试验系统及服务器

摘要

服务器(300)保存多个配置数据(306)。测试器硬件(100)能够根据保存在可改写的非易失性存储器(102)中的配置数据(306)而改变至少其功能的一部分，且能够对DUT(4)供给电源电压、向DUT(4)发送信号、接收来自DUT(4)的信号。信息处理装置(200)在(i)装配试验系统(2)时，响应用户的输入而从服务器(300)中获取配置数据(306)，并向非易失性存储器(102)中写入。另外信息处理装置(200)在(ii)进行DUT(4)的试验时，执行测试程序，对测试器硬件(100)进行控制，并且能够处理由测试器硬件(100)获取到的数据。

权利要求

1.一种试验系统，其对被试验设备进行试验，

所述试验系统的特征在于，

所述试验系统包括：

服务器，其保存多个配置数据，所述多个配置数据的各个配置数据用于向所述试验系统提供不同的功能；

测试器硬件，其包括可改写的存储器，能够根据保存在该存储器中的配置数据而改变至少其功能的一部分，且至少能够对所述被试验设备供给电源电压、能够向所述被试验设备发送信号、能够接收来自所述被试验设备的信号；以及信息处理装置，其被构成为，(i)在装配所述试验系统时，从所述服务器中获取适合于用户指定的试验内容的所述配置数据，向所述测试器硬件的所述存储器中写入所述配置数据，(ii)在进行所述被试验设备的试验时，执行测试程序，根据所述测试程序对所述测试器硬件进行控制，并且能够处理由所述测试器硬件获取到的数据，所述服务器具备：

存储部，其保存所述多个配置数据及数据库；

数据库登记部，其接收来自用户的与所述试验系统相关的服务的利用申请，并将所述用户的信息及所述用户指定的所述信息处理装置的识别信息登记在所述数据库中；

认证部，其进行所述用户的登录认证；

列表显示部，其显示所述多个配置数据的列表；

下载控制部，其响应来自所述用户的所述配置数据的下载要求，向所述信息处理装置提供所述配置数据；以及授权码发行部，其从所述用户接收所述配置数据的使用许可的申请，对于应该许可的用户发行第一授权码。

2.根据权利要求1所述的试验系统，其特征在于，

所述信息处理装置中执行的所述测试程序由控制程序和程序模块的组合构成，所述程序模块嵌入到所述控制程序中且规定试验算法，所述服务器的所述存储部中保存有作为多个所述程序模块的、各自规定不同的试验算法的多个程序模块，所述列表显示部显示所述多个程序模块的列表，

所述下载控制部响应来自用户的所述程序模块的下载要求，向所述信息处理装置提供所述程序模块，所述授权码发行部从所述用户接收所述程序模块的使用许可的申请，对于应该许可的用户发行第二授权码。

3.一种试验系统，其对被试验设备进行试验，

所述试验系统的特征在于，

所述试验系统包括：

服务器，其保存多个配置数据，所述多个配置数据的各个配置数据用于向所述试验系统提供不同的功能；

测试器硬件，其包括可改写的存储器，能够根据保存在该存储器中的配置数据而改变至少其功能的一部分，且至少能够对所述被试验设备供给电源电压、能够向所述被试验设备发送信号、能够接收来自所述被试验设备的信号；以及信息处理装置，其被构成为，(i)在装配所述试验系统时，从所述服务器中获取适合于用户指定的试验内容的所述配置数据，向所述测试器硬件的所述存储器中写入所述配置数据，(ii)在进行所述被试验设备的试验时，执行测试程序，根据所述测试程序对所述测试器硬件进行控制，并且能够处理由所述测试器硬件获取到的数据，与所述试验系统相关的服务提供者在由用户使用配置数据之前，发行包括成为许可对象的所述配置数据的识别信息和应该许可使用的所述信息处理装置的识别信息的第一授权码，所述信息处理装置获取保存在当前连接的所述测试器硬件的所述存储器中的所述配置数据的信息，在存在包括该配置数据的识别信息的所述第一授权码的情况下，能够对该第一授权码中包括的所述信息处理装置的识别信息是否与自身的识别信息一致进行判定，所述测试器硬件在一致的情况下，能够根据所述配置数据而进行动作。

4.根据权利要求3所述的试验系统，其特征在于，

所述第一授权码还包括表示所述配置数据的使用被许可的使用许可期间的数据，所述信息处理装置能够对所述配置数据的使用时刻是否包括在所述使用许可期间内进行判定，所述测试器硬件在所述使用时刻包括在所述使用许可期间内的情况下，能够根据所述配置数据而进行动作。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的试验系统，其特征在于，所述信息处理装置中执行的所述测试程序由控制程序和程序模块的组合构成，所述程序模块嵌入到所述控制程序中且规定试验算法，所述服务器保存各自规定不同的试验算法的多个程序模块，所述信息处理装置能够从所述服务器中获取适合于用户指定的试验内容的所述程序模块。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的试验系统，其特征在于，所述信息处理装置中执行的所述测试程序由控制程序和程序模块的组合构成，所述程序模块嵌入到所述控制程序中且规定评价算法，所述评价算法对试验的结果所得到的数据进行处理、解析，所述服务器保存各自规定不同的评价算法的多个程序模块，所述信息处理装置能够从所述服务器中获取适合于用户指定的处理和/或解析方法的所述程序模块。

7.一种试验系统，其对被试验设备进行试验，

所述试验系统的特征在于，

所述试验系统包括：

服务器，其保存多个配置数据，所述多个配置数据的各个配置数据用于向所述试验系统提供不同的功能；

测试器硬件，其包括可改写的存储器，能够根据保存在该存储器中的配置数据而改变至少其功能的一部分，且至少能够对所述被试验设备供给电源电压、能够向所述被试验设备发送信号、能够接收来自所述被试验设备的信号；以及信息处理装置，其被构成为，(i)在装配所述试验系统时，从所述服务器中获取适合于用户指定的试验内容的所述配置数据，向所述测试器硬件的所述存储器中写入所述配置数据，(ii)在进行所述被试验设备的试验时，执行测试程序，根据所述测试程序对所述测试器硬件进行控制，并且能够处理由所述测试器硬件获取到的数据，所述信息处理装置中执行的所述测试程序由控制程序和程序模块的组合构成，所述程序模块嵌入到所述控制程序中且规定试验算法，所述服务器保存各自规定不同的试验算法的多个程序模块，所述信息处理装置能够从所述服务器中获取适合于用户指定的试验内容的所述程序模块，与所述试验系统相关的服务提供者在由用户使用所述程序模块之前，发行包括成为许可对象的所述程序模块的识别信息和应该许可使用的所述信息处理装置的识别信息的第二授权码，所述信息处理装置在存在包括用户想要利用的程序模块的识别信息的所述第二授权码的情况下，能够对该第二授权码中包括的所述信息处理装置的识别信息是否与自身的识别信息一致进行判定，在一致的情况下，能够将所述程序模块作为所述测试程序的一部分而使用。

8.一种试验系统，其对被试验设备进行试验，

所述试验系统的特征在于，

所述试验系统包括：

服务器，其保存多个配置数据，所述多个配置数据的各个配置数据用于向所述试验系统提供不同的功能；

测试器硬件，其包括可改写的存储器，能够根据保存在该存储器中的配置数据而改变至少其功能的一部分，且至少能够对所述被试验设备供给电源电压、能够向所述被试验设备发送信号、能够接收来自所述被试验设备的信号；以及信息处理装置，其被构成为，(i)在装配所述试验系统时，从所述服务器中获取适合于用户指定的试验内容的所述配置数据，向所述测试器硬件的所述存储器中写入所述配置数据，(ii)在进行所述被试验设备的试验时，执行测试程序，根据所述测试程序对所述测试器硬件进行控制，并且能够处理由所述测试器硬件获取到的数据，所述信息处理装置中执行的所述测试程序由控制程序和程序模块的组合构成，所述程序模块嵌入到所述控制程序中且规定评价算法，所述评价算法对试验的结果所得到的数据进行处理、解析，所述服务器保存各自规定不同的评价算法的多个程序模块，所述信息处理装置能够从所述服务器中获取适合于用户指定的处理和/或解析方法的所述程序模块，与所述试验系统相关的服务提供者在由用户使用所述程序模块之前，发行包括成为许可对象的所述程序模块的识别信息和应该许可使用的所述信息处理装置的识别信息的第二授权码，所述信息处理装置在存在包括用户想要利用的程序模块的识别信息的所述第二授权码的情况下，能够对该第二授权码中包括的所述信息处理装置的识别信息是否与自身的识别信息一致进行判定，在一致的情况下，能够将所述程序模块作为所述测试程序的一部分而使用。

说明书

试验系统及服务器

技术领域

[0001] 本发明涉及一种试验装置。

背景技术

[0002] 近几年，在各种各样的电子仪器中利用的半导体设备的种类涉及非常多的方面。作为半导体设备，举例(i)DRAM(Dynamic Random Access Memory：动态随机存取存储器)或闪存器等的存储设备、(ii)CPU(Central Processing Unit：中央处理器)或MPU(Micro-Processing Unit：微处理器)、微控制器等的处理器、或者(iii)数字/模拟混载设备、SoC(System On Chip：系统级芯片)等的多功能设备。为了试验这些半导体设备，利用半导体试验装置(以下、仅称为试验装置)。

[0003] 半导体设备的试验项目主要地大致被分为功能验证试验(仅称为功能试验)和DC(直流)试验。在功能验证试验中，判定DUT(被试验设备)是否按照设计正常地动作，并且获取不良部位的确定、表示DUT的性能的评价值。在DC试验中，进行DUT的漏电流测定、动作电流(电源电流)测定、耐压等的测定。

