标记装置及方法

摘要

提供标记装置及方法，即使是被连续地输送的标记对象物(10)也能够在无偏移的状态下连续地标记规定的描绘图案，能够提高生产性，为此，在对标记对象物(10)标记描绘图案的标记装置(1)中，其特征在于，所述标记装置(1)具备：输送部(2)，其沿着第一方向连续地输送标记对象物(10)；沿着第一方向移动标记单元(4)的标记单元第一移动部(5)和沿着第二方向移动标记单元(4)的标记单元第二移动部(6)；以及标记位置修正部(45)，所述标记装置(1)具备总控制部(95)，所述总控制部(95)对标记位置重合控制部(91)和同步移动控制部(93)进行控制，在沿着第一方向连续地输送标记对象物(10)的期间，将标记用光线(47)向标记对象物上的第一方向和第二方向的相同位置照射规定的时间。

权利要求

1.一种标记装置，其对标记对象物标记描绘图案，所述标记装置的特征在于，所述标记装置具备：输送部，其沿着第一方向连续地输送所述标记对象物；

输送量检测器，其检测沿着所述第一方向输送所述标记对象物的量；

标记单元，其朝向所述标记对象物照射与所述描绘图案对应的标记用光线；以及标记单元第一移动部，其沿着所述第一方向移动所述标记单元，所述标记装置具备同步移动控制部，所述同步移动控制部根据由所述输送量检测器检测出的每单位时间内输送所述标记对象物的量，沿着与所述第一方向相同的方向使所述标记单元第一移动部移动相同量，所述标记装置具备：

标记单元第二移动部，其沿着与所述第一方向交叉的第二方向移动所述标记单元；

位置检测器，其检测所述标记单元的第二方向的位置；以及标记位置修正部，其将照射所述标记用光线的位置变更而修正成对所述标记对象物上的相同位置照射所述标记用光线，所述标记装置具备标记位置重合控制部，在所述标记单元向所述第二方向移动的期间，所述标记位置重合控制部根据由所述位置检测器检测出的所述标记单元的第二方向的位置来控制所述标记位置修正部的错开量，将所述标记用光线向所述标记对象物上的第二方向的相同位置照射规定的时间，所述标记装置具备总控制部，其对所述标记位置重合控制部和所述同步移动控制部进行控制，一边沿着所述第一方向连续地输送所述标记对象物，一边将所述标记用光线向所述标记对象物上的第一方向和第二方向的相同位置照射规定的时间。

2.根据权利要求1所述的标记装置，其特征在于，

对所述标记对象物赋予定位基准用记号，

所述标记装置具备：

描绘预定位置登记部，其将应标记的描绘图案相对于所述定位基准用记号的位置的相对位置作为标记预定位置进行登记；

记号拍摄部，其拍摄所述定位基准用记号；以及

记号位置检测部，其检测由所述记号拍摄部拍摄到的所述定位基准用记号的位置信息，所述总控制部根据所述记号拍摄部与所述标记单元之间的间隔以及由所述记号位置检测部检测出的定位基准用记号的位置信息，来控制所述标记位置重合控制部和所述同步移动控制部。

3.根据权利要求2所述的标记装置，其特征在于，

所述标记装置还具备标记角度检测部，所述标记角度检测部检测由所述记号拍摄部拍摄到的所述定位基准用记号的角度信息，所述标记单元还具备如下的标记位置移动功能：使照射所述标记用光线的位置相对于所述标记预定位置沿着规定的方向移动规定的量来进行照射，所述总控制部根据所述记号拍摄部与所述标记单元之间的间隔、由所述记号位置检测部检测出的定位基准用记号的位置信息、以及由所述记号角度检测部检测出的定位基准用记号的角度信息，针对每个描绘图案使照射所述标记用光线的位置沿着规定的方向移动规定的量，并控制所述标记位置重合控制部和所述同步移动控制部。

4.根据权利要求2所述的标记装置，其特征在于，

对所述标记对象物赋予多个定位基准用记号，

所述记号位置检测部检测所述多个定位基准用记号的位置信息，所述标记装置还具备基于多个记号位置的角度检测部，所述角度检测部根据由所述记号拍摄部拍摄到的所述多个定位基准用记号的位置信息检测该定位基准用记号的角度信息，所述标记单元还具备如下的标记位置移动功能：使照射所述标记用光线的位置相对于所述标记预定位置沿着规定的方向移动规定的量来进行照射，所述总控制部根据所述记号拍摄部与所述标记单元之间的间隔、由所述记号位置检测部检测出的定位基准用记号的位置信息、以及由所述基于多个记号位置的角度检测部检测出的定位基准用记号的角度信息，针对每个描绘图案使照射所述标记用光线的位置沿着规定的方向移动规定的量，并控制所述标记位置重合控制部和所述同步移动控制部。

5.根据权利要求2～4中的任一项所述的标记装置，其特征在于，所述标记装置还具备输送速度运算部，所述输送速度运算部运算所述输送部的输送速度，所述描绘预定位置登记部具备：

输送间距登记部，其将多个排列地登记的所述标记预定位置中的、沿着第一方向的方向反复标记的间隔作为输送间距进行登记；以及两端描绘图案间隔登记部，其将沿着第二方向顺次标记的最开始的描绘图案与最后的描绘图案之间的间隔作为两端描绘图案间隔进行登记，所述输送速度运算部根据所述输送间距、所述两端描绘图案间隔、所述标记单元第二移动部的顺次标记所需的时间、以及所述标记单元第一移动部的反复标记所需的时间，来计算所述输送部的输送速度的允许值，所述总控制部具备将该计算出的输送速度的允许值设定为所述输送部的输送速度而反复进行标记的功能。

6.一种标记方法，用于对标记对象物标记描绘图案，其特征在于，所述标记方法具有如下步骤：

输送步骤，沿着第一方向连续地输送所述标记对象物；以及输送量检测步骤，检测沿着所述第一方向输送所述标记对象物的量，采用了标记单元，其中所述标记单元朝向所述标记对象物照射与所述描绘图案对应的标记用光线，具有标记单元第一移动步骤，沿着所述第一方向移动所述标记单元，具有同步移动控制步骤，根据在所述输送量检测步骤中检测出的每单位时间内输送所述标记对象物的量，沿着与所述标记单元第一移动步骤中的所述第一方向相同的方向移动相同量，具有：

标记单元第二移动步骤，沿着与所述第一方向交叉的第二方向移动所述标记单元；

位置检测步骤，检测所述标记单元的第二方向的位置；

标记位置修正步骤，将照射所述标记用光线的位置变更而修正成对所述标记对象物上的相同位置照射所述标记用光线，具有标记位置重合控制步骤，在所述标记单元向所述第二方向移动的期间，根据在所述位置检测步骤中检测出的所述标记单元的第二方向的位置，来控制所述标记位置修正步骤中的错开量，将所述标记用光线向所述标记对象物上的第二方向的相同位置照射规定的时间，对所述标记位置重合控制步骤和所述同步移动控制步骤进行总控制，在沿着所述第一方向连续输送所述标记对象物的期间，将所述标记用光线向所述标记对象物上的第一方向和第二方向的相同位置照射规定的时间。

7.根据权利要求6所述的标记方法，其特征在于，

对所述标记对象物赋予定位基准用记号，

所述标记方法具有如下步骤：

描绘预定位置登记步骤，将应标记的描绘图案相对于所述定位基准用记号的位置的相对位置作为标记预定位置进行登记；

记号拍摄步骤，拍摄所述定位基准用记号；以及

记号位置检测步骤，检测在所述记号拍摄步骤中拍摄到的所述定位基准用记号的位置信息，根据在所述记号拍摄步骤中采用的记号拍摄部与标记单元之间的间隔以及在所述记号位置检测步骤中检测出的定位基准用记号的位置信息来总地控制所述标记位置重合控制步骤和所述同步移动控制步骤。

8.根据权利要求7所述的标记方法，其特征在于，

所述标记方法还具备标记角度检测步骤，在所述标记角度检测步骤中，检测在所述记号拍摄步骤中拍摄到的所述定位基准用记号的角度信息，所述标记单元还具备如下的标记位置移动功能：使照射所述标记用光线的位置相对于所述标记预定位置沿着规定的方向移动规定的量来进行照射，根据所述记号拍摄部与所述标记单元之间的间隔、在所述记号位置检测步骤中检测出的定位基准用记号的位置信息、以及在所述记号角度检测步骤中检测出的定位基准用记号的角度信息，针对每个描绘图案使照射所述标记用光线的位置沿着规定的方向移动规定的量，并总地控制所述标记位置重合控制步骤和所述同步移动控制步骤。

