输送系统

摘要

本发明提供一种输送系统。该输送系统(100)具备：收纳架(20)，设置于半导体制造装置(60)、(62)的附近，收纳架(20)收纳被输送物(10)；堆垛起重机(30)，在收纳架(20)中进行被输送物(10)的搬入以及搬出；运载装置(40)，输送被输送物(10)；ID标签阅读器(R)，设置于堆垛起重机(30)，ID标签阅读器(R)读取被输送物(10)的ID标签(T)；以及控制器(50)，在通过IT标签阅读器(R)获取的识别信息和被输送物(10)的输送指令所包含的信息一致的情况下，以将被输送物(10)输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机(30)，收纳架(20)的至少一部分能够通过运载装置(40)的夹具(44)进行被输送物(10)的取放。

权利要求

1.一种输送系统，其特征在于，

是输送附有能够唯一地识别的识别信息的被输送物的输送系统，具备：收纳架，设置于半导体制造装置的附近，该收纳架收纳所述被输送物；

堆垛起重机，向所述收纳架搬入所述被输送物，并且从所述收纳架搬出所述被输送物，该堆垛起重机在所述收纳架和所述半导体制造装置之间移载所述被输送物，并向所述半导体制造装置的装载端口搬入被输送物，并且从所述装载端口搬出所述被输送物；

高架输送车，沿设置于顶棚部的轨道行驶，并使把持所述被输送物的夹具升降来输送所述被输送物；

识别信息获取单元，设置于所述堆垛起重机，该识别信息获取单元获取附于所述被输送物的所述识别信息；以及控制单元，在通过所述识别信息获取单元获取的所述识别信息和所述被输送物的输送指令所包含的识别信息一致的情况下，该控制单元以将所述被输送物输送至所述输送指令中的输送目的地的方式来控制所述堆垛起重机，所述收纳架能够进行通过所述堆垛起重机进行的所述被输送物的取放，并且收纳架配置在所述装载端口的至少左右一方侧，所述收纳架的至少一部分能够进行通过所述高架输送车的所述夹具进行的所述被输送物的取放，作为用于在所述堆垛起重机和所述高架输送车之间交换所述被输送物的端口发挥作用，所述堆垛起重机在所述装载端口以及所述收纳架的前方侧向左右方向行驶，所述高架输送车沿敷设在所述装载端口以及所述收纳架的上方的轨道行驶。

2.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，

在所述半导体制造装置的装载端口，能够进行通过所述堆垛起重机以及所述高架输送车进行的所述被输送物的搬入以及搬出。

3.一种输送系统，其特征在于，具备：

堆垛起重机，向半导体制造装置的装载端口搬入被输送物，并且从所述装载端口搬出所述被输送物；

高架输送车，使把持所述被输送物的夹具升降来输送所述被输送物；以及收纳架，设置于所述半导体制造装置的附近，该收纳架收纳所述被输送物并且能够进行通过所述堆垛起重机进行的所述被输送物的取放，并且收纳架配置在所述装载端口的至少左右一方侧，在所述装载端口中，能够进行通过所述堆垛起重机以及所述高架输送车进行的所述被输送物的搬入以及搬出；

所述收纳架的至少一部分能够进行通过所述高架输送车的所述夹具进行的所述被输送物的取放，所述收纳架的至少一部分作为用于在所述堆垛起重机和所述高架输送车之间交换所述被输送物的端口发挥作用，所述堆垛起重机在所述装载端口以及所述收纳架的前方侧向左右方向行驶，所述高架输送车沿敷设在所述装载端口以及所述收纳架的上方的轨道行驶。

4.根据权利要求3所述的输送系统，其特征在于，

所述半导体制造装置以拉开规定的间隔地相互对置的方式进行配置，所述堆垛起重机能够在对置的所述半导体制造装置之间向与该对置方向大致正交的方向移动，所述堆垛起重机向各所述半导体制造装置的各所述装载端口搬入以及搬出所述被输送物。

说明书

输送系统

技术领域

[0001] 本发明涉及输送系统。

背景技术

[0002] 作为以往的输送系统，例如已知有专利文献1所记载的输送系统。在专利文献1所记载的输送系统中，具备：输送车，输送安装有ID标签的盒，并且在输送车上搭载有识别ID标签的ID阅读器；以及载置盒的工位，通过安装于盒的ID标签来管理盒的输送。