[0004] 功能验证试验、DC试验的具体性内容按照半导体设备的种类而呈多样化。

[0005] 例如在存储器的功能验证试验中，首先在存储器中写入规定的测试模式。接着，从存储器中读出写入到DUT中的数据，并将这些数据与期待值进行比较，生成表示比较结果的合格/失效数据。即使是相同的存储器，在RAM和闪存器中，被写入的测试模式不同。另外，进行写入、读出的单位或顺序也不同。

[0006] 在D/A转换器的功能验证试验中，向其输入端子赋予以规定的范围扫描值的数字信号。然后，对于各个数字值而测定从D/A转换器中输出的模拟电压。其结果，测定出偏移电压、增益。

[0007] 相反地，在A/D转换器的功能验证试验中，向其输入端子赋予以规定的范围扫描的模拟电压。然后，对于各个模拟电压而测定从A/D转换器中输出的数字值。其结果，测定出INL(Integral Nonlinearity：积分非线性)、DNL(Differential Nonlinearity：微分非线性)。

[0008] 微控制器、数字/模拟混载设备、SoC等在其内部包含RAM、闪存器、D/A转换器、A/D转换器，并且需要进行各自的功能验证试验。

[0009] 另外在大多数的半导体设备中，执行边界扫描测试。

[0010] 在本说明书中，将包括试验项目、测试模式的形式、测试顺序、测试条件等的概念称为试验算法。

发明内容

[0011] 本发明要解决的问题

[0012] 以往，在市场上出售按照半导体设备的种类、或者按照试验项目而专门设计或者最佳化的试验装置，作为用户的半导体设备的设计者、制造者需要购买与DUT的种类、试验项目相对应的试验装置。另外，为了通过某些试验装置来实施未以标准支持的试验，需要另外购买该试验中所需的追加性硬件，并且需要安装在试验装置中。

[0013] 并且，试验装置不能以其单体进行动作，需要用于控制该试验装置的测试程序。在以往，为了执行所期望的试验，用户需要利用软件制作支援工具来制作用于控制试验装置的测试程序，从而这些成了用户的负担。

[0014] 尤其半导体设备根据世代而其规格变更的比较多，按照每种规格有可能试验算法不同。换句话说用户在每次规格变更时，需要自己重新制作大量的测试程序。

[0015] 并且，以往的试验装置主要是将大量生产时的检查作为目的而设计，因此尺寸较大，还非常昂贵。这一点成了达到大量生产阶段之前的设计和/或开发阶段中的、有效地应用试验装置的妨碍。在以往，想检查开发阶段的半导体设备的用户，需要单独准备电源装置、任意波形发生器、示波器或数字化仪，并且组合这些来构筑单独的试验系统，测定所期望的特性。

[0016] 作为一个例子，假设有个用户只想检查处理器的漏电流。在以往的处理器用试验装置中也具备漏电流的测定功能，但是仅仅为了测定这些而购买、使用巨大并且昂贵的试验装置，不太现实。因而，在以往用户需要利用生成对于处理器的电源电压的电源装置、测定漏电流的电流表、用于将处理器控制成所期望的状态(矢量)的控制器来构筑测定系统。

[0017] 另外想对A/D转换器进行评价的用户，需要利用生成对于A/D转换器的电源电压的电源装置、控制A/D转换器的输入电压的任意波形发生器来构筑测定系统。

[0018] 如此，单独地构筑的试验系统缺乏通用性，另外其控制、得到的数据的处理也比较复杂。

[0019] 此外在这里说明的问题不能当作是本领域技术人员的普通的技术认识，这些是本发明人单独研究的问题。

[0020] 本发明是鉴于上述问题而完成的，其某些方案的举例的一个目的是为了提供能够解决上述的问题中的至少一个问题，更具体而言是为了提供能够简单且适当地对各种各样的种类的被试验设备进行试验的试验装置。

[0021] 用于解决问题的方法

[0022] 本发明的某些方案与对被试验设备进行试验的试验系统相关。试验系统具备服务器、测试器硬件、以及信息处理装置。

[0023] 服务器保存多个配置数据，所述多个配置数据的各个配置数据用于向试验系统提供不同的功能。测试器硬件由与试验系统相关的服务提供者来设计、提供。测试器硬件包括可改写的非易失性存储器，能够根据保存在该非易失性存储器中的配置数据而改变至少其功能的一部分。测试器硬件至少能够对被试验设备供给电源电压、能够向被试验设备发送信号、能够接收来自被试验设备的信号。

[0024] 信息处理装置在(i)装配试验系统时，获取适合于用户指定的试验内容的配置数据，向测试器硬件的非易失性存储器中写入配置数据。并且信息处理装置在(ii)进行被试验设备的试验时，执行测试程序，根据测试程序对测试器硬件进行控制，并且能够处理由测试器硬件获取到的数据。

[0025] 在该方案中，测试器硬件并不具有限于特定的设备、试验项目的结构，而是设计成具有能够对应各种各样的设备、试验项目的通用性。并且，由服务提供者或者第三者来准备最适合于各种各样的种类的被试验设备、试验内容的配置数据，并且保存在服务器中。

[0026] 用户选择最适合检查对象的被试验设备的配置数据、并且写入到测试器硬件的非易失性存储器中，从而能够对被试验设备进行试验。根据该方案，不需要按照被试验设备的种类、试验项目准备单独的试验装置(硬件)，因此，能够减轻用户的成本上的负担。

[0027] 另外，在开发新的设备、需要以往不存在的试验的情况下，能够由服务提供者或者第三者来提供用于实现该试验的配置数据。因而用户在测试器硬件的处理能力的范围内，能够对从现在到将来开发的设备进行试验。

[0028] 另外在以往，在检查开发阶段的半导体设备时，需要单独准备电源装置、任意波形发生器、示波器、数字化仪等，并且对这些进行组合，测定所期望的特性，但是根据该试验系统，如果准备信息处理装置和测试器硬件，则能够简单且适当地对各种各样的半导体设备进行试验。

[0029] 如果测试器硬件将设计开发阶段中的使用为前提，则使能够同时测定的被试验设备的数量、即通道数较少即可，另外能够将与信息处理装置的协调动作作为前提来进行设计，并且根据需要能够妥协其性能的一部分。因而测试器硬件与大量生产用的试验装置相比，能够廉价地、又非常紧凑地、具体而言以台式机大小、可携带地构成。

[0030] 在这种情况下，根据用户的观点，能够按照每个研究者和/或开发者、或者每个研究开发组持有测试器硬件。根据服务提供者的观点，能够催促测试器硬件的普及，并且能够扩大收益的机会。

[0031] 另外由于以往的试验装置比较庞大，因此，其移动不太现实，用户需要将被试验设备搬运到试验装置处。对于这些情况通过小型化测试器硬件，能够移动到放置被试验设备的场所，并且能够比以往更格外地扩大可以利用试验装置的状况。

[0032] 服务器可以具备：存储部，其保存多个配置数据及数据库；数据库登记部，其接收来自用户的与试验系统相关的服务的利用申请，并且将用户的信息及用户指定的信息处理装置的识别信息登记在数据库中；认证部，其进行用户的登录认证；列表显示部，其显示多个配置数据的列表；下载控制部，其响应来自用户的所述配置数据的下载要求，向信息处理装置提供配置数据；以及授权码发行部，其从用户接收配置数据的使用许可的申请，对于应该许可的用户发行第一授权码。

[0033] 信息处理装置中执行的测试程序也可以由控制程序和嵌入在控制程序中的程序模块的组合构成。程序模块规定试验算法。服务器的存储部中也可以保存有作为多个程序模块的、各自规定不同的试验算法的多个程序模块。列表显示部也可以显示多个程序模块的列表。下载控制部也可以响应来自用户的程序模块的下载要求，向信息处理装置提供程序模块。授权码发行部也可以从用户接收程序模块的使用许可的申请，对于应该许可的用户发行第二授权码。

[0034] 与试验系统相关的服务提供者也可以在由用户使用配置数据之前，发行第一授权码。第一授权码也可以包括成为许可对象的配置数据的识别信息、和应该许可使用的信息处理装置的识别信息。

[0035] 信息处理装置也可以获取保存在当前连接中的测试器硬件的非易失性存储器中的配置数据的信息，在存在包括该配置数据的识别信息的第一授权码的情况下，能够判定该第一授权码中包括的信息处理装置的识别信息是否与自身的识别信息一致。测试器硬件在这些识别信息一致的情况下，能够根据配置数据进行动作。

[0036] 即，服务提供者也可以不以与特定的测试器硬件的组合为条件、而是以与特定的信息处理装置的组合为条件，对配置数据的许可进行控制。

[0037] 作为使用例子，存在如下情况，用户持有多个测试器硬件，向这些多个测试器硬件写入相同的配置数据，并且想通过共通的信息处理装置来对这些多个测试器硬件进行控制。在这种情况下，如果在用户的立场上考虑，则不需要对各个测试器硬件得到许可，而是只对一个信息处理装置得到配置数据的使用许可就可以，因此，在成本上能够享受优势。尤其是在测试器硬件主体被无偿地、或者极其廉价地出借、销售的情况下，该优势比较显著。

[0038] 另外，还存在如下情况，第一测试器硬件存在于第一场所，第二测试器硬件存在于第二场所，并且不想移动这些测试器硬件。在这种情况下，通过将被许可的信息处理装置向第一场所、第二场所移动，能够使用相同的信息处理装置对第一、第二测试器硬件进行控制，并且能够在共通的信息处理装置中蓄积与试验结果相关的数据。

[0039] 另外，在该方案中，在进行根据测试器硬件的试验时，只要与被许可的信息处理装置连接就可以，配置数据的写入不一定需要通过被许可的信息处理装置来进行。因而，能够在根据用户的信息处理装置及测试器硬件的管理的方面提供灵活性。