9.根据权利要求7所述的标记方法，其特征在于，

对所述标记对象物赋予多个定位基准用记号，

在所述记号位置检测步骤中检测所述多个定位基准用记号的位置信息，所述标记方法还具备记号角度检测步骤，在所述记号角度检测步骤中，根据在所述记号拍摄步骤中拍摄到的所述多个定位基准用记号的位置信息检测该定位基准用记号的角度信息，所述标记单元还具备如下的标记位置移动功能：使照射所述标记用光线的位置相对于所述标记预定位置沿着规定的方向移动规定的量来进行照射，根据所述记号拍摄部与所述标记单元之间的间隔、在所述记号位置检测步骤中检测出的定位基准用记号的位置信息、以及在所述记号角度检测步骤中检测出的定位基准用记号的角度信息，针对每个描绘图案使照射所述标记用光线的位置沿着规定的方向移动规定的量，并总地控制所述标记位置重合控制步骤和所述同步移动控制步骤。

10.根据权利要求7～9中的任一项所述的标记方法，其特征在于，所述标记方法还具备输送速度运算步骤，在所述输送速度运算步骤中，运算所述输送步骤的输送速度，在所述描绘预定位置登记步骤中具备如下步骤：

输送间距登记步骤，将多个排列地登记的所述标记预定位置中的、沿着第一方向的方向反复标记的间隔作为输送间距进行登记；以及两端描绘图案间隔登记步骤，将沿着第二方向顺次标记的最开始的描绘图案与最后的描绘图案之间的间隔作为两端描绘图案间隔进行登记，在所述输送速度运算步骤中，根据所述输送间距、所述两端描绘图案间隔、所述标记单元第二移动步骤中的顺次标记所需的时间、以及所述标记单元第一移动步骤中的反复标记所需的时间，来计算所述输送步骤的输送速度的允许值，所述标记方法具备将该计算出的输送速度的允许值设定为所述输送步骤的输送速度而反复进行标记的功能。

说明书

标记装置及方法

技术领域

[0001] 本发明涉及对显示器材料、半导体设备等标记对象物标记识别码或任意图案的装置及方法，特别地涉及对被连续地输送的标记对象物进行标记的技术。

背景技术

[0002] 为了用于生产管理用途或上市后的可追溯性用途，在电视机、个人电脑、便携式终端等的显示器材料及半导体设备等标记有与制造批量及制造年月有关的信息、序列号等识别码。此外，为了容易判别制造商及产品，标记有标识及记号、型式、产品编号等任意的图案。这些识别码及任意的图案被称为描绘图案，多个描绘图案被标记在排列成矩阵状的位置处。

[0003] 采用标记装置来标记被标记于所述标记对象物处的描绘图案，在使所述标记对象物静止的状态下进行标记(例如，专利文献1)。

[0004] 图11是将以往技术的标记的情况示出的侧视图，示出了采用以往技术的标记装置来对标记对象物上的两处标记规定的描绘图案15a、15b的情况。以往的标记装置1z构成为包括：载置台20z，其将标记对象物10z保持在静止的状态；和标记单元4，其朝标记对象物10z照射与描绘图案对应的标记用光线47。

[0005] 标记单元4构成为：在与标记对象物10z沿着z方向保持规定的间隔的状态下能够沿着箭头40y所示的方向(y方向)移动。并且，标记单元4构成为包括描绘图案生成部40和标记位置修正部45。从描绘图案生成部40照射的与描绘图案对应的光线42入射于光学部件43。经过光学部件43后，与描绘图案对应的光线44被照射于标记位置修正部45的反射镜
45m，被反射镜45m反射后的光通过fθ透镜46等光学部件而作为标记用光线47而朝标记对象物10z照射。标记位置修正部45能够使反射镜45m沿着θ方向旋转，能够改变标记用光线47的照射方向。

[0006] 标记单元4与外部的控制设备连接，一边使标记单元4沿着箭头40y(y方向)所示的方向移动，一边通过控制标记位置修正部45来对标记对象物10z上的规定的部位持续照射标记用光线47规定的时间。

[0007] 按时间序列进行说明，从过去的时刻t1到时刻t2，标记单元4从虚线40t1移动到虚线40t2所示的位置，同时反射镜45从虚线45m1所示的位置移动到虚线45m2所示的位置。此时，标记用光线47一边从虚线47t1所示的位置和方向向虚线47t2所示的位置和方向变化一边照射。因此，规定的描绘图案15a被标记到了标记对象物10z上。

[0008] 并且，从过去的时刻t3到当前，标记单元4从虚线40t3所示的位置移动到实线所示的当前的位置，同时反射镜45从虚线45m3所示的位置移动到当前的位置。此时，标记用光线47一边从虚线47t3所示的位置和方向向实线所示的当前的位置和方向变化一边照射。因此，规定的描绘图案15b被标记到了标记对象物10z上。

[0009] 因此，能够在标记对象物10z上的两处标记规定的描绘图案15a、15b。

[0010] 现有技术文献

[0011] 专利文献

[0012] 专利文献1：日本特开2006-259515号公报

发明内容

[0013] 发明要解决的课题

[0014] 但是，若在使标记对象物10z静止的状态下进行标记，则需要更换或间歇输送标记对象物10z，无法提高生产性。若要为了提高生产性而一边连续地输送标记对象物10z一边采用以往的技术来标记规定的描绘图案，则存在这样的课题：产生下面说明的“错位”及“偏移”。

[0015] 图12是将以往技术的标记的情况示出的俯视图，示出了一边使标记对象物10z沿着与所述标记单元4的移动方向交叉的方向(即x方向)移动一边标记的情况下的描绘图案16a、16b的标记位置。经过过去的时刻t1、t2、t3到当前为止，标记对象物10z沿着箭头10v所示的方向(x方向)移动，标记对象物上的某位置移动到虚线10e1、10e2、10e3所示的位置，当前处于实线10e所示的位置。由于标记单元4能够一边沿着y方向移动一边使y方向的标记用光线的照射位置和方向改变，因此不会产生从过去的时刻t1到t2所标记的规定的描绘图案
16a及从过去的时刻t3到当前所标记的规定的描绘图案16b的由于y方向的相对移动速度而引起的“偏移”。

[0016] 另一方面，由于被标记的描绘图案16a、16b是在沿着与标记单元4移动的方向(即y方向)交叉的方向(即x方向)输送标记对象物的状态下被标记的，因此无法将该描绘图案在排列成矩阵状的状态下标记在规定的地方，产生输送方向(x方向)的“错位”。

[0017] 并且，由于标记对象物10z相对于标记单元沿着输送方向相对移动，因此被标记的描绘图案16a、16b产生由输送方向(x方向)相对移动速度引起的“偏移”。

[0018] 即，从过去的时刻t1到t2被标记的规定的描绘图案16a在标记过程中从虚线16c1所示的位置变化到虚线16c2所示的位置，成为产生了由输送方向(x方向)的相对移动速度引起的“偏移”的状态。同样地，从过去的时刻t3到当前被标记的规定的描绘图案16b在标记过程中从虚线16c3所示的位置变化到实线16c4所示的位置，成为产生了由输送方向的相对移动速度引起的“偏移”的状态。

[0019] 此外，由于标记开始位置时刻不同，因此描绘图案16a、16b沿着输送方向(x方向)产生“错位”。

[0020] 因此，本发明的目的在于提供一种标记装置及方法，即使是被连续地输送的标记对象物，也能够在没有“错位”及“偏移”的状态下连续地标记规定的描绘图案，能够提高生产性。

[0021] 用于解决课题的手段

[0022] 为了解决上述课题，技术方案1所述的发明是一种标记装置，其对标记对象物标记描绘图案，所述标记装置的特征在于，

[0023] 所述标记装置具备：

[0024] 输送部，其沿着第一方向连续地输送所述标记对象物；

[0025] 输送量检测器，其检测沿着所述第一方向输送所述标记对象物的量；

[0026] 标记单元，其朝向所述标记对象物照射与所述描绘图案对应的标记用光线；以及[0027] 标记单元第一移动部，其沿着所述第一方向移动所述标记单元，

[0028] 所述标记装置具备同步移动控制部，所述同步移动控制部根据通过所述输送量检测器检测出的每单位时间内输送所述标记对象物的量，沿着与所述第一方向相同的方向使所述标记单元第一移动部移动相同量，

