一种旋转样品台

摘要

本发明提供一种旋转样品台，包括公转台，公转台在第一驱动装置的驱动下绕公转轴线旋转，与公转轴线相距一定距离设置的至少一个样品台，样品台通过固定于公转台上的第一支撑件支撑，并通过位于公转台上的自转传动件驱动自转，自转传动件通过第二驱动装置驱动；样品台具有用于承载工件的承载部及与自转传动件连接的连接部，自转传动件可轴向伸缩以推拉连接部，并进而推拉样品台相对第一支撑件转动，从而调整承载部的倾斜角度。本发明的旋转样品台不仅能够使工件相对材料源进行公转、自转以及行星式公自转，还能根据工件形状调整承载部的倾斜角度，从而调整工件的某一个或某些面正对材料源，使具有复杂表面的工件也能镀上厚度均匀的膜。

权利要求

1.一种旋转样品台，其特征在于：包括公转台(1)，所述公转台(1)在第一驱动装置的驱动下绕公转轴线旋转，与所述公转轴线相距一定距离设置的至少一个样品台(2)，所述样品台(2)通过固定于所述公转台(1)上的第一支撑件(3)支撑，并通过位于所述公转台(1)上的自转传动件(4)驱动自转，所述自转传动件(4)通过第二驱动装置驱动；

所述样品台(2)具有用于承载工件的承载部(21)及与所述自转传动件(4)连接的连接部(22)，所述自转传动件(4)可轴向伸缩以推拉所述连接部(22)，并进而推拉所述样品台(2)相对所述第一支撑件(3)转动，从而调整所述承载部(21)的倾斜角度；

所述自转传动件(4)包括可轴向伸缩连接的第一自转传动段(41)和第二自转传动段(42)，所述第一自转传动段(41)通过第一联动结构与所述第二驱动装置传动连接，所述第二自转传动段(42)通过万向节(43)与所述连接部(22)固定连接；

所述第一自转传动段(41)与所述第二自转传动段(42)互相连接的部分设有可配合插接的柱体(45)/空腔，在所述空腔侧壁上还设有用于将所述柱体(45)定位固定在所述空腔内部的定位结构。

2.根据权利要求1所述的旋转样品台，其特征在于：所述定位结构包括设在所述空腔侧壁上的定位螺纹通孔，以及螺接在所述定位螺纹通孔上并伸入所述空腔内部挤压所述柱体(45)，从而将所述柱体(45)定位固定在所述空腔内部的定位螺栓(44)。

3.根据权利要求1所述的旋转样品台，其特征在于：所述柱体(45)为多边形柱体，所述空腔为可与所述柱体(45)配合插接的多边形空腔。

4.根据权利要求1所述的旋转样品台，其特征在于：所述自转传动件(4)通过第二支撑件固定在所述公转台(1)上；所述第二支撑件包括通过轴承可转动套设在所述第一自转传动段(41)或所述第二自转传动段(42)上的固定套(46)，设在所述固定套(46)下侧的立柱(47)，所述立柱(47)插接于所述公转台(1)上，并通过分别从所述公转台(1)上方和下方与所述立柱(47)螺纹连接的上固定螺母(48)和下固定螺母(49)固定于所述公转台(1)上。

5.根据权利要求1所述的旋转样品台，其特征在于：所述第二驱动装置包括轴线与所述公转轴线重合的自转传动轴(51)，和驱动所述自转传动轴(51)绕所述公转轴线旋转的自转电机(52)；所述第一联动结构包括设在所述自转传动轴(51)上的第一伞齿轮(511)和设在所述第一自转传动段(41)的一端上且能够与所述第一伞齿轮(511)啮合传动的第二伞齿轮(411)。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的旋转样品台，其特征在于：所述第一支撑件(3)包括通过轴承可转动套设在所述样品台(2)外部的壳体(31)，与所述公转台(1)固定连接的支撑柱(32)，以及将所述壳体(31)可转动的固定在所述支撑柱(32)上的转动连接件；所述自转传动件(4)轴向伸缩时，能够推拉所述样品台(2)绕所述转动连接件转动。

