防尘薄膜组件

摘要

本发明提供一种使防尘薄膜组件框架的宽窄到极限，以确保大的曝光面积的同时，防尘薄膜组件的制造中以及运送等中没有防尘薄膜组件框架的变形，防尘薄膜的折皱不会发生，可以以希望的尺寸精度在光掩膜上贴附的防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件具有防尘薄膜组件框架内框及外框的双重结构，所述内框在将防尘薄膜绷紧设置加以保持的同时具有掩模粘着层，所述外框在与所述内框密切接着的同时可从所述内框上分离。

权利要求

1.一种防尘薄膜组件，其防尘薄膜组件框架为具有内框及外框的双重结构，所述内框在将防尘薄膜绷紧设置加以保持的同时具有掩模粘着层，其特征在于，所述外框在其内面以30～200μm的间隙与所述内框的外面密切接着的同时可从所述内框上分离。

2.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件,其特征在于，所述内框和外框用螺纹连接装置进行连接。

3.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件，其特征在于，所述内框和外框用磁力连接装置进行连接。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的防尘薄膜组件，其特征在于，在防尘薄膜组件贴附时，仅对防尘薄膜组件框架的所述内框进行加压。

5.根据权利要求4所述的防尘薄膜组件，其特征在于，在防尘薄膜组件贴附后，将防尘薄膜组件框架的所述外框卸下，在光掩膜上仅有将防尘薄膜绷紧设置保持的所述内框存在。

说明书

防尘薄膜组件

技术领域

[0001] 本发明涉及在半导体装置、IC封装、印刷基板、液晶面板或有机EL面板等的制造时作为防尘器而使用的防尘薄膜组件。

背景技术

[0002] 在LSI、超LSI等的半导体或液晶面板等的制造中，要向半导体晶片或液晶用玻璃板进行紫外光照射以制造图案。在此时，如使用的光掩膜上有灰尘附着，该灰尘就会将紫外光遮蔽、反射，由此转印的图案就会发生变形、短路等，从而产生品质损害的问题。

[0003] 如此，这样的作业通常在无尘室中进行，但即使如此，也难以总是保持光掩膜的洁净。由此，要先在光掩膜表面贴附作为防尘用的防尘薄膜组件，然后再进行曝光。在该场合，异物不直接附着在光掩膜的表面，而是附着在防尘薄膜组件上，所以在进行光刻时，只要将焦点对在光掩膜的图案上，防尘薄膜组件上的异物就与转印无关系了。

[0004] 一般，在防尘薄膜组件中使用可以使光良好透过的由硝化纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等的材质形成的透明的防尘薄膜在由铝、不锈钢、聚乙烯等材质形成的防尘薄膜组件框架的上端面进行贴附或者接着。另外，在防尘薄膜组件框架的下端，为了将光掩膜加以安装，设置由聚丁烯树脂，聚醋酸乙烯基树脂、丙烯酸树脂、硅树脂等形成的粘着层以及以为了保护粘着层的离型层(分离片)。

[0005] 关于防尘薄膜，一般用薄的树脂进行制作，为了使其无松驰折皱地贴附在防尘薄膜组件框架上，要施加适当的大小的张力，在防尘薄膜组件框架上接着。因此，通常使用的矩形的防尘薄膜组件，在防尘薄膜贴附后，由于防尘薄膜的张力会向内侧挠曲。这种现象不仅在例如印刷基板以及液晶面板制造用的防尘薄膜组件框架的边长大的大型的防尘薄膜组件中会出现，并且在半导体制造用的小型的防尘薄膜组件中，由于材质以及尺寸上的制约，要采用低刚性的框架的场合，也会显著出现。

[0006] 另一方面，关于光掩膜，由于追求低成本化，有尽量使曝光领域宽的要求。但是，如防尘薄膜组件框架向内侧挠曲，该相应部分的曝光领域就会减少，从成本低廉等的观点，就要求使用使向防尘薄膜组件框架的内侧的挠曲量尽量地小的防尘薄膜组件框架。