[0029] 所述标记装置具备：

[0030] 标记单元第二移动部，其沿着与所述第一方向交叉的第二方向移动所述标记单元；

[0031] 位置检测器，其检测所述标记单元的第二方向的位置；以及

[0032] 标记位置修正部，其将照射所述标记用光线的位置变更而修正成对所述标记对象物上的相同位置照射所述标记用光线，

[0033] 所述标记装置具备标记位置重合控制部，在所述标记单元向所述第二方向移动的期间，所述标记位置重合控制部根据由所述位置检测器检测出的所述标记单元的第二方向的位置来控制所述标记位置修正部的错开量，将所述标记用光线向所述标记对象物上的第二方向的相同位置照射规定的时间，

[0034] 所述标记装置具备总控制部，其对所述标记位置重合控制部和所述同步移动控制部进行控制，一边沿着所述第一方向连续地输送所述标记对象物，一边将所述标记用光线向所述标记对象物上的第一方向和第二方向的相同位置照射规定的时间。

[0035] 技术方案2所述的发明是根据技术方案1所述的标记装置，其特征在于，[0036] 对所述标记对象物赋予定位基准用记号，

[0037] 所述标记装置具备：

[0038] 描绘预定位置登记部，其将应标记的描绘图案相对于所述定位基准用记号的位置的相对位置作为标记预定位置而登记；

[0039] 记号拍摄部，其拍摄所述定位基准用记号；以及

[0040] 记号位置检测部，其检测出由所述记号拍摄部拍摄到的所述定位基准用记号的位置信息，

[0041] 所述总控制部根据所述记号拍摄部与所述标记单元之间的间隔以及由所述记号位置检测部检测出的定位基准用记号的位置信息，来控制所述标记位置重合控制部和所述同步移动控制部。

[0042] 技术方案3所述的发明是根据技术方案2所述的标记装置，其特征在于，[0043] 所述标记装置还具备标记角度检测部，所述标记角度检测部检测由所述记号拍摄部拍摄到的所述定位基准用记号的角度信息，

[0044] 所述标记单元还具备如下的标记位置移动功能：使照射所述标记用光线的位置相对于所述标记预定位置沿着规定的方向移动规定的量来进行照射，

[0045] 所述总控制部根据所述记号拍摄部与所述标记单元之间的间隔、由所述记号位置检测部检测出的定位基准用记号的位置信息、以及由所述记号角度检测部检测出的定位基准用记号的角度信息，针对每个描绘图案使照射所述标记用光线的位置沿着规定的方向移动规定的量，并控制所述标记位置重合控制部和所述同步移动控制部。

[0046] 技术方案4所述的发明是根据技术方案2所述的标记装置，其特征在于，[0047] 对所述标记对象物赋予多个定位基准用记号，

[0048] 所述记号位置检测部检测所述多个定位基准用记号的位置信息，

[0049] 所述标记装置还具备基于多个记号位置的角度检测部，所述角度检测部根据由所述记号拍摄部拍摄到的所述多个定位基准用记号的位置信息检测该定位基准用记号的角度信息，

[0050] 所述标记单元还具备如下的标记位置移动功能：使照射所述标记用光线的位置相对于所述标记预定位置沿着规定的方向移动规定的量来进行照射，

[0051] 所述总控制部根据所述记号拍摄部与所述标记单元之间的间隔、由所述记号位置检测部检测出的定位基准用记号的位置信息、以及由所述基于多个记号位置的角度检测部检测出的定位基准用记号的角度信息，针对每个描绘图案使照射所述标记用光线的位置沿着规定的方向移动规定的量，并控制所述标记位置重合控制部和所述同步移动控制部。

[0052] 技术方案5所述的发明是根据技术方案2～4所述的标记装置，其特征在于，[0053] 所述标记装置还具备输送速度运算部，所述输送速度运算部运算所述输送部的输送速度，

[0054] 所述描绘预定位置登记部具备：

[0055] 输送间距登记部，其将所述多个排列地登记的标记预定位置中的、沿着第一方向的方向反复标记的间隔作为输送间距进行登记；以及

[0056] 两端描绘图案间隔登记部，其将沿着第二方向顺次标记的最开始的描绘图案与最后的描绘图案之间的间隔作为两端描绘图案间隔进行登记，

[0057] 所述输送速度运算部根据所述输送间距、所述两端描绘图案间隔、所述标记单元第二移动部的顺次标记所需的时间、以及所述标记单元第一移动部的反复标记所需的时间，来计算所述输送部的输送速度的允许值，

[0058] 所述总控制部具备将该计算出的输送速度的允许值设定为所述输送部的输送速度而反复进行标记的功能。

[0059] 技术方案6所述的发明是一种标记方法，用于对标记对象物标记描绘图案，其特征在于，

[0060] 所述标记方法具有如下步骤：

[0061] 输送步骤，沿着第一方向连续地输送所述标记对象物；以及

[0062] 输送量检测步骤，检测沿着所述第一方向输送所述标记对象物的量，[0063] 采用了标记单元，其中所述标记单元朝向所述标记对象物照射与所述描绘图案对应的标记用光线，

[0064] 具有标记单元第一移动步骤，沿着所述第一方向移动所述标记单元，[0065] 具有同步移动控制步骤，根据在所述输送量检测步骤中检测出的每单位时间内输送所述标记对象物的量，沿着与所述标记单元第一移动步骤中的所述第一方向相同的方向移动相同量，

[0066] 具有：

[0067] 标记单元第二移动步骤，沿着与所述第一方向交叉的第二方向移动所述标记单元；

[0068] 位置检测步骤，检测所述标记单元的第二方向的位置；

[0069] 标记位置修正步骤，将照射所述标记用光线的位置变更而修正成对所述标记对象物上的相同位置照射所述标记用光线，

[0070] 具有标记位置重合控制步骤，在所述标记单元向所述第二方向移动的期间，根据在所述位置检测步骤中检测出的所述标记单元的第二方向的位置，来控制所述标记位置修正步骤中的错开量，将所述标记用光线向所述标记对象物上的第二方向的相同位置照射规定的时间，

[0071] 对所述标记位置重合控制步骤和所述同步移动控制步骤进行总控制，[0072] 在沿着所述第一方向连续输送所述标记对象物的期间，将所述标记用光线向所述标记对象物上的第一方向和第二方向的相同位置照射规定的时间。

[0073] 技术方案7所述的发明是根据技术方案6所述的标记方法，其特征在于，[0074] 对所述标记对象物赋予定位基准用记号，

[0075] 所述标记方法具有如下步骤：

[0076] 描绘预定位置登记步骤，将应标记的描绘图案相对于所述定位基准用记号的位置的相对位置作为标记预定位置进行登记；

[0077] 记号拍摄步骤，拍摄所述定位基准用记号；以及

[0078] 记号位置检测步骤，检测在所述记号拍摄步骤中拍摄到的所述定位基准用记号的位置信息，

[0079] 根据在所述记号拍摄步骤中采用的记号拍摄部与标记单元之间的间隔以及在所述记号位置检测步骤中检测出的定位基准用记号的位置信息来总地控制所述标记位置重合控制步骤和所述同步移动控制步骤。

[0080] 技术方案8所述的发明是根据技术方案7所述的标记方法，其特征在于，[0081] 所述标记方法还具备标记角度检测步骤，在所述标记角度检测步骤中，检测在所述记号拍摄步骤中拍摄到的所述定位基准用记号的角度信息，

[0082] 所述标记单元还具备如下的标记位置移动功能：使照射所述标记用光线的位置相对于所述标记预定位置沿着规定的方向移动规定的量来进行照射，

[0083] 根据所述记号拍摄部与所述标记单元之间的间隔、在所述记号位置检测步骤中检测出的定位基准用记号的位置信息、以及在所述记号角度检测步骤中检测出的定位基准用记号的角度信息，针对每个描绘图案使照射所述标记用光线的位置沿着规定的方向移动规定的量，并总地控制所述标记位置重合控制步骤和所述同步移动控制步骤。