7.根据权利要求6所述的旋转样品台，其特征在于：所述转动连接件包括设在所述支撑柱(32)上的转轴(331)或转轴孔(332)，以及与所述转轴(331)或所述转轴孔(332)相对设在所述壳体(331)上、且能够配合转动连接的转轴孔(332)或转轴(331)。

8.根据权利要求7所述的旋转样品台，其特征在于：所述支撑柱(32)上设有U形固定件(33)，所述转轴(331)/转轴孔(332)设在所述U形固定件(33)的两相对侧壁上。

9.根据权利要求6所述的旋转样品台，其特征在于：还包括用于调节所述第一支撑件(3)相对所述公转轴线的距离长短，并进而调节所述样品台(2)相对所述公转轴线的距离长短的调整结构。

10.根据权利要求9所述的旋转样品台，其特征在于：所述调整结构包括沿所述公转台(1)径向开设在所述公转台(1)上、且适于所述支撑柱(32)穿过的长条形通孔(34)，和将所述支撑柱(32)固定在所述长条形通孔(34)内的可调固定件。

11.根据权利要求10所述的旋转样品台，其特征在于：所述可调固定件包括分别从所述公转台(1)上方和下方与所述支撑柱(32)螺纹连接的上螺母(341)和下螺母(342)。

12.根据权利要求6所述的旋转样品台，其特征在于：所述第一驱动装置包括公转电机(6)，被所述公转电机(6)驱动旋转的公转主动齿轮(61)，与所述公转主动齿轮(61)啮合连接的公转从动齿轮(62)，所述公转从动齿轮(62)通过高度调节件与所述公转台(1)固定连接并驱动所述公转台(1)绕所述公转轴线旋转。

13.根据权利要求12所述的旋转样品台，其特征在于：所述高度调节件包括若干固定在所述公转从动齿轮(62)上的固定柱(63)，与所述固定柱(63)相对设在所述公转台(1)上、且能够允许所述固定柱(63)插入的固定通孔(11)，以及可拆卸连接于所述固定柱(63)上并从所述公转台(1)下部将所述公转台(1)托住的卡箍(64)。

说明书

一种旋转样品台

技术领域

[0001] 本发明涉及一种旋转样品台，具体涉及一种PVD镀膜用的多功能旋转样品台。

背景技术

[0002] PVD是英文Physical Vapor Deposition（物理气相沉积）的缩写，物理气相沉积技术是指在真空条件下，采用物理方法，将材料源（固体或液体）表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体或等离子体过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。在对工件进行镀膜的真空镀膜机内，材料源一般是固定不动的，为提升工件镀膜的均匀性，一般会将支撑工件的样品台设置成可旋转的样品台；在使用真空镀膜机对工件进行镀膜时，工件在旋转样品台的旋转作用下，其不同位置能够轮流朝向材料源，从而能够提高工件表面的镀膜均匀性。但是，目前无论是实验型还是工业生产型的PVD镀膜设备，单一的旋转样品台无法满足多尺寸及复杂表面形貌工件的镀膜需求。因此，如何用一套旋转样品台同时能够满足一系列尺寸形貌各异工件的沉积镀膜成为制约本行业快速发展的瓶颈问题。

[0003] 现有技术中公开了一种用于支撑工件的旋转样品台，如图1所示，包括固定在真空镀膜机壳体底部静止不动的定齿轮01，位于定齿轮01上方且外径大于定齿轮01外径的动齿轮03，位于动齿轮03上方的环形顶板06，顶板06和动齿轮03通过若干连杆04固定连接，顶板06和动齿轮03之间还设有若干传动杆05，传动杆05分别通过轴承与顶板06和动齿轮03转动连接，传动杆05向下穿过动齿轮03的部分设有传动齿轮02，传动齿轮02位于定齿轮01周边且与定齿轮01啮合连接；传动杆05向上穿过顶板06的部分设有用于支撑工件的承载件。其工作过程如下：驱动装置驱动动齿轮03转动时，动齿轮03通过连杆04和传动杆05驱动顶板
06转动，从而使得位于顶板06上方的设在传动杆05上的承载件绕动齿轮03的轴线公转；动齿轮03通过传动杆05驱动传动齿轮02绕定齿轮01转动，由于传动齿轮02与定齿轮01啮合连接，传动齿轮02在绕定齿轮01转动时，带动传动杆05自转，从而使得位于传动杆05上的支撑件自转；并最终使得位于承载件上的工件相对固定设在真空镀膜机内部的材料源公转和自转，使工件的不同位置轮流朝向材料源，从而提高工件表面的镀膜均匀性。

