一种硅片线切割用水基切削液及其制备方法

摘要

一种硅片线切割用水基切削液，由下列重量份的原料制成：环烷酸钠2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸钠1-2、矿物油15-18、石油磺酸钠2-3、油酸1-2、助剂6-8、水200；本发明切削液的表面张力低,极大提高切削液对磨料的润湿性,提高了磨料的分散性,避免磨料团聚结成块对硅片带来损坏；冷却和润滑性能好，加工精度高，有利于提高硅片切割的成品率,使硅片切割成品率达到98%，而且切割线使用寿命长；对硅片无腐蚀且可在硅片表面形成保护膜,使硅片更容易被清洗。

权利要求

1.一种硅片线切割用水基切削液，其特征在于由下列重量份的原料制成：环烷酸钠

2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸钠1-2、矿物油15-18、石油磺酸钠2-3、油酸1-2、助剂6-8、水200；所述的助剂由下列重量份的原料制成：聚氧乙烯山梨糖醇酐单油酸酯2-3、纳米氮化铝0.1-0.2、碳酸氢铵2-3、乙醇胺1-2、羧甲基壳聚糖2-3、二乙二醇丁醚1-2、丙二醇5-8、桃胶2-3、硅酸钠1-2、尿素3-4、过硫酸铵

1-2、水20-24；制备方法是将过硫酸铵溶于水后，再加入其它剩余物料，搅拌10-15分钟，加热至70-80℃，搅拌反应1-2小时，即得；

所述硅片线切割用水基切削液的制备方法包括以下步骤：将水、环烷酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸钠、石油磺酸钠混合，加热至40-50℃；加入脂肪酸甘油酯、矿物油、油酸、助剂，在1000-1200转/分搅拌下继续加热到70-80℃，搅拌10-15分钟；加入其他剩余成分，继续搅拌15-20分钟，即得。

说明书

一种硅片线切割用水基切削液及其制备方法

技术领域

[0001] 本发明涉及切削液领域，尤其涉及一种硅片线切割用水基切削液及其制备方法。

背景技术

[0002] 切削液应具备良好的冷却性能、润滑性能、防锈性能、除油清洗功能、防腐功能、易稀释特点。目前切削液可分为两类，油溶性切削液和水溶性切削液。一般油溶性切削液润滑性能好，但冷却性能差，且含有大量有机物，污染环境。一些水溶性切削液虽然冷却性能好，又存在润滑性和防锈效果差的问题，因此研发兼具润滑性、冷却性、防锈性、易清洗、无毒、无味、对人体无侵蚀、对设备不腐蚀、对环境不污染的切削液就显得很重要。

发明内容

[0003] 本发明的目的在于提供一种硅片线切割用水基切削液及其制备方法，该切削液润滑性好，表面张力低、提高硅片成品率。

[0004] 本发明的技术方案如下：

[0005] 一种硅片线切割用水基切削液，其特征在于由下列重量份的原料制成：环烷酸钠2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸钠1-2、矿物油15-18、石油磺酸钠2-3、油酸1-2、助剂6-8、水200；所述的助剂由下列重量份的原料制成：聚氧乙烯山梨糖醇酐单油酸酯2-3、纳米氮化铝0.1-0.2、碳酸氢铵2-3、乙醇胺1-2、羧甲基壳聚糖2-3、二乙二醇丁醚1-2、丙二醇5-8、桃胶2-3、硅酸钠1-2、尿素3-4、过硫酸铵
1-2、水20-24；制备方法是将过硫酸铵溶于水后，再加入其它剩余物料，搅拌10-15分钟，加热至70-80℃，搅拌反应1-2小时，即得。

[0006] 所述硅片线切割用水基切削液的制备方法，其特征在于包括以下步骤：将水、环烷酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸钠、石油磺酸钠混合，加热至40-50℃；加入脂肪酸甘油酯、矿物油、油酸、助剂，在1000-1200转/分搅拌下继续加热到70-80℃，搅拌10-15分钟；加入其他剩余成分，继续搅拌15-20分钟，即得。

[0007] 本发明的有益效果

[0008] 本发明切削液的表面张力低,极大提高切削液对磨料的润湿性,提高了磨料的分散性,避免磨料团聚结成块对硅片带来损坏；冷却和润滑性能好，加工精度高，有利于提高硅片切割的成品率,使硅片切割成品率达到98%，而且切割线使用寿命长；对硅片无腐蚀且可在硅片表面形成保护膜,使硅片更容易被清洗。

具体实施方式

[0009] 一种硅片线切割用水基切削液，由下列重量份（公斤）的原料制成：环烷酸钠2.5、壬基酚聚氧乙烯醚2.5、油酸二乙醇胺1.5、脂肪酸甘油酯4.5、月桂醇硫酸钠1.5、矿物油16、石油磺酸钠2.5、油酸1.5、助剂7、水200；所述的助剂由下列重量份（公斤）的原料制成：
聚氧乙烯山梨糖醇酐单油酸酯3、纳米氮化铝0.1、碳酸氢铵3、乙醇胺1、羧甲基壳聚糖2、二