一种宽谱线投影光学系统的倍率调节方法

摘要

本发明公开一种宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其包括以下步骤，提供一种为在物方和像方皆接近远心光路的缩小的宽谱线投影光学系统，其从物平面到像平面依次包括具有正光焦度的第一镜组、可变孔径光阑、第二镜组和具有正光焦度的第三镜组，第二镜组满足：vd＝(nd－1)/(nF－nC)，nd＜1.65且vd＞65的正透镜最少有2个，nd＞1.50且vd＜55的负透镜最少有2个，第三镜组中，最接近像平面的透镜为负透镜，负透镜具有一个面向像平面的凹面，且满足：nd＜1.66且vd＞58，0.6＜ri/ti＜5.0，各镜组满足：0.05 0.3，0.03

权利要求

1.一种宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：其包括以下步骤：

提供一个宽谱线投影光学系统，所述宽谱线投影光学系统用于将物平面内的图形成像到像平面内，所述宽谱线投影光学系统从放大一侧到缩小一侧沿其光轴方向，从物平面到像平面依次包括第一镜组(G1)、光阑(AS)、第二镜组(G2)和第三镜组(G3)；所述宽谱线投影光学系统为在物方和像方皆为接近远心光路的缩小的投影光学系统，第一镜组(G1)和第三镜组(G3)均具有正光焦度，光阑(AS)在第一镜组(G1)与第三镜组(G3)中间，第二镜组(G2)满足关系式：vd＝(nd－1)/(nF－nC)，nd＜1.65且vd＞65的正透镜最少有2个，nd＞1.50且vd＜55的负透镜最少有2个，其中，vd为色散系数、体现光学材料的色散程度的常数，nF为波长486nm的F线折射率，nd为波长587nm的d线折射率，nC为波长656nm的C线折射率；第三镜组(G3)中，最接近所述像平面的透镜为负透镜，所述负透镜具有一个面向所述像平面的凹面，且满足以下关系式：nd＜1.66且vd＞58，0.6＜ri/ti＜5.0，其中，ri为所述负透镜的凹面的曲率半径，ti为所述负透镜的凹面到所述像平面之间的距离；第一镜组(G1)、第二镜组(G2)、第三镜组(G3)各镜组之间满足关系式：0.050.3，0.03

移动第一镜组(G1)中的透镜，来调节光学系统的投影倍率。

2.如权利要求1所述的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：第三镜组(G3)中，nd＞1.50且vd＜54的正透镜最少有1个。

3.如权利要求1所述的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：第一镜组(G1)中，nd＞1.50且vd＜54的正透镜最少有1个。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：第二镜组(G2)沿该宽谱线投影光学系统的光轴方向依次包括第四透镜(L4)、第五透镜(L5)、第六透镜(L6)、第七透镜(L7)、第八透镜(L8)、第九透镜(L9)、第十透镜(L10)、第十一透镜(L11)，第四透镜(L4)、第六透镜(L6)、第八透镜(L8)与第十透镜(L10)均具有负光焦度，第五透镜(L5)、第七透镜(L7)、第九透镜(L9)、第十一透镜(L11)均具有正光焦度。

5.如权利要求4所述的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：第四透镜(L4)具有一个面向该像平面的凹面，第十透镜(L10)为双凹透镜，第五透镜(L5)、第九透镜(L9)、第十一透镜(L11)均为双凸透镜，第六透镜(L6)、第八透镜(L8)均具有一个面向该物平面的凹面，第七透镜(L7)具有一个面向该像平面的凸面。

6.如权利要求1至3中任意一项所述的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：第三镜组(G3)沿该宽谱线投影光学系统的光轴方向依次包括第十二透镜(L12)、第十三透镜(L13)、第十四透镜(L14)、第十五透镜(L15)、第十六透镜(L16)，第十二透镜(L12)、第十三透镜(L13)、第十四透镜(L14)均具有正光焦度，第十五透镜(L15)、第十六透镜(L16)均具有负光焦度；第十二透镜(L12)、第十三透镜(L13)、第十四透镜(L14)均具有一个面向该物平面的凸面，第十五透镜(L15)、第十六透镜(L16)均具有一个面向该像平面的凹面。

