利用气流溶液流涎制备薄膜的装置

摘要

利用气流溶液流涎制备薄膜的装置，涉及制备薄膜的装置。设有压缩机、气体过滤器、调压阀、输气管、封口塞、导气管、制备室、节流头、加热器、载物台、抽气管、节流阀、真空泵；压缩机出气口接气体过滤器入气口，气体过滤器出气口接调压阀入口；调压阀的出口通过输气管接导气管，导气管进口设封口塞，导气管出口上安装节流头，节流头上设有圆孔；载物台用于放置要在其表面制备薄膜的基底，可上下移动来调整基底到节流头的距离；加热器用于对形成的薄膜干燥；真空泵连接节流阀，用于抽取制备室里的气流，节流阀用于调节抽气速度；制备室依次经抽气管和节流阀接真空泵，加热器和载物台设在制备室内，加热器设在载物台上。制备工艺简便、薄膜面积大。

权利要求

1.利用气流溶液流涎制备薄膜的装置，其特征在于设有压缩机、气体过滤器、调压阀、输气管、封口塞、导气管、制备室、节流头、加热器、载物台、抽气管、节流阀、真空泵；所述压缩机出气口接气体过滤器入气口，气体过滤器出气口接调压阀入口；所述调压阀的出口通过输气管接导气管，导气管进口设有封口塞，导气管出口上安装节流头，节流头上设有圆孔；所述载物台用于放置要在其表面制备薄膜的基底，可以上下移动来调整基底到节流头的距离；所述加热器用于对形成的薄膜干燥；所述真空泵连接节流阀，用于抽取制备室里的气流，节流阀用于调节抽气速度；制备室依次经抽气管和节流阀接真空泵，加热器和载物台设在制备室内，加热器设在载物台上。

2.如权利要求1所述利用气流溶液流涎制备薄膜的装置，其特征在于所述气体过滤器与调压阀之间设有第1压力表，用于显示进气压力值。

3.如权利要求1所述利用气流溶液流涎制备薄膜的装置，其特征在于所述抽气管与节流阀之间设第2压力表。

4.如权利要求1所述利用气流溶液流涎制备薄膜的装置，其特征在于所述压缩机产生5

的气压不小于2.5×10Pa。

5.如权利要求1所述利用气流溶液流涎制备薄膜的装置，其特征在于所述圆孔的直径小于2mm，圆孔的数量大于20。

6.如权利要求1所述利用气流溶液流涎制备薄膜的装置，其特征在于所述载物台为可上下移动的平台。

7.如权利要求1所述利用气流溶液流涎制备薄膜的装置，其特征在于所述载物台放置的基底离节流头距离为1～3cm。

8.如权利要求1所述利用气流溶液流涎制备薄膜的装置，其特征在于所述真空泵使制备室里的气压小于1Pa。

说明书

利用气流溶液流涎制备薄膜的装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种制备薄膜的装置，特别是一种利用气流溶液流涎制备薄膜的装置。

背景技术

[0002] 在当今科学技术飞速发展，大量具有各种不同功能的薄膜得到了广泛的应用，薄膜作为一种重要的材料在材料领域占据着越来越重要的地位。薄膜材料种类繁多,应用广泛，目前常用的有：超导薄膜、导电薄膜、电阻薄膜、半导体薄膜、介质薄膜、绝缘薄膜、钝化与保护薄膜、压电薄膜、铁电薄膜、光电薄膜、磁电薄膜、磁光薄膜等。薄膜已经在功能性反应层、电池隔膜、电极等方面获得了应用。实现均匀薄膜的快速制造，已经成为了其实现工业化应用的关键。

[0003] 常见的薄膜的制备方法有气相生成法、液相生成法、涂布与扩散等。而传统的制备薄膜的方法不能满足实际的要求。如中国专利“一种在旋涂法中提高所制备薄膜厚度的方法”(公开号：CN101324756A)公开了一种制备薄膜的方法，但旋涂法制备薄膜需要基底高速旋转，制备的薄膜面积小，适应不了工业化的要求。因此需要一种成本低、工艺简单的制备各种薄膜装置来适应工业化的需求。

