本发明属于半导体行业光刻工艺基本步骤中的旋转显影过程领域，具体地说是一种旋转显影真空管路中的简易气液分离装置，包括筒体、筒盖及活动塞，筒体的一端与筒盖密封连接，另一端开有排液口，活动塞插设在排液口内，通过活动塞沿筒体轴向往复移动控制排液口的开关；筒盖上分别开有进气口及排气口，筒盖上沿筒体轴向向筒体延伸、形成竖隔板，竖隔板上沿径向设有横隔板，该隔板上开有供气液介质通过的通孔；气液介质通过横隔板折流分离，液体经过通孔，由排液口排出。本发明在筒体内设置了横、竖隔板，利用气液比重的不同，将显影液分离，很大程度上减少了化学液对真空管路的腐蚀问题，清洁了真空管路。
1.一种旋转显影真空管路中的简易气液分离装置，其特征在于：包括筒体(1)、筒盖(3)及活动塞(4)，其中筒体(1)的一端与筒盖(3)密封连接，另一端开有排液口(13)，所述活动塞(4)插设在排液口(13)内，通过活动塞(4)沿筒体(1)轴向往复移动控制排液口(13)的开关；所述筒盖(3)上分别开有进气口(7)及排气口(8)，筒盖(3)上沿筒体(1)轴向向筒体(1)延伸、形成竖隔板(9)，所述竖隔板(9)上沿径向设有横隔板，该横隔板上开有供气液介质通过的通孔(12)；气液介质通过横隔板折流分离，液体经过通孔(12)，由排液口(13)排出；所述横隔板分为上下设置的第一横隔板(10)及第二横隔板(11)，其中第一横隔板(10)的一端与所述竖隔板(9)连接一体，另一端与所述筒体(1)的内壁留有供气液介质通过的间隙(15)；所述第二横隔板(11)的一端与竖隔板(9)连接，另一端与所述筒体(1)的内壁抵接，在第二横隔板(11)上、靠近第二横隔板(11)的一端沿筒体(1)的轴向开有通孔(12)。
2.按权利要求1所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置，其特征在于：所述第一横隔板(10)与第二横隔板(11)的下表面相平行、且平行于筒体(1)的底面，第一横隔板(10)与第二横隔板(11)的上表面均为斜面，其中第一横隔板(10)由其一端向另一端倾斜，第二横隔板(11)由其另一端向一端倾斜。
3.按权利要求1所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置，其特征在于：所述第一横隔板(10)与第二横隔板(11)位于竖隔板(9)的同侧。
4.按权利要求1所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置，其特征在于：所述进气口(7)与排气口(8)分别位于竖隔板(9)的两侧，其中横隔板的上方为进气口(7)。
5.按权利要求1所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置，其特征在于：所述活动塞(4)的轴向截面为倒“T”形，该活动塞(4)的一端由所述排液口(13)插入筒体(1)内，螺纹连接有螺母(6)，活动塞(4)的另一端位于筒体(1)外。
6.按权利要求5所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置，其特征在于：所述活动塞(4)与筒体(1)底面之间设有套在活动塞(4)上的密封垫(5)。
7.按权利要求5所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置，其特征在于：所述螺母(6)的外径大于排液口(13)的直径。
旋转显影真空管路中的简易气液分离装置
技术领域
[0001] 本发明属于半导体行业光刻工艺基本步骤中的旋转显影过程领域，具体地说是一种旋转显影真空管路中的简易气液分离装置。
背景技术
[0002] 显影是在硅片表面光刻胶中产生图形的关键步骤。目前，显影单元基片采用真空吸附方式定位时，在真空管路中就存在混入显影液的问题，这样一来，化学液对真空管路会有腐蚀，造成真空管路的破坏。
发明内容
[0003] 为了解决现有通过真空吸附方式定位基片进行显影时真空管路中混有显影液的问题，本发明的目的在于提供一种旋转显影真空管路中的简易气液分离装置。该分离装置利用气液比重的不同将显影液分离，以达到清洁真空管路的目的。
[0004] 本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0005] 本发明包括筒体、筒盖及活动塞，其中筒体的一端与筒盖密封连接，另一端开有排液口，所述活动塞插设在排液口内，通过活动塞沿筒体轴向往复移动控制排液口的开关；所述筒盖上分别开有进气口及排气口，筒盖上沿筒体轴向向筒体延伸、形成竖隔板，所述竖隔板上沿径向设有横隔板，该隔板上开有供气液介质通过的通孔；气液介质通过横隔板折流分离，液体经过通孔，由排液口排出。
