0005] 这种传感器大部分通过利用了硅基板的薄膜形成工序等半导体工序制造，或者通过利用了氧化铝基板等的厚膜形成工序制造，因此有制造成本高且工序复杂的缺点，并有因感测电极的短路、断路或脱落而出现的不良情况较多的问题。

发明内容

[0006] 技术问题

[0007] 因此，本发明的目的在于提供一种能够克服上述现有技术中的问题的具有埋设型电极的传感器。

[0008] 本发明的另一目的在于提供一种制造成本低廉的具有埋设型电极的传感器。

[0009] 本发明的又一目的在于提供一种制造工序简单的具有埋设型电极的传感器。

[0010] 本发明的又一目的在于提供一种能够用少量的成本形成微细图案的具有埋设型电极的传感器。

[0011] 本发明的又一目的在于提供一种可实现精确感测的具有埋设型电极的传感器。

[0012] 本发明的又一目的在于提供一种提高了可靠性的具有埋设型电极的传感器。

[0013] 本发明的又一目的在于提供一种可自由调节感测电极的长度、宽度或尺寸等的具有埋设型电极的传感器。

[0014] 本发明的又一目的在于提供一种制造所述传感器的方法。

[0015] 技术方案

[0016] 为了达到上述目的，本发明提供一种具有埋设型电极的传感器，包括：感测堆，由第一导电层和第二导电层隔着分离层而被层叠埋设而构成；电极端子，分别电连接于所述第一导电层和第二导电层而设置于所述感测堆的侧面，其中，在除了设置有所述电极端子的侧面以外的至少一个侧面露出所述第一导电层及第二导电层而形成感测面。

[0017] 优选地，在所述感测面上贯穿整个层叠方向而形成一个以上的狭缝。

[0018] 优选地，设置有所述电极端子的侧面和所述感测面被上下切割或研磨而达到平整。

[0019] 而且，优选地，所述第一导电层和第二导电层既可以相互重叠而层叠，也可以使埋设的端部分开而层叠为不重叠。

[0020] 优选地，可通过使所述第一导电层和第二导电层的长度各不相同，从而使一部分导电层相重叠而其余导电层不重叠。

[0021] 优选地，所述电极端子可按各导电层分别电分离为多个子电极端子而构成多个独立的传感器模块，且所述子电极端子上可以电连接不同个数的导电层。

[0022] 优选地，所述电极端子向所述感测面的相反侧面延伸，而所述第一导电层和第二导电层分别在所述电极端子的延伸部分电连接于所述电极端子。

[0023] 为了达到上述目的，本发明提供一种具有埋设型电极的传感器的制造方法，包括如下步骤：通过夹设分离层而层叠第一导电层和第二导电层，从而形成感测堆；形成第一电极端子，该第一电极端子上电连接有暴露于所述感测堆的一侧面的所述第一导电层，并形成第二电极端子，该第二电极端子上电连接有暴露于所述感测堆的另一侧面的所述第二导电层；使除了所述感测堆的一侧面和另一侧面之外的其余侧面中的至少一个侧面上露出所述第一导电层和第二导电层，从而成为感测面，并在所述感测面上涂覆感应物质而形成传感器。

[0024] 优选地，所述感测堆的一侧面、另一侧面和所述感测面可在上下方向上被切割或研磨。

[0025] 优选地，所述第一导电层和第二导电层既可以相互重叠而层叠，也可以使埋设的端部分开而没有重叠。

[0026] 优选地，可通过使所述第一导电层和第二导电层的长度各不相同，从而可以层叠为使所述第一导电层及第二导电层中的一部分相重叠而其余的不重叠。

[0027] 优选地，还包括在所述感测面上贯穿整个层叠方向而形成狭缝的步骤。

[0028] 优选地，可通过在所述感测面上形成凹槽或狭缝而使所述第一导电层及第二导电层均露出。

[0029] 优选地，对露出的所述第一导电层和第二导电层的剖面进行镀覆而实现金属生长，并将所述感应物质涂覆于经所述金属生长的所述第一导电层和第二导电层各自的端部之间并进行平整化。