[0007] 因此，以往作为解决防尘薄膜组件框架的挠曲的装置，专利文献1提供了一种防尘薄膜组件框架。该防尘薄膜组件框架，是设计为一对对边的中央部为向外侧凸的圆弧形状部，在其两侧为向外侧凹的圆弧形状部，进一步，在更外侧为直线部分，如此进行设计，就可以将挠曲量抑制在一定值以下。

[0008] 专利文献

[0009] 专利文献1：日本特开2006-56544号公报

[0010] 但是，专利文献1的防尘薄膜组件框架，在尽量使防尘薄膜组件框架的框宽小的场合，这样的防尘薄膜组件框架就会不实用。

[0011] 即，从道理而言，不管什么样的防尘薄膜组件框架的宽度，只要与张力取得平衡，都可以得到直线状的框架，但是在使防尘薄膜组件框架框宽小的场合，即使可以得到直线状的框架，但是由于框架的刚性变差，防尘薄膜组件框架的变位过大，处理困难，即在框架上稍加外力，就会发生防尘薄膜的折皱问题，所以不实用。

[0012] 因此，本发明就是为了解决上述问题的。本发明的目的为提供一种防尘薄膜组件，其在使防尘薄膜组件框架的框宽变小到极限，确保更大的曝光面积。同时，在防尘薄膜组件的制造、运送等过程中不发生防尘薄膜组件框架的变形以及防尘薄膜的折皱，从而可以以希望的尺寸精度将其贴附于光掩膜。

发明内容

[0013] 本发明的防尘薄膜组件为，防尘薄膜组件框架为具有内框以及外框的双重构造，所述内框在将防尘薄膜绷紧进行设置从而将其加以保持的同时具有掩模粘着层，其特征在于：所述外框在与所述内框密切接着的同时可以与所述内框分离。另外，所述内框及外框是用螺纹连接装置或者磁力连接装置来进行连接的。

[0014] 进一步，在将防尘薄膜组件贴附时，仅对防尘薄膜组件框架的所述内框加压，防尘薄膜组件的贴附后，将防尘薄膜组件框架的所述外框卸下，光掩膜上仅存有防尘薄膜绷紧设置的所述内框。

[0015] 根据本发明的防尘薄膜组件，在需要刚性的制造时或者搬送时，用外框来进行刚性确保，在光掩膜贴附后，维持防尘薄膜组件框架的刚性的必要就没有了，所以将外框卸下，得到规定的防尘薄膜组件外尺寸。

[0016] 发明效果

[0017] 根据本发明，可以使防尘薄膜组件框架框宽更小(细)，由此可以最大限度地确保内侧的曝光面积。另外，即使由于材质以及尺寸上的制约，而制成刚性低的防尘薄膜组件，也可以在与通常的防尘薄膜组件进行同样制造的同时，在容器中收纳进行运送的场合，难以发生防尘薄膜组件框架的变形以及防尘薄膜的损伤以及折皱。进一步，可以在维持将所期望的尺寸精度的同时，将防尘薄膜组件贴附于光掩膜。

附图说明

[0018] 图1为本发明的防尘薄膜组件的概要表示平面图。

[0019] 图2为图1的A-A向截面图。

[0020] 图3为图1的B部的截面放大图，为螺纹连接状态。

[0021] 图4为图1的B部的另一截面放大图，用磁力进行连接。

[0022] 图5有(a)和(b)两个图。在以下称为图5(a)和图5(b)。图5(a)为防尘薄膜组件贴附状态的截面图，图5(b)为外框卸下状态的截面图。

具体实施方式

[0023] 以下按照附图来说明本发明的实施方式，但本发明并不限于此。

[0024] 另外，本发明在进行液晶制造用途中使用的一边的长超过500mm的大型的防尘薄膜组件中，效果大，但是作为本发明的对象的防尘薄膜组件，对其大小没有限定。本发明可以适用于由于大小(边的长)和/或防尘薄膜的张力，防尘薄膜组件框架的刚性不能充分确保的所有的防尘薄膜组件。