[0040] 第一授权码也可以进一步包括表示配置数据的使用被许可的使用许可期间的数据。信息处理装置也能够判定配置数据的使用时刻是否包括在使用许可期间内，测试器硬件也可以在使用时刻包括在使用许可期间内的情况下，能够根据配置数据进行动作。

[0041] 根据该方案，服务提供者及用户能够按照每个一定期间、签订配置数据的使用许可的合同，并且能够带来合同形式上的灵活性。

[0042] 在信息处理装置中执行的测试程序也可以由控制程序和嵌入在控制程序中的程序模块的组合构成。程序模块规定试验算法。服务器也可以保存各自规定不同的试验算法的多个程序模块。信息处理装置也能够从服务器中获取适合于用户指定的试验内容的程序模块。

[0043] 根据该方案，用户不需要像以往那样自己制作繁杂的测试程序，通过获取适合于试验内容的程序模块，能够适当地对被试验设备进行试验。

[0044] 信息处理装置中执行的测试程序也可以由控制程序和嵌入在控制程序中的程序模块的组合构成。程序模块规定评价算法，所述评价算法处理、解析试验的结果得到的数据。服务器也可以保存各自规定不同的评价算法的多个程序模块。信息处理装置也能够从服务器中获取适合于用户指定的处理和/或解析方法的程序模块。

[0045] 根据该方案，用户不需要像以往那样自己制作评价程序，通过获取适合于所期望的评价方法的程序模块，能够适当地评价被试验设备。

[0046] 与试验系统相关的服务提供者也可以在由用户使用程序模块之前，发行第二授权码。第二授权码也可以包括成为许可对象的所述程序模块的识别信息、和应该许可使用的所述信息处理装置的识别信息。信息处理装置在存在包括用户要利用的程序模块的识别信息的第二授权码的情况下，也能够判定该第二授权码中包括的信息处理装置的识别信息是否与自身的识别信息一致。在这些识别信息一致的情况下，程序模块也能够作为测试程序的一部分而使用。

[0047] 本发明的另一个方案与构成对被试验设备进行试验的试验系统的一部分的服务器相关。试验系统具备服务器、测试器硬件、信息处理装置。

[0048] 服务器保存多个配置数据，所述多个配置数据的各个配置数据用于向试验系统提供不同的功能。测试器硬件由与试验系统相关的服务提供者来设计、提供。测试器硬件包括可改写的非易失性存储器，能够根据保存在该非易失性存储器中的配置数据而改变至少其功能的一部分。测试器硬件至少能够对被试验设备供给电源电压、能够向被试验设备发送信号、能够接收来自被试验设备的信号。

[0049] 信息处理装置在(i)装配试验系统时，获取适合于用户指定的试验内容的配置数据，向测试器硬件的非易失性存储器中写入配置数据。并且信息处理装置在(ii)进行被试验设备的试验时，执行测试程序，根据测试程序对测试器硬件进行控制，并且能够处理由测试器硬件获取到的数据。

[0050] 服务器可以具备：存储部，其保存多个配置数据及数据库；数据库登记部，其接收来自用户的与试验系统相关的服务的利用申请，并且将用户的信息及用户指定的信息处理装置的识别信息登记在数据库中；认证部，其进行用户的登录认证；列表显示部，其显示多个配置数据的列表；下载控制部，其响应来自用户的配置数据的下载要求，向信息处理装置提供配置数据；授权码发行部，其从用户接收配置数据的使用许可的申请，对于应该许可的用户发行第一授权码。

[0051] 在信息处理装置中执行的测试程序可以由控制程序和嵌入到控制程序中并规定试验算法的程序模块的组合构成。存储部也可以保存各自规定不同的试验算法的多个程序模块。列表显示部也可以显示多个程序模块3的列表。下载控制部也可以响应来自用户的程序模块的下载要求，向信息处理装置提供程序模块。授权码发行部也可以从用户接收程序模块的使用许可的申请，对于应该许可的用户发行第二授权码。

[0052] 此外，任意地组合以上的结构要素、或者将本发明的表达在方法、装置等之间变换，作为本发明的方案也是有效的。

[0053] 发明效果

[0054] 根据本发明的某些方案，能够简单且适当地对各种各样的被试验设备进行试验。

附图说明

[0055] 图1是表示实施方式涉及的试验系统的结构的框图。

[0056] 图2是信息处理装置的功能框图。

[0057] 图3是表示信息处理装置中执行的测试程序的结构的图。

[0058] 图4是表示服务器的结构的功能框图。

[0059] 图5是表示测试器硬件的外观的图。

[0060] 图6是表示测试器硬件的结构的功能框图。

[0061] 图7是表示测试器硬件的具体的结构例的图。

[0062] 图8是表示测试器硬件的内部的布局的立体图。

[0063] 图9是表示功能模块的具体的结构例的框图。

[0064] 图10是表示管脚电子件的具体结构的电路图。

[0065] 图11是表示云测试服务的流程的图。

具体实施方式

[0066] 以下基于最佳的实施方式并且参照附图，对本发明进行说明。在各个附图上表示的相同或者等同的结构要素、部件、处理，附上相同的附图标记，适当地省略重复的说明。另外，实施方式不限制发明而是发明的举例，而不能限定实施方式中记载的全部的特征、其组合一定是发明的本质的内容。

[0067] (关于试验系统整体)

[0068] 图1是表示实施方式涉及的试验系统2的结构的框图。在本说明书中，关于该试验系统2所提供的服务也称为云测试服务。由服务提供者PRV来提供云测试服务。对于这些，利用试验系统2来对DUT4进行试验的主体称为用户USR。

[0069] 试验系统2具备：测试器硬件100、信息处理装置200、服务器300。

[0070] 由服务提供者PRV来管理、运营服务器300，并且所述服务器300与互联网等的网络8连接。服务提供者PRV在服务器300上开设了与云测试服务相关的网站。用户USR通过访问该网站，进行用于使用试验系统2的用户登记的申请等。

[0071] 在服务器300中保存有信息处理装置200及测试器硬件100中使用的控制程序302、程序模块304、配置数据306等。关于控制程序302、程序模块304、配置数据306在后面进行详细的说明。用户USR通过访问服务器300，获取(下载)软件等302、304、306。另外用户USR在上述的网站上对服务提供者PRV进行所下载的软件等302的授权码的申请等。

[0072] 试验系统2是按照每个信息处理装置200而形成。因而，测试器硬件100_1、信息处理装置200_1、服务器300构成一个试验系统2_1，测试器硬件100_2、信息处理装置200_2、服务器300构成另一个试验系统2_2。各个试验系统2_i(i＝1，2，3…)能够完全独立地动作。

[0073] 测试器硬件100包括可改写的非易失性存储器(PROM：Programmable ROM)102，并且根据保存在非易失性存储器102中的配置数据306而能够改变至少其功能的一部分。测试器硬件100在进行试验时，至少能够对DUT4供给电源电压、向DUT4发送信号、接收来自DUT4的信号。

[0074] 由服务提供者PRV来设计、并且向用户提供测试器硬件100。测试器硬件100并不具有限于特定的种类的半导体设备、试验内容的结构，而是设计成具有能够对应各种各样的试验内容的通用性。

[0075] (关于信息处理装置)

[0076] 信息处理装置200_i包括通用的台式电脑(Personal Computer)、笔记本电脑、平板电脑、工作站等。信息处理装置200_i中要求的最低限度功能是(a)与网络8连接、访问服务器300的功能、(b)执行从服务提供者所提供的测试程序的功能、(c)在测试器硬件100之间进行数据的收发的功能，一般地在市场上出售的信息处理装置的大部分都标准地具备这些功能，能够以低价得到信息处理装置。

[0077] 图2是信息处理装置200的功能框图。信息处理装置200具备第一接口部202、第二接口部204、存储装置206、数据获取部208以及测试控制部210。此外，在图中，作为进行各种各样的处理的功能模块而记载的各个要素，硬件方面能够由CPU、存储器、其他的LSI构成，软件方面能够由加载到存储器中的程序等来实现。因而，本领域的技术人员理解为这些功能模块能够通过仅仅由硬件、仅仅由软件、或者这些组合来以各种形式实现，并且不限于任一方面。

[0078] 第一接口部202是用于在网络8之间进行数据的收发的接口，具体而言，例举以太网(注册商标)适配器、无线LAN适配器等。

[0079] 第二接口部204是经由总线10与测试器硬件100连接、并且用于在测试器硬件100之间进行数据的收发的接口。例如信息处理装置200与测试器硬件100经由USB(Universal Serial Bus：通用串行总线)进行连接。

[0080] 数据获取部208经由第一接口部202访问服务器300，并且获取控制程序302、程序模块304、配置数据306。此外，控制程序302、程序模块304、配置数据306不一定需要直接从服务器300中获取，也可以二次地间接地获取由别的信息处理装置从服务器300中获取到的数据。

[0081] 从外部获取到的控制程序302、程序模块304、配置数据306被保存在存储装置206中。

[0082] 测试控制部210进行测试器硬件100的装配及其控制。另外处理、解析从DUT4的试验结果中得到的数据。通过信息处理装置200的CPU执行服务提供者PRV提供的控制程序302来提供测试控制部210的功能。

[0083] 测试控制部210具备硬件访问部212、认证部214、执行部220、测试流程控制部222、中断和/或匹配检测部224、解析部230、以及显示部232。

[0084] 硬件访问部212对于设置在测试器硬件100的内部的非易失性存储器102，写入配置数据306。另外，硬件访问部212获取与非易失性存储器102中写入的配置数据306相关的信息、测试器硬件100的版本信息等。