7.如权利要求1至3中任意一项所述的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：第一镜组(G1)沿该宽谱线投影光学系统的光轴方向依次包括第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)，第一透镜(L1)与第二透镜(L2)均具有正光焦度，第三透镜(L3)具有负光焦度；第一透镜(L1)具有一个面向该像平面的凸面，第二透镜(L2)为双凸透镜，第三透镜(L3)具有一个面向该物平面的凹面。

8.如权利要求1至3中任意一项所述的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述宽谱线投影光学系统的透镜总数量位于10到24之间。

9.如权利要求1至3中任意一项所述的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述光阑为可变孔径光阑且在所述第一镜组与所述第二镜组中间。

10.如权利要求1至3中任意一项所述的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述第一镜组到所述第二镜组中间距离为L1，满足关系式；L1>0.06L。

说明书

一种宽谱线投影光学系统的倍率调节方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种微细加工用光刻设备的光学系统的倍率调节方法，尤其涉及一种投影光学系统的倍率调节方法，所述投影光学系统主要应用于微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)，半导体、太阳能电池、液晶、印刷电路板等光刻系统以及照相制版的投影光学系统。

背景技术

[0002] 随着投影光刻技术的发展，投影光学系统的性能逐步提高，投影光学系统已经可以适用于多种微细加工用领域。高产率的投影光学系统需求日益增加。在使用宽光谱光源如汞灯时，希望尽可能同时使用多种特征谱线，这样可以成倍提高产率。超高压水银灯光源的特征谱线如图2所示。

[0003] 专利CN 101063743公开了一种光刻镜头，包含12个镜片。对轴向色差的二次光谱没能充分校正，仅能使用光谱g线和i线，难以满足产率需求。

[0004] 在很多电路基板的实际生产过程中，由不同的设备生产制造的基板，其图形尺寸和倍率会有细微差异，同时在各种物理和化学加工处理过程中，基板会有细微的膨胀或收缩，也会导致基板图形尺寸的变化，而且不同的基板的图形尺寸变化也不尽相同。所以在很多基板的生产制造过程中，尤其是多层基板需要层间定位过程中，为了提高定位精度和布线密度，需要根据实际基板的图形尺寸或倍率变化，修正或调节投影光学系统的投影倍率。

发明内容

[0005] 针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，实现了光学系统的球面像差、彗差、像散、像场弯曲和畸变，轴向色像差和倍率色像差等各项像差都得到良好校正。尤其对轴向色差的二级光谱校正良好，又可以降低镜头的加工，测试和装校的难度和成本。

[0006] 同时在保持良好的双远心投影光学特性和良好的光学成像质量的条件下，可以方便有效地修正或调节投影倍率。

[0007] 本发明是这样实现的，一种宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其包括以下步骤：

[0008] 提供一个宽谱线投影光学系统，所述宽谱线投影光学系统用于将物平面内的图形成像到像平面内，所述宽谱线投影光学系统从放大一侧到缩小一侧沿其光轴方向，即从物平面到像平面依次包括第一镜组(G1)、光阑(AS)、第二镜组(G2)和第三镜组(G3)；所述宽谱线投影光学系统为在物方和像方皆为接近远心光路的缩小的投影光学系统，第一镜组(G1)和第三镜组(G3)均具有正光焦度，光阑(AS)在第一镜组(G1)与第三镜组(G3)中间，第二镜组(G2)满足关系式：vd＝(nd－1)/(nF－nC)，nd＜1.65且vd＞65的正透镜最少有2个，nd＞1.50且vd＜55的负透镜最少有2个，其中，vd为色散系数、体现光学材料的色散程度的常数，nF为波长486nm的F线折射率，nd为波长587nm的d线折射率，nC为波长656nm的C线折射率；第三镜组(G3)中，最接近所述像平面的透镜为负透镜，所述负透镜具有一个面向所述像平面的凹面，且满足以下关系式：nd＜1.66且vd＞58，0.6＜ri/ti＜5.0，其中，ri为所述负透镜的凹面的曲率半径，ti为所述负透镜的凹面到所述像平面之间的距离；第一镜组(G1)、第二镜组(G2)、第三镜组(G3)各镜组之间满足关系式：0.050.3，0.030.8，其中，f1为第一镜组(G1)的组合焦距，f2为第二镜组(G2)的组合焦距，f3为第三镜组(G3)的组合焦距，L为物平面到像平面之间的距离；

