用于分离两个基板的设备

摘要

本发明涉及用于在分离界面处分离由两个基板形成的结构的设备，该设备包括：支持部(1)；结构保持构件(2)，其安装在支持部(1)上；工具(3)，其用于分离两个基板，也安装在支持部(1)上，装置(4)，其用于移动分离工具(3)；和/或装置(5)其用于相对于支持部(1)移动保持构件(2)以使得分离工具(3)和保持构件(2)向彼此移动或远离彼此，优选的，分离工具(3)和保持构件(2)在有限的行进范围内移动。该设备的特征在于分离工具(3)包括前沿(30)，该前沿(30)在横截面上从其梢部顶部或其前边缘(323)向后具有延伸到展开部(33)中的锥形部(32)。本发明适用于可以用于电子设备，光学设备，光电设备和/或光伏设备的基板。

权利要求

1.一种用于在“分离的”界面处分离两个基板的设备，这两个基板中的至少一个意在使用在电子设备、光学设备、光电设备和/或光伏设备中，这两个基板共同形成一种结构，该设备包括：-固定器(1)；

-保持构件(2，2＇)，该保持构件(2，2＇)用于保持所述结构，所述构件安装在所述固定器(1)上；

-分离工具(3，3＇，3″，3″＇)，该分离工具(3，3＇，3″，3″＇)用于分离所述两个基板，也安装在所述固定器(1)上；和-第一装置(4)和/或第二装置(5)，该第一装置(4)用于移动所述分离工具(3，3＇，3″，

3″＇)，该第二装置(5)用于移动所述保持构件(2，2＇)，所述第一装置(4)和所述第二装置(5)使所述分离工具(3，3＇，3″，3″＇)和/或所述保持构件(2，2＇)能够相对于所述固定器(1)移动，以使所述分离工具(3，3＇，3″，3″＇)和/或所述保持构件(2，2＇)更加靠近在一起或移动所述分离工具(3，3＇，3″，3″＇)和/或所述保持构件(2，2＇)使其进一步远离彼此，所述分离工具(3，3＇，3″，3″＇)和/或所述保持构件(2，2＇)在有限的行进范围内移动，该用于在“分离的”所述界面处分离所述两个基板的设备的特征在于，所述分离工具(3，3＇，3″，3″＇)包括前沿(30，30＇，30″，30″＇)，该前沿(30，30＇，30″，30″＇)在横截面中连续从其梢部(320＇，320″)或其前边缘(323，303″)至其后部具有由展开部(33，33＇，33″，33″＇)延伸的锥形部(32，32＇，32″，32″＇)，其中，所述分离工具(3，3＇)的所述锥形部(32，32＇)具有等腰三角形横截面，所述锥形部的梢部处的角(α)小于30°，并且所述展开部(33，33＇)具有等腰梯形横截面，所述展开部的梢部处的角(β)大于30°，并且，所述分离工具(3，3＇，3″，3″＇)具有穿过其梢部(320＇，

320″＇)或其前边缘(323，303″)的纵向的垂直对称面(P1，P2，P3，P4)。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述锥形部(32，32＇)的等腰三角形的高度(H1)包括在2mm至20mm之间，所述展开部(33，33＇)的等腰梯形的高度(H2)包括在10mm至

100mm之间，并且，所述展开部(33，33＇)的梯形底部齐平处测得的所述分离工具(3，3＇)的厚度(e)大于所述锥形部(32，32＇)的梢部处的角(α)的一半的正切值与所述锥形部(32，32＇)的梢部处的高度(H1)的乘积的两倍。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述分离工具(3，3″)的前沿(30，30″)是细长的直线元件。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述分离工具(3，3＇，3″，3″＇)由具有低摩擦系数的材料制成，或由覆盖有润滑剂的材料制成。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述保持构件(2，2＇)包括垂直保持槽(21，