[0004] 虽然现有技术中的上述旋转样品台能够提高工件表面的镀膜均匀性，但仍至少具有以下技术缺陷：1.由于承载件是固定设在传动杆顶部的，其承载固定工件后，工件相对于材料源的倾斜角度是一定的，当工件的表面形状复杂，且需要将工件的某一个或某些面正对材料源时，承载件难以根据工件的形状调整工件朝向材料源的倾斜角度，无法满足上述正对需求，导致表面复杂工件的镀膜均匀性差，可见，该旋转样品台无法用作表面复杂工件的样品台，应用范围较窄；2.同样由于承载件是固定设在传动杆顶部的，当工件尺寸较大或较小时，承载件难以根据工件的尺寸大小调整工件相对于材料源的高低距离，导致工件的镀膜均匀性差，可见，该旋转样品台无法用作尺寸较大或较小工件的样品台。

发明内容

[0005] 因此，本发明的目的在于克服现有技术中的旋转样品台无法根据工件的形状调整工件相对于材料源的倾斜角度、以致适用范围过窄的技术缺陷，从而提供一种能够根据工件的形状调整工件相对于材料源的倾斜角度、因而适用范围广的旋转样品台。

[0006] 为此，本发明提供一种旋转样品台，包括公转台，所述公转台在第一驱动装置的驱动下绕公转轴线旋转，与所述公转轴线相距一定距离设置的至少一个样品台，所述样品台通过固定于所述公转台上的第一支撑件支撑，并通过位于所述公转台上的自转传动件驱动自转，所述自转传动件通过第二驱动装置驱动；

[0007] 所述样品台具有用于承载工件的承载部及与所述自转传动件连接的连接部，所述自转传动件可轴向伸缩以推拉所述连接部，并进而推拉所述样品台相对所述第一支撑件转动，从而调整所述承载部的倾斜角度。

[0008] 所述自转传动件包括可轴向伸缩连接的第一自转传动段和第二自转传动段，所述第一自转传动段通过第一联动结构与所述第二驱动装置传动连接，所述第二自转传动段通过万向节与所述连接部固定连接。

[0009] 所述第一自转传动段与所述第二自转传动段互相连接的部分设有可配合插接的柱体/空腔，在所述空腔侧壁上还设有用于将所述柱体定位固定在所述空腔内部的定位结构。

[0010] 所述定位结构包括设在所述空腔侧壁上的定位螺纹通孔，以及螺接在所述定位螺纹通孔上并伸入所述空腔内部挤压所述柱体，从而将所述柱体定位固定在所述空腔内部的定位螺栓。

[0011] 所述柱体为多边形柱体，所述空腔为可与所述柱体配合插接的多边形空腔。

[0012] 所述自转传动件通过第二支撑件固定在所述公转台上；所述第二支撑件包括通过轴承可转动套设在所述第一自转传动段或所述第二自转传动段上的固定套，设在所述固定套下侧的立柱，所述立柱插接于所述公转台上，并通过分别从所述公转台上方和下方与所述立柱螺纹连接的上固定螺母和下固定螺母固定于所述公转台上。

[0013] 所述第二驱动装置包括轴线与所述公转轴线重合的自转传动轴，和驱动所述自转传动轴绕所述公转轴线旋转的自转电机；所述第一联动结构包括设在所述自转传动轴上的第一伞齿轮和设在所述第一自转传动段的一端上且能够与所述第一伞齿轮啮合传动的第二伞齿轮。

[0014] 所述第一支撑件包括通过轴承可转动套设在所述样品台外部的壳体，与所述公转台固定连接的支撑柱，以及将所述壳体可转动的固定在所述支撑柱上的转动连接件；所述自转传动件轴向伸缩时，能够推拉所述样品台绕所述转动连接件转动。