[0030] 为了达到上述目的，本发明提供一种具有埋设型电极的传感器，包括：绝缘感测堆，在内部埋设第一导电层和第二导电层而构成；电极端子，分别电连接于所述第一导电层及第二导电层而设置于所述感测堆的侧面，而且，通过在除了设置有所述电极端子的侧面之外的至少一个侧面上露出所述第一导电层及第二导电层而形成感测面。

[0031] 为了达到上述目的，本发明提供一种具有埋设型电极的传感器，包括：感测堆，由第一导电层和第二导电层隔着分离层而被层叠埋设而构成；电极端子，分别电连接于所述第一导电层及第二导电层而设置于所述感测堆的侧面，而且，在除了设置有所述电极端子的侧面之外的至少一个侧面上，形成一个以上具有预定宽度的凹槽，从而形成感测面，且在所述凹槽的底面上或者在所述凹槽的底面和侧壁上露出所述第一导电层和第二导电层。

[0032] 有益效果

[0033] 根据上述结构，容易调节导电层的宽度和长度，并容易调节分离层的厚度，其结果容易调节由导电层和电极端子构成的感测电极的宽度、长度及其间距。

[0034] 并且，由于具有构成感测电极的导电层埋设于感测堆内部的结构，因此不会发生电极的短路或断路，从而可以提高传感器的可靠性和感测灵敏度。

[0035] 而且，通过在感测面上形成狭缝，从而能够简单而精确地增减感测面。

[0036] 并且，由于可自由调节导电层的个数，因此可以调节感测灵敏度，且不用像现有技术似地通过并联或串联多个传感器而提高感测灵敏度，而是可以利用一个感测堆实现。

[0037] 而且，由于采用陶瓷工艺，因此制造工序简单而制造成本降低。

[0038] 并且，根据本发明的传感器可被广泛应用为用于感测气体、包含红外线的光、生物材料等的传感器，并可通过将电极端子贴装于电路基板并将感测面利用为接收信号的接收面而将传感器使用为天线，而且还可以通过将某一电极端子作为接地端子并利用被绝缘分离层所绝缘分离的导电层而将传感器使用为放电用避雷器。

附图说明

[0039] 图1表示根据本发明第一实施例的传感器。

[0040] 图2为沿着图1的A-A剖切的图，表示在感测面上涂覆感应物质的一例。

[0041] 图3为用于说明制造根据一实施例的传感器的方法的制造工序图。

[0042] 图4表示制造的感测堆。

[0043] 图5表示根据本发明另一实施例的传感器。

[0044] 图6表示根据本发明又一实施例的传感器。

[0045] 图7表示根据本发明又一实施例的传感器。

[0046] 图8表示根据本发明又一实施例的传感器。

[0047] 图9表示根据本发明又一实施例的传感器。

具体实施方式

[0048] 以下参照附图对本发明的优选实施例进行详细说明，其目的仅仅是为本发明所属技术领域中具有普通知识的人员彻底理解本发明提供方便，而没有其他任何目的。

[0049] 第一实施例

[0050] 图1表示根据本发明第一实施例的传感器100。

[0051] 传感器100包括：感测堆（Sensing stack），通过在导电层120和导电层122之间夹设分离层110并层叠埋设而构成；电极端子130、132，分别电连接于导电层120、122而设置于感测堆102的侧面，而且，在除了设置有电极端子130、132的侧面以外的至少一个侧面上有导电层120、122露出而形成感测面104。

[0052] 导电层120只在一边侧面上露出而电连接于电极端子130，从而构成传感器100的一个感测电极，而导电层122只在相反侧面露出而电连接于电极端子132，从而构成传感器100的另一个感测电极。