[0085] 认证部214判定控制程序302、程序模块304、配置数据306是否事先被使用许可。

[0086] 执行部220执行测试程序，对测试器硬件100的测试顺序进行控制。测试顺序是指测试器硬件100的初始化、DUT4的初始化、对于DUT4的测试模式的供给、来自DUT4的信号的读出、读出的信号和期待值的比较等的一系列处理。换句话说，测试程序根据测试器硬件100及信息处理装置200，执行适合DUT4的试验内容的测试顺序。测试流程控制部222对执行部220应该执行的测试程序中的测试项目的执行顺序进行控制。

[0087] 对于测试器硬件100的控制命令经由第二接口部204及总线10发送到测试器硬件100中。测试器硬件100按照从信息处理装置200中接收的控制命令进行动作。

[0088] 测试器硬件100当检测出温度异常等的测试器硬件100的异常时，对测试控制部210发送表示异常的中断信号。另外，在DUT4的测试顺序中，有时进行条件分岐，有时由测试器硬件100的内部的硬件来进行条件分岐的判断。例如，DUT4为存储器、并且测试器硬件100将一定长度的测试模式写入到存储器中时，在测试器硬件100中判定测试模式的最后的数据的写入结束情况。或者闪存器的忙碌状态、就绪状态等也是在测试器硬件100中判定。这样的根据测试器硬件100的条件判定称为匹配检测。测试器硬件100将表示匹配检测的结果的标志发送到测试控制部210中。

[0089] 中断和/或匹配检测部224监视中断信号、匹配检测用的标志。根据中断和/或匹配检测部224的监视结果来控制测试程序的命令的执行顺序。

[0090] 由测试器硬件100来获取的数据经由总线10向测试控制部210发送。解析部230处理、解析该数据。显示部232通过信息处理装置200的显示器提供用户为了控制测试程序而需要的GUI(Graphical User Interface：图形用户界面)，同时在显示器上显示试验的结果中得到的数据。

[0091] 综上所述，信息处理装置200_i具有以下的功能。

[0092] (i)在进行试验系统2_i的装配时，响应用户的输入从服务器300中获取适用于所期望的试验内容的配置数据306，并且向连接的测试器硬件100_i的非易失性存储器102中写入配置数据306。

[0093] (ii)在进行DUT4的试验时，执行测试程序，根据测试程序对测试器硬件100_i进行控制，并处理由测试器硬件100_i来获取的数据。

[0094] 图3是表示信息处理装置200中执行的测试程序的结构的图。

[0095] 测试程序240由控制程序302、程序模块304构成。控制程序302是成为测试程序240的测试程序的基础的部分，不依赖于被试验设备的种类、试验内容，共通使用。根据控制程序302，提供图2的硬件访问部212、认证部214、执行部220、测试流程控制部222、中断和/或匹配检测部224的功能。

[0096] 另一方面，程序模块304能够选择性地嵌入到控制程序302中。程序模块304大致分为试验算法模块304a、解析工具模块304b。

[0097] 试验算法模块304a是定义试验算法、具体而言是定义试验项目、试验内容以及测试顺序、测试模式等的程序。试验算法模块304a根据DUT的种类(功能)，列举以下的内容。

[0098] (1)DRAM

[0099] ·功能验证用程序

[0100] ·DC检查用程序(包括电源电流检查程序、输出电压检查程序、输出电流检查程序等)

[0101] (2)闪存器

[0102] ·功能验证用程序

[0103] ·DC检查用程序

[0104] (3)微控制器

[0105] ·功能验证程序

[0106] ·DC检查用程序

[0107] ·内置闪存器评价程序

[0108] (4)A/D转换器、D/A转换器

[0109] ·接点验证程序

[0110] ·线性度(INL、DNL)验证程序

[0111] ·输出电压偏移验证程序

[0112] ·输出电压增益验证程序

[0113] 解析工具模块304b是定义评价算法、具体而言是定义对根据测试器硬件100的试验的结果得到的数据进行处理、解析、可视化的方法的程序。作为解析工具模块304b，例举以下的内容。

[0114] ·什穆图(二维特性评价)工具

[0115] ·示波器工具

[0116] ·逻辑分析器工具

[0117] ·模拟波形观测工具

[0118] (关于服务器)

[0119] 服务提供者PRV在服务器300中准备了多个试验算法模块304a。用户根据DUT4的种类、试验内容，获取需要的解析工具模块304b，并嵌入到测试程序240中。通过如上操作，测试程序240根据被嵌入的解析工具模块304b，能够选择、改变试验系统2执行的试验内容、获取的数据的种类。

[0120] 另外服务提供者PRV在服务器300中准备了多个解析工具模块304b。用户根据DUT4的种类、试验内容、以及评价方法，获取需要的解析工具模块304b，并嵌入到测试程序240中。通过如上操作，测试程序240根据被嵌入的解析工具模块304b，能够选择、改变由试验系统2得到的数据的处理、解析方法。

[0121] 图4是表示服务器300的结构的功能框图。

[0122] 服务器300具备存储部310、申请接收部312、数据库登记部314、列表显示部320、下载控制部322、授权码发行部324。

[0123] 存储部310保存多个程序模块304、多个配置数据306、数据库308及其他的程序、数据。

[0124] 申请接收部312接收来自用户USR的云测试服务的利用申请。经过根据服务提供者PRV的审查之后，数据库登记部314将与用户USR相关的信息、即用户ID、登录用的密码等登记到数据库308中。另外，数据库登记部314将用户USR指定的信息处理装置200的识别信息登记到数据库308中。

[0125] 认证部316进行访问到服务器300中的用户的登录认证。具体而言，对于用户，催促输入用户ID及密码，并且判定是否与登记到数据库308中的信息一致。登录认证成功的用户，能够进行之后的软件或数据的下载、或者授权码的申请等。

[0126] 下载控制部322显示保存在存储部310中、并且以用户能够下载的状态存在的多个程序模块304及配置数据306的列表。

[0127] 下载控制部322响应来自用户的程序模块304、配置数据306的下载要求，向信息处理装置200提供程序模块304、配置数据306。

[0128] 授权码发行部324从用户USR接收配置数据306的使用许可的申请，并且对应该许可的用户USR发行第一授权码KEY1。另外授权码发行部324从用户USR接收程序模块304的使用许可的申请，并且对应该许可的用户USR发行第二授权码KEY2。

[0129] (关于测试器硬件)

[0130] 接着说明测试器硬件100的结构。图5是表示测试器硬件100的外观的图。测试器硬件100以台式机大小可携带地构成。

[0131] 测试器硬件100经由AC插头110接收来自工业交流电源的电力。在测试器硬件100的背面设有测试器硬件100的电源开关112。

[0132] DUT4安装在插座120上。DUT4的多个设备管脚经由电缆126分别与连接器122的多个管脚124进行接线。测试器硬件100的前面面板上设有用于连接连接器122的连接器114。根据DUT4的管脚数、管脚配置、或者同时测定的DUT4的数量等，准备各种各样的插座120。

[0133] 图6是表示测试器硬件100的结构的功能框图。测试器硬件100除了具备非易失性存储器102，还具备多个通道的测试器管脚(输入输出管脚)PIO1～～PION、接口部130、控制器132、异常检测部134、内部电源136、设备电源140、信号发生器142、信号接收器144、RAM154、任意波形发生器148、数字化仪150、参数测量单元152、继电器开关组160以及内部总线162。

[0134] 接口部130经由总线10与信息处理装置200的第二接口部204连接，并且能够在信息处理装置200之间收发数据。在总线10为USB的情况下，接口部130是USB控制器。

[0135] 控制器132统一控制测试器硬件100整体。具体而言，根据从信息处理装置200中接收的控制命令，对测试器硬件100的各个模块进行控制，另外经由接口部130向信息处理装置200发送在测试器硬件100的各个模块得到的数据、中断信号、匹配信号等。

[0136] 异常检测部134对测试器硬件100的硬件上的异常进行检测。例如异常检测部134监测测试器硬件100的温度，当超过规定的阈值时生成所断言的温度异常信号。另外异常检测部134也可以对测试器硬件100中的电源电压等进行监视，对过电压异常、低电压异常等进行检测。

[0137] 内部电源136在接收外部的AC电压、对其进行整流和/或平滑化并且转换成直流电压之后，对其进行降压、并生成对于测试器硬件100的各个模块的电源电压。内部电源136能够包括交流/直流转换用的变换器、对变换器的输出进行降压的开关调节器、线性调节器等而构成。

[0138] 设备电源(DPS：Device Power Supply)140生成应该向与测试器硬件100连接的DUT4的电源管脚供给的电源电压VDD。模拟数字混载设备等的DUT4有时存在接收多个不同的电源电压而进行动作的情况，因此，设备电源140也可以以能够生成不同的电源电压的方式构成。在本实施方式中，设备电源140能够生成两通道的电源电压VDD1、VDD2。

[0139] 多个通道CH1～CHN的测试器管脚PIO1～PION分别与DUT4的设备管脚连接。

[0140] 信号发生器142_1～142_N分别按照每个通道CH进行设置。各个信号发生器142_i(1≦i≦N)经由对应的测试器管脚PIOi向DUT4输出数字信号S1。在DUT4为存储器的情况下，数字信号S1对应于对DUT的控制信号、写入到作为DUT的存储器的数据信号、以及地址信号等。

[0141] 信号接收器144_1～144_N分别按照每个通道CH进行设置。各个信号接收器144_i(1≦i≦N)从DUT4接收输入到对应的测试器管脚PIOi中的数字信号S2。数字信号S2对应于从DUT中输出的各种信号、从作为DUT的存储器中读出的数据。信号接收器144判定接收的信号S2的电平。并且信号接收器144判定接收到的信号S2的电平是否与期待值一致，并且生成表示一致(合格)、不一致(失效)的合格失效信号。并且信号接收器144判定接收的信号S2的时机是否正常，并且生成表示合格、失效的合格失效信号。