[0003] 专利文献1:日本特开2002－179203号公报

[0004] 从输送的准确性以及效率的观点来看，如在上述专利文献1中记载的输送系统那样，通过ID标签来管理盒是有效的。这里，近年，在半导体器件的制造中处理的高速化被不断推进，要求半导体制造装置中的生产节拍时间的缩短，但与此同时也要求工序间的半导体晶片的输送时间的进一步的改善。并且，随着近年的半导体晶片的大型化，作为收纳晶片的容器的FOUP(Front Opening Unified Pod(前开式晶圆盒)，盒)也大型化。因此，在半导体制造工厂中，比以往更需要收纳FOUP的空间，但在有限的空间内确保收纳FOUP的空间并不容易。

发明内容

[0005] 本发明的目的在于提供一种能够确保被输送物的收纳空间，并能够准确且高效地输送被输送物的输送系统。

[0006] 本发明的一个侧面所涉及的输送系统是输送附有能够唯一地识别的识别信息的被输送物的输送系统，具备：收纳架，设置于半导体制造装置的附近，收纳架收纳被输送物；堆垛起重机，向收纳架搬入被输送物，并且从收纳架搬出被输送物；高架输送车，沿设置于顶棚部的轨道行驶，并使把持被输送物的夹具升降来输送被输送物；识别信息获取单元，设置于堆垛起重机，识别信息获取单元获取附于被输送物的识别信息；以及控制单元，在通过识别信息获取单元获取的识别信息和被输送物的输送指令所包含的识别信息一致的情况下，以将被输送物输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机，收纳架的至少一部分能够进行通过高架输送车的夹具进行的被输送物的取放。

[0007] 在该输送系统中，在半导体制造装置的附近设置有收纳被输送物的收纳架。由此，能够确保收纳被输送物的空间。并且，由于在输送系统中，将收纳架配置于半导体制造装置的附近，所以能够迅速地进行在收纳架和装载端口之间的被输送物的移载。另外，在输送系统中，收纳架的至少一部分能够进行通过高架输送车的夹具进行的被输送物的取放。像这样，在输送系统中，通过成为高架输送车能够向收纳架存取的结构，能够使收纳架作为用于在堆垛起重机和高架输送车之间交换被输送物的端口发挥作用。由此，在输送系统中，能够高效地实施被输送物的输送。并且，在输送系统中，在附于被输送物的识别信息和输送指令所包含的识别信息一致的情况下，以将被输送物输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机。由此，在输送系统中，能够将被输送物准确地输送至特定的输送目的地。如上所述，在输送系统中，能够确保被输送物的收纳空间，并能够准确且高效地输送被输送物。

[0008] 在一实施方式中，在半导体制造装置的装载端口中，也可以进行通过堆垛起重机以及高架输送车进行的被输送物的搬入以及搬出。由此，在输送系统中，能够通过高架输送车直接地向装载端口搬入以及搬出被输送物。因此，在输送系统中，实现了为了将被输送物交接给堆垛起重机而临时保管被输送物的时间的缩短，并且，也能够缩短通过堆垛起重机进行移载的时间，所以能够迅速地输送被输送物。另外，在输送系统中，也能够实现被输送物的移载的自由度的提高。因此，在输送系统中，能够实现被输送物的输送效率的进一步的提高。

[0009] 根据本发明，能够确保被输送物的收纳空间，并能够准确且高效地输送被输送物。

附图说明

[0010] 图1是从上方观察一实施方式所涉及的输送系统的图。

[0011] 图2是表示图1所示的输送系统的立体图。

[0012] 图3是表示输送系统的系统结构的框图。

[0013] 图4是表示输送系统的动作的流程图。

具体实施方式

[0014] 以下，参照附图对优选的实施方式进行详细说明。应予说明，在附图的说明中，对相同或者相应部件标注相同符号，并省略重复的说明。

[0015] 图1是从上方观察一实施方式所涉及的输送系统的图。图2是表示图1所示的输送系统的立体图。图3是表示输送系统的系统结构的框图。

[0016] 图1～图3所示的输送系统100设置于用于制造半导体器件的无尘室。输送系统100具备收纳被输送物10的收纳架20、堆垛起重机30、运载装置(高架输送车)40以及控制器(控制单元)50。在无尘室配置有半导体制造装置60、62。在半导体制造装置60、62分别设置有用于向该半导体制造装置60、62搬入以及搬出被输送物10的装载端口64、66。