21＇)，所述垂直保持槽(21，21＇)为圆拱形，垂直保持槽(21，21＇)包括底部(210，210＇)和两个侧壁(211，211＇；212，212＇)，该两个侧壁(211，211＇；212，212＇)朝上并且朝向外部倾斜，并且使得在所述两个侧壁(211，211＇；212，212＇)之间的角(α)大于或等于8°，该槽允许所述结构或所述两个基板保持在垂直或基本垂直的位置，并且所述第一装置(4)和/或所述第二装置(5)确保所述分离工具(3，3＇，3″，3″＇)和/或保持构件(2，2＇)在垂直平面内移动。

6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于：

-所述保持槽(21，21＇)具有穿过其底部(210，210＇)的纵向的垂直对称面(P5，P6)；

和

-所述保持构件(2，2＇)和所述分离工具(3，3＇，3″，3″＇)安装在所述固定器(1)上，使得所述分离工具(3，3＇，3″，3″＇)位于所述保持构件(2，2＇)上方，并且使得所述保持构件(2，

2＇)和所述分离工具(3，3＇，3″，3″＇)的相应的垂直对称面(P1，P2，P3，P4，P5，P6)是一致的。

7.根据权利要求5或6所述的设备，其特征在于，所述保持构件(2，2＇)具有底部(210，

210＇)，该底部(210，210＇)的宽度(l1，l2)包括在1.5mm至4mm之间和/或该底部(210，210＇)的深度(H4，H5)至少是10mm。

8.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述保持构件(2，2＇)的底部(210，210＇)装备有垂直凸出的中心架(213)。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述架(213)具有包括在50μm至600μm之间的高度(H6)和包括在50μm至300μm之间的宽度(l3)。

10.根据权利要求8或9所述的设备，其特征在于，所述架(213)被安装以使得能够在容纳在所述槽(21，21＇)底部内的空隙(215)内的弹簧(214)上垂直移动。

11.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述分离工具(3，3＇，3″，3″＇)在其中心部分装备有连接至用于提供促进分离的液体的源的喷嘴(6)。

说明书

用于分离两个基板的设备

技术领域

[0001] 本发明涉及一种用于在“分离”的界面处分离两个基板的设备，这两个基本当中的至少一个意在用于电子设备、光学设备、光电设备和/或光伏设备中，这两个基板共同形成了一种结构。

背景技术

[0002] 该机械分离可以沿各种类型的分离界面而被执行。

[0003] 第一种类型的分离界面是键合界面，例如，直接键合(也称为分子键合)界面。

[0004] 表达“直接键合”被理解为表示经由涉及粘附力的两个表面之间的紧密接触的键合，主要是Van Der Waals力，而不是使用任何结合层。

[0005] 能够沿键合界面被分离的结构，例如，直接键合界面，作为“可解键合(debondable)”结构对本领域的技术人员是已知的。

[0006] 然而，在不希望受到限制的情况下，可行的是，陈述这种类型的可解键合结构主要可以用在四种不同的应用中：

[0007] a)机械加固件的键合：可以期望的是，将机械加固件键合至基板或易碎薄层，以防止基板或易碎薄层在特定的制造步骤期间损坏或破碎，随后当机械加固件的存在不再必要时能够移除该机械加固件；

[0008] b)不良键合的修整：解键合允许没有正确键合的两个基板被解键合，随后在清洁之后再次键合，以改善制造工艺的有效性，并且防止例如不良键合的基板被废弃；

[0009] c)临时保护：在存储或运输基板的某些步骤中，特别是在由塑料制成的箱子中，临时保护基板的表面是有用的，特别是基板意在随后用于电子部件的制造，以防止污染的任意风险。简单的解决方案在于键合两个基板，使得要保护的基板的侧面分别彼此键合，随后当使用这些基板时，解键合这两个基板；以及

[0010] d)层的重复转移：其在于在有源层与第一载体基板(可选择地由昂贵的材料制成)之间产生可逆键合界面，随后通过将所述可逆键合界面解键合来将该有源层转移至第二最终基板。