[0142] 任意波形发生器148能够向多个通道CH1～CHN之中的任意的通道进行分配，生成模拟的任意波形信号S3并从被分配的测试器管脚PIO中输出。数字化仪150能够向多个通道CH1～CHN之中的任意的通道进行分配，将向被分配的测试器管脚PIO输入的来自DUT4的模拟电压S4转换成数字信号。

[0143] 参数测量单元152能够向多个通道CH1～CHN之中的任意的通道进行分配。参数测量单元152包括电压源、电流源、电流表、电压表。参数测量单元152在施加电压电流测定模式中，在被分配的通道的测试器管脚PIO上施加由电压源生成的电压，并且由电流表来测定流过该通道的测试器管脚PIO的电流。另外参数测量单元152在施加电流电压测定模式中，向被分配的通道的测试器管脚PIO供给由电流源生成的电流，并且由电压表来测定该通道的测试器管脚PIO的电压。根据参数测量单元152，能够测定任意的设备管脚的电压、电流。

[0144] 为了保存测试器硬件100的各个模块所使用的数据、各个模块生成的数据而设有RAM154。例如RAM154作为保存信号发生器142应该生成的数字信号的模式的模式存储器而被利用、或者作为保存合格失效信号的失效存储器、记述任意波形发生器148应该生成的波形的波形数据、或保存由数字化仪150获取到的波形数据的波形存储器等而被利用。

[0145] 继电器开关组160与测试器管脚PIO1～PION及设备电源140、信号发生器142_1～142_N、信号接收器144_1～144_N、任意波形发生器148、数字化仪150、参数测量单元152连接。继电器开关组160在其内部包括多个继电器开关，并且能够向任意的测试器管脚PIO分别分配设备电源140、任意波形发生器148、数字化仪150、以及参数测量单元152。

[0146] 内部总线162是为了在测试器硬件100的各个模块之间收发信号而进行设置。对于内部总线162的种类、根数不进行特别的限制。

[0147] 如上所示，测试器硬件100的内部的至少一个模块的功能，能够根据保存在非易失性存储器102中的配置数据306进行改变。

[0148] 以上是测试器硬件100的结构。根据该测试器硬件100，通过对测试器硬件100的各个模块进行组合，能够以各种各样的方法对存储器、处理器、A/D转换器、D/A转换器等各种各样的半导体设备进行试验。以下，对能够由使用了测试器硬件100的试验系统2来实现的试验进行说明。

[0149] 1a.存储器的功能验证试验

[0150] 在存储器的功能验证试验中主要利用设备电源140、信号发生器142、信号接收器144。设备电源140生成应该对存储器供给的电源电压。

[0151] 此外电源电压也可以不经由继电器开关组160、而是经由对于存储器的电源管脚专用的电源线向DUT4供给。

[0152] 信号发生器142生成应该向存储器供给的测试模式(地址信号及应该写入的数据信号)。信号接收器144判定从存储器中读出的信号S2的电平，并且通过与期待值比较，进行合格、失效判定。并且信号接收器144判定接收的信号S2的时机是否正常。

[0153] 1b.存储器的DC试验

[0154] 在进行存储器的DC试验时，主要使用设备电源140及参数测量单元152。设备电源140生成应该对存储器供给的电源电压。设备电源140能够测定作为自身的输出的电源电压及电源电流。参数测量单元152根据继电器开关组160被分配给与存储器的任意的管脚对应的测试器管脚PIO。通过设备电源140，对电源电流、电源电压变动进行测定，并且通过参数测量单元152对任意的管脚的漏电流等进行测定。

[0155] 另外，通过测定某些测试器管脚的电位、流过该管脚的电流，从它们的比例，能够计算出阻抗，从而能够在接点不良的检测等中利用。

[0156] 2a.微控制器的功能验证试验

[0157] (i)微控制器的内部的存储器的功能验证试验能够使用与1a相同的硬件来进行试验。

[0158] (ii)微控制器的数字信号处理部(CPU内核)的功能验证试验能够使用与1a相同的硬件来进行试验。

[0159] 2b.微控制器的DC试验

[0160] 微控制器的DC试验能够使用与1b相同的硬件来进行试验。

[0161] 3a.A/D转换器的功能验证试验

[0162] 在A/D转换器的功能验证试验中主要利用设备电源140、任意波形发生器148以及至少一个信号接收器144。任意波形发生器148通过继电器开关组160被分配给A/D转换器的模拟输入端子，生成扫描规定的电压范围的模拟电压。至少一个信号接收器144分别被分配给A/D转换器的数字输出端子，并且从A/D转换器中接收与模拟电压的灰度相对应的数字代码的各个比特。

[0163] 根据由信号接收器144得到的数字代码、任意波形发生器148生成的模拟电压的相互关系，能够评价A/D转换器的线性度(INL、DNL)等。

[0164] 3b.A/D转换器的DC试验

[0165] A/D转换器的DC试验能够使用与1b相同的硬件来进行试验。

[0166] 4a.D/A转换器的功能验证试验

[0167] 在D/A转换器的功能验证试验中主要使用设备电源140、至少一个信号发生器142以及数字化仪150。至少一个信号发生器142分别被分配给D/A转换器的数字输入端子。信号发生器142在D/A转换器的输入数字信号的满刻度范围内对D/A转换器的输入数字信号进行扫描。

[0168] 数字化仪150通过继电器开关组160，被分配给D/A转换器的模拟输出端子，并且将D/A转换器的模拟输出电压转换成数字代码。

[0169] 根据由数字化仪150得到的数字代码、信号发生器142生成的数字代码的相互关系，能够对D/A转换器的输出电压偏移、输出电压增益进行评价。

[0170] 3b.D/A转换器的DC试验

[0171] D/A转换器的DC试验能够使用与1b相同的硬件来进行试验。

[0172] A/D转换器、D/A转换器可以是单体的IC，也可以内置在微控制器中。

[0173] 5.示波器试验

[0174] 通过继电器开关组160将数字化仪150分配给任意的通道、并且提高数字化仪150的取样频率，能够获取通过该通道的信号的波形数据。通过由信息处理装置200对波形数据进行可视化，能够使试验系统2作为示波器而发挥作用。

[0175] 根据本领域的技术人员，能够理解为通过使用测试器硬件100，除了在这里例举的内容以外，能够执行各种各样的功能验证试验、DC试验等。

[0176] 在优先的方案中，测试器硬件100根据写入到非易失性存储器102中的配置数据306，能够改变至少信号发生器142生成的数字信号S1的模式。在这种情况下，能够获知非易失性存储器102是信号发生器142的一部分的情况。

[0177] 在这种情况下，在进行存储器、处理器、A/D转换器、D/A转换器等被试验设备的功能验证试验时，根据设备的种类，通过选择配置数据，能够对每个设备供给最适合的数字信号，并且能够对其进行适当地试验。

[0178] 进一步具体而言，信号发生器142根据配置数据306，能够选择性地具备以下的任一功能

[0179] (i)SQPG(Sequential Pattern Generator：序列模式产生器)、

[0180] (ii)ALPG(Algorithmic Pattern Generator：算法模式产生器)、

[0181] (iii)SCPG(Scan Pattern Generator：扫描模式产生器)。

[0182] SQPG和SCPG也可以由一个配置数据306来提供。在这种情况下，在执行一种试验的过程中，能够将一个信号发生器142切换成SQPG、SCPG来使用。或者，也能够将几个通道的信号发生器142作为SQPG、其他的通道的信号发生器142作为SCPG而利用。

[0183] 例如在进行存储器的功能验证试验时，通过将与ALPG对应的配置数据306写入到非易失性存储器102中，根据运算处理能够自动生成特大的测试模式。

[0184] 另外，在进行处理器(CPU、微控制器)等的功能验证试验时，可以将与SQPG对应的配置数据306写入到非易失性存储器102中。在这种情况下，能够在RAM154中保存用户根据处理器等的结构预先定义的测试模式，并且由各个信号发生器142从RAM154中读出测试模式并赋给DUT4。

[0185] 另外在想进行边界扫描测试的情况下，通过将与SCPG对应的配置数据306写入到非易失性存储器102中，能够实现分离DUT4的内部逻辑的试验。

[0186] 接着，对图6的测试器硬件100的具体的安装进行说明。

[0187] 图7是表示测试器硬件100的具体的结构例的图。

[0188] 测试器硬件100主要具备控制模块500、至少一个功能模块502、总线板504。功能模块502将规定数(32)的通道为单位而构成。图7的测试器硬件100装载有四个功能模块502，并且具有32×4＝128通道。

[0189] 经由总线10在总线端口P1中连接有信息处理装置200。控制模块500具备接口部130、第三非易失性存储器102c、第三可编程设备510、振荡器520、总线选择器522、主端口
524、扩展端口526以及内部总线162。

[0190] 以双重线表示的内部总线162是连接装载在测试器硬件100上的可编程设备的总线。接口部130与上述的一样。

[0191] 第三可编程设备510经由内部总线162从信息处理装置200中接收第三配置数据306c，并且将第三配置数据306c写入到第三非易失性存储器102c中。根据保存在第三非易失性存储器102c中的配置数据306c，定义第三可编程设备510的内部的电路信息。

[0192] 在加载了配置数据306c的第三可编程设备510的内部，形成有系统控制器512、总线控制器514、PG控制器516。

[0193] 此外，第三可编程设备510的功能并不依赖于DUT的种类、试验项目而是不变的，因此，第三配置数据306c也可以在分发测试器硬件100时预先写入到第三非易失性存储器102c中。此外，也可能存在以出货后的功能扩展、漏洞修补为目的、从服务器300中下载的第三配置数据306c被写入到第三非易失性存储器102c中的情况。