[0084] 技术方案9所述的发明是根据技术方案7所述的标记方法，其特征在于，[0085] 对所述标记对象物赋予多个定位基准用记号，

[0086] 在所述记号位置检测步骤中检测出所述多个定位基准用记号的位置信息，[0087] 所述标记方法还具备记号角度检测步骤，在所述记号角度检测步骤中，根据在所述记号拍摄步骤中拍摄到的所述多个定位基准用记号的位置信息检测该定位基准用记号的角度信息，

[0088] 所述标记单元还具备如下的标记位置移动功能：使照射所述标记用光线的位置相对于所述标记预定位置沿着规定的方向移动规定的量来进行照射，

[0089] 根据所述记号拍摄部与所述标记单元之间的间隔、在所述记号位置检测步骤中检测出的定位基准用记号的位置信息、以及在所述记号角度检测步骤中检测出的定位基准用记号的角度信息，针对每个描绘图案使照射所述标记用光线的位置沿着规定的方向移动规定的量，并总地控制所述标记位置重合控制步骤和所述同步移动控制步骤。

[0090] 技术方案10所述的发明是根据技术方案7～9所述的标记方法，其特征在于，[0091] 所述标记方法还具备输送速度运算步骤，在所述输送速度运算步骤中，运算所述输送步骤的输送速度，

[0092] 在所述描绘预定位置登记步骤中具备如下步骤：

[0093] 输送间距登记步骤，将所述多个排列地登记的标记预定位置中的、沿着第一方向的方向反复标记的间隔作为输送间距进行登记；以及

[0094] 两端描绘图案间隔登记步骤，将沿着第二方向顺次标记的最开始的描绘图案与最后的描绘图案之间的间隔作为两端描绘图案间隔进行登记，

[0095] 在所述输送速度运算步骤中，根据所述输送间距、所述两端描绘图案间隔、所述标记单元第二移动步骤中的顺次标记所需的时间、以及所述标记单元第一移动步骤中的反复标记所需的时间，来计算所述输送步骤的输送速度的允许值，

[0096] 所述标记方法具备将该计算出的输送速度的允许值设定为所述输送步骤的输送速度而反复进行标记的功能。

[0097] 发明效果

[0098] 能够对连续地输送的标记对象物在没有“位置偏移”及“偏转”的状态下连续地标记规定的描绘图案，能够提高生产性。

附图说明

[0099] 图1是示出实现本发明的方式的一个示例的立体图。

[0100] 图2是实现本发明的方式的一个示例的设备的概略图。

[0101] 图3是示出实现本发明的方式的一个示例的系统结构图。

[0102] 图4是示出实现本发明的方式的一个示例的流程图。

[0103] 图5示出将实现本发明的方式的一个示例的标记例的俯视图。

[0104] 图6是示出实现本发明的方式的另一个示例的标记例的俯视图。

[0105] 图7是示出实现本发明的方式的又一个示例的标记例的俯视图。

[0106] 图8是示出实现本发明的方式的另一个示例的流程图。

[0107] 图9是实现本发明的方式的另一个示例的时序图。

[0108] 图10是示出实现本发明的另一个方式的一个示例的立体图。

[0109] 图11是示出以往技术的标记的情况的侧视图。

[0110] 图12是示出以往技术的标记的情况的俯视图。

具体实施方式

[0111] 采用图对用于实施本发明的方式进行说明。在下面的说明中，采用片状的连续体作为标记对象物10的一个示例来进行说明。

[0112] 设各图中的正交坐标系的三个轴为X、Y、Z，以XY平面作为水平面，以Z方向作为铅直方向。特别是，Z方向的箭头方向表示上，其相反方向表示下。

[0113] 图1是将实现本发明的方式的一个示例示出的立体图。

[0114] 本发明的标记装置1构成为包括输送部2、输送量检测器22、标记单元4、标记单元第一移动部5、标记单元第二移动部6和控制部9。

[0115] 输送部2沿着由箭头10v所示的第一方向将标记对象物10的被标记区域在保持水平的状态下按输送速度VS连续输送。另外，在本发明中，使箭头10v所示的第一方向与图中的正交坐标系x方向一致。

[0116] 具体而言，能够构成为适当地配置沿着y方向具有规定长度的圆筒状的辊21和使圆筒状的辊21旋转的电动机21m，所述圆筒状的辊21安装于标记装置1的壳体框架11(在图中用点线表示)处。

[0117] 输送量检测器22检测沿着箭头10v所示的第一方向(即x方向)输送标记对象物10的量，输送量检测器22构成本发明的输送量检测器。

[0118] 具体而言，输送量检测器22能够例举在圆筒状的辊21及电动机21m安装有旋转编码器及FV计数器等的示例。能够采用输出与输送标记对象物10的量相应的脉冲信号的装置、或输出与每单位时间的输送速度成比例的电压信号的装置来构成输送量检测器22。

[0119] 或者，输送量检测器22也可以是激光长度测量器等检测出设置于标记对象物10处的凹凸或端面的位置来检测输送的量的装置。

[0120] 后面对标记单元4详细说明，其朝向标记对象物10照射与规定的描绘图案对应的标记用光线。

[0121] 标记单元第一移动部5使标记单元4沿着第一方向移动。在本说明中，使第一方向与图中的正交坐标系x方向一致。

[0122] 具体而言，标记单元第一移动部5能够构成为包括X轴滑动单元50。能够采用与标记对象物10的表面平行且沿着x方向延伸的轨道、和安装成能够在该轨道上移动的X轴滑动件51来构成X轴滑动单元50。X轴滑动件51能够根据来自外部的控制信号以规定的速度在该轨道上移动、或者在该轨道上的预定位置处静止。并且，标记单元4安装于X轴滑动件51。

[0123] 标记单元第二移动部6使标记单元4沿着与第一方向交叉的第二方向(箭头40y所示的方向)移动。另外，在本说明中，使第二方向与图中的正交坐标系y方向一致。

[0124] 具体而言，标记单元第二移动部6能够构成为包括配置在壳体框架11上的一组支柱12、和安装在支柱12上的Y轴滑动单元60。能够采用与标记对象物10的表面平行且沿着y方向延伸的轨道、和安装成能够在该轨道上移动的Y轴滑动件61来构成Y轴滑动单元60。Y轴滑动件61能够根据来自外部的控制信号以规定的速度在该轨道上移动、或者在该轨道上的预定位置处静止。并且，X轴滑动单元50安装于Y轴滑动件61。

[0125] 后面对控制部9详细说明，其控制上述的各设备以在标记对象物10上的预定位置处标记描绘码。

[0126] 因此，标记单元4能够在与标记对象物10在z方向上保持规定的间隔的状态下根据来自控制部9的控制信号沿着x方向和y方向分别独立地移动或静止。

[0127] 并且，标记装置1构成为包括位置检测器62，所述位置检测器62检测标记单元4的第二方向上的位置。具体而言，能够由组装在Y轴滑动单元60中的线性编码器构成位置检测器62，能够例举向外部设备输出与Y轴滑动件61的y方向上的位置及移动量相应的信号的方式的示例。

[0128] [标记单元的具体情况]

[0129] 图2是用于实现本发明的方式的一个示例的设备的概略图，并且是将标记单元4的内部的设备布局示出的图。

[0130] 标记单元4构成为包括描绘图案生成部40和标记位置修正部45。

[0131] 描绘图案生成部40构成为包括光源40a和图案显示器40m。此外，根据需要而配置有反射镜40c、扩束器40e和中继透镜43a。从光源40a照射的激光束40b被反射镜40c反射，通过扩束器40e后变成光束宽度扩大的激光束40f。光束宽度扩大的激光束40f被照射于图案显示器40m。被图案显示器40m的表面选择性地反射的光束42a通过中继透镜43a而作为与描绘图案对应的光线42从描绘图案生成部40照射出。

[0132] 根据需要，与描绘图案对应的光线42被反射镜43m反射，通过中继透镜43b而作为与描绘图案对应的光线44照射于标记位置修正部的反射镜45m。与描绘图案对应的光线44被照射于反射镜45m，通过fθ透镜46而作为标记用光线47照射于标记对象物10。反射镜45m安装于标记位置修正部45，通过从外部设备向标记位置修正部45发送控制信号来改变反射镜45m的角度，从而改变标记用光线47的照射方向。

[0133] 能够采用激光二极管、激光振荡器、LED(发光二极管)照明、UV(紫外线)灯等来构成光源40a，从外部设备输入信号来控制接通/断开及输出。能够采用DMD(数字微镜器件)来构成图案显示器40m，能够从外部设备输入数据而得到规定的描绘图案。