[0011] 第二种类型的分离界面是被称为“弱化”界面，例如，其分派通过注入原子种类获得的区域。经由该界面的分离用于将层从第一基板转移至第二基板的工艺，一个示例是已知的商标名为 的工艺。

[0012] 弱化界面还可以是多孔区域。

[0013] 第三种类型的分离界面是第一材料与第二材料之间的界面，其已经通过使用沉积技术添加第二材料至第一材料连接至彼此，例如CVD或外延沉积技术。

[0014] 无论观面对哪种应用，都必须在不损坏、不刮伤或不污染位于分离界面任意侧的两个基板的表面且不损毁这两个基板的情况下执行该分离。取决于所讨论的应用，这两个“要被分离的基板”可以是给定的基板的两层或两个分离基板。

[0015] 此外，要分离的结构的两个基板的尺寸越大或它们的分离能量越高(即，分离它们所需要的能量)，分离它们就越难，尤其是在不损坏的情况下。

[0016] 此外众所周知的是，从Maszara关于分离两个基板需要的能量的主题的研究工作可知，通过在两个基板之间与其键合界面的齐平处插入薄叶片测量这两个基板之间的键合能量是可行的(参见W.PMaszara，G.Goetz，A.Caviglia and J.B.McKitterick：J.Appl Phys.64(1988)4943的文章)。

[0017] 关于这个主题，读者可以参考附图1，其示意性地示出了两个基板之间厚度d的薄叶片的插入，这具有在两个基板之间在长度L上产生间隙的效果。

[0018] Maszara建立了下面的关系：

[0019]

[0020] 其中d代表在两个键合基板之间插入的叶片的厚度，t代表两个键合基板中的每个的厚度，E代表沿解键合的轴的杨氏模量(Young’s modulus)，γ代表键合能量，并且L代表两个基板均衡状态下的间隙长度。

[0021] 在上面的方程中，假定两个基板的尺寸一致。

[0022] 依靠上述关系，通过测量L来确定键合能量γ是可行的。

[0023] 然而，值得注意的是，在该文章中，感应的叶片键合不用做目标本身，而简单地用于测量键合能量。因此使用的叶片是薄的(厚度在0.05mm至0.5mm之间)，并且有刮伤两个基板的键合侧的风险。这在Maszara的试验中不是重要的，因为其目标是测量键合能量。然而，当希望再次使用基板时该技术是不可用的。

[0024] 在要被分离的基板或层足够坚硬而用叶片分离的情况下，通过在削边使基板或层彼此足够分离来分离它们是可行的，这具有产生分离波(separating wave)的效果。分离波从最初开始分离的基板边沿的点朝向这些基板的其余区域传播。

[0025] 然而，将注意的是，尽管叶片插在两个基板的削边之间，但实际上真实的分离发生在键合能量最低的分离界面处，即造成分离所需的能量最低的位置。

[0026] 用于劈开包括两个晶片的结构的设备在文献US7406994中是已知的，两个晶片经由键合界面键合至彼此，并且其中一个包括弱化的区域。

[0027] 这种劈开设备包括框架、劈开叶片和静止定位元件，框架包括两个静止的部件和可移动的中心部，劈开叶片在键合界面的平面中能够平移移动，静止定位元件设置在框架上并与叶片相对。要被割开的结构水平放置在框架上，并且通过所述定位元件保持在其边缘的部分上。

[0028] 一旦叶片已经足够推进至插入到存在于两片晶片之间键合界面处的槽，框架的可移动的中心部被撤回，使得两片晶片能够彼此分离。分离沿着弱化区域发生。

[0029] 该设备有以下的缺点，一旦两片晶片已经分离，它们得不到支撑，并且有损坏或再次彼此键合的风险。

[0030] 使用的劈开叶片呈凹的圆拱形，其前沿具有固定角(即，其具有一个边和两个斜面)的三角形横截面。

[0031] 此外，该文献的第7栏，第22和23行，以及第6栏，第23和24行，叶片的厚度是几毫米，并且优选为大约5mm。

[0032] 然而，该文献没有提供关于分离具有大直径或大键合能量(例如至少1J/m2，甚至1.5J/m2)的基板的可行性的教导。该薄叶片不允许这么做，是因为其不允许基板充分分离。