[0194] 如上所述，异常检测部134对电源异常、温度异常进行检测。系统控制器512根据来自信息处理装置200的控制命令、异常检测部134的检测结果，统一控制测试器硬件100。

[0195] 总线控制器514控制经由内部总线162的各个模块之间的数据的收发。

[0196] PG(Pattern Generator：模式产生器)控制器516经由别的控制线(未图示)与各个通道的模式发生器、内部总线162连接，响应来自信息处理装置200的控制命令，向各个模式发生器发送PG开始信号。另外PG控制器516接收各个模式发生器中生成的标志信号(也可以称为控制信号、中断信号)，向信息处理装置200返回与该标志信号相关的信息。

[0197] PLL(Phase Locked Loop：锁相环路)518是第三可编程设备510中标准地具备的电路，接收来自外部的振荡器520的基准时钟，并且产生与测试周期对应的周期信号。测试器硬件100的内部的各个模块与该周期信号同步地被进行控制。

[0198] 第三可编程设备510的总线端口经由内部总线162，与多个功能模块502、更具体而言与功能模块502的内部的可编程设备以串联的方式环状连接。

[0199] 总线板504是所谓的背面布线板(BWB)，在其上形成有连接控制模块500和多个功能模块502之间的的内部总线162。各个功能模块502与对应的测试器管脚PIO连接，并且与内部总线162连接。

[0200] 在本实施方式中，测试器硬件100具备发送端口P2及返回端口P3。一个测试器硬件100的发送端口P2和另一个测试器硬件100的返回端口P3能够经由总线162连接。另外，测试器硬件100能够切换主方式和从属方式。

[0201] 由此，通过将多个测试器硬件100作为一连串、最前头的测试器硬件100作为主方式、剩下的作为从属方式，能够由单一的信息处理装置200来控制多个测试器硬件100。

[0202] 为了切换主方式和从属方式，控制模块500具备总线选择器522、主端口524、扩展端口526。主端口524与总线板504连接。扩展端口526与发送端口P2及返回端口P3连接。

[0203] 总线选择器522具有与控制模块500连接的第一端口a、第二端口b、与主端口524连接的第三端口c、第四端口d、与扩展端口526连接的第五端口e、第六端口f。

[0204] 总线选择器522能够切换将端口a和c之间、端口d和b之间连接的第一状态、将端口a和c之间、d和e之间、f和b之间连接的第二状态、将端口a和b之间连接的第三状态。

[0205] 在将测试器硬件100作为单体而使用的情况下，可以设定为第一状态。由此扩展端口P2、P3成为未使用状态。在将多个测试器硬件100作为一连串而使用的情况下，可以设定为第二状态。

[0206] 功能模块502的电源的接通、断开能够和控制模块500的电源的接通、断开独立地进行控制，具体而言，由控制模块500来控制功能模块502的电源的接通、断开。在该结构中，当某些功能模块502的电源断开时，不能进行经由该功能模块502的数据传输。于是，在某些功能模块502的电源为断开状态时，通过将与其连接的控制模块500设为第三状态，能够形成将内部总线162在控制模块500内关闭的状态。控制模块500也可以集中控制多个功能模块502的电源，也可以将其独立地单独控制。

[0207] 图8是表示测试器硬件100的内部的布局的立体图。噪音滤波器506a经由图5的AC插头110接收来自工业交流电源的交流电压，并且消除噪音。电源板506b上装载有将交流电压转换成直流电压的AC/DC转换器(变换器)。电源板506b中生成的直流电压向控制模块500、功能模块502等供给。

[0208] 控制模块500及多个功能模块502并列地配置在测试器硬件100的框体内。冷却风扇508设置在测试器硬件100的背面侧，且冷却功能模块502。

[0209] 另外在控制模块500及多个功能模块502各自的后侧面一侧上，设有总线板504。根据该结构，通过改变测试器硬件100的宽度W、增减功能模块502的数量，能够容易地改变通道数量。

[0210] 图9是表示功能模块502的具体的结构例的框图。功能模块502具备第一可编程设备530、第二可编程设备532、总线端口534、第一非易失性存储器102a、第二非易失性存储器102b、易失性存储器536、管脚电子件540、内部总线162。关于设备电源140、参数测量单元
152、任意波形发生器148、数字化仪150，与参照图6进行的说明一样。

[0211] 管脚电子件540包括多个驱动器Dr、多个电压比较器Cp。多个驱动器Dr各自按照每个通道进行设置，并且在输入端子上接收模式信号PAT，在使能端子上接收驱动器使能信号DRE。当断言驱动器使能信号DRE时，驱动器Dr输出具有与模式信号PAT相对应的电压电平的测试模式。另外当驱动器使能信号DRE被取消时，驱动器Dr的输出成为高阻抗。如后述，在管脚电子件540中设有几个D/A转换器(在图9中未图示)。

[0212] 多个电压比较器Cp各自按照每个通道进行设置。电压比较器Cp将从DUT4输入到对应的测试器管脚PIO中的数字信号的电压电平与规定的上侧阈值电压VTHH、下侧阈值电压VTHL比较，并且生成表示比较结果的比较信号SH、SL。

[0213] 多个通道的驱动器Dr及电压比较器Cp可以集成在一个半导体芯片上，或者也可以在一个半导体模块内构成。

[0214] 能够改写第一非易失性存储器102a，并且在第一非易失性存储器102a中保存第一配置数据306a。第一可编程设备530经由内部总线162从信息处理装置200中接收第一配置数据306a，并且能够将第一配置数据306a写入到第一非易失性存储器102a中。另外，根据保存在第一非易失性存储器102a中的配置数据306a来定义第一可编程设备530的内部的电路信息。

[0215] 第一可编程设备530与多个驱动器Dr的输入端子、多个驱动器Dr各自的使能端子、多个电压比较器Cp各自的输出端子以及易失性存储器536连接。

[0216] 在第一可编程设备530的内部加载了第一配置数据306a的状态下，在其内部构成(1)多个闩锁电路Lc、(2)多个数字比较器Dc、(3)模式发生器542、(4)定时发生器544、(5)格式控制器546、(6)读出控制器548、(7)失效存储器控制器550。

[0217] 模式发生器542生成：模式数据PTN，其定义应该向多个驱动器Dr各自输出的模式信号PAT；驱动器使能信号DRE，其应该向多个驱动器Dr各自输出；以及期待值数据EXP，其应该向多个数字比较器Dc各自输出。

[0218] 如上所述，模式发生器542经由与内部总线162不同的另一个控制线与控制模块500的PG控制器516连接。经由该控制线，各个通道的模式发生器542的状态被PG控制器516控制，并且又向PG控制器516通知各个通道的模式发生器542的状态。

[0219] 定时发生器544掌管第一可编程设备530的信号处理的时间。例如定时发生器544生成规定测试周期的速率信号RATE、规定模式信号PAT的正沿或负沿的时刻的定时信号TMG、选通脉冲信号STRB等。

[0220] 格式控制器(波形整形器)546基于模式数据PTN及定时信号TMG，生成模式信号PAT。模式信号PAT的电平与模式数据PTN相对应，各个边缘的时刻与定时信号TMG相对应。另外格式控制器546对模式信号PAT的信号形式(NRZ、RZ、差分、双极性等)进行控制。

[0221] 模式发生器542、定时发生器544、格式控制器546以及驱动器Dr对应于图6的信号发生器142。如上所述，信号发生器142根据配置数据306，能够改变数字信号S1的模式。这些通过如下方法实现，根据模式发生器542的模式数据PTN的产生方法设置成能够根据在第一非易失性存储器102a中写入的第一配置数据306a进行改变。

[0222] 更具体而言，模式发生器542在SQPG(Sequential Pattern Generator：序列模式产生器)、ALPG(Algorithmic Pattern Generator：算法模式产生器)、SCPG(Scan Pattern Generator：扫描模式产生器)之中，能够选择与第一配置数据306a相对应的至少一个结构。

[0223] 多个闩锁电路Lc各自按照每个通道(按照每个电压比较器Cp)进行设置，在选通脉冲信号STRB的时刻闩锁来自对应的电压比较器Cp的比较信号SH、SL。

[0224] 多个数字比较器Dc各自按照每个通道(按照每个闩锁电路Lc)进行设置，将由对应的闩锁电路Lc来闩锁的数据与对应的期待值数据EXP比较，生成表示一致和/或不一致的合格失效信号PF。

[0225] 读出控制器548对数字比较器Dc进行期待值比较的周期、边缘进行控制。

[0226] 失效存储器控制器550将从多个数字比较器Dc中输出的合格失效信号PF保存在作为失效存储器的易失性存储器536中。

[0227] 电压比较器Cp、闩锁电路Lc、数字比较器DC、模式发生器542、定时发生器544对应于图6的信号接收器144。

[0228] 能够改写第二非易失性存储器102b，并且在第二非易失性存储器102b中保存第二配置数据306b。第二可编程设备532经由内部总线162从信息处理装置200中接收第二配置数据306b，并且能够将第二配置数据306b写入到第二非易失性存储器102b中。另外，根据保存在第二非易失性存储器102b中的配置数据306b来定义第二可编程设备532的内部的电路信息。

[0229] 第二可编程设备532与第一可编程设备530、管脚电子件540、设备电源140、参数测量单元152、任意波形发生器148、以及数字化仪150连接。

[0230] 在第二可编程设备532的内部加载了第二配置数据306b的状态下，在其内部构成管脚控制器560、设备电源控制器562、DC控制器564、波形发生器控制器566、数字化仪控制器568。