[0134] 能够采用检流计扫描器来构成标记位置修正部45，能够从外部设备输入信号来调节反射镜45m的角度。

[0135] [系统结构]

[0136] 标记装置1的控制部9构成为包括标记位置重合控制部91、同步移动控制部93和总控制部95。

[0137] 图3是将实现本发明的方式的一个示例示出的系统结构图，示出了构成标记装置1的各设备怎样被连接起来。

[0138] 在标记单元4沿着第二方向移动期间，标记位置重合控制部91根据由输送量检测器22检测出的标记单元4的第二方向上的位置来控制标记位置修正部45的错开量，以使所述标记对象物10上的第二方向的位置相同的方式照射标记用光线47规定的时间。

[0139] 具体而言，标记位置重合控制部91由控制用计算机和控制用计算机的执行程序的处理块构成，实现以下的动作。

[0140] 标记位置重合控制部91与光源40a、描绘图案显示器40m和标记位置修正部45连接，能够控制光源40a、描绘图案显示器40m而使与规定的描绘图案对应的光线44照射于反射镜45m。并且，能够控制标记位置修正部45来改变标记用光线47的方向。

[0141] 标记位置重合控制部91还与位置检测器62连接，输入与由位置检测器62检测出的标记单元4的第二方向的位置及移动量相应的信号。此外，根据与该位置及移动量相应的信号来控制标记位置修正部45的错开量，以这样的方式构成执行程序的处理块。

[0142] 标记位置重合控制部91与后面详细说明的总控制部95连接，能够根据标记单元4的位置、移动量、以及来自总控制部95的控制指令来控制光源40a、描绘图案显示器40m和标记位置修正部45。

[0143] 由于标记位置重合控制部91形成了这样的结构，因此，在标记单元4沿着第二方向移动期间，不改变所述标记对象物10上的第二方向的位置，对标记对象物10上的相同位置以规定的时间照射与规定的描绘图案对应的标记用光线47，能够在使一列描绘图案组排列在预定位置的状态下进行标记。

[0144] 同步移动控制部93与输送部2、标记单元第一移动部5和标记单元第二移动部6连接，根据由输送量检测器22检测出的每单位时间输送标记对象物10的量来使标记单元第一移动部5向与第一方向相同的方向移动相同的量。

[0145] 具体而言，能够由具备定位控制单元的可编程控制器的执行程序的处理块构成。

[0146] 同步移动控制部93与输送部2的电动机21m连接，能够使电动机21m以规定的转速旋转、或停止、或改变转速。

[0147] 同步移动控制部93与输送部2的输送量检测器22连接，并输入从输送量检测器22输出的信号。从输送量检测器22输出的信号若是表示当前位置或移动量的脉冲信号，则根据每单位时间的所述脉冲信号的计数而获得每单位时间输送标记对象物10的量。

[0148] 并且，同步移动控制部93与X轴滑动件51连接，能够根据该每单位时间输送标记对象物10的量来对X轴滑动件51输出控制信号，并使X轴滑动件51沿着第一方向(x方向)移动。同样地，同步移动控制部93与Y轴滑动件61连接，能够对Y轴滑动件61输出控制信号，并使Y轴滑动件61沿着第二方向(y方向)移动。

[0149] 同步移动控制部93与后面详细说明的总控制部95连接，一边根据从输送量检测器22获得的标记对象物10的输送量和来自总控制部95的控制指令来控制标记对象物10的x方向的移动和X轴滑动件51的x方向的移动，以使彼此的移动方向和移动量变得相同，一边对X轴滑动件51输出控制信号。

[0150] 总控制部95控制标记位置重合控制部91和同步移动控制部93，在沿着第一方向(x方向)连续输送标记对象物10的期间，对标记对象物上的第一方向(x方向)和第二方向(y方向)的相同位置以规定的时间照射标记用光线47。

[0151] 具体而言，总控制部95构成为：采用控制用计算机，由其执行程序的处理块构成，能够进行如下这样的处理。

[0152] 总控制部95预先设定有标记位置信息、标记对象物10的输送速度、X轴滑动件及Y轴滑动件的控制参数、及标记所需的其它控制参数。这些信息通过标记位置重合控制部91、同步移动控制部93而输出到各部设备。各部成为能够根据控制指令开始标记动作的标记待机状态。

[0153] 总控制部95根据从输送量检测器22输出的信号而运算下述内容：在标记对象物10从当前位置起移动多少(例如，几脉冲的量)后开始移动X轴滑动件51和Y轴滑动件61，才能够对移动中的标记对象物10上的预定位置标记出描绘图案组。

[0154] 然后，总控制部95一边根据该运算结果参照从输送量检测器22输出的标记对象物10的当前位置信息，一边以如下方式进行总的控制：通过同步移动控制部93来控制X轴滑动件51和Y轴滑动件61，并且通过标记位置重合控制部91来控制标记单元4的描绘图案生成部
40和标记位置修正部45，在标记对象物10上的预定位置处标记出规定的描绘图案。

[0155] 由于本发明的标记装置1形成了上述这样的结构，因此能够对被连续地输送的标记对象物10在无“位置偏移”及“偏转”的状态下连续地标记出规定的描绘图案。此外，由于一边连续地输送标记对象物10一边进行标记，因此能够省去间歇输送时所需的加减速时间及静止时间，能够提高生产性。

[0156] [流程图]

[0157] 图4是将实现本发明的方式的一个示例示出的流程图，针对于每个步骤而示出了用于将规定的描绘图案标记在标记对象物10上的一连串的流程。

[0158] 首先，将标记对象物10设置到输送部2的辊21上(s101)。接着，使电动机21m旋转，以规定的速度连续地输送标记对象物10(s102)。并且，由输送量检测器22检测标记对象物10的输送量(s104)。

[0159] 在连续地输送标记对象物10的状态下，采用标记单元第一移动部使标记单元4沿着第一方向移动(s111)。将从该步骤s102至步骤s111的一连串的步骤称为同步移动控制步骤(s10)。

[0160] 另一方面，在连续地输送标记对象物10的状态下，一边使标记单元4沿着第一方向移动，一边采用标记单元第二移动部使标记单元4沿着第二方向移动(s121)。此时，由位置检测器62检测标记单元4的第二方向的位置(s122)。并且，根据标记单元4的第二方向的位置来调整反射镜45的角度(s123)。此时，反射镜45m的角度修正成下述这样：改变照射标记用光线27的位置，使标记用光线27照射在标记对象物10上的相同位置处。即，修正成如下这样：沿着与标记单元4移动的方向相反的方向改变照射标记用光线27的角度，成为没有y方向的相对速度的状态。这样，在相同的地方以规定的时间将标记用光线27照射在标记对象物10上(s124)。

[0161] 并且，判断是否对一列描绘图案组标记完毕(s125)。若在步骤s125中判断为未对一列描绘图案组标记完毕，则重复上述步骤s121～s125。另一方面，若在步骤s125中判断为对一列描绘图案组标记完毕，则进入到下一步骤。将该步骤s121～s125的一连串的步骤(即，对一列描绘图案组顺次地进行标记的动作)称为标记位置重合控制步骤(s20)。

[0162] 并且，使同步移动控制步骤(s10)和标记位置重合控制步骤(s20)联合起来进行控制，在沿着第一方向连续地输送标记对象物10的期间，对标记对象物上的第一方向和第二方向的相同位置处照射标记用光线27规定的时间。

[0163] 若标记单元4沿着第二方向移动完毕，则使标记单元4沿着与x方向相反的方向移动，回到初始的x位置(s131)。并且，判断标记是否完毕(s132)，若判断为标记完毕，则一连串的流程结束。另一方面，若判断为标记未完毕，则重复进行上述的步骤s104以后的动作，对多列的描绘图案组重复进行标记。

[0164] [标记例1]

[0165] 图5是将实现本发明的方式的一个示例的标记例示出的俯视图，示出了规定的描绘图案被良好地标记在标记对象物10上的情况。

[0166] 沿着箭头10v所示的方向以规定的速度VS输送标记对象物10，标记单元4一边沿着箭头40v1所示的方向相对移动，一边将描绘图案17a～17d顺次地标记在标记对象物10上的预定位置处。