[0009] 移动第一镜组(G1)中的透镜，来调节光学系统的投影倍率。

[0010] 作为上述方案的进一步改进，第三镜组(G3)中，nd＞1.50且vd＜54的正透镜最少有1个。

[0011] 作为上述方案的进一步改进，第一镜组(G1)中，nd＞1.50且vd＜54的正透镜最少有1个。

[0012] 作为上述方案的进一步改进，第二镜组(G2)沿该宽谱线投影光学系统的光轴方向依次包括第四透镜(L4)、第五透镜(L5)、第六透镜(L6)、第七透镜(L7)、第八透镜(L8)、第九透镜(L9)、第十透镜(L10)、第十一透镜(L11)，第四透镜(L4)、第六透镜(L6)、第八透镜(L8)与第十透镜(L10)均具有负光焦度，第五透镜(L5)、第七透镜(L7)、第九透镜(L9)、第十一透镜(L11)均具有正光焦度。优选地，第四透镜(L4)具有一个面向该像平面的凹面，第十透镜(L10)为双凹透镜，第五透镜(L5)、第九透镜(L9)、第十一透镜(L11)均为双凸透镜，第六透镜(L6)、第八透镜(L8)均具有一个面向该物平面的凹面，第七透镜(L7)具有一个面向该像平面的凸面。

[0013] 作为上述方案的进一步改进，第三镜组(G3)沿该宽谱线投影光学系统的光轴方向依次包括第十二透镜(L12)、第十三透镜(L13)、第十四透镜(L14)、第十五透镜(L15)、第十六透镜(L16)，第十二透镜(L12)、第十三透镜(L13)、第十四透镜(L14)均具有正光焦度，第十五透镜(L15)、第十六透镜(L16)均具有负光焦度；第十二透镜(L12)、第十三透镜(L13)、第十四透镜(L14)均具有一个面向该物平面的凸面，第十五透镜(L15)、第十六透镜(L16)均具有一个面向该像平面的凹面。

[0014] 作为上述方案的进一步改进，第一镜组(G1)沿该宽谱线投影光学系统的光轴方向依次包括第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)，第一透镜(L1)与第二透镜(L2)均具有正光焦度，第三透镜(L3)具有负光焦度；第一透镜(L1)具有一个面向该像平面的凸面，第二透镜(L2)为双凸透镜，第三透镜(L3)具有一个面向该物平面的凹面。

[0015] 作为上述方案的进一步改进，所述宽谱线投影光学系统的透镜总数量位于10到24之间。

[0016] 作为上述方案的进一步改进，所述光阑为可变孔径光阑且在所述第一镜组与所述第二镜组中间。

[0017] 本发明的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，能在宽光谱范围内补偿轴向色差和倍率色差，宽谱线投影光学系统的轴向色差，使具有该宽谱线投影光学系统的倍率调节方法的光刻机能够同时使用超高压水银灯光源具有的i线(365nm)，h线(405nm)和g线(436nm)等多种特征谱线，超高压水银灯光源的特征谱线如图2所示；具有这样宽谱线投影光学系统的的倍率调节方法的投影镜头设计十分复杂困难，也是投影式光刻机中极其少见的，不仅能够适用于多种不同需要的感光胶和基板，扩大应用范围，又因为使用多波长的同时曝光，增大曝光光强，成倍缩短曝光时间。