[0025] 图1至图4示出本发明的一个实施方式。防尘薄膜组件框架11，有内框11a以及外框11b构成。内框11a的上面，设计有防尘薄膜接着层12，防尘薄膜13在其上接着。其相反的面上，设有向光掩膜(未图示)贴附的掩模粘着层14，在使用之前分离片15对其表面进行保护。

[0026] 另外，内框11a中设置通气孔16，但其外面侧也可设有防止通气时异物侵入防尘薄膜组件内的过滤器17。内框11a的外尺寸，可以为使用的光掩膜中的曝光装置侧来决定的外尺寸。但是优选内寸要尽量大，即，内框11a的框宽要尽量小。该尺寸要在内框11a的加工时能维持精度，并且要有维持防尘薄膜的接着强度的宽度。该宽度虽然根据内框11a的材质以及边的长不同而不同，但优选1.5～10mm的范围，长边和短边不同也可以。

[0027] 在通常的防尘薄膜组件框架中，虽然要考虑防尘薄膜的张力造成的变形量来决定框架的框宽，但是在本发明的防尘薄膜组件框架中，即使防尘薄膜进行绷紧设置的内框11a的刚性低，防尘薄膜组件制造中的刚性也可以由外框11b充分地维持。由此，在将防尘薄膜组件贴附于光掩膜后，内框11a，由于由掩模粘着层14在光掩模上固定，从而不会由于防尘薄膜13的张力而发生变形。因此，内框11a的框宽可以不考虑防尘薄膜13的张力造成的变形，设计小到极限。

[0028] 内框11a的材质，在铝合金等的轻合金或者碳钢、不锈钢等的铁系材料之外，还可以使用含有PPS、PEEK等的工程树脂以及由它们强化的材料，以及CFRP等的纤维强化树脂等公知的防尘薄膜组件框架材料。另外，其表面从防止发生灰尘，确保耐光性以及易于观察异物的观点，优选进行适当的黑色化处理。

[0029] 外框11b的嵌合，要使其内面可从内框11a的外面进行顺利地装卸，外框11b和内框11a的间隙，在各边，以30～200μm的范围为适当。外框11b的外形设计要充分考虑刚性。具体地说，在设计时，要使即使在与内框11a成为一体的状态进行处理时也不发生弯曲以及扭曲等的变形。

[0030] 此时，优选外框11b的上面以及下面，分别不从内框11a的上面以及下面突出。如果突出，就会有可能成为在防尘薄膜组件的制造时以及向光掩膜上的贴附时的障碍。另外，由于在内框11a的外侧，设置有过滤器17，优选在该部分设置掘入部18，以防止妨碍过滤器。进一步，为了进行处理，优选在外周面等上设置孔以及沟、段差(未图示)。

[0031] 外框11b的材质，可以与内框11a同样进行选择，在铝合金等的轻合金或者碳钢、不锈钢等的铁系材料之外，使用含有PPS、PEEK等的工程树脂以及由它们强化之物，CFRP等的纤维强化塑料等公知的防尘薄膜组件框架材料。另外，其表面优选进行公知的适当的黑色化处理。

[0032] 内框11a和外框11b的螺纹连接方式如图3所示。内框11a和外框11b，通过从外框11b的外侧向在内框11a上设置的阴螺纹31上紧固螺栓32而被固定。螺栓32的头部优选收纳于锪孔内，不使其突出于外框11b的外面。另外，该连接点的数量以及其配置优选根据防尘薄膜组件的大小进行适宜决定，重要的是由防尘薄膜的张力造成的防尘薄膜组件框架的变形不明显。

[0033] 用磁力进行的连接方式如图4所示。在该实施方式中，内框11a的材质使用碳钢等的磁性材料，外框11b使用铝合金等的非磁性材料。连接为由插入外框11b设置的孔41的永久磁铁42吸着内框11a来实现。永久磁铁42为可以从孔41插入和卸下的嵌合。永久磁铁42优选小型且具有强磁力，特别优选钐钴磁铁、钕磁铁等的稀土类磁铁。防尘薄膜组件贴附后的内框11a和外框11b的分离，为从永久磁铁42的外侧，将在前端具有更大的磁力的永久磁铁43的拉出夹具44插入，吸着拔出。