[0015] 所述转动连接件包括设在所述支撑柱上的转轴或转轴孔，以及与所述转轴或所述转轴孔相对设在所述壳体上、且能够配合转动连接的转轴孔或转轴。

[0016] 所述支撑柱上设有U形固定件，所述转轴/转轴孔设在所述U形固定件的两相对侧壁上。

[0017] 还包括用于调节所述第一支撑件相对所述公转轴线的距离长短，并进而调节所述样品台相对所述公转轴线的距离长短的调整结构。

[0018] 所述调整结构包括沿所述公转台径向开设在所述公转台上、且适于所述支撑柱穿过的长条形通孔，和将所述支撑柱固定在所述长条形通孔内的可调固定件。

[0019] 所述可调固定件包括分别从所述公转台上方和下方与所述支撑柱螺纹连接的上螺母和下螺母。

[0020] 所述第一驱动装置包括公转电机，被所述公转电机驱动旋转的公转主动齿轮，与所述公转主动齿轮啮合连接的公转从动齿轮，所述公转从动齿轮通过高度调节件与所述公转台固定连接并驱动所述公转台绕所述公转轴线旋转。

[0021] 所述高度调节件包括若干固定在所述公转从动齿轮上的固定柱，与所述固定柱相对设在所述公转台上、且能够允许所述固定柱插入的固定通孔，以及可拆卸连接于所述固定柱上并从所述公转台下部将所述公转台托住的卡箍。

[0022] 本发明的一种旋转样品台具有以下优点：

[0023] 1.本发明的旋转样品台中，样品台通过第一支撑件固定在能够绕公转轴线旋转的公转台上，并能够在自转传动件的驱动下自转，因而本发明的旋转样品台能够相对于材料源进行公转、自转和行星式公自转，使承载在样品台承载部上工件的各个面都能均衡的朝向材料源，从而能够提高工件表面各个面上的镀膜均匀性；在此基础之上，样品台还设置具有与自转传动件连接的连接部，自转传动件轴向伸缩后推拉连接部，并进进一步推拉样品台相对于第一支撑件转动，从而能够调整承载部的倾斜角度。也即：本发明的旋转样品台不仅能够使位于承载部上的工件相对于材料源进行公转、自转以及行星式公自转，还能够根据工件的不同形状，通过调整自转传动件的轴向伸缩量来调整承载部的倾斜角度，从而调整位于样品台承载部上工件的某一个或某些面正对材料源，使具有复杂表面的工件也能镀上厚度均匀的膜；因此本发明的旋转样品台适应性广，能够适应各种复杂表面工件产品的镀膜需求，且镀膜厚度均匀性效果好。本发明的旋转样品突破了传统镀膜工艺中一种样品台适用于某一种或几种工件的思维限制，采用一套旋转样品台同时能够满足一系列尺寸形貌各异工件的沉积镀膜。

[0024] 2.本发明的旋转样品台中，自转传动件包括可轴向伸缩连接的第一自转传动段和第二自转传动段，通过调整第一自转传动段和第二自转传动段之间的轴向伸缩量，通过调整自转传动件进而改变样品台相对第一支撑件转动的角度，从而能够简单方便的调整承载部的倾斜角度；设置第一自转传动段通过第一联动结构与第二驱动装置传动连接，第二自转传动段通过万向节与连接部固定连接，使自转传动件能够将第二驱动装置的动力传递到样品台，从而驱动样品台自转。

[0025] 3.本发明的旋转样品台，在第一自转传动段和第二自转传动段互相连接的部分设有可配合插接的柱体/空腔，以及将柱体固定在空腔内部的定位结构；调整柱体在空腔内的插入量即可调整自转传动件轴向伸缩的长度，而且使用定位结构将柱体和空腔固定在一起后，第一自转传动段和第二自转传动段成为一个能够传递扭矩的整体，从而能够在第二驱动装置的带动下驱动样品台自转。设置柱体为多边形柱体，设置空腔为多边形空腔，可使第一自转转动段和第二自转传动段的扭矩传动更有效，不易发生滑脱；设置定位结构包括设在空腔侧壁上的定位螺纹通孔，以及螺接在定位螺纹通孔上的定位螺栓，定位螺纹通孔和定位螺栓的配合简单方便，成本低且易于实现。