[0018] 本发明的宽谱线投影光学系统的的倍率调节方法采用的光学结构特点，决定了可以在使用折射率比较小的光学玻璃材料的情况下，也可以实现二次光谱的完全校正，并良好校正其他像差。由于折射率比较小(nd＜1.60)的光学玻璃材料一般才具有较高的i线透光率，因此不仅意味着可以提高光源利用效率，更可以大幅度提高光学系统的热稳定性，十分适合光刻设备的实际需要。

[0019] 本发明的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法在投影倍率放大时和缩小时，光学系统的分辨率和焦点深度几乎可以维持不变，十分适合光刻设备的实际需要。

附图说明

[0020] 图1为宽谱线投影光学系统的结构示意图，所述宽谱线投影光学系统应用本发明较佳实施方式提供的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法。

[0021] 图2为超高压水银灯光源的特征谱线。

[0022] 图3为图1中宽谱线投影光学系统的0.7孔径处轴向色差曲线示意图。

[0023] 图4a、图4b、图4c分别为光线为i线(365nm)，h线(405nm)和g线(436nm)时，图1中光学系统在投影倍率为中间值时的传递函数MTF示意图。

[0024] 图4d、图4e、图4f分别为光线为i线(365nm)，h线(405nm)和g线(436nm)时，图1中光学系统在投影倍率放大时的传递函数MTF示意图。

[0025] 图4g、图4h、图4i分别为光线为i线(365nm)，h线(405nm)和g线(436nm)时，图1中光学系统处在投影倍率缩小时的传递函数MTF示意图。

[0026] 图5a、图5b、图5c分别为图1中光学系统在投影倍率为中间值、放大时、缩小时的畸变像差示意图。

具体实施方式

[0027] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

[0028] 请参阅图1，其为宽谱线投影光学系统的结构示意图，所述宽谱线投影光学系统应用本发明较佳实施方式提供的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法。其为应用本发明较佳实施方式提供的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法的宽谱线投影光学系统的结构示意图。

[0029] 所述倍率调节方法为：提供一种宽谱线投影光学系统，所述宽谱线投影光学系统用于将物平面(Object)内的图形成像到像平面(image)内，该宽谱线投影光学系统从放大一侧到缩小一侧沿其光轴方向，即从物平面到像平面依次包括第一镜组G1、光阑AS、第二镜组G2和第三镜组G3，所述宽谱线投影光学系统为在物方和像方皆为接近远心光路的缩小的投影光学系统，第一镜组G1和第三镜G3组均具有正光焦度，光阑AS在第一镜组G1和第三镜G3中间；移动第一镜组G1中的透镜，来调节光学系统的投影倍率。

[0030] 本发明的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，能在宽光谱范围内补偿轴向色差和倍率色差，宽谱线投影光学系统的轴向色差如图3所示，使具有该宽谱线投影光学系统的倍率调节方法的光刻机能够同时使用超高压水银灯光源具有的i线(365nm)，h线(405nm)和g线(436nm)等多种特征谱线，超高压水银灯光源的特征谱线如图2所示；具有这样宽谱线投影光学系统的的倍率调节方法的投影镜头设计十分复杂困难，也是投影式光刻机中极其少见的，不仅能够适用于多种不同需要的感光胶和基板，扩大应用范围，又因为使用多波长的同时曝光，增大曝光光强，成倍缩短曝光时间。

[0031] 该宽谱线投影光学系对光学系统的各项像差都进行了良好的校正，尤其是对轴向色差的二次光谱校正良好，得到了很好复消色差效果(宽谱线投影光学系统的在0.7通光孔径处轴向色差曲线示意图如图3所示)。同时可以保证倍率色差也得到良好校正。

[0032] 在本实施方式中，光阑为可变孔径光阑，且在第一镜组G1与第二镜组G2中间，可以调节光学系统的分辨率和焦点深度，同时为光阑的安装调节和控制提供足够的物理空间。