[0053] 根据这种结构，容易调节导电层120、122的宽度和长度，并容易调节分离层110的厚度，其结果容易调节由导电层120、122与电极端子130、132构成的感测电极的宽度、长度及其间距。

[0054] 并且，由于采用陶瓷工艺，因此制造工序简单且能够减少制造成本。

[0055] 而且，由于具有构成感测电极的导电层120、122被埋设于感测堆102内部的结构，因此不会发生电极的短路或断路，从而可以提高传感器的可靠性并提高感测灵敏度。

[0056] 并且，由于可以自由调节导电层120、122的个数，因此能够调节感测灵敏度，且不用像现有技术似地通过并联或串联多个传感器而提高感测灵敏度，而是可以利用一个感测堆来实现。

[0057] 根据本发明的传感器100可以广泛地应用为用于感测气体、包含红外线的光、生物材料等的传感器。

[0058] 而且，可通过将电极端子130、132贴装于电路基板并将感测面104利用为接收信号的接收面而将所述传感器100使用为天线。尤其，可通过调节分离层110的透磁率而控制感测灵敏度。

[0059] 并且，也可以将某一电极端子作为接地端子并利用通过绝缘分离层110而被绝缘分离的导电层120和导电层122而将所述传感器100使用为放电避雷器。

[0060] 图2为沿着图1的A-A剖切的图，其表示在感测面104上涂覆有感应物质的一例。

[0061] 为使传感器发挥其作用，感测面104上涂覆有对应于所要感测的物质的多种感应物质，且在必要时可以进一步形成加热器（加热图案）而构成传感器。

[0062] 如图1所示，通常是将分离层110和导电层120、122形成为同一高度并在其上面涂覆感应物质，然而根据需要可以使导电层120、122的高度更高。

[0063] 作为一例，对于将传感器100使用为氢感应传感器的情况而言，感测面104上需要涂覆氢感应物质（例如为铂催化剂），此时将存在铂难以与构成感测堆102的陶瓷相接合的问题。

[0064] 参照图2，为了涂覆作为氢感应物质的铂，可以先形成易于实现铂的接合的氧化锌膜160之后在其上面涂覆铂，然而由于此时要使导电层120、122向外部露出，因此需要使导电层120、122具有不小于氧化锌膜160厚度的厚度。

[0065] 为此，对导电层120、122的剖面进行镀覆而通过金属生长来增加导电层120、122的端部高度，然后在前面形成氧化锌膜160并通过研磨而实现平整化之后涂覆铂催化剂。

[0066] 这种结构并不局限于铂感应物质，而是适用于在感测堆102上涂覆不易接合的感应物质的任何情况。

[0067] 另外，除了在导电层120、122的剖面上利用镀覆而通过金属生长来增加高度的方法之外，通过对分离层110进行蚀刻而使导电层120、122的高度相对更高的方法也可以使用。

[0068] 以下，对根据一个实施例的传感器100的制造方法进行说明。

[0069] 图3为用于说明根据一个实施例的传感器100制造方法的制造工序图，图4为表示制造的感测堆102的图。

[0070] 如图3a所示，首先形成分离层110。分离层110的材料因构成的传感器的功能或感测对象而不同，可以采用陶瓷或树脂等绝缘材料、压电材料、半导体材料等。

[0071] 然后，在分离层110上形成导电层120。导电层120被构成为在一边侧面（比如在图中为左侧面）上露出而在相反侧面（比如在图中为右侧面）上不会露出。

[0072] 此时，导电层120在除了一边侧面和相反侧面之外的其他侧面上既可以露出也可以不露出。即，除了一边侧面和相反侧面之外的其他侧面当中至少有一个侧面被使用为感测面104，而在使用为感测面104的侧面上即使没有导电层120露出，也可以在后续的工序中通过切割、研磨或者形成槽而形成感测面104。