[0033] 此外，用该叶片刮伤表面的风险是不可忽略的。

[0034] 此外，叶片的前沿的角是大的(显示的大约为60°)。因此，当该叶片插入要分离的两个基板相应的削边的齐平处时，施加在两个基板上的合力主要沿着平行于键合界面的方向，而并非垂直于后者。因此难于将两个基板彼此分离。

[0035] 本发明的目的是解决现有技术的上述缺点，尤其是提供一种设备，使得在不刮伤、不污染不破坏或不意外的再次键合通过分离界面彼此连接的两个基板(或两层)的情况下，分离两个基板(或两层)成为可能(即使这些基板是大尺寸的，甚至可能大到直径为300mm)，或者即使它们在界面处的键合能量是高的(例如至少1J/m2)。

[0036] 出于这个目的，本发明涉及用于在“分离”的界面处分离两个基板的设备，这两个基板中的至少一个用于电子设备，光学设备，光电设备和/或光伏设备，这两个基板共同构成一结构，该设备包括：

[0037] -固定器；

[0038] -构件，该构件用于保持所述结构，所述构件安装在所述固定器上；

[0039] -工具，该工具用于分离所述两个基板，也安装在所述固定器上；和

[0040] -用于移动所述分离工具的装置，用于移动所述保持构件的装置，这些移动装置使工具和/或构件能够相对于所述固定器移动，以使工具和/或构件更加靠近在一起或移动工具和/或构件使其进一步远离彼此，优选的，工具和/或构件在有限的行进范围内移动。

[0041] 根据本发明，该设备的特征在于，所述分离工具包括前沿，该前沿在横截面中连续从其梢部或其前边缘至其后部具有由展开部延伸的锥形部。

[0042] 在说明书剩余部分和权利要求中，术语“基板”涵盖单层或多层基板。

[0043] 根据本发明的其它有益的和非限制性的特征，单独或组合使用：

[0044] -所述分离工具的所述锥形部具有等腰三角形横截面，所述锥形部的梢部处的角α小于30°，并且所述展开部具有等腰梯形横截面，所述展开部的梢部处的角β大于30°；

[0045] -所述锥形部的等腰三角形的高度包括在2mm至20mm之间，所述展开部的等腰梯形的高度包括在10mm至100mm之间，并且，所述展开部的梯形底部齐平处测得的所述分离工具的厚度大于所述锥形部的梢部处的角α的一半的正切值与所述锥形部(32，32′)的梢部处的高度的乘积的两倍；

[0046] -所述分离工具具有前沿，该前沿的横截面由两个侧边作为边界，每个侧边是凹形形状；

[0047] -所述两个侧边的凹形形状遵循半抛物线轮廓；

[0048] -所述分离工具的前沿是细长的直线元件；

[0049] -所述分离工具由诸如聚四氟乙烯的具有低摩擦系数的材料制成，或由覆盖有润滑剂的材料制成；

[0050] -所述保持构件包括垂直保持槽，所述垂直保持槽优选地为圆拱形，垂直保持槽包括底部和两个侧壁，该两个侧壁朝上并且朝向外部倾斜，并且使得在所述两个侧壁之间的角α大于或等于8°，该槽允许所述结构或所述两个基板保持在垂直或基本垂直的位置，并且所述移动装置确保所述分离工具和/或保持构件在垂直平面内移动；

[0051] -所述保持槽具有穿过其底部的纵向的垂直对称面；

[0052] -所述分离工具具有穿过其梢部或其前边缘的纵向的垂直对称面；

[0053] -所述保持构件和所述分离工具安装在所述固定器上，使得所述分离工具位于所述保持构件上方，并且使得所述保持构件和所述分离工具的相应的垂直对称面是一致的；