[0026] 4.本发明的旋转样品台，将自转传动件通过第二支撑件固定在公转台上，且设置第二支撑件包括通过轴承可转动套设在第一自转传动段或第二自转传动段上的固定套，以及设在固定套下侧的立柱，立柱与公转台插接连接；在自转传动件轴向伸缩或驱动样品台自转时，第二支撑件能够将其固定在某一位置，保证自转传动件传输扭矩的精度和轴向伸缩时不发生晃动。

[0027] 5.本发明的旋转样品台，第一支撑件包括通过轴承可转动套设在样品台外部的壳体，与公转台固定连接的支撑柱，和将壳体可转动固定在支撑柱上的转动连接件；上述设置使得样品台不仅能够自转，还能够绕转动连接件转动，从而调整承载部的倾斜角度，进而能够调整位于承载部上工件的不同位置正对材料源，提高旋转样品台对于具有复杂表面工件的镀膜均匀性，并扩展旋转样品台的应用范围。

[0028] 6.本发明的旋转样品台，设置转动连接件包括设在支撑柱上的转轴或转轴孔，以及与转轴或转轴孔相对设在壳体上、且能够配合转动连接的转轴孔或转轴。转轴与转轴孔的设置简单有效，能够在自转传动件推动样品台时起到旋转轴的作用，实现承载部倾斜角度的调整。在支撑柱上设置U形固定件，并将转轴/转轴孔设在U形固定件的两相对侧壁上，能够从壳体的两侧将壳体可转动的固定住，在自转传动件推动样品台绕转动连接件转动时，壳体的转动更稳定，不易发生摇摆晃动，转动角度调节更精确。

[0029] 7.本发明的旋转样品台，还设有用于调整样品台相对公转轴线距离长短的调整结构；当位于样品台承载部上工件的表面复杂且尺寸大小变化较大时，调整样品台相对于公转轴线的距离，并配合调整样品台承载部的倾斜角度，能够使工件的某一或某些面更好的正对材料源，从而满足不同尺寸大小的工件镀膜需求，进一步提高工件镀膜的厚度均匀性。

[0030] 8.本发明的旋转样品台中，用于调节样品台相对公转轴线的距离长短的调整结构包括沿公转台径向开设在公转台上、且适于支撑柱穿过的长条形通孔，以及将支撑柱固定在长条形通孔内的可调固定件；需要调整样品台相对公转轴线的距离时，调松上述可调固定件，在长条通孔内沿公转台径向移动支撑柱，至目标距离时，重新调紧上述可调固定件，即可实现样品台相对公转轴线距离长短的调节；该种调整结构结构简单，实现容易，且在公转台上开设长条形通孔还能够起到减轻公转台重量的作用。

[0031] 9.本发明的旋转样品台中，可调固定件包括分别从公转台上方和下方与支撑柱螺纹连接的上螺母和下螺母，将上螺母和下螺母之间的距离调远，即能将可调固定件调松，此时可以沿公转台径向在长条形通孔内移动支撑柱，至目标位置时，将上螺母和下螺母之间的距离调近，挤紧公转台，即可将可调固定件调紧，重新将支撑柱固定在长条形通孔内。上下螺母的设置还能够调整样品台相对公转台的高度，在位于样品台承载部上工件的尺寸较大时，可调整样品台与公转台具有较低高度，在位于样品台承载部上工件的尺寸较小时，可调整样品台与公转台具有较高高度，使工件与材料源的距离适中，便于在工件上镀上厚度均匀的膜。

[0032] 10.本发明的旋转样品台中，第一驱动装置包括公转电机、被公转电机驱动旋转的公转主动齿轮，与公转齿轮啮合连接的公转从动轮，公转从动轮通过高度调节件与公转台固定连接并驱动公转台绕公转轴线旋转，设置高度调节件的目的在于，当位于样品台承载部上工件的尺寸过大或过小时，单纯通过调整样品台相对公转台的高度大小已不足以使工件与材料源之间具有合适的距离时，可通过高度调节件调整公转台与材料源之间的距离，从而满足尺寸过大或过小工件与材料源之间距离调节的需要。

[0033] 11.本发明的旋转样品台中，高度调节件包括若干固定在公转从动齿轮上的固定柱，与固定柱相对设在公转台上、且能够允许固定柱插入的固定通孔，以及可拆卸连接于固定柱上并从公转台下部将公转台托住的卡箍；该种高度调节件通过调整卡箍固定在固定柱上的位置，即可调整公转台的高度，且结构简单，易于实现。