[0231] 图10是表示管脚电子件540的具体结构的电路图。在图10中只表示一个通道量的结构。

[0232] 第一D/A转换器570生成对应的驱动器Dr的上侧电源电压VH。第二D/A转换器572生成对应的驱动器Dr的下侧电源电压VL。当输入PAT＝0时，驱动器Dr输出电压电平VL，当输入PAT＝1时，驱动器Dr输出电压电平VH。

[0233] 比较器CpH将来自DUT4的信号与上侧阈值电压VTHH进行比较。比较器CpL将来自DUT4的信号与下侧阈值电压VTHL进行比较。

[0234] 第三D/A转换器574生成上侧阈值VTHH，第四D/A转换器576生成下侧阈值电压VTHL。

[0235] 第二可编程设备532的管脚控制器560基于来自信息处理装置200的控制数据，向第一D/A转换器570、第二D/A转换器572、第三D/A转换器574、第四D/A转换器576各自的输入端子输出指示VH、VL、VTHH、VTHL的控制值。

[0236] 返回图9。设备电源控制器562、DC控制器564、波形发生器控制器566、数字化仪控制器568分别根据来自信息处理装置200的控制数据，对设备电源140、参数测量单元152、任意波形发生器148、数字化仪150进行控制。

[0237] 在功能模块502中，内部总线162从总线端口534、经由第二可编程设备532、第一可编程设备530返回总线端口534。此外，也可以更换第二可编程设备532和第一可编程设备530的顺序。

[0238] 根据图7～图10中说明的测试器硬件100，能够得到以下的效果。

[0239] 第一，根据DUT4的种类、检查项目等，准备第一配置数据306a、并且将其写入到第一配置数据306a中以使模式发生器542、定时发生器544、格式控制器546各自具备所需的功能，从而能够向各种各样的DUT4供给适当的数字信号。

[0240] 第二，使用可编程设备一体地构成多个闩锁电路Lc、多个数字比较器DC、模式发生器542、定时发生器544、格式控制器546，从而能够小型化测试器硬件。

[0241] 第三，在第一可编程设备530内构成失效存储器控制器550，从而能够向DUT4赋给数字信号、并且能够在全部的第一可编程设备530中进行判定读出的数字信号是否良好的一系列的数字处理。其结果，能够简化根据测试程序的测试器硬件100的控制。

[0242] 第四，如第一可编程设备530和第二可编程设备532一样分离功能模块502的各个模块，从而能够向DUT4赋给数字信号、并且能够在第一可编程设备530中进行判定读出的数字信号是否良好的一系列的数字处理、并且能够在第二可编程设备532中进行其他的模拟设备的控制。其结果，能够将测试器硬件100的设计、漏洞修补等分成数字模块的控制和模拟模块的控制来进行，从而能够提高设计效率。

[0243] 第五，以功能模块502为单位构成测试器硬件100，从而根据功能模块502的增减，能够简单地设计具有各种各样的通道数的测试器硬件100。

[0244] 第六，功能模块502各自的第一可编程设备530、第二可编程设备532经由内部总线162串联(以环状)连接。根据该结构，能够在多个功能模块502各自的第一非易失性存储器
102a中写入相同的配置数据、并且在各自的第二非易失性存储器102b中也能够写入相同的配置数据。

[0245] 另外，在大部分的情况中，多个功能模块502与共通的DUT连接。因而，多个功能模块502中的设定数据、控制指令相同的情况较多。也可以根据该理由，通过将第一可编程设备530、第二可编程设备532串联连接，能够将配置数据有效地向各个可编程设备供给。

[0246] 例如在内部总线162传输的数据的前头赋予指定传输目标的设备532、532的设备控制比特。各个设备在其自身被设备控制比特指定时，将其接下来的数据判定为处理的对象。在图7的结构中，从内部总线162的上游、以八个设备532、530、532、530、532、530、532、530的顺序进行连接。在这种情况下，例如也可以将设备控制比特设为8比特、最上位比特分配给前头的设备532、将最下位比特分配给最末尾的设备530。各个设备在对应的比特为1时，判断为设备控制比特接下来的数据是对自身发送的数据。

[0247] 在想对全部的设备发送共通的数据的情况下，将设备控制比特全部设为1、并且在其后配置想发送的共通的数据，从而第三可编程设备510仅发送一次数据，就能够向全部的设备供给数据。

[0248] 此外在实施方式中，多个闩锁电路、多个数字比较器、模式发生器、定时发生器、格式控制器由一个第一可编程设备530构成的情况进行了说明，但是也可以将其分割成多个第一可编程设备构成。在这种情况下，能够利用一个第一可编程设备所需要的栅极数较少的廉价的可编程设备，因此，在有利于总成本的情况下，也能够分割成多个可编程设备。具体而言，也可以将模式发生器、定时发生器、格式控制器安装在一个可编程设备，将多个闩锁电路、多个数字比较器安装在另一个可编程设备上。

[0249] 以上是试验系统2的结构。

[0250] 接着，说明云测试服务的流程。图11是表示云测试服务的流程的图。

[0251] 用户USR向服务提供者PRV申请云测试服务的利用(S100)。随着申请，用户USR的信息被发送到服务提供者PRV的服务器300中。

[0252] 服务提供者PRV基于用户USR的信用调查等的结果，进行审查(S102)。审查的结果，满足规定的条件的用户USR作为云测试服务的利用者被登记到数据库中，并且被赋予用户ID。用户在登记时，向服务提供者PRV通知想在试验系统2中使用的自身的信息处理装置200的识别信息。信息处理装置200的识别信息也被登记到服务器300的数据库中。作为信息处理装置200的识别信息，也可以利用信息处理装置200的MAC地址。

[0253] 服务提供者PRV对登记的用户USR，发送测试器硬件100(S104)。鉴于想广泛地普及试验系统2的服务提供者PRV侧的观点、及想廉价地构筑试验系统2的用户USR侧的观点，服务提供者PRV和用户USR也可以签订无偿出借测试器硬件100的合同。当然，根据用户USR的测试器硬件100的改变、分解是合同上被禁止的。

[0254] 用户USR访问服务提供者PRV开设的网站、进行登录、下载控制程序302、并且在已登记的信息处理装置200中安装(S106)。此外服务提供者PRV可以只在已登记的信息处理装置200中允许控制程序302的使用。另外控制程序302也可以在保存在CD-ROM、DVD-ROM等的介质中的状态下进行分发。

[0255] 到这里，用户USR使用测试器硬件100及信息处理装置200，能够构筑试验系统2。

[0256] 以试验系统2的装配为目的的用户USR访问网站、并进行登录。网站上刊登了能够下载的程序模块304及配置数据306的列表。并且，用户USR选择适合试验对象的DUT4的种类、试验内容的程序模块304、配置数据306(S108)，并要求下载这些(S110)。接收这些要求，从服务器300向信息处理装置200供给程序模块304、配置数据306(S112)。

[0257] 另外，用户USR对服务提供者PRV的服务器300，申请希望的程序模块304、配置数据306的使用许可(S114)。

[0258] 程序模块304、配置数据306中规定了与使用期间相对应的费用。服务提供者PRV以来自用户USR的费用的支付为条件(S116)，按照每个程序模块304、配置数据306，发行允许使用这些的授权码(S118)。

[0259] 对于配置数据306的授权码称为第一授权码KEY1，对于程序模块304的授权码称为第二授权码KEY2，从而进行区别。

[0260] 第一授权码KEY1关于成为对象的配置数据306，只有在与由用户预先指定且已登记到数据库中的信息处理装置200进行组合时，才允许使用。第一授权码KEY1包括表示成为对象的配置数据306的数据、使用被许可的信息处理装置的识别信息、以及表示配置数据306的使用被许可的使用许可期间的数据。当然，第一授权码KEY1已进行加密。

[0261] 同样地第二授权码KEY2关于成为对象的程序模块304，只有在由用户预先指定且已登记到数据库中的信息处理装置200上，允许使用。第二授权码KEY2包括表示成为对象的程序模块304的数据、使用被许可的信息处理装置的识别信息、以及表示程序模块304的使用被许可的使用许可期间的数据。当然，第二授权码KEY2也已进行加密。

[0262] 此外，在变形例中，也可以不设定使用许可期间而作成无期限。

[0263] 以上是试验系统2的结构。接着说明试验系统2的动作。

[0264] 经过图11的流程，在信息处理装置200中保存了控制程序302、程序模块304，另外在测试器硬件100的非易失性存储器102中写入了配置数据306。

[0265] 在使用时，用户USR经由总线10连接信息处理装置200和测试器硬件100。并且用户USR接通测试器硬件100的电源，在信息处理装置200中启动控制程序302。

[0266] 信息处理装置200进行配置数据306的认证。配置数据306的认证也可以在启动控制程序302时进行。

[0267] 图2的硬件访问部212获取保存在测试器硬件100的非易失性存储器102中的配置数据306的信息。认证部214参照对配置数据306发行的第一授权码KEY1。当存在第一授权码KEY1的情况下，判定该授权码KEY1中包含的信息处理装置的识别信息是否与用户当前使用的信息处理装置200的信息一致、还判定当前的时刻是否被包含在使用许可期间内。在识别信息一致、在使用许可期间内的情况下，认证部214判定配置数据306与信息处理装置200进行组合时使用被许可，并且在测试器硬件100中，允许使用非易失性存储器102内的配置数据306。由此，测试器硬件100只有在已发行第一授权码KEY1的情况下，才能够根据配置数据306进行动作。在超过使用许可期间的情况下，催促用户申请对于该配置数据306的使用的重订合同。

[0268] 另外信息处理装置200进行程序模块304的认证。具体而言，认证部214参照对于用户试图使用的程序模块304各自发行的第二授权码KEY2。当存在第二授权码KEY2的情况下，判定该授权码KEY2中包含的信息处理装置的识别信息是否与用户当前使用的信息处理装置200的信息一致。在一致的情况下，认证部214判定程序模块304与信息处理装置200进行组合时使用被许可，并且允许将程序模块304嵌入到控制程序302中。