[0054] -所述保持构件具有底部，该底部的宽度包括在大约1.5mm至4mm之间和/或该底部的深度至少是10mm；

[0055] -所述保持构件的底部装备有垂直凸出的中心架；

[0056] -所述架具有包括在50μm至600μm之间的高度和包括在50μm至300μm之间的宽度；

[0057] -所述架被安装以使得能够在容纳在所述槽底部内的空隙内的弹簧上垂直移动；

[0058] -所述分离工具在其中心部分装备有连接至用于提供诸如去离子的水的促进分离的液体的源的喷嘴。

附图说明

[0059] 本发明的其它特征和有益效果从将要给出的说明书中是显而易见的，参考附图，其通过非限制性标明的方式示出了其中的一个可行的实施方式。

[0060] 在这些附图中：

[0061] -图1是示出由Mazara使用来确定两个基板之间键合能量的方法的示意图；

[0062] -图2和4是根据本发明的设备的分离工具的两个实施方式的示意性横截面视图，而且两个基板在图2中已经示意性地示出；

[0063] -图3和图5是分离工具的两个另外的实施方式的透视图；

[0064] -图6和7是通过根据本发明的分离设备的保持构件的两个变形实施方式示出其垂直横截面的示意图；和

[0065] -图8和9分别是根据本发明的分离设备的一个实施方式的正视图和侧视图。

具体实施方式

[0066] 现将参考图8和9来描述用于分离两个基板的根据本发明的设备的一个可行的实施方式。

[0067] 概括地，该设备包括固定器1，用于保持要分离的结构的构件2，分离工具3，和用于分别移动分离工具3和保持构件2相对于所述固定器1的装置4和5。

[0068] 然而，将注意的是，设备可以仅包括两个移动装置4或5当中的一个。

[0069] 固定器1是平面的矩形板。固定器1可以具有允许构件2和工具3如在下文中描述的安装和操作的其它形状。

[0070] 如图8和图9中所示，分离设备意在容纳垂直设置的要被分离的结构，并且分离设备允许在垂直平面内执行分离。因此，在说明书的其余部分和权利要求中，固定器1的板垂直安装，术语“垂直”，“水平”，“上方”，“下方”，“顶部”和“底部”是相对于图8和图9中示出的分离设备的位置来进行考虑的。

[0071] 然而，该分离设备可以水平使用。

[0072] 现将参考图3来描述分离工具3的第一实施方式。

[0073] 分离工具3包括由后部31延伸的前部30或“前沿”。

[0074] 优选的，后部31具有平行六面体形状，并且用于紧固至固定器1。

[0075] 前沿30本身包括，从前至后连续地(即，图3中由右至左)，锥形部32和展开部33。

[0076] 锥形部32具有其底部是等腰三角形的三棱柱形状。两个等腰三角形的端面被标记为321，而位于两个等腰三角形321的相同长度的侧面延长部的两个纵向矩形面被标记为322。棱柱的自由边缘或前边缘，位于两个面322的连接部处，具有给定的附图标记323。

[0077] 两个横向面322之间的角α(下文标明为“梢部处的角”)小于30°，并且优选的等于10°。

[0078] 有益地，端面321的高度H1包括在2mm至20mm之间，并且优选的等于10mm。

[0079] 展开部33具有六面体形状，其两个端面331是等腰梯形形状。位于两个等腰梯形331的相同长度的侧面延长部的两个纵向矩形面被标记为332。

[0080] 两个纵向面332之间的角β大于30°，并且优选的等于60°。

[0081] 有益地，端面331的高度H2包括在10mm至100mm之间，并且优选的等于50mm。

[0082] 最后，有益地，梯形面331的底部齐平处测得的分离工具3的厚度e大于锥形部32的梢部处角α的一半的正切值(tangent)与相同部分的高度H1的乘积的两倍，并且优选地等于50mm。