附图说明

[0034] 图1是现有技术中旋转样品台的整体结构示意图。

[0035] 图2是实施例中旋转样品台的主视图。

[0036] 图3是图2的俯视图。

[0037] 图4是图1的立体结构示意图。

[0038] 图5是实施例中公转台、自转传动驱动件和样品台的连接结构示意图。

[0039] 图6是图5的剖面图。

[0040] 图中：01-定齿轮，02-传动齿轮，03-动齿轮，04-连杆，05-传动杆，06-顶板；1-公转台，11-固定通孔，2-样品台，21-承载部，22-连接部，3-支撑件，31-壳体，32-支撑柱，33-U形固定件，331-转轴，332-转轴孔，34-长条形通孔，341-上螺母，342-下螺母，4-自转传动件，41-第一自转传动段，411-第二伞齿轮，42-第二自转传动段，43-万向节，44-定位螺栓，45-柱体，46-固定套，47-立柱，48-上固定螺母，49-下固定螺母，51-自转传动轴，511-第一伞齿轮，52-自转电机，6-公转电机，61-公转主动齿轮，62-公转从动齿轮，63-固定柱，64-卡箍，
7-光电开关，8-减重孔。

具体实施方式

[0041] 下面结合附图对本发明提供的一种旋转样品台做进一步的详细说明。

[0042] 如图2-6所示为本发明公开的旋转样品台，其包括公转台1，公转台1在第一驱动装置的驱动下绕公转轴线旋转，与公转轴线分别相距相同距离设置的6个样品台2，样品台2通过固定于公转台1上的第一支撑件3支撑，并通过位于公转台1上的自转传动件4驱动自转，自转传动件4通过第二驱动装置驱动；样品台2具有用于承载工件的承载部21及与自转传动件4连接的连接部22，自转传动件4可轴向伸缩以推拉连接部22，并进而推拉样品台2相对第一支撑件3转动，从而调整承载部21的倾斜角度。

[0043] 本实施例的旋转样品台不仅能够使位于承载部21上的工件相对于材料源（材料源一般位于公转台1的斜上方或斜下方，可以是一个也可以是多个）进行公转、自转以及行星式公自转，还能够根据工件的不同形状，通过调整自转传动件4的轴向伸缩量来调整承载部21的倾斜角度，从而调整位于样品台2承载部21上工件的某一个或某些面正对材料源，使具有复杂表面的工件也能镀上厚度均匀的膜；本实施例提供的旋转样品台适应性广，能够适应各种复杂表面工件产品的镀膜需求，且镀膜厚度均匀性效果好。

[0044] 上述样品台2的具体个数可根据实际情况灵活设置，可以是1个、2个、3个、4个、5个、7个、8个、9个、10个或更多个；样品台2与公转轴线相距的距离可以相同也可以不同，可以根据需要灵活设置。

[0045] 如图3所示，上述自转传动件4包括可轴向伸缩连接的第一自转传动段41和第二自转传动段42，所述第一自转传动段41通过第一联动结构与所述第二驱动装置传动连接，所述第二自转传动段42通过万向节43与所述连接部22固定连接。

[0046] 具体地，第一自转传动段41上设有空腔，第二自转传动段42上设有柱体45，柱体45可插接进入上述空腔内，并能够沿柱体45轴向在空腔内来回移动，在空腔侧壁上设有用于将柱体45定位固定在空腔内部的定位结构。当需要调整自转传动件4的轴向伸缩量时，调节柱体45从空腔内向外抽出以增大自转传动件4的轴向长度，调节柱体45向空腔内部插入以缩短自转传动件4的轴向长度，调节完毕后，使用定位结构将柱体45固定在空腔内部。

[0047] 作为一种变形，上述空腔也可以设在第二自转传动段41上，柱体45设在第一自转传动段42上，同样能够实现发明目的。另外，空腔和柱体45的形式也可以有变化，如将空腔设置成位于第一自转传动段41上的凹槽，将柱体45设置成位于第二自转传动段42上且可插入上述凹槽的凸块，凸块可以完全插入凹槽内，也可以部分插入凹槽内，只要能够实现上述调节自转传动件4轴向伸缩量的目的，均可以采用。