[0269] 在这里，设想如下情况，保存在非易失性存储器102中的配置数据306设想的DUT的种类和与测试程序240组合的程序模块304不匹配。例如虽然配置数据306为存储器试验用的数据，但是试验算法模块304a为A/D转换器的功能评价的线性度验证程序的情况等。在这种情况下，不能对作为存储器的DUT4进行试验。于是控制程序302希望信息处理装置200提供检查程序模块304和配置数据306的匹配性的功能。当不匹配的情况下，信息处理装置200向用户通知该内容，从而能够担保根据正确的程序模块304和配置数据306的试验。

[0270] 经过以上的处理，在信息处理装置200中能够执行基于测试程序240的试验。

[0271] 执行部220基于主要由控制程序302及试验算法模块304a构成的测试程序240，对测试器硬件100进行控制。试验的结果得到的数据从测试器硬件100中发送到信息处理装置200中，并且保存在存储装置206中。

[0272] 另外，解析部230根据解析工具模块304b规定的解析方法，解析从测试器硬件100中得到的数据。

[0273] 以上是试验系统2的动作。试验系统2与以往的试验装置相比具有以下的优点。

[0274] 1.在该试验系统2中，测试器硬件100并不具有限于特定的设备、试验内容的结构，而是设计成具有能够对应各种各样的试验内容的通用性。并且，由服务提供者或者第三者来准备最适合各种各样的种类的被试验设备、试验内容的配置数据，并且保存在服务器300中。

[0275] 并且用户USR选择最适合检查对象的DUT4的配置数据306、并写入到测试器硬件的非易失性存储器102中，从而能够适当地对DUT4进行试验。

[0276] 即，根据该试验系统2，不需要按照DUT4的种类、每个试验项目准备单独的试验装置(硬件)，因此能够减轻用户的成本上的负担。

[0277] 2.另外，在开发新的设备、需要以往不存在的试验的情况下，根据服务提供者PRV或者第三者，能够提供用于实现该试验内容的配置数据306、程序模块304。因而用户在测试器硬件的处理能力的范围内，能够试验从现在到将来开发的设备。

[0278] 3.另外在以往，在检查开发阶段的半导体设备时，需要单独准备电源装置、任意波形发生器、示波器、以及数字化仪，并且组合这些来测定所期望的特性。对于这些根据实施方式涉及的试验系统2，如果准备信息处理装置200和测试器硬件100，则能够简单且适当地对各种各样的半导体设备进行试验。

[0279] 4.如果测试器硬件100将设计开发阶段中的使用为前提，则能够少设计可以同时测定的被试验设备的数量、即通道数。另外能够将与信息处理装置的协调动作作为前提而进行设计。并且根据需要能够妥协其性能的一部分。根据这些理由，测试器硬件100与大量生产用的试验装置相比，能够廉价地、又非常紧凑地、具体而言以台式机大小、可携带地构成。

[0280] 在这种情况下，根据用户USR的观点，能够按照每个研究者和/或开发者、或者每个研究开发组持有测试器硬件。根据服务提供者PRV的观点，能够催促测试器硬件100的普及，并且能够扩大收益的机会。

[0281] 5.另外由于以往的试验装置比较庞大，因此，其移动不太现实，用户需要将DUT4搬运到试验装置处。对于这些情况，通过小型化测试器硬件100，能够将其移动到放置被试验设备的场所。

[0282] 例如假设想在净化室内对被试验设备进行试验。当试验装置的设置地方与被试验设备分开的情况下，如果考虑设备的污染，即使是在净化室内，也不愿意长距离移动设备。总之在以往，移动被试验设备及试验装置双方比较困难，存在试验装置的利用受到限制的情况。实施方式涉及的试验系统2能够设置在净化室内的各种各样的地方，另外根据需要能够带进或带出净化室内。或者也能够在室外的特殊环境下进行试验。总之能够比以往更格外地扩大可以利用试验装置的状况。

[0283] 6.另外，在该试验系统2中，由服务提供者PRV在云服务器300上准备了各种各样的程序模块304，用户USR能够在其中选择适合于半导体设备的种类、试验项目、评价算法的内容、并且能够嵌入到测试程序240中。其结果，用户USR不需要像以往那样自己制作测试程序就能够适当地对设备进行试验。

[0284] 以上，关于本发明，基础性地说明了几种实施方式。本领域的技术人员应该理解为该实施方式是一个示例，并且能够对这些各个结构要素、各个处理过程的组合进行各种各样的变形例，另外这样的变形例也在本发明的范围内。以下，对这样的变形例进行说明。

[0285] (第一变形例)

[0286] 在实施方式中，说明了授权码以已登记的信息处理装置200之间的组合为条件、允许使用程序模块304或配置数据306的方法。

[0287] 对于这些，在第一变形例中，代替信息处理装置200，以用户指定的测试器硬件100之间的组合为条件，允许使用程序模块304、配置数据306。在这种情况下，第一授权码KEY1包括成为许可对象的配置数据306的识别信息、应该许可使用的测试器硬件100的识别信息。

[0288] 当用户USR启动测试程序240时，认证部214获取测试器硬件100的ID，在第一授权码KEY1中包括获取到的ID的情况下，能够从非易失性存储器102中读出配置数据306，并且测试器硬件100能够根据配置数据306进行动作。关于第二授权码KEY2也是同样的原理。

[0289] 或者，也可以作成如下方式，从服务提供者PRV向用户USR供给硬件加密锁(也称为加密狗)，以信息处理装置200上连接硬件加密锁为条件，能够使用程序模块304、配置数据306。

[0290] (第二变形例)

[0291] 在实施方式中，说明了程序模块304、配置数据306保存在服务器300上、并且分别单独地赋予使用许可的情况，但是本发明不限于这些情况。服务器300也可以通过将程序模块304和配置数据306的任一方以能够下载的方式保存，试验系统2能够按照用户所希望的试验算法、评价算法适当地对各种各样的设备进行试验。

[0292] (第三变形例)

[0293] 在实施方式中，说明了在信息处理装置200中进行认证、测试程序的执行的情况。

[0294] 对于这些，在第三变形例中，也可以在服务器300上进行与认证相关的处理。具体而言，代替服务器300发行授权码的方式，也可以作成如下方式，每次用户使用试验系统2时，从信息处理装置200访问服务器300的网站，进行登录，并且要求程序模块304、配置数据306的使用许可。在这种情况下，服务器300也可以以要求使用许可的用户已登记在数据库中、并且利用相同的用户ID以当前没有使用该程序模块304和配置数据306为条件，许可程序模块304、配置数据306的使用。

[0295] 另外，代替将试验算法模块304a下载到信息处理装置200中的方式，也可以在服务器300上执行测试程序240。在这种情况下，在服务器300侧上设置测试控制部210的一部分或者全部，控制命令经由信息处理装置200被发送到测试器硬件100中。

[0296] 同样地，代替将解析工具模块304b下载到信息处理装置200中的方式，也可以在服务器300上执行测试程序240。在这种情况下，在服务器300侧上设置测试控制部210的一部分或者全部，测试器硬件100中获取到的数据经由信息处理装置200被上传到服务器300中，并且在服务器300中进行处理。

[0297] 虽然基于实施方式对本发明进行了说明，实施方式只是表示了本发明的原理、应用而已，在不脱离权利要求书中规定的本发明的思想的范围内，可以认为实施方式中能够进行多种变形例、配置的变更。

[0298] 附图标记说明

[0299] 2：试验系统，4：DUT，6：插座，8：网络，10：总线，100：测试器硬件，102：非易失性存储器，110：AC插头，112：电源开关，114：连接器，120：插座，122：连接器，124：管脚，126：电缆，130：接口部，132：控制器，134：异常检测部，136：内部电源，140：设备电源，PIO：测试器管脚，142：信号发生器，144：信号接收器，148：任意波形发生器，150：数字化仪，152：参数测量单元，154：RAM，160：继电器开关组，162：内部总线，200：信息处理装置，202：第一接口部，204：第二接口部，206：存储装置，208：数据获取部，210：测试控制部，212：硬件访问部，214：
认证部，220：执行部，222：程序计数器，224：中断和/或匹配检测部，230：解析部，232：显示部，240：测试程序，300：服务器，302：控制程序，304：程序模块，304a：试验算法模块，304b：
解析工具模块，306：配置数据，308：数据库，310：存储部，312：申请接收部，314：数据库登记部，316：认证部，320：列表显示部，322：下载控制部，324：授权码发行部，400：配置数据，
402：软件模块，500：控制模块，502：功能模块，504：总线板，506a：噪音滤波器，506b：电源板，508：冷却风扇，P1：总线端口，P2：发送端口，P3：返回端口，510：第三可编程设备，102c：
第三非易失性存储器，512：系统控制器，514：总线控制器，516：PG控制器，518：PLL，520：振荡器，522：总线选择器，524：主端口，526：扩展端口，530：第一可编程设备，102a：第一非易失性存储器，532：第二可编程设备，102b：第二非易失性存储器，534：总线端口，536：易失性存储器，540：管脚电子件，542：模式发生器，544：定时发生器，546：格式控制器，548：读出控制器，550：失效存储器控制器，560：管脚控制器，562：设备电源控制器，564：DC控制器，566：
波形发生器控制器，568：数字化仪控制器，570：第一D/A转换器，572：第二D/A转换器，574：
第三D/A转换器，576：第四D/A转换器，Dr：驱动器，Cp：电压比较器，Lc：闩锁电路，DC：数字比较器，USR：用户，PRV：服务提供者。

[0300] 工业上的可用性

[0301] 本发明与试验装置相关。