[0033] 第一镜组G1、第二镜组G2、第三镜组G3各镜组之间满足关系式：

[0034] 0.05

[0035] |f2|/L>0.3；

[0036] 0.03

[0037] 其中，f1为第一镜组G1的组合焦距；

[0038] f2为第二镜组G2的组合焦距；

[0039] f3为第三镜组G3的组合焦距；

[0040] L为物体到像面之间的距离。

[0041] 在本实施方式中，第一镜组G1沿该宽谱线投影光学系统的光轴方向依次包括第一透镜L1、第二透镜L2、第三透镜L3。第一透镜L1与第二透镜L2均具有正光焦度，第三透镜L3具有负光焦度。第一透镜L1具有一个面向该像平面I的凸面，第二透镜L2为双凸透镜，第三透镜L3具有一个面向该物平面O的凹面。

[0042] 总之，在第一镜组中，nd＞1.50且vd＜54的正透镜最少有1个。这样的设定，轴上的色差，特别是二次光谱可以有效校正。尤其是，第一镜组G1、满足关系式：0.05

[0043] 第二镜组G2满足关系式：

[0044] vd＝(nd－1)/(nF－nC)；

[0045] nd＜1.65且vd＞65的正透镜最少有2个；

[0046] nd＞1.50且vd＜55的负透镜最少有2个。

[0047] 其中，vd为色散系数、体现光学材料的色散程度的常数；

[0048] nF为波长486nm的F线折射率；

[0049] nd为波长587nm的d线折射率；

[0050] nC为波长656nm的C线折射率。

[0051] 在本实施方式中，第二镜组G2沿该宽谱线投影光学系统的光轴方向依次包括第四透镜L4、第五透镜L5、第六透镜L6、第七透镜L7、第八透镜L8、第九透镜L9、第十透镜L10、第十一透镜L11。第四透镜L4、第六透镜L6、第八透镜L8与第十透镜L10均具有负光焦度，第五透镜L5、第七透镜L7、第九透镜L9、第十一透镜L11均具有正光焦度。第四透镜L4具有一个面向该像平面I的凹面，第十透镜L10为双凹透镜，第五透镜L5、第九透镜L9、第十一透镜L11均为双凸透镜，第六透镜L6、第八透镜L8均具有一个面向该物平面O的凹面，第七透镜L7具有一个面向该像平面I的凸面。

[0052] 总之，第二镜组G2在本实施方式中的设定，使光学系统的光焦度良好均衡地分布，提供了足够的空间确保轴向色差的校正，尤其能对二次光谱校正良好，取得了很好复消色差效果。同时也使初级和高级球差得到校正，有效降低珀兹伐(Petzval)和使得光学系统的场曲得到良好校正。

[0053] 在第三镜组G3中，最接近所述像平面I的透镜为负透镜，所述负透镜具有一个面向所述像平面I的凹面，且满足关系式：

[0054] nd＜1.66；

[0055] vd＞58；

[0056] 0.6＜ri/ti＜5.0。

[0057] 其中，ri为所述负透镜的凹面的曲率半径；

[0058] ti为所述负透镜的凹面到所述像平面之间的距离。

[0059] 第三镜组G3的设定使光学系统的像面接近齐明点位置，防止产生过多的球差，减少校正球差的负担，也有效地降低珀兹伐(Petzval)和有助于光学系统校正场曲像差。同时使光学系统的像方能够保持良好的远心光路特性，并使倍率色差得到良好校正。

[0060] 在本实施方式中，第三镜组G3沿该宽谱线投影光学系统的光轴方向依次包括第十二透镜L12、第十三透镜L13、第十四透镜L14、第十五透镜L15、第十六透镜L16。第十二透镜L12、第十三透镜L13、第十四透镜L14均具有正光焦度，第十五透镜L15、第十六透镜L16均具有负光焦度。

[0061] 第十二透镜L12、第十三透镜L13、第十四透镜L14均具有一个面向该物平面O的凸面，第十五透镜L15、第十六透镜L16均具有一个面向该像平面I的凹面。

[0062] 第三镜组G3中，nd＞1.50且vd＜54的正透镜最少有1个。这样的设定，轴上的色差，特别是二次光谱可以有效校正，宽谱线投影光学系统的轴向色差如图3所示，同时能够使倍率色差和畸变得到良好校正。