[0083] 此外，将注意的是，前沿30具有包括前边缘323的纵向对称面P1。

[0084] 前沿30具有细长的直线元件(rectilinear element)的一般形状。

[0085] 现将参考图2来描述分离工具(标记为3′)的变化实施方式。

[0086] 分离工具3′与上述的工具3的区别在于：其前沿30′的锥形部32′在梢部处(梢部标记为320′)具有角α的锥形形状，并且其中，展开部33′具有角β圆锥台形状。后部31′优选为圆柱形。

[0087] 其它尺寸保持一致。

[0088] 分离工具3′具有多个穿过其回转轴X-X′的对称面。在图2中仅示出一个面，标记为P2。

[0089] 工具3和3′的前沿的外壁的倾斜度因此突变。

[0090] 现将参考图5描述分离工具(标记为3″)的第二实施方式。

[0091] 分离工具3″不同于工具3，其中，其前沿30″具有一般的棱柱形状，其底部具有等腰三角形形状，但其两个相等的侧边是凹形的。后部31″优选的具有平行六面体形状。

[0092] 两个端面标记为301″，两个凹面标记为302″，并且连接两个凹面302″的边标记为303″。

[0093] 同样优选地，每个面302″具有半抛物线的轮廓，抛物线的顶端位于与后部31″的相交部的齐平处。

[0094] 前沿30″因此也具有锥形部32″和展开部33″，但其倾斜度没有突变。此外，前沿30″具有细长的直线元件的一般形状。

[0095] 面301″的高度H3优选的包括在10mm至120mm之间，甚至更优选地等于60mm。面301″的厚度e1优选地大于1mm，更优选地包括在1mm至65mm之间，或甚至更优选地等于50mm。

[0096] 最后，前沿30″具有包括前边缘303″的纵向对称面P3。

[0097] 面302″的凹形形状(并且后者的半抛物线形状更是如此)是特别有益的，因为其使分离工具的推进与分离要分离的结构的两个基板的分离波的推进成正比成为可能。

[0098] 特别地，已知的，两个基板之间的分离波的长度L与两个基板被分开的距离的平方根成正比。

[0099] 在下文中参考图4描述分离工具的变形实施方式标记为3″′。

[0100] 工具3″′不同于工具3″，其中工具3″′的前沿30″′由锥形部32″′和展开部33″′组成，具有圆锥的形状，其外壁是凹形的，并且优选的为抛物线形。后部31″′优选为圆柱形。圆锥的梢部标记为320″′。

[0101] 穿过其回转轴X1-X′1的其对称面P4中的一个已经在图4中示出。

[0102] 分离工具3，3′，3″，3″′或至少其前沿30，30′，30″，30″′优选的由具有低摩擦系数的材料制成，例如聚四氟乙烯(PTFE：polytetrafluoroethylene)，或由涂覆有润滑剂的材料制成。

[0103] 现将参考图6、图8和图9描述保持构件2的第一实施方式。

[0104] 用于保持要分离的结构的构件2具有平行六面体的一般形状，其上纵面20弯曲为圆弧，优选的大约为70°。从上文可以看出，该保持构件因此具有其凹度朝上的凹形形状。

[0105] 上面20在其整个长度上包括朝上打开的纵向槽21。

[0106] 如在图6中更加详细清晰地示出的那样，该槽21具有由两个倾斜壁211和212作为边界的底部210。

[0107] 该倾斜侧壁211和212形成两者之间的角γ，该角优选的大于或等于8°。

[0108] 底部210的宽度11优选的包括在1.5mm至4mm之间。小于1.5mm的话，在其间插入由两个基板构成的结构是困难的(如通常在市面上可以找到的那些)。