发明内容

[0004] 本发明的目的在于克服无法实现卷对卷制备薄膜等缺点，提供可制备大面积的薄膜，实现卷对卷制备薄膜的工业化需求的一种利用气流溶液流涎制备薄膜的装置。

[0005] 本发明设有压缩机、气体过滤器、调压阀、输气管、封口塞、导气管、制备室、节流头、加热器、载物台、抽气管、节流阀、真空泵；所述压缩机出气口接气体过滤器入气口，气体过滤器出气口接调压阀入口；所述调压阀的出口通过输气管接导气管，导气管进口设有封口塞，导气管出口上安装节流头，节流头上设有圆孔；所述载物台用于放置要在其表面制备薄膜的基底，可以上下移动来调整基底到节流头的距离；所述加热器用于对形成的薄膜干燥；所述真空泵连接节流阀，用于抽取制备室里的气流，节流阀用于调节抽气速度；制备室依次经抽气管和节流阀接真空泵，加热器和载物台设在制备室内，加热器设在载物台上。

[0006] 所述气体过滤器与调压阀之间可设有第1压力表，用于显示进气压力值；所述抽气管与节流阀之间可设第2压力表。

[0007] 所述压缩机产生的气压不小于2.5×105Pa。

[0008] 所述圆孔的直径小于2mm，圆孔的数量可大于20。

[0009] 所述载物台为可上下移动的平台。

[0010] 所述载物台放置的基底离节流头距离可为1～3cm。

[0011] 所述真空泵可使制备室里的气压小于1Pa。

[0012] 本发明提供了一种利用气流溶液流涎薄膜制造装置，压缩机出气口连接到气体过滤器上；气体过滤器出气口通过输气管接入调压阀上；调压阀调节输气的速度；调压阀的出口通过输气管接入到导气管；导气管出口上安装节流头；载物台上用于放置要在其表面制备薄膜的基底；加热器给形成的薄膜干燥；真空泵连接节流阀，用于抽取制备室里的气流。本发明具有制备工艺简便、薄膜面积大等特点。

附图说明

[0013] 图1为本发明实施例的结构组成示意图。

[0014] 图2为节流头的结构组成示意图。

[0015] 图3为气流辅助制备薄膜的状态示意图之一。

[0016] 图4为气流辅助制备薄膜的状态示意图之二。

具体实施方式

[0017] 参见图1～4，本发明实施例设有压缩机1、气体过滤器2、调压阀4、输气管5、封口塞6、导气管7、制备室8、节流头9、加热器10、载物台11、抽气管12、节流阀14、真空泵15；所述压缩机1出气口接气体过滤器2入气口，气体过滤器2出气口接调压阀4入口；所述调压阀4的出口通过输气管5接导气管7，导气管7进口设有封口塞6，导气管7出口上安装节流头9，所述节流头9上设有直径小于2mm的圆孔91，圆孔91的数量＞20；所述载物台
11用于放置要在其表面制备薄膜的基底，可以上下移动来调整基底到节流头9的距离；所述加热器10用于对形成的薄膜干燥；所述真空泵15连接节流阀14，用于抽取制备室8里的气流，节流阀14用于调节抽气速度；制备室8依次经抽气管12和节流阀14接真空泵15，加热器10和载物台11设在制备室8内，加热器10设在载物台11上。

[0018] 所述气体过滤器2与调压阀4之间设有第1压力表3，用于显示进气压力值；所述抽气管12与节流阀14之间设第2压力表13。

[0019] 所述压缩机产生的气压不小于2.5×105Pa。

[0020] 所述载物台为可上下移动的平台。

[0021] 所述载物台放置的基底离节流头距离可为1～3cm。

[0022] 所述真空泵可使制备室里的气压小于1Pa。

[0023] 使用时，参见图3和4，把溶液B滴在已经清洗干净的基底C上，将基底C放置在载物台11上中央；调整载物台11基底距离节流头9的距离在1～3cm；检查各个部件是否连接完好。打开压缩机1和真空泵15，根据各自的压力表通过调节调压阀4和节流阀14调节进去和抽气的速度。气流A通过节流头9上的圆孔91吹向有溶液B的基底C上，如图3所示。由于真空泵15迅速抽出基底C上方的气流A，气流A沿着基底C表面流向抽气管12。气流A抽出速度产生的拉力克服溶液的表面张力，使溶液B均匀地在基底C上摊开，如图4所示。过1～2min后，关闭压缩机1和真空泵15，打开加热器10，调节到所需的温度，对薄膜D进行干燥。