[0006] 其中：所述横隔板的上表面为斜面；所述横隔板分为上下设置的第一横隔板及第二横隔板，第一横隔板的一端与所述竖隔板连接一体，另一端与所述筒体的内壁留有供气液介质通过的间隙；所述第二隔板的一端与竖隔板连接，另一端与所述筒体的内壁抵接，在第二隔板上、靠近第二隔板的一端沿筒体的轴向开有通孔；所述第一横隔板与第二横隔板的下表面相平行、且平行于筒体的底面，第一横隔板与第二横隔板的上表面均为斜面，其中第一横隔板由其一端向另一端倾斜，第二横隔板由其另一端向一端倾斜；所述第一横隔板与第二横隔板位于竖隔板的同侧；
[0007] 所述进气口与排气口分别位于竖隔板的两侧，其中横隔板的上方为进气口；所述活动塞的轴向截面为倒“T”形，该活动塞的一端由所述排液口插入筒体内，螺纹连接有螺母，活动塞的另一端位于筒体外；所述活动塞与筒体底面之间设有套在活动塞上的密封垫；所述螺母的外径大于排液口的直径。
[0008] 本发明的优点与积极效果为：
[0009] 1．本发明在筒体内设置了横、竖隔板，利用气液比重的不同，将显影液分离，很大程度上减少了化学液对真空管路的腐蚀问题，清洁了真空管路。
[0010] 2．本发明的横隔板上表面均为斜面，便于气液混合介质折流。
[0011] 3．本发明具有结构简单、反应迅速、安装方便、成本低的特点。
[0012] 4．本发明能使真空管路中混入的显影液自动排除。
附图说明
[0013] 图1是本发明的剖面示意图；
[0014] 图2为图1的俯视图；
[0015] 其中：1为筒体，2为密封圈，3为筒盖，4为活动塞，5为密封垫，6为螺母，7为进气口，8为排气口，9为竖隔板，10为第一横隔板，11为第二横隔板，12为通孔，1 3为排液口，14为腔体，15为间隙。
具体实施方式
[0016] 下面结合附图对本发明作进一步详述。
[0017] 本发明用于旋转显影时去除进入到真空管路的显影液，如图1、图2所示，包括筒体1、筒盖3及活动塞4，其中筒体1为内部中空结构，中间为腔体14，筒体1的一端通过密封圈2与筒盖3密封连接，另一端开有排液口13。
[0018] 活动塞4插设在排液口13内，通过活动塞4沿筒体1轴向往复移动控制排液口13的开关。活动塞4的轴向截面为倒“T”形，该活动塞4的一端（直径较小端）由所述排液口13插入到筒体1的腔体14内，并螺纹连接有塑料的螺母6，该螺母6的外径大于排液口13的直径，避免活动塞4由排液口13脱落；活动塞4的另一端（直径较大端）位于筒体1外，该端与筒体1的底面之间设有套在活动塞4上的密封垫5。
[0019] 筒盖3上分别开有进气口7及排气口8，在筒盖3上沿筒体1轴向向筒体1的腔体1 4内延伸、形成竖隔板9，进气口7与排气口8分别位于竖隔板9的两侧。竖隔板9上沿径向设有横隔板，横隔板分为上下设置的第一横隔板10及第二横隔板11，第一、二横隔板10、11位于竖隔板9的同侧，进气口7位于第一、二横隔板10、11的上方；第一横隔板10的一端与竖隔板9连接一体，另一端与筒体1的内壁留有供气液介质通过的间隙15；第二隔板11的一端与竖隔板9连接，另一端与筒体1的内壁抵接，在第二隔板11上、靠近第二隔板11的一端沿筒体1的轴向开有供气液介质通过的通孔12。第一横隔板10与第二横隔板11的下表面相平行、且平行于筒体1的底面，第一横隔板10与第二横隔板11的上表面均为斜面，其中第一横隔板10由其一端向另一端倾斜，第二横隔板11由其另一端向一端倾斜。
[0020] 本发明的工作原理为：
[0021] 在进行旋转显影工艺处理的真空管路中，混合气体从筒盖3上的进气口7进入筒体1的腔体14内。混合气体在筒体1的腔体14中，先沿第一横隔板10的斜面由间隙15落到第二横隔板11上，再沿第二横隔板11的斜面通过通孔12流下，经过第一、二横隔板10、11的两次折流，由于气液比重不同，显影液在这一过程中被分离，而气体则通过通孔1
2后，最终由筒盖3上的排气孔8排出；气体行进路线如图1中的箭头所示。在进行旋转显影工艺处理时，筒体1腔体14内呈负压，活动塞4、密封垫5和螺母6在负压作用下上移将排液口13密封；当旋转显影工艺处理完毕，真空解除，活动塞4、密封垫5和螺母6在自身重力作用下下移，排液口13处于非密封状态，显影液沿排液口13排出，这样就实现了清洁真空管路的目的。
[0022] 本发明中筒体1、筒盖3采用透明PP塑料材质制作，耐腐蚀并可以观察筒体1内的状态。
