一种新型甩干机过滤器加热系统

摘要

本发明提供一种新型甩干机过滤器加热系统,包括：被加热腔体、加热喷嘴、温控器、加热器、加热腔室，所述加热喷嘴安装在被加热腔体一侧，热喷嘴连接于加热腔室，热喷嘴与加热腔室之间设有高温气体过滤器，加热腔室后端安装有加热器，加热腔室下侧一端连接有进气管，进气管上设有低温气体过滤器、另一端设有出口处气体温度检测探头，出口处气体温度检测探头连接有温控器。本发明可以保证吹入腔体内氮气洁净度要求，保证腔体内无任何污染物存在；降低因清洗、烘干等环节出现不良产品的概率，产品良率提高1%；降低生产成本、提高产量，提高经济效益。

权利要求

1.一种新型甩干机过滤器加热系统，包括:被加热腔体、加热喷嘴、温控器、加热器、加热腔室，其特征在于:所述加热喷嘴安装在被加热腔体一侧，加热喷嘴连接于加热腔室，加热喷嘴与加热腔室之间设有高温气体过滤器，加热腔室后端安装有加热器，加热器连接于市电，加热腔室下侧一端连接有进气管，进气管一端上设有低温气体过滤器、另一端设有出口处气体温度检测探头，出口处气体温度检测探头连接有温控器，加热腔室上侧一端设有高温报警传感器、另一端设有低温报警传感器，低温报警传感器一侧安装有GN2压力传感器。

2.根据权利要求1所述的一种新型甩干机过滤器加热系统，其特征在于:所述加热喷嘴为“一”字型结构。

3.根据权利要求1所述的一种新型甩干机过滤器加热系统，其特征在于:所述加热器为“U”型结构。

4.根据权利要求1所述的一种新型甩干机过滤器加热系统，其特征在于:所述进气管为“L”型结构。

说明书

一种新型甩干机过滤器加热系统

技术领域

[0001] 本发明涉及LED生产技术领域，具体为一种新型甩干机过滤器加热系统。

背景技术

[0002] 在现代LED生产制造过程中，某些晶片在外延生产过程中受到不同程度的污染、所以在进行MESA光刻、蒸镀ΙΤ0、沉积S102等工序前都分别需要进行外延清洗甩干、蒸镀ΙΤ0前清洗、沉积S102前清洗，而这些清洗环节之后都必须使用甩干机，甩干机的作用就将芯片在各种化学药液内清洗完毕后再放入甩干机内将芯片再次进行冲洗、烘干，然后进行下一道工序，以便生产出合格的LED产品。

[0003]目前国内外大部分甩干机生产行业加热系统设计思路如下:氮气、过滤器、加热棒、腔体、烘干晶片。这样设计存在一定缺陷:加热棒在高温时易被少量氧气氧化，致使加热棒在使用一段时间后加热棒加热区出现颜色暗淡、加热棒表面出现明显的氧化现象，加热棒表面出现少量固体颗粒等杂质，在高压氮气作用下带入腔体内，进而附着在干净的芯片上，污染产品降低产品良率；没有温度实时监控，不能设定温度高低。

发明内容

[0004] 本发明所解决的技术问题在于提供一种新型甩干机过滤器加热系统，以解决上述背景技术中的问题。

[0005] 本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:一种新型甩干机过滤器加热系统，包括:被加热腔体、加热喷嘴、温控器、加热器、加热腔室，所述加热喷嘴安装在被加热腔体一侧，加热喷嘴连接于加热腔室，加热喷嘴与加热腔室之间设有高温气体过滤器，加热腔室后端安装有加热器，加热器连接于市电，加热腔室下侧一端连接有进气管，进气管一端上设有低温气体过滤器、另一端设有出口处气体温度检测探头，出口处气体温度检测探头连接有温控器，加热腔室上侧一端设有高温报警传感器、另一端设有低温报警传感器，低温报警传感器一侧安装有GN2压力传感器。

[0006] 所述加热喷嘴为一字型结构。

[0007] 所述加热器为U型结构。

[0008] 所述进气管为L型结构。

[0009] 与已公开技术相比，本发明存在以下优点:本发明可以保证吹入腔体内氮气洁净度要求，保证腔体内无任何污染物存在；降低因清洗、烘干等环节时出现不良产品的概率，广品良率提尚1 % ;降低生广成本、提尚广量、提尚经济效益；避免加热系统出现故障后，程序还是进行，可节约单次故障时间10分钟，提高经济效益。

附图说明

[0010] 图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

[0011] 为了使本发明的技术手段、创作特征、工作流程、使用方法达成目的与功效易于明白了解，下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0012] 如图1所示，一种新型甩干机过滤器加热系统，包括:被加热腔体1、加热喷嘴2、温控器5、加热器9、加热腔室11，所述加热喷嘴2安装在被加热腔体1 一侧，加热喷嘴2连接于加热腔室11，加热喷嘴2与加热腔室11之间设有高温气体过滤器3，加热腔室11后端安装有加热器9，加热器9连接于市电，加热腔室11下侧一端连接有进气管，进气管一端上设有低温气体过滤器10、另一端设有出口处气体温度检测探头4，出口处气体温度检测探头4连接有温控器5，加热腔室11上侧一端设有高温报警传感器6、另一端设有低温报警传感器7，低温报警传感器7 —侧安装有GN2压力传感器。

[0013] 所述加热喷嘴2为“一”字型，使得喷出的氮气成“V”型，这样热氮可以和晶片表面充分接触，达到最佳的烘干效果。

[0014] 所述加热器9为U型结构。

[0015] 所述进气管为L型结构。

[0016] 本发明中氮气先经低温气体过滤器10过滤后吹入加热腔室11中进行加热处理，加热处理后的气体再吹入高温气体过滤器3进行二级过滤处理，最后将加热过滤后的气体吹入腔体内进行烘干晶片；

[0017] 本发明中设有加热系统自动检测功能，即程序进入加热环节2分钟后，如果检测加热系统温度的传感器没有信号输出，说明加热系统出现故障，无法加热此时程序自动停止并发出报警提示，提示设备出现故障

[0018] 本发明中设有温度控制装置，如配置有高、低温度检测传感器，配置有检测加热后吹入腔体内气体温度装置，低温时开始加热高温时自动停止加热，被加热的气体温度达到设定温度后加热系统会自动停止加热，低于设定温度设定范围时加热自动开启。

[0019] 本发明中的氮气喷嘴设计成三个，喷嘴出气口设计成“一”字型，喷嘴的位置和芯片的位置保持垂直方式，这样使得喷出的热氮和高速旋转的晶片充分接触，达到最佳的烘干效果；

[0020] 本发明中设有加热气体压力检测装置，当加热气体压力低于设定值时，系统提示加热气体压力异常无法实现加热，当氮气压力太高时，系统提示氮气压力高，请检查气体压力是否异常。

[0021] 以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征及本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。