综合利用MOCVD设备尾气的装置

摘要

本发明提供一种综合利用MOCVD设备尾气的装置，MOCVD的尾气通过管道进入低压缓冲罐，低压缓冲罐通过压缩机连接于高压缓冲罐，高压缓冲罐管道连接于预冷交换器上，预冷交换器下端管道连接有低温冷凝器，低温冷凝器下方管道连接有气液分离器，气液分离器的下端通过液氨泵与液氨储槽连接、顶端管道连接于分子筛吸附柱上，分子筛吸附柱上端连接在变压吸附柱上，变压吸附柱管道连接于氢气储罐。本发明结构简单，能够对MOCVD尾气进行有效分离，液氨和氢气被回收，可直接应用到其他行业，氮气可以直接排放，综合利用率高，且没有安全和环保的问题。