[0167] 然后，标记单元4一边沿着箭头40v2所示的方向相对移动，一边将描绘图案17e～17h顺次地标记在标记对象物10上的预定位置处。

[0168] 另外，将17a～17d作为一列描绘图案组，将17e～17h作为下一列描绘图案组，将这些列的间隔称为输送间距PX。即，顺次地标记一列描绘图案组，反复地进行该动作，按每个输送间距PX顺次地反复进行标记。

[0169] 此外，一列描绘图案组的两端(17a和17d)的描绘图案的间隔、以及下一列的描绘图案组的两端(17e和17h)的描绘图案的间隔是沿着第二方向顺次标记的最开始的描绘图案与最后的描绘图案之间的间隔，称为两端间距LY。

[0170] 此时，着眼于标记单元4的能够标记的区域的中心位置，将该中心位置在标记所述描绘图案17a～17h时通过的轨迹(下面，称为标记单元的动作轨迹)以虚线40k在图中示出。

[0171] 下面，关于标记单元4的该中心位置，与X轴滑动件51、Y轴滑动件61等的动作一同地进行说明。另外，将y方向的箭头的方向称为去路，将其相反方向称为回路。

[0172] 最开始，标记开始前的该中心位置处于去路标记前待机位置48z1。

[0173] 然后，X轴滑动件51和Y轴滑动件61移动，沿着箭头48v1所示的方向移动。

[0174] 然后，在地点48a的前后描绘出描绘图案17a，在地点48b的前后描绘出描绘图案17b，在地点48c的前后描绘出描绘图案17c，在地点48d的前后描绘出描绘图案17d。

[0175] 然后，X轴滑动件51和Y轴滑动件减速，在去路标记后停止位置48z2处停止。

[0176] 然后，X轴滑动件51沿着箭头48v2所示的方向移动，在回路标记前待机位置48z3处停止。

[0177] 然后，X轴滑动件51和Y轴滑动件61沿着箭头48v3所示的方向移动。然后，在地点48e的前后描绘出描绘图案17e，在地点48f的前后描绘出描绘图案17f，在地点48g的前后描绘出描绘图案17g，在地点48h的前后描绘出描绘图案17h。

[0178] 然后，X轴滑动件51和Y轴滑动件减速，在回路标记后停止位置48z4处停止。

[0179] 然后，X轴滑动件51沿着箭头48v4所示的方向移动，在去路标记前待机位置48z5处停止。

[0180] 然后，X轴滑动件51和Y轴滑动件61再次移动，沿着箭头48v1所示的方向移动，重复与上述同样的动作。通过重复这样的动作，从而标记单元4一边描绘如图5所示的虚线40k那样的轨迹，一边在预定位置处标记描绘图案。

[0181] [标记例2]

[0182] 在上述说明中，对X轴滑动件51、Y轴滑动件61双方停止后X轴滑动件51返回的方式进行了说明。但是，还有如下这样的情况：为了缩短时间，在通过标记位置后，在Y轴滑动件61减速中，在X轴滑动件51减速完毕后立即开始沿着相反方向移动。在该情况下，所述能够标记的区域的中心位置不到达采用图5说明的所述位置48z2、48z4，按不同的轨迹移动。

[0183] 图6是将实现本发明的方式的另一个示例的标记例示出的俯视图，在图6(a)中示出了按与图5不同的轨迹移动的示例。

[0184] 在图6(a)所示的方式的情况下，标记单元4在地点48d的前后标记描绘图案17d之前是与采用图5描述的上述方式相同的动作，X轴滑动件51和Y轴滑动件61在标记出描绘图案17d后开始减速。

[0185] 但是，X轴滑动件51停止后立即开始朝回路标记前待机位置48z3移动，在其移动中，Y轴滑动件61成为停止状态。

[0186] 然后，X轴滑动件51、Y轴滑动件61在回路标记前待机位置48z3处成为停止状态。

[0187] 然后，标记单元4再次以与采用图5描述的上述方式相同的动作来标记描绘图案17e～17h。然后，X轴滑动件51和Y轴滑动件61在标记出描绘图案17e后开始减速。

[0188] 但是，X轴滑动件51停止后立即开始朝回路标记前待机位置48z5移动，在其移动中，Y轴滑动件61成为停止状态。

[0189] 然后，X轴滑动件51、Y轴滑动件61在去路标记前待机位置48z5处成为停止状态。

[0190] 通过重复上述的动作，标记单元4一边描绘如图6(a)所示的虚线40k1那样的轨迹，一边在预定位置处标记描绘图案。

[0191] [标记例3]

[0192] 在图6(b)中示出了标记单元4的所述中心位置按与图5、图6(a)不同的轨迹移动的示例。

[0193] 在该方式中，在Y轴滑动件61成为停止状态之后且X轴滑动件51停止之前，Y轴滑动件61开始移动以进行下一列的标记。

[0194] 通过重复上述的动作，标记单元4一边描绘如图6(b)所示的虚线40k2那样的轨迹，一边在预定位置处标记描绘图案。

[0195] [对准]

[0196] 在标记对象物10上预先准备好的标记用区域的排列存在沿x方向或y方向偏离的情况。这是因为，在前一工序中形成的主电路图案等是在沿标记对象物的输送速度方向或宽度方向错位的状态下形成的。即使对于这样错位的标记用区域的排列，也要求在规定的地方进行标记。因此，优选的是，标记装置1构成为还包括记号拍摄部7、描绘预定位置登记部94和记号位置检测部97。

[0197] 记号拍摄部7对赋予标记对象物10的定位基准用记号进行拍摄。具体而言，记号拍摄部7由摄像机71、镜头和照明等构成，能够配置在图1所示的那样的位置。

[0198] 描绘预定位置登记部94将标记对象物10上的、应标记的描绘图案相对于定位基准用记号的位置的相对位置作为标记预定位置进行登记。

[0199] 记号位置检测部97检测出由记号拍摄部7拍摄的所述定位基准用记号的位置信息。具体而言，记号位置检测部97能够采用市面上销售的图像处理单元，由该图像处理单元的执行程序的处理块构成，进行图像处理而检测出该记号的中心位置或基准位置位于记号拍摄部7的视野内的哪个位置。并且，如图3所示，记号位置检测部97与总控制部95连接着使用，将检测出的所述定位基准用记号的位置信息输出至总控制部95。

[0200] 总控制部95根据预先登记的、摄像机71与标记单元4的间隔(即，x方向的距离和y方向的距离)和检测出的所述定位基准用记号的位置信息而运算应在标记对象物10上的哪个位置进行标记，根据该运算结果来控制标记位置重合控制部91和同步移动控制部93以在预定位置处进行标记。

[0201] 由此，根据本发明的标记装置及方法，即使在标记对象物10上预先准备的标记用区域的排列向x方向或y方向偏离，也能够在规定的地方进行标记。

[0202] [标记位置移动功能]

[0203] 在标记对象物10上预先准备的标记用区域的排列不仅向x方向或y方向偏离，有时还转动(所谓的θ偏离)。这里，θ方向是指以z方向作为旋转中心的旋转方向(朝向纸面而顺时针转)，关于θ偏离，示出了图7所示的那样的示例。

[0204] 图7是将实现本发明的方式的又一个示例的标记例示出的俯视图，图示了作为没有上述θ偏离的情况的配置设定并登记的、用虚线示出的标记用区域19a～19d、19e～19h和与之对应的定位基准用记号76a、77a。并且，对在实际的标记对象物10上赋予的定位基准用记号76a’、77a’进行拍摄，根据位置信息和角度信息来运算实际应标记的区域19a’～19d’、19e’～19h’的位置，进行一连串的标记动作。

[0205] 此时，若沿着箭头40v1’、40v2’的方向使标记单元4相对移动，则在标记对象物10与标记单元4之间产生x方向的相对移动速度。若在该状态下进行一连串的标记动作，则被标记的描绘图案会无“位置偏移”地被标记在预定位置，但恐怕会在存在由输送方向的相对移动速度而引起的“偏转”的状态下被标记。

[0206] 因此，优选的是，本发明的标记装置1构成为还具备记号角度检测部98和标记位置移动功能。记号角度检测部98检测出由记号拍摄部拍摄到的所述定位基准用记号的角度信息，提取定位基准用记号的形状及特点来获取角度信息。

[0207] 具体而言，记号角度检测部98能够采用与构成记号位置检测部97的图像处理单元共同的设备，由该图像处理单元的执行程序的处理块构成。在该图像处理单元中，该处理块构成为能够检测出由摄像机71拍摄到的记号的位置及角度。