[0034] 在该磁力连接方式的情况下，由于内框11a和外框11b不易在期望的位置连接，所以优选相互设置例如在图4的C部所示的位置决定段差。另外，该连接方式与图3所示螺纹连接方式相比较而言，其构造复杂，但是在向光掩膜贴附后的内框11a和11b的分离容易，以及由于不使用螺纹，伴随着连接或分离作业的异物的发生极少。

[0035] 内框11a和外框11b优选在防尘薄膜组件的制造工程的初期阶段进行连接，其后将防尘薄膜组件框架11作为一体进行处理。洗净作业，从确保清洁性的观点，优选内框11a和外框11b分开进行。另外，过滤器17优选在外框11b连接的前阶段安装在内框11a上。其它作业与通常的防尘薄膜组件同样进行即可，完成后用公知的方法将其收纳于防尘薄膜组件收纳容器，进行搬送。

[0036] 与通常的防尘薄膜组件的制造不同之处，为防尘薄膜接着层12以及掩模粘着层14仅在内框11a上设置。外框11b优选仅具有在对防尘薄膜组件框架全体的刚性加以维持的同时起制造工程处理的保持部的作用，所以在外框11b中不设置防尘薄膜接着层12以及掩模粘着层14。

[0037] 防尘薄膜组件贴附时的状态的截面图在图5(a)中表示。防尘薄膜组件贴附时，防尘薄膜组件10的贴附，是将与光掩膜51的规定的位置加以决定，仅在内框11a的上面通过加压板52按箭头53的方向加压贴附。通过这样的贴附方法，可以排除外框11b的影响。由此，贴附终了后，用所述的方法将外框11b从内框11a分离、卸下，如此就会与图5(b)表示的那样，在光掩膜51上，仅存有由内框11a构成的防尘薄膜组件10’。

[0038] 通过所述的结构，就可以得到在制造工程以及搬送工程中所必要的防尘薄膜组件框架的刚性。由此，就不必在制造工程以及搬送工程的全部过程来确保防尘薄膜组件框架的内框11a的刚性。即，防尘薄膜组件框架(内框11a)的刚性，为仅在向光掩膜51贴附后对在光掩膜51上将防尘薄膜13进行保持的程度即可。

[0039] 由此，关于防尘薄膜组件框架的框宽，可以进行最小设计，也可以进行各种的材质的选择。其结果可以在大型的防尘薄膜组件中，使用框宽度极窄的防尘薄膜组件框架，由此，来确保最大限度的曝光领域。另外，不仅在大型的防尘薄膜组件，即使在半导体制造中使用的小型的防尘薄膜组件中，为了对光掩膜的变形进行防止，也可以使用刚性极其低的防尘薄膜组件框架。

[0040] 实施例

[0041] 以下，对本发明的实施例进行说明，但是本发明并不限于这些实施例。

[0042] 实施例1

[0043] 将图1、2以及3表示的防尘薄膜组件框架11的内框11a，用铝合金，进行机械加工制作，外尺寸为474×782mm，内寸466×774mm，高度为4.9mm，表面进行了黑色铝氧化膜处理。另外，在该内框11a的外侧面中用图1表示的配置，设置非贯通的阴螺纹31以及通气孔16。

[0044] 另外，用铝合金进行机械加工，制作外尺寸514×822mm、内尺寸474×782mm、高度4.0mm的外框11b，表面进行黑色铝氧化膜处理。此时，尺寸公差设计，要使对内框11a的外尺寸、外框11b的内尺寸在各边具有0.05～0.1mm间隙。进一步，与内框11a的阴螺纹对应的位置上设置螺栓用的锪孔33，在通气孔16的附近设置防止与过滤器17相干扰的掘入部18。

[0045] 将如此制作的内框11a和外框11b搬入无尘室，用界面活性剂和纯水进行清洗，进行完全干燥。首先，对内框11a进行异物检查，在通气孔16的外面装上过滤器17，接着，在外框11b的内侧将内框11a嵌合，用螺栓32连接，制得防尘薄膜组件框架11。