[0017] 另外，输送系统100具备MES(Manufacturing Execution System：制造执行系统)110和MCS(Material Control System：物料控制系统)120。MCS110是基于半导体制造时间表(Schedule)来制作被输送物10的输送时间表，并基于该输送时间表向连接了堆垛起重机30以及运载装置40的控制器50发出输送指令来进行指示的输送指示装置。如图3所示，MCS110设置于控制器50等工序间输送设备和MES120之间，MCS110是具有将来自MES120的各种指示适时地传递至控制器50，并汇总来自该控制器50的报告且传递至MES120的功能的系统。此外，MES120是总括工厂现场中的各种信息并进行管理的统一生产信息系统，MES120进行MCS110以及半导体制造装置60、62的信息管理。

[0018] 被输送物10是收容了多个半导体晶片的盒(所谓的FOUP(Front Opening Unified Pod))。在被输送物10的上表面10a设置有被下述的运载装置40的夹具44保持的凸缘部10b。另外，在被输送物10的侧面(后表面)10c安装有用于取放半导体晶片的可拆装的盖(未图示)。

[0019] 在被输送物10上附有能够唯一地识别的识别信息。在本实施方式中，在被输送物10上安装有附有识别信息的ID标签T。ID标签T配置于被输送物10的前表面10d(与安装有盖的侧面10c相反一侧的面)。应予说明，附在被输送物10上的识别信息不仅可以是ID标签T，例如也可以是条形码等。

[0020] 收纳架20是临时收纳被输送物10的架。收纳架20配置于半导体制造装置60、62的附近。在本实施方式中，将收纳架20以隔着半导体制造装置60、62的装载端口64、66的方式进行配置。在收纳架20的高度方向上设置有多列(这里为3列)载置被输送物10的载置部22。在载置部22设置有从载置部22的上表面向上方突出的销24。销24与设置于被输送物10的底面的定位孔(未图示)卡合。通过该销24在收纳架20中定位被输送物10。此外，在载置部22设置有在被输送物10的底面的下方插入堆垛起重机30的移载臂
39c(下述)的间隙。

[0021] 收纳架20的上部开放。即，收纳架20的至少一部分能够进行通过运载装置40的夹具44进行的被输送物10的取放。在收纳架20中，将被输送物10以被输送物10的前表面10d朝向堆垛起重机30侧的方式进行载置。由此，将被输送物10以安装于被输送物10的前表面10d的ID标签T朝向堆垛起重机30侧的方式配置于载置部22。根据半导体制造装置60、62的设置位置、台数、无尘室的构造来适当地设定收纳架20的设置数量、设置位置。并且，收纳架20可以悬吊在顶棚上，也可以借助支承部件等固定在地板上。

[0022] 堆垛起重机30通过包括在无尘室内沿导轨R1移动的行驶台车32、竖立设置于该行驶台车32的两个支柱装置34、以能够相对于支柱装置34在上下方向上移动的方式设置的升降台36、设置在升降台36上的移载装置38以及ID标签阅读器(识别信息获取单元，参照图1)R而构成。另外，虽未图示，但堆垛起重机30具备设置在升降台36上的回转台等。

[0023] 堆垛起重机30沿在无尘室内敷设的导轨R1直线移动。将导轨R1沿与半导体制造装置60、62的对置方向正交的方向敷设在对置配置的半导体制造装置60、62之间。即，将堆垛起重机30以能够沿与半导体制造装置60、62的对置方向大致正交的方向移动的方式进行设置。应予说明，这里所说的对置无需半导体制造装置60、62完全地相向，半导体制造装置60、62是间隔规定的间隔配置的状态即可。

[0024] 移载装置38具有SCARA臂39。SCARA臂39由基端侧臂39a、前端侧臂39b以及移载臂39c构成。移载臂39c的上表面构成载置被输送物10的载置面。SCARA臂39的移载臂39c在与行驶台车32的移动方向正交的方向(取放被输送物10的方向)上直线移动。

[0025] ID标签阅读器R是读取被输送物10的ID标签T并获取识别信息的单元。ID标签阅读器R例如设置于移载装置38，ID标签阅读器R在输送收纳于收纳架20的被输送物10之前(向装载端口移载之前)读取安装于被输送物10的ID标签T并获取识别信息。ID标签阅读器R将获取的识别信息输出至控制器50。应予说明，若ID标签阅读器R的安装位置是能够读取被输送物10的ID标签T的位置，则不对ID标签阅读器R的安装位置进行特别限定。