[0073] 关于导电层120的材料，只要导电性良好便可以采用包括铂、银、金及其合金等在内的任何材料。两种导电层120、122既可以由同一种材料构成也可以由不同材料构成，例如，导电层120可以由镍材料构成而导电层122可以由铂材料构成。

[0074] 参照图3b，在形成有导电层120的结构上又层叠了分离层110和导电层122。由于形成于导电层120上的分离层110是由与图3a中形成的分离层110相同的材料形成，因此用相同的符号和名称来表示。

[0075] 导电层122除了在相反侧面上露出而在一边侧面上没有露出的一点之外，其材料及形成方法与导电层120相同。同理，导电层122在除了一边侧面和相反侧面的其他侧面上也是既可以露出也可以不露出。

[0076] 在以下说明中，为了方便而将分别有导电层120、122露出的侧面即一边侧面和相反侧面称为电极端子设置面。

[0077] 参照图3c，通过反复执行图3a和3b的过程而按照分离层110、导电层120、分离层110、导电层122的顺序重复排列层叠结构而形成感测堆102，因此可根据需要调节夹设分离层110而层叠的导电层120、122的个数。

[0078] 另外，感测堆102的最上部由分离层110覆盖，且将如上所述地制造的感测堆102的立体图表示于图4。

[0079] 参照图4，感测堆102具有通过夹设各分离层110而使导电层120、122交替层叠排列，且最下部和最上部被分离层110覆盖的结构。

[0080] 所有导电层120只在感测堆102的一边侧面上露出，而所有导电层122只在感测堆102的相反侧面上露出，而一边侧面和相反侧面上设置用于在后续工序中实现外部连接的电极端子130、132。

[0081] 如图3d所示，在分离层110由相同材料形成的情况下，上述结构的感测堆102可表现为具有在一个分离层110的内部分别被埋设而层叠导电层120、122的布置结构，或者可表现为具有导电层120、122被埋设而层叠于感测堆102内部的布置结构。在这种结构中，埋设而层叠于感测堆102内部的导电层120、122的个数是可以通过增加层叠次数或层叠个数而增加的。

[0082] 然后，可根据需要而通过上下方向上切割感测堆102的切削工序或进行研磨的研磨工序而对侧面进行加工，然而切削工序或研磨工序可以只在必要的情况下进行。

[0083] 如果要在电极端子设置面上形成电极端子130、132，则由于各导电层120、122向侧面突出的程度可能不同，因此为了使其平齐，可能需要切削工序和研磨工序。同理，导电层120、122在选定为感测面104的侧面上的突出程度也可能不同，因此为了使其平齐，也可能需要切削工序和研磨工序。

[0084] 如果进行切削工序或研磨工序，则由于可能在切削面或研磨面上残留切削或研磨的副产物，因此为了除去这种副产物，可对切削面或研磨面进行蚀刻工序、清洗工序、或热处理工序。如果进行蚀刻工序或清洗工序，则有时遇到露出的导电层120、122向分离层110里侧凹进的情形，而如果进行热处理工序，则有时遇到露出的导电层120、122稍微突出的情形。

[0085] 参照图4，在感测堆102具有六面体形状的情况下，在Y轴方向上相向的两个侧面可被使用为电极端子设置面，而在X轴方向上相向的两个侧面可被使用为感测面104。当然，作为感测面也可以仅仅使用两个侧面中的某一侧面。

[0086] 在图4中将除了电极端子设置面以外的两个侧面中的至少一个侧面使用为感测面，然而除了这些侧面以外，也可以将上下方向上切割感测堆102而新出现的剖切面使用为感测面。其结果，如果在图4中沿着X轴在上下方向上将感测堆102切割为多个即可制造出将各剖切面作为感测面的多个传感器。

[0087] 如图3e所示，在感测堆102的电极端子设置面上分别设置电极端子130和电极端子132。电极端子130、132为用于实现传感器100外部连接的端子，电极端子130上电连接所有导电层120，而电极端子132上电连接所有导电层122。