[0048] 如图5所示，上述定位结构包括设在所述空腔侧壁上的定位螺纹通孔，以及螺接在定位螺纹通孔上并伸入空腔内部挤压所述柱体45，从而将柱体45定位固定在空腔内部的定位螺栓44。

[0049] 作为一种改进，可以设置柱体45为多边形柱体，设置空腔为可与柱体45配合插接的多边形空腔。多边形柱体和多边形空腔配合插接后，多边形柱体不容易在多边形空腔内部发生转动滑脱，因而当第二驱动装置通过第一联动结构驱动第一自转传动件41转动时，第一自转传动件41的转动更好的传递到第二自转传动件42，并使第二自转传动件42通过万向节43更好的驱动样品台2自转。

[0050] 如图2、图5和图6所示，自转传动件4通过第二支撑件固定在公转台1上；第二支撑件包括通过轴承可转动套设在第一自转传动段41上的固定套46，设在固定套46下侧的立柱47，立柱47插接于公转台1上，并通过分别从公转台1上方和下方与立柱47螺纹连接的上固定螺母48和下固定螺母49固定于公转台1上。作为一种变形，固定套46也可以套设在第二自转传动段42上，同样可以实现发明目的。

[0051] 如图2和图4所示，上述第二驱动装置包括轴线与公转轴线重合的自转传动轴51，和驱动自转传动轴51绕上述公转轴线旋转的自转电机52；第一联动结构包括设在自转传动轴51上的第一伞齿轮511和设在第一自转传动段41的一端上且能够与第一伞齿轮511啮合传动的第二伞齿轮411。

[0052] 如图2、图3、图5和图6所示，上述第一支撑件3包括通过轴承可转动套设在所述样品台2外部的壳体31，与公转台1固定连接的支撑柱32，以及将壳体31可转动的固定在支撑柱32上的转动连接件；自转传动件4轴向伸缩时，能够推拉样品台2绕转动连接件转动。

[0053] 上述转动连接件包括设在支撑柱32上的转轴孔332，以及与上述转轴孔332相对设在壳体31上、且能够配合转动连接转轴331。作为一种变形，也可以在支撑住32上设置转轴331，在壳体31上设置能够与转轴31配合转动连接的转轴孔332，通过能够实现目的。

[0054] 作为一种改进，上述支撑柱32上设有U形固定件33，转轴孔332设在U形固定件33的两相对侧壁上。在支撑柱32上设置U形固定件33，并将转轴331或转轴孔332设在U形固定件33的两相对侧壁上，能够从壳体31的两侧将壳体31可转动的固定住，在自转传动件4推动样品台2绕转动连接件转动时，壳体31的转动更稳定，不易发生摇摆晃动，转动角度调节更精确。

[0055] 本实施例中转动连接件的设置方式，使得样品台2的承载部21相对于水平方向的倾斜角度可在20-70°范围内自由调节。

[0056] 如图4和图5所示，还包括用于调节第一支撑件3相对公转轴线的距离长短，并进而调节样品台2相对公转轴线的距离长短的调整结构。上述调整结构包括沿公转台1径向开设在公转台1上、且适于支撑柱32穿过的长条形通孔34，和将支撑柱32固定在长条形通孔34内的可调固定件。需要调整样品台2相对公转轴线的距离时，调松上述可调固定件，在长条通孔34内沿公转台1径向移动支撑柱32，至目标距离时，重新调紧上述可调固定件，即可实现样品台2相对公转轴线距离长短的调节；而且在公转台1上开设长条形通孔34还能够起到减轻公转台重量的作用。

[0057] 上述可调固定件包括分别从公转台1上方和下方与支撑柱32螺纹连接的上螺母341和下螺母342。将上螺母341和下螺母342之间的距离调远，即能将可调固定件调松，此时可以沿公转台1径向在长条形通孔34内移动支撑柱32，至目标位置时，将上螺母341和下螺母342之间的距离调近，挤紧公转台1，即可将可调固定件调紧，重新将支撑柱32固定在长条形通孔34内。上螺母341和下螺母342的设置还能够调整样品台2相对公转台1的高度，在位于样品台2承载部21上工件的尺寸较大时，可调整样品台2与公转台1具有较低高度，在位于样品台2承载部21上工件的尺寸较小时，可调整样品台2与公转台1具有较高高度，使工件与材料源的距离适中，便于在工件上镀上厚度均匀的膜。