[0026] 堆垛起重机30按照如下方式动作。即，堆垛起重机30停止在规定的收纳架20前，并通过移载臂39c取出收纳于收纳架20的规定的被输送物10。接下来，堆垛起重机30通过行驶台车32沿导轨R1移动，例如向半导体制造装置60的装载端口64移载被输送物10。另外，堆垛起重机30例如停止在半导体制造装置62的装载端口66之前，并通过移载臂39c搬出载置于装载端口66的被输送物10。接下来，堆垛起重机30通过行驶台车32沿导轨R1移动至输送目的地(例如收纳架20)并移载被输送物10。

[0027] 另外，将堆垛起重机30以能够通过回转台旋转的方式进行设置。因此，堆垛起重机30通过利用回转台适当地改变方向，来使SCARA臂39朝向半导体制造装置60侧以及半导体制造装置62侧的任意一方侧移动。由此，堆垛起重机30分别针对对置配置的半导体制造装置60、62的装载端口64、66进行被输送物10的搬入以及搬出。通过控制器50对这样的通过堆垛起重机30进行的被输送物10的输送动作进行控制。

[0028] 应予说明，在图1中仅图示一台堆垛起重机30，但可以在导轨R1上设置一台堆垛起重机30，也可以在导轨R1上设置多台堆垛起重机30。

[0029] 运载装置40是OHT(Overhead Hoist Transport：高架提升传输)，运载装置40沿悬吊在顶棚部上的行驶导轨(轨道)R2来输送被输送物10。行驶导轨R2设置于无尘室的顶棚，并配置在半导体制造装置60、62的装载端口64、66的上方。

[0030] 运载装置40具有夹具44。夹具44通过把持凸缘部10b来保持被输送物10。夹具44通过利用升降部(未图示)同步地抽出多根带46来从规定的位置下降。另外，夹具44通过利用升降部同步地卷绕多根带46来上升至规定的位置。

[0031] 运载装置40按照如下方式动作。即，运载装置40从输送源(例如被输送物的储料器)输送被输送物10，并例如停止在半导体制造装置60的装载端口64的上方，且使输送来的被输送物10下降而将被输送物10载置在装载端口64上。另外，运载装置40从输送源输送被输送物10，并停止在规定的收纳架20的上方，且使输送来的被输送物10下降而将被输送物10载置在收纳架20的规定的位置。

[0032] 另外，运载装置40例如停止在半导体制造装置62的装载端口66的上方，并利用夹具44把持载置于该装载端口66的被输送物10，且在保持了被输送物10的状态下使被输送物10上升来将被输送物10输送至规定的输送目的地。另外，运载装置40例如停止在收纳架20的上方，并利用夹具44把持收纳于该收纳架20的被输送物10，且在保持了被输送物10的状态下使被输送物10上升来将被输送物10输送至规定的输送目的地。

[0033] 控制器50控制堆垛起重机30以及运载装置40。控制器50能够与设置于堆垛起重机30的ID标签阅读器R进行通信。控制器50接受从堆垛起重机30的ID标签阅读器R输出的识别信息和从MCS110输出的输送指令，并判断从ID标签阅读器R输出的识别信息和输送指令所包含的识别信息是否一致。输送指令至少包含确定为被输送物10的识别信息和表示该被输送物10的输送目的地的输送目的地信息。

[0034] 控制器50在被输送物10的识别信息和输送指令的识别信息一致的情况下，以将被输送物10输送至输送指令所包含的输送目的地信息所表示的输送目的地的方式来控制堆垛起重机30。由此，堆垛起重机30根据输送指令将被输送物10移载至规定的输送目的地。另外，控制器50在被输送物10的识别信息和输送指令的识别信息不一致的情况下，以将被输送物10输送至与输送指令中的输送目的地不同的地方(例如临时保管被输送物10的架)的方式来控制堆垛起重机30。

[0035] 接下来，参照图4对输送系统100的动作进行说明。图4是表示输送系统的动作的流程图。应予说明，以下将收纳于收纳架20的被输送物10输送至半导体制造装置60的装载端口64作为一个例子进行说明。

[0036] 如图4所示，根据基于输送指令的控制器50的控制，堆垛起重机30移动至收纳架20的规定的被输送物10前(步骤S01)。接下来，通过堆垛起重机30的移载装置38的移载臂39c从收纳架20取出被输送物10(步骤S02)。此时，通过ID标签阅读器R读取被输送物10的ID标签T(步骤S03)。