[0088] 另外，在上述实施例中是以形成电极端子130、132之前进行用于形成感测面的切削工序和研磨工序的情形为例进行了说明，然而不必局限于此，切削工序及研磨工序也可以在形成电极端子130、132之后进行而形成感测面104，或者也可以如图4所示地制造各自具有感测面的多个传感器。

[0089] 第二实施例

[0090] 图5表示根据本发明另一实施例的传感器200。

[0091] 一个感测堆202的内部有多个导电层220、222被分离层210所分离而埋设，而各电极端子设置面上设置有多个子电极端子230、240、250及232、242、252，从而构成独立的传感器200a、200b、200c。

[0092] 设置于一边侧面上的子电极端子230、240、250和设置于相反侧面上的子电极端子232、242、252分别电分离，而在这一实施例中，电连接有不同个数的导电层220、222。例如，在子电极端子230、232上分别连接一个导电层，在子电极端子240、242上分别连接两个导电层，而在子电极端子250、252上分别连接三个导电层。

[0093] 当然，各子电极端子230、232和240、242以及250、252上也可以连接相同个数的导电层。

[0094] 如上所述构成的结果可以使一个感测堆202上实质上形成独立的三个传感器200a、200b、200c，并可以通过在各传感器的感测面上涂覆不同感应物质而实现在特定场所感测出多种物质。当然，当涂覆相同的感应物质时只能检测出一种物质。

[0095] 这一实施例与图4中将感测堆102本身切割为多个而构成多个传感器的情形不同，是在保持一个感测堆202不变的情况下实现了作为多个传感器200a、200b、200c而发挥作用。

[0096] 第三实施例

[0097] 图6表示根据本发明又一实施例的传感器300。

[0098] 在一个感测堆302的内部有多个导电层320、322隔着分离层310交替排列而被埋设，导电层320的端部只在一边侧面上露出而电连接于设置在该侧面的电极端子330上，而导电层322的端部只在相反侧面上露出而电连接于设置在该侧面的电极端子332上。

[0099] 多个导电层320、322的一侧边缘均暴露于感测堆302中设置有电极端子330、332的侧面以外的一个侧面而形成感测面304，且在感测面304上贯穿整个导电层320、322的层叠方向而形成狭缝340。

[0100] 在这一实施例中只形成有一个狭缝340，然而也可以并排形成多个狭缝340。狭缝340的剖面形状、个数、尺寸或深度可以因需要而改变，因此可以形成具有多种形态和结构的狭缝。

[0101] 根据这种结构，可自由调节暴露于感测面304的导电层320、322长度，结果可调节感测电极的长度，并可以自由调节感测面304的尺寸。例如可以通过控制狭缝340的宽度或长度而调节感测电极的长度或感测面304的尺寸。

[0102] 狭缝340的内面可以不平整而形成为凹凸不平，且可以将涂覆于感测面304的感应物质沿着狭缝340的内面以预定厚度涂覆，或者涂覆而填满狭缝340以使整个感测面304平整。

[0103] 第四实施例

[0104] 图7表示根据本发明另一实施例的传感器400。

[0105] 在一个感测堆402的内部有多个导电层420、422隔着分离层410交替排列而被埋设，导电层420的端部只在一边侧面上露出而电连接于设置在该侧面的电极端子430上，而导电层422的端部只在相反侧面上露出而电连接于设置在该侧面的电极端子432上。

[0106] 感测堆402中的设置有电极端子430、432的侧面以外的一个侧面上形成有凹槽440，并在凹槽440的底部有电极端子430、432的一侧边缘均露出而形成感测面404。换言之，通过由凹槽440决定的窗口（window）而构成感测面404。

[0107] 如果使凹槽440的深度比电极端子430、432最初出露的深度更深，则由于凹槽440的内侧面也可被利用为感测面404，因此可以增加感测面404的大小。