[0058] 如图2和图4所示，上述第一驱动装置包括公转电机6，被公转电机6驱动旋转的公转主动齿轮61，与公转主动齿轮61啮合连接的公转从动齿轮62，公转从动齿轮62通过高度调节件与公转台1固定连接并驱动公转台1绕公转轴线旋转。

[0059] 上述高度调节件包括若干固定在公转从动齿轮62上的固定柱63，与固定柱63相对设在公转台1上、且能够允许固定柱63插入的固定通孔11，以及可拆卸连接于固定柱63上并从公转台1下部将公转台1托住的卡箍64。通过调整卡箍64固定在固定柱63上的位置，即可调整公转台1的高度，且结构简单，易于实现。

[0060] 另外，如图1所示，本实施例的旋转样品台还设有光电开关7，方便对正样品台2与材料源的位置；公转台1上开设有若干减重孔8，作用在于减轻公转台1的重量，使驱动公转台1转动更加灵敏。

[0061] 使用本实施例中旋转样品台实现样品台2公转的过程如下：关闭自转电机52，启动公转电机6，公转电机6驱动公转主动齿轮61转动，公转主动齿轮61通过啮合驱动公转从动齿轮62转动，公转从动齿轮62通过固定柱63驱动公转台1转动，由于样品台2通过第一支撑件3固定在公转台1上，因而能够实现样品台2的公转。

[0062] 使用本实施例中旋转样品台实现样品台2自转的过程如下：关闭公转电机6，启动自转电机52，自转电机52驱动自转传动轴51转动，自转传动轴51通过第一伞齿轮511与设在自转传动件4上的第二伞齿轮411啮合，驱动自转传动件4转动，自转传动件4通过万向节驱动样品台2自转，因样品台2通过第一支撑件3固定在公转台1上，且第一支撑件3具有供样品台2自转的壳体31，因而能够实现样品台2的自转。

[0063] 使用本实施例中旋转样品台实现样品台2行星式公自转的过程如下：同时启动公转电机6和自转电机52，公转过程和自转过程同时启动，由于公转过程和自转过程与上述样品台2公转的过程和自转过程一致，在此不再赘述。

[0064] 使用本实施例中旋转样品台调节样品台2倾斜角度的过程如下：将定位螺栓44调松，将设在第二自转传动段42上的柱体45向着远离第一自转传动段41的方向在空腔内移动，第二自转传动段42通过万向节43推动位于壳体31内的样品台2，以转轴331为转动轴线向上倾斜，当调整样品台2至目标倾斜角度后，将定位螺栓44调紧，将柱体45固定在空腔内部，完成样品台2向上倾斜角度的调节过程；当需要调节样品台2向下倾斜时，可将设在第二自转传动段42上的柱体45向着靠近第一自转传动段41的方向在空腔内移动，使第二自转传动段42通过万向节43拉动样品台2以转轴331为转动轴线向下倾斜，完成样品台2向下倾斜角度的调节过程。

[0065] 使用本实施例中旋转样品台调整样品台2相对公转轴线距离的过程如下：将螺接在支撑柱32上的上螺母341和下螺母342之间的距离调远，沿公转台1径向在长条形通孔34内移动支撑柱32，至目标位置时，将上螺母341和下螺母342之间的距离调近，挤紧公转台1，重新将支撑柱32固定在长条形通孔34内，完成样品台2相对公转轴线距离的调整。

[0066] 使用本实施例中旋转样品台调整样品台2相对公转台1高度的过程如下：将螺接在支撑柱32上的上螺母341和下螺母342，沿支撑柱32轴向同时向上调整，即可缩短样品台2和公转台1之间的高度距离；将螺接在支撑柱32上的上螺母341和下螺母342，沿支撑柱32轴向同时向下调整，即可增加样品台2和公转台1之间的高度距离。

[0067] 使用本实施例中旋转样品台调整公转台1高度的过程如下：通过调整固定在固定柱63上卡箍64的位置，即可调整公转台1的高度。

[0068] 显然，上述实施例仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。