[0037] 接下来，控制器50判断通过ID标签阅读器R读取的ID标签T的识别信息和输送指令所包含的识别信息是否一致(步骤S04)。在判断为ID标签T的识别信息和输送指令所包含的识别信息一致的情况下，通过控制器50的控制，堆垛起重机30将被输送物10输送至装载端口64(步骤S05)。另一方面，在判断为ID标签T的识别信息和输送指令所包含的识别信息不一致的情况下，通过控制器50的控制，堆垛起重机30将被输送物10输送至规定的其它的输送目的地(步骤S06)。

[0038] 如以上说明那样，在本实施方式中，在半导体制造装置60、62的附近配置收纳架20。通过该收纳架20能够确保收纳被输送物10的空间。另外，由于将收纳架20配置在半导体制造装置60、62的附近，所以能够迅速地进行在收纳架20和装载端口64、66之间的被输送物10的移载。

[0039] 另外，在本实施方式中，通过堆垛起重机30的ID标签阅读器R读取收纳于收纳架20的被输送物10的ID标签T，并在读取的识别信息和输送指令所包含的识别信息一致的情况下，控制器50以将该被输送物10输送至输送指令所表示的输送目的地的方式来控制堆垛起重机30。像这样，在本实施方式中，能够在控制堆垛起重机30的控制器50中识别被输送物10，所以与例如在装载端口中获取被输送物10的识别信息，并将该识别信息输出至MES110，且利用MES110来识别输送物10的以往的系统相比，实现处理速度的提高。因此，能够迅速并且准确地将被输送物10输送至输送目的地。另外，由于ID标签阅读器R设置于堆垛起重机30，所以无需在收纳架20、装载端口64、66上设置ID标签阅读器，实现结构的简单化，并且实现成本的降低。

[0040] 另外，在本实施方式中，运载装置40在装载端口64、66中直接搬入以及搬出被输送物10。例如在输送需要紧急处理的紧急批量用的被输送物10的情况下，以往通过运载装置40将该被输送物10输送至规定的端口并该被输送物10载置在规定的端口上，然后，通过堆垛起重机30将该被输送物10搬入至规定的装载端口。因此，在被输送物10的输送上必定花费时间。

[0041] 与此相对，在本实施方式中，能够不经由堆垛起重机30而通过运载装置40直接地向装载端口64、66搬入以及搬出被输送物10，所以临时保管被输送物10的时间、通过堆垛起重机30进行移载的移载时间缩短。因此，能够缩短被输送物10的输送时间，能够迅速地输送被输送物10。另外，实现被输送物10的输送的自由度的提高。如上所示，在本实施方式中，实现被输送物10的输送效率的提高。

[0042] 另外，在本实施方式中，收纳架20的上部开放。由此，运载装置40能够在收纳架20中进行被输送物10的取放。因此，能够使收纳架20作为用于在堆垛起重机30和运载装置40之间交换被输送物10的端口发挥作用。由此，能够更加高效地实施被输送物10的输送。

[0043] 在其它的观点中，本实施方式涉及输送附有能够唯一地识别的识别信息的被输送物的输送系统，具备：收纳架，设置于半导体制造装置的附近，收纳架收纳被输送物；堆垛起重机，向收纳架搬入被输送物，并且从收纳架搬出被输送物；高架输送车，沿设置于顶棚部的轨道行驶，并使把持被输送物的夹具升降来输送输送物；ID标签阅读器，设置于堆垛起重机，ID标签阅读器获取附于被输送物的识别信息；以及控制器，在通过ID标签阅读器获取的识别信息和被输送物的输送指令所包含的识别信息一致的情况下，以将被输送物输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机，收纳架的至少一部分能够进行通过高架输送车的上述夹具进行的被输送物的取放。

[0044] 本发明并不局限于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，将配置两台半导体制造装置60、62的结构作为一个例子进行了说明，但根据半导体制造工厂的设计来适当地设定半导体制造装置的设置数量等即可。另外，也可以设置临时保管被输送物10的加工中心间储料器(Interbay stocker)。堆垛起重机30以及运载装置40能够向加工中心间储料器存取。

[0045] 符号说明：100…输送系统；10…被输送物；20…收纳架；30…堆垛起重机；40…运载装置(高架输送车)；44…夹具；50…控制器(控制单元)；60、62…半导体制造装置；64、66…装载端口；R…ID标签阅读器(识别信息获取单元)；T…ID标签(识别信息)。