[0208] 由记号位置检测部97检测出的定位基准用记号的位置信息和由记号角度检测部98检测出的定位基准用记号的角度信息被输出至总控制部95。

[0209] 标记位置移动功能是：使照射标记用光线的位置相对于预先被设定并登记的标记预定位置沿着规定的方向移动规定的量来进行照射。

[0210] 具体而言，标记单元4相对于标记对象物10沿着箭头40v1、40v2的方向相对移动，在没有x方向的相对移动速度的状态下进行一连串的标记动作。此时，总控制部95根据记号拍摄部7的摄像机71与标记单元4的间隔、由记号位置检测部97检测出的定位基准用记号的位置信息、以及由记号角度检测部98检测出的定位基准用记号的角度信息来针对每个描绘图案确定使照射所述标记用光线的位置沿着规定的方向移动的规定的量，将该移动的规定的量输出至标记单元4。然后，根据实际标记描绘图案时的Y轴滑动件61的位置信息，针对每个描绘图案使照射所述标记用光线的位置沿着规定的方向(x方向、y方向中的一方或双方)移动规定的量，与此同时，控制标记位置重合控制部91和所述同步移动控制部93，进行一连串的标记动作。

[0211] 通过这样，即使由θ偏离引起而使被预先设定的标记用区域向X方向、Y方向中的一方或双方错位，也能够在没有排列在规定的区域内的“位置偏移”和“偏转”的状态下在规定的地方在排列成矩阵状的状态下标记描绘图案。

[0212] [两记号对准]

[0213] 在上述中描述了为了标记一列描绘码组而将对应的一个记号拍摄来进行对准的方式。在对一个对准记号进行拍摄的情况下，难以检测出θ偏离的角度。

[0214] 因此，优选的是，本发明的标记装置1还具备：记号拍摄部，其对预先赋予标记对象物的多个定位基准用记号进行拍摄；基于多个记号位置的角度检测部98b；以及标记位置移动功能，从而构成为对所述θ偏离进行修正。

[0215] 如图1所示，用于两个记号对准的记号拍摄部7采用多个摄像机71、72而构成。或者，记号拍摄部7也可以是除此以外的方式，也可以是采用一个摄像机71来观察多个定位基准用记号并获得各个摄像位置信息的方式。例如，采用图7来进行说明，相对于标记用区域19a～19d设定定位基准用记号76a、76b，相对于标记用区域19e～19h设定定位基准用记号
77a、77b。

[0216] 在进行两个记号对准的情况下，将标记对象物10上的、应标记的描绘图案相对于多个定位基准用记号位置的相对位置作为标记预定位置设定并登记在描绘预定位置登记部94。

[0217] 记号位置检测部97检测出记号拍摄部7的摄像机71、72与标记单元4的间隔和所述拍摄的多个定位基准用记号的摄像位置信息，并将该位置信息输出至基于多个记号位置的角度检测部98b。

[0218] 基于多个记号位置的角度检测部98b根据由记号拍摄部7拍摄到的多个定位基准用记号的位置信息来获取角度信息。

[0219] 具体而言，记号角度检测部98能够采用与构成记号位置检测部97的图像处理单元共同的设备，由该图像处理单元的执行程序的处理块构成。

[0220] 在该图像处理单元中，将由摄像机71、72拍摄到的多个记号的位置信息输出至基于多个记号位置的角度检测部98b。并且，该处理块构成为：基于多个记号位置的角度检测部98b根据该多个记号的位置信息来进行用于检测角度的运算。通过记号位置检测部97检测出的定位基准用记号的位置信息和通过基于多个记号位置的角度检测部98b检测出的定位基准用记号的角度信息被输出至总控制部95。

[0221] 标记位置移动功能是：使照射标记用光线的位置相对于被预先设定并登记的标记预定位置沿着规定的方向移动规定的量来进行照射。

[0222] 具体而言，标记单元4相对于标记对象物10沿着箭头40v1、40v2的方向相对移动，在没有x方向的相对移动速度的状态下进行一连串的标记动作。此时，总控制部95根据记号拍摄部7的摄像机71与标记单元4的间隔、由记号位置检测部97检测出的定位基准用记号的位置信息、以及由基于多个记号位置的角度检测部98b检测出的定位基准用记号的角度信息，来针对每个描绘图案确定使照射所述标记用光线的位置沿着规定的方向移动的规定的量，将该移动的规定的量输出至标记单元4。然后，根据实际标记描绘图案时的Y轴滑动件61的位置信息，针对每个描绘图案使照射所述标记用光线的位置沿着规定的方向(x方向、y方向中的一方或双方)移动规定的量，与此同时，控制标记位置重合控制部91和所述同步移动控制部93，进行一连串的标记动作。

[0223] 通过这样，即使在标记对象物10上预先准备的标记用区域处于向θ方向错位的状态，由于对处于分离位置的多个定位基准用记号进行观察，因此也能够提高θ偏离的修正精度。

[0224] [输送速度允许值计算]

[0225] 为了提高生产性，要求尽量加快沿着第一方向连续输送标记对象物10的输送速度VS。但是，若过于提高标记对象物的输送速度VS，则X轴滑动件51的重复动作及Y轴滑动件61的动作来不及，恐怕无法在预定位置进行标记。例如，能够例举以下的情况中所示的状态。

[0226] (情况1)输送间距PX狭，为了标记一列描绘图案，Y轴滑动件61在去路或回路移动的期间超过了下一标记位置。

[0227] (情况2)输送间距PX狭，为了标记一列描绘图案，X轴滑动件51往复移动的期间超过了下一标记位置。

[0228] 为了防止变成这样的状态并按尽量快的输送速度VS进行运用，需要计算出能够可靠地进行X轴滑动件51的重复动作及Y轴滑动件61的动作的输送速度的允许值并将输送速度VS设定成该值。

[0229] 因此，优选的是，本发明的标记装置1构成为还包括输送速度运算部99，所述输送速度运算部99计算输送速度的允许值。

[0230] 输送速度运算部99根据输送间距PX、两端间距LY、Y轴滑动件61顺次地标记一列描绘图案组所需的时间、以及X轴滑动件51重复标记一列描绘图案组所需的(即，用于往复移动的)时间来计算所述输送部的输送速度的允许值。

[0231] 并且，总控制部95将该计算出的输送速度的允许值作为输送部的输送速度VS进行设定，一边根据多个排列地登记的标记预定位置来连续输送标记对象物，一边控制标记位置重合控制部91和同步移动控制部93来将多个排列地登记的描绘图案重复地进行标记。

[0232] 具体而言，在输送速度运算部99中，按以下的步骤计算出所述输送部的输送速度的允许值。

[0233] 图8是将实现本发明的方式的另一个示例示出的流程图，针对于每个步骤示出了用于在标记对象物10上反复标记规定的描绘图案的、计算出输送速度的允许值的一连串的流程。

[0234] 首先，设定假定的输送速度Vp(s201)。

[0235] 接着，根据输送间距PX和假定的输送速度Vp而计算出反复标记所花费的时间TS(s202)。该时间TS成为反复标记的间隔时间(所谓的节拍时间)，每隔该时间反复执行标记动作。

[0236] 接着，计算出标记单元4顺次地标记一列描绘图案组所需的时间TY(s203)。该时间TY是Y轴滑动件61从停止状态起加速、等速移动、减速、直至停止为止的合计时间。

[0237] 同时，计算出标记单元4反复标记一列描绘图案组所需的时间TX(s204)。该时间TX是将X轴滑动件51从停止状态起加速、等速移动、减速、直至停止为止的合计时间TX1和用于回到初始的位置的时间TX2加起来的时间。

[0238] 接着，比较在上述步骤中计算出的时间TX、TY是否小于上述时间TS，判断在间隔时间内各标记动作是否完毕(s205)。

[0239] 并且，在步骤s205中，若判断为所述时间TX、TY小于所述时间TS，则将那时的假定的输送速度Vp的值作为输送速度的允许值，并设定为实际的输送速度VS。

[0240] 另一方面，若判断为所述时间TX、TY中的任一个大于所述时间TS，则将假定的输送速度Vp变更成较小的值(s211)，重复所述步骤s202～s205。

[0241] 图9是实现本发明的方式的另一个示例的时间图。图9示出了在以横轴为时间t、纵轴为Y轴滑动件61的速度、X轴滑动件51的速度时，标记单元4的能够标记的区域的中心位置以描绘图6(a)所示的轨迹的方式移动的情况下的Y轴滑动件61的动作和X轴滑动件51的动作。图9所示的时序图与采用图6(a)说明的方式对应。将标记对象物10的输送速度设为VS，X轴滑动件和Y轴滑动件被如下这样控制。