[0046] 在该防尘薄膜组件框架11的内框11a的一个的端面上，作为防尘薄膜接着层12，将硅粘着剂(商品名KR3700)，在另一端面上，作为掩模粘着层14，将相同的硅粘着剂用空气加压式分布器进行分别涂布，加热固化。防尘薄膜接着剂层的厚度为0.1mm，掩模粘着层的厚度为1.3mm。接着，将表面具有离型剂的厚度125μm的PET薄膜进行与防尘薄膜组件框架几乎同形状切断加工制作的保护用分离片15贴附于掩模粘着层14上。

[0047] 另一方面，所述防尘薄膜组件框架11之外，将氟系聚合物(商品名CYTOP，旭硝子(株)制)用缝隙涂布法在厚度850×1200×厚度10mm的长方形石英基板上成膜。将该膜在溶媒干燥后，接着在与基板外形同形状的铝合金制暂时框上剥离，得到厚度约3μm的防尘薄膜。对该防尘薄膜进行适当的张力调整，在所述那样制得的内框11a上将防尘薄膜接着层12进行接着后，将露出内框11a之外的膜部分用刀切除，得到防尘薄膜组件10。

[0048] 将该防尘薄膜组件10收纳于在防尘薄膜组件收纳于收纳容器(未图示)，用卡车进行约1000kｍ的陆路运送实验。然后，对运送后的防尘薄膜组件10进行检查，没有发现异物的附着，防尘薄膜的损伤以及内框11a，外框11b的连接异常。

[0049] 接着，将该防尘薄膜组件10贴附于520×800mm的清洁的光掩膜基板上。贴附如图5(a)所示通过仅在内框11a的上面加压的加压板52进行，贴附负荷为100kgf。

[0050] 其后，如图5(b)那样，将螺栓32卸下，将外框11b从内框11a分离，在光掩膜51上，仅残存有由内框11a构成的防尘薄膜组件10’。在该状态进行防尘薄膜面检查，没有发现折皱等的缺陷。此外，成为防尘薄膜组件10’的内部的光掩膜51的表面也没有确认到异物。在掩模粘着层14上也没有浮起以及不均一。另外，对防尘薄膜组件20的光掩膜上的贴附位置进行测定，确认到满足规定的尺寸精度，没有防尘薄膜组件框架(内框11a)的变形。

[0051] 实施例2

[0052] 作为如图1表示的那样的防尘薄膜组件框架11的内框11a，用碳钢进行机械加工制得，其尺寸904.5×750mm，内寸896.5×742mm，高度5.8mm，表面进行黑色镀铬处理。另外，在该内框11a的外侧面，以图1所示的配置，设置非贯通的阴螺纹31以及通气孔16。

[0053] 另外，用铝合金，制得外尺寸924.5×790mm，内寸904.5×750mm，高度5.0mm的外框11b，表面进行黑色铝氧化膜处理。此时，公差的设计，对内框11a的外尺寸，外框11b的内寸在各边的间隙为0.05～0.1mm。进一步，在与内框11a的阴螺纹相对应的位置，设置螺栓用的锪孔33，在通气孔16的附近设置防止与过滤器17干扰的掘入部18。

[0054] 用所述那样制作的内框11a、外框11b，与所述实施例1完全同样进行防尘薄膜组件的制作，在贴附之前进行评价，得知作为防尘薄膜组件完全没问题。

[0055] 比较例

[0056] 除了不在该防尘薄膜组件的内框架11a上加上外框11b之外，用机械加工制作与所述实施例1的内框11a同尺寸，同形状的防尘薄膜组件框架，并与实施例1同样制作防尘薄膜组件。对如此制作的防尘薄膜组件进行检查，其长边为每侧变形约3.5mm，其短边有2mm的变形。另外，为了搬送，对该防尘薄膜组件框架进行把持时，见到防尘薄膜有折皱，由此，可以确认到该防尘薄膜组件不能实用。

[0057] 附图标记说明

[0058]