[0063] 总之，在本实施方式中，三组透镜采用这样的镜片结构最终确保和实现了光学系统的球面像差、彗差、像散、像场弯曲和畸变，轴向色像差和倍率色像差等各项像差都得到良好校正。又可以降低镜头的加工，测试和装校的难度和成本。

[0064] 所述宽谱线投影光学系统的透镜总数量位于10到24之间，使系统有效控制了制造成本并良好校正各项像差，取得最佳性价比。

[0065] 提出投影光学系的参数值：

[0066] β＝-0.5；

[0067] NA＝0.21；

[0068] Hy＝25；

[0069] L＝987.848。

[0070] 其中，β为投影倍率；

[0071] NA为像侧开口数；

[0072] Hy为最大像高。

[0073] 第一至第十六透镜L1～L16的元件参数如表1所示。

[0074] 表1 光学系统参数

[0075]

[0076] 关系式对应值：f1/L＝0.24；|f2|/L＝0.98；f3/L＝0.23；ri/ti＝1.336。

[0077] 本实施方式的宽谱线投影光学系统，宽谱线投影光学系统的轴向色差如图3所示，在宽谱带范围内有效地校正了轴向色差，涵盖了i线(365nm)，h线(405nm)和g线(436nm)3个特征谱线。传递函数MTF示意图如图4a、4b、4c所示。从图中可以看出，本发明可以有效地获得高成像质量。专业光学设计软件的分析结果表明：i线(365nm)，h线(405nm)和g线(436nm)的波像差WFE(RMS)分别为其波长的1/33，1/30，1/40；3个特征谱线的综合平均达到1/34波长。

[0078] 移动所述第一镜组G1中的第一透镜L1、第二透镜L2、第三透镜L3位置，可以调节光学系统的投影倍率，如表2所示。

[0079] 表2

[0080]  中间位置 放大时 缩小时
物距object 293.5003 293.2135 293.7871
间距(4) 3.066655 3.152695 2.980615
间距(6) 179.9475 180.14826 179.74674
L1/L2位移量 0 -0.2868 0.2868
L3位移量 0 -0.20076 0.20076
投影倍率 -0.5 -0.5003 -0.4997

[0081] 光学系统投影倍率在放大时的传递函数MTF示意图如图4d、4e、4f所示；光学系统投影倍率在缩小时传递函数MTF示意图如图4g、4h、4i所示。显示光学系统在调节投影倍率时的传递函数MTF几乎没有改变，说明光学系统的分辨率和焦点深度几乎可以维持不变，十分适合光刻设备的实际需要。

[0082] 图5a、5b、5c分别为光学系统投影倍率分别处于中间位置、放大时、缩小时的畸变像差示意图。显示光学系统在调节投影倍率时的畸变几乎没有改变，十分适合光刻设备的实际需要。

[0083] 从表1光学系统参数还可以看出：

[0084] 本发明的宽谱线投影光学系统在宽光谱范围内补偿轴向色差和倍率色差，使具有该宽谱线投影光学系统的光刻机能够同时使用超高压水银灯光源具有的i线(365nm)，h线(405nm)和g线(436nm)等多种特征谱线；具有这样宽谱线投影光学系统的投影镜头设计十分复杂，也是投影式光刻机中极其少见的，不仅能够适用于多种不同需要的感光胶和基板，扩大应用范围，又因为使用多波长的同时曝光，增大曝光光强，成倍缩短曝光时间。

[0085] 综上所述，本发明的宽谱线投影光学系统的的倍率调节方法采用的光学结构特点，决定了可以在使用折射率比较小的光学玻璃材料的情况下，也可以实现二次光谱的完全校正，并良好校正其他像差。由于折射率比较小(nd＜1.60)的光学玻璃材料一般才具有较高的i线透光率，因此不仅意味着可以提高光源利用效率，更可以大幅度提高光学系统的热稳定性，十分适合光刻设备的实际需要。

[0086] 本发明的宽谱线投影光学系统的倍率调节方法在投影倍率放大时和缩小时，光学系统的分辨率和焦点深度几乎可以维持不变，十分适合光刻设备的实际需要。

[0087] 以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。