[0108] 虽然在这一实施例中只形成一个凹槽440，然而也可以使多个凹槽440相隔而并排形成。由于可根据需要改变凹槽440的个数或尺寸，因此能够形成具有多种形态和结构的凹槽。例如，可通过确定凹槽440的尺寸而使埋设于感测堆402中的导电层420、422的端部露出或不露出，并可以通过调整凹槽440的深度而使导电层420、422暴露于凹槽440的底部和侧壁（参照图9）。

[0109] 并且，可将涂覆于感测面404的感应物质涂覆成在凹槽440的底部形成预定厚度或者填满凹槽440，且凹槽440的内面不用平整而可以凹凸不平。而且，如图7b所示，可形成两侧边缘在层叠方向上开放的凹槽450，在此情况下，与图7a相比具有容易形成凹槽450的优点。

[0110] 根据这一实施例，可通过调节凹槽440、450的个数、宽度或深度而调节感测面404的大小。

[0111] 另外，在图6和图7的实施例中，在形成狭缝340和凹槽440、450之后可根据清理感测面304、404的需要而进行蚀刻工序、清洗工序或热处理工序。

[0112] 第五实施例

[0113] 图8表示根据本发明又一实施例的传感器500、600。

[0114] 根据图8a，埋设于感测堆502并分别电连接于电极端子530的导电层520和电连接于电极端子530的导电层522在感测堆502内部没有重叠。

[0115] 而且，如图8b所示，可通过改变埋设于感测堆602并分别电连接于电极端子630、632的导电层的长度而达到使导电层在感测堆502内部相重叠或不重叠的目的。参照图8b，比导电层621、622更长的导电层620、623相互重叠，而较短的导电层621、622却不重叠。

[0116] 正如这样，如果具备只有各导电层的一端露出而电连接于电极端子，且各导电层中至少有一侧边缘均露出而构成感测面的条件，则导电层具有任何排列结构或布置结构均可。此外，还可以采用包括本领域所属技术领域中具有普通知识的人员所公知的布置结构在内的多种布置结构。

[0117] 在上述实施例中是以导电层只在互为相反的侧面上露出而使电极端子相向的情形为例进行了说明，然而也可以通过改变导电层的图案而使电极端子分别设置于相邻侧面或同一侧面上。

[0118] 图9表示根据本发明又一实施例的传感器700。

[0119] 根据这一实施例，设置于相反侧面上的电极端子730、732分别向感测堆702的下面延伸，而导电层720、722的一端形成为向感测堆702的下面弯曲的图案，从而电接触于导电层720、722。

[0120] 根据这种构成，具有可利用形成于感测堆702下面的电极端子730、732而轻易地贴装于电路基板等的优点。

[0121] 只在凹槽或狭缝740内填充感应物质而覆盖通过凹槽或狭缝740的底面和侧壁露出的导电层720、722，感应物质的涂覆量可以取预定量。

[0122] 通过上述实施例可知，本发明具有多种优点。

[0123] 首先，可广泛地应用为用于感测气体、包含红外线的光、生物材料等的传感器。

[0124] 并且，可通过调节导电层之间的分离层厚度而使感测电极之间的间距变得微细，并使得用于感测的感测电极的宽度或长度的调节变得容易，且可以简化制造工序并降低制造成本。

[0125] 另外，由于具有感测电极埋设于感测堆内部的结构，因此不会发生电极的短路或断路，从而可以提高传感器的可靠性和感测灵敏度。

[0126] 而且，由于可自由调节导电层的个数，因此可以调节感测灵敏度，且不需要现有技术中将多个传感器并联或串联而提高感测灵敏度的复用器方式的传感器，而可以用一个传感器或多个传感器应对。

[0127] 上述实施例只是为了有助于更为彻底地理解本发明而参照附图举例说明的，不能理解为用于限定本发明。而且，对本发明所属技术领域中具有普通知识的人员而言，在不脱离本发明基本原理的范围内可以进行多种修改和变更乃是不言而喻的。