[0242] 在时刻t1，读取对准记号，测定对准记号的当前位置与基准位置之间的距离。

[0243] 从时刻t2起，使Y轴滑动件沿着Y方向加速，在时刻t4切换成等速移动。

[0244] 从时刻t4至时刻t5，使Y轴滑动件等速移动。

[0245] 从时刻t5起，使Y轴滑动件减速，在时刻t7使其停止。

[0246] 从时刻t7至下一记号观察时刻t11，使Y轴滑动件待机。

[0247] 另一方面，从时刻t3起，使X轴滑动件加速，在时刻t4切换成等速移动。

[0248] 从时刻t5起，使X轴滑动件减速，在时刻t6使其停止。

[0249] 然后，使X轴滑动件沿着相反方向移动，在时刻t8使其回到待机位置而停止。

[0250] 在下一记号观察时刻t11后，从时刻t12起，使Y轴滑动件沿着相反方向加速，在时刻t13切换成等速移动。

[0251] 另一方面，从时刻t12起，使X轴滑动件加速，在时刻t14切换成等速移动。

[0252] 另外，从时刻t4至时刻t5期间，通过标记单元对标记对象物进行标记。

[0253] 另外，在实际的运用中，时刻t8、t11的定时既可以同时，也可以一前一后。例如，能够例举如下的方式：在时刻t7后立即使在时刻t12所示的Y轴滑动件61开始加速，在时刻t8后立即使在时刻t13所示的X轴滑动件51开始加速。在该方式的情况下，标记单元4以该中心位置描绘图6(b)所示那样的轨迹的方式反复移动，能够在被连续地输送的标记对象物10上的预定位置处标记描绘图案。

[0254] 另一方面，能够例举如下的方式：使在时刻t6所示的X轴滑动件51的用于返回移动的加速在时刻t7所示的Y轴滑动件61减速完毕后开始，使Y轴滑动件61成为静止状态直至在时刻t8所示的X轴滑动件51的用于返回移动的减速完毕为止。在该方式的情况下，标记单元4以该中心位置描绘图5所示那样的轨迹的方式反复移动，能够在被连续输送的标记对象物
10上的预定位置处标记描绘图案。

[0255] 在任一情况下，在标记一列描绘图案组期间，由于沿着标记对象物10的输送方向没有相对移动速度，因此标记单元4不产生“偏移”。

[0256] [变形]

[0257] 图10是将实现本发明的另一个方式的一个示例示出的立体图。在图10所示的标记装置1a中，使标记单元4沿着x方向和y方向移动的标记单元第一移动部5和标记单元第二移动部6与图1所示的标记装置1的方式不同。标记装置1a的标记单元第一移动部5a构成为包括被安装在壳体框架11上的X轴滑动单元50a和X轴滑动件51a。

[0258] 标记单元第一移动部5a构成为包括：以与X轴滑动单元50a平行的方式安装在壳体框架11上的X轴辅助滑动单元50b和X轴辅助滑动件51b。

[0259] 标记单元第二移动部6构成为包括X轴滑动件51a、安装在X轴辅助滑动件51b上的Y轴滑动单元60、以及Y轴滑动件61。

[0260] Y轴滑动单元60被安装成：借助于支柱13被安装在X轴滑动件51a和X轴辅助滑动件51b上，一边将与标记对象物10的z方向的距离保持一定，一边能够沿着x方向移动。Y轴滑动单元60构成为包括能够沿着y方向移动的Y轴滑动件61，能够根据来自外部的控制信号而使Y轴滑动件61在预定位置移动和静止。

[0261] 标记单元4安装于标记单元第二移动部6的Y轴滑动件61。因此，标记单元4能够沿着x方向和y方向中的一方或双方独立地移动。

[0262] 其它设备及系统结构与采用图1和图2示出的方式相同。因此，标记装置1a与上述的标记装置1同样地能够对于被连续地输送的标记对象物10在没有由输送方向的相对移动速度引起的“偏移”的状态下连续地标记规定的描绘图案。

[0263] [另一标记单元例]

[0264] 在上述说明中，列举用于标记单元4的描绘图案生成部41作为图案显示器40m而采用DMD(数字微镜器件)来构成的示例进行了说明。但是，图案显示器40m也可以是其它方式，能够采用例如透过式液晶掩模方式的图案显示器。在该情况下，构成如下这样的标记位置修正部：在Y轴滑动件61与标记单元之间配置另一个Y轴滑动件61b，在标记过程中，也使另一个Y轴滑动件61b沿着与Y轴滑动件61相反的方向以相同的速度移动来进行标记。通过这样，从而能够进行位置修正，使得对标记对象物10上的相同位置持续照射规定的时间与描绘图案对应的能量，能够进行应用本发明的标记。

[0265] 标号说明

[0266] 1：标记装置

[0267] 1a：标记装置

[0268] 2：输送部(x方向)

[0269] 4：标记单元

[0270] 5：标记单元第一移动部(x方向)

[0271] 6：标记单元第二移动部(y方向)

[0272] 7：记号拍摄部

[0273] 9：控制部

[0274] 10：标记对象物

[0275] 10v：输送方向

[0276] 10z：标记对象物

[0277] 11：壳体框架

[0278] 12：支柱

[0279] 13：支柱

[0280] 15：描绘图案(以往：静止可以)

[0281] 16：描绘图案(以往：输送中不可以)

[0282] 17：描绘图案(本申请：输送中可以)

[0283] 18：描绘图案(本申请：输送过快：不可以)

[0284] 20z：载置台

[0285] 21：辊

[0286] 21m：电动机

[0287] 22：输送量检测器

[0288] 40：描绘图案生成部

[0289] 40a：光源

[0290] 40b：激光束

[0291] 40c：DMD反射镜

[0292] 40v1：箭头(标记单元的相对移动方向、去路)

[0293] 40v2：箭头(标记单元的相对移动方向、回路)

[0294] 41：描绘图案生成部

[0295] 41a：UV灯

[0296] 41b：UV光线

[0297] 41c：液晶掩模

[0298] 42：与描绘图案对应的光线

[0299] 43：光学部件

[0300] 43m：反射镜

[0301] 43a：中继透镜

[0302] 43b：中继透镜

[0303] 44：与描绘图案对应的光线

[0304] 45：标记位置修正部(检流计反射镜等)

[0305] 46：fθ透镜

[0306] 47：标记用光线

[0307] 47a

[0308] 48v1：箭头(去路标记)

[0309] 48v2：箭头(向回路待机位置移动)

[0310] 48v3：箭头(回路标记)

[0311] 48v4：箭头(向去路待机位置移动)

[0312] 48z1：去路标记前待机位置

[0313] 48z2：去路标记后停止位置

[0314] 48z3：回路标记前待机位置

[0315] 48z4：回路标记后停止位置

[0316] 50：X轴滑动单元

[0317] 51：X轴滑动件

[0318] 50a：X轴滑动单元

[0319] 51a：X轴滑动件

[0320] 50b：X轴辅助滑动单元

[0321] 51b：X轴辅助滑动件

[0322] 60：Y轴滑动单元

[0323] 61：Y轴滑动件

[0324] 62：位置检测器

[0325] 71：摄像机

[0326] 72：摄像机

[0327] 76a：定位基准用记号

[0328] 76b：定位基准用记号(两个记号对准用)

[0329] 77a：定位基准用记号

[0330] 77b：定位基准用记号(两个记号对准用)

[0331] 91：标记位置重合控制部

[0332] 93：同步移动控制部

[0333] 94：描绘预定位置登记部

[0334] 95：总控制部

[0335] 97：记号位置检测部

[0336] 98：记号角度检测部

[0337] 99：输送速度运算部

[0338] 98b：基于多个记号位置的角度检测部

[0339] PX：输送间距

[0340] LY：两端间距

[0341] TS：反复标记所花费的时间

[0342] TX：用于反复标记一列描绘图案组所需的时间

[0343] TY：用于顺次地标记一列描绘图案组所需的时间

[0344] Vp：假定的输送速度

[0345] VS：标记对象物的输送速度

[0346] VX：标记单元的移动速度(x方向)

[0347] VY：标记单元的移动速度(y方向)