[0109] 此外，槽21的高度H4优选的至少为10mm，以便正确的保持结构的边缘，其直径可以差不多为300mm。

[0110] 此外，槽21具有沿底部210的垂直纵向对称面P5。

[0111] 现将参考图7描述保持构件的变形实施方式。

[0112] 保持构件被标记为2′。其仅在其槽21′的形状上与保持构件2不同。

[0113] 保持构件2′具有底部210′，两个纵向侧壁211′、212′作为边界，其向上并且朝向外部倾斜，并且两个纵向侧壁211′、212′形成两者之间的角γ，该角γ优选的大于或等于8°。底部210′遵循上面20′的圆拱形轮廓。

[0114] 优选地，底部210′的宽度12包括在1.5mm至4mm之间，并且其高度H5至少是10mm。

[0115] 此外，且与之前的实施方式相反，底部210′装备有中心架213，该中心架213有益地在垂直横截面上具有呈其梢部216朝上的等腰三角形形状。优选地，架的高度H6包括在50μm至600μm之间，并且其宽度13包括在50μm至300μm之间。将注意的是，出于该原因，架213以比槽21′的架的比例更大的比例示出。

[0116] 该架在纵向垂直横截面上具有遵循保持构件2′的上面20′的轮廓的圆弧部分的形状。

[0117] 有益地，架213安装在容纳在位于底部210′内的孔隙215内的弹簧214上。

[0118] 弹簧214永久趋向于向上推开架213。

[0119] 最后，槽21′具有标记为P6的纵向垂直对称面。

[0120] 如在图8和图9中所看到的，分离工具3和保持构件2安装在固定器1上，使得工具3在构件2上方，并且使得其相应的对称面P1和P5是一致的，并且垂直定向。如果保持构件2被对称面P6的保持构件2′所取代和/或如果分离工具3被相应对称面P2、P3、P4的分离工具3′、3″或3″取代，则也同样如此。

[0121] 有益地，分离工具3、3′、3″、3″′装备有允许其相对于固定器1垂直移动的移动装置4，用来使其更加靠近或相反远离保持构件2、2′(优选的在有限的行进范围内)。

[0122] 在图8和图9示出的实施方式中，这些装置4是包括曲柄40的手动装置，该曲柄40的螺杆42在安全固定至固定器1的部件41中的垂直制造的有螺纹的纵向孔口内部移动。旋转曲柄40使分离工具3、3′、3″或3″′在垂直对称面P1、P2、P3或P4沿由轴Z-Z′和箭头F(参见图8)示出的方向移动。

[0123] 在设备的工业版本中，例如，这些装置4能够由液压缸组成。

[0124] 保持构件2、2′还可以装备有允许保持构件2、2′相对于固定器1垂直移动的移动装置5，以使保持构件2、2′更加靠近或相反进一步远离分离工具3、3′、3″、3″′(优选的，在有限的行程范围内)。该移动发生在垂直对称面P5或P6内，沿由轴Z-Z′和箭头G(参见图8)示出的方向。行进的范围限制在大约几厘米的范围内。

[0125] 这些装置5仅在图8和9中示意性地示出。这些装置5可以与移动装置4相同。

[0126] 最后，设备还有益地包括轴Z-Z′的喷嘴6，其设置在分离工具3、3′、3″或3″′内部，以齐平地打开前边缘323、303″或圆锥320′、320″′的梢部。

[0127] 该喷嘴6连接至用于提供促进基板分离的液体(例如去离子水)的源，该源未在图中示出。

[0128] 分离设备以如下的方式运行。

[0129] 包括两个基板的要分离的结构被插入至分离设备，使得其边沿的部分分别位于保持构件2的槽21内和保持构件2′的槽21′内。保持构件2，2′的圆拱形状紧密沿要分离的盘形结构的边缘的轮廓。

[0130] 临时的保持装置7(仅在图8中示意性地示出)允许要分离的结构在与平面P1、P2、P3、P4、P5和/或P6相一致的垂直平面内固定。以朝向内部或外部横向可移动(箭头H)的可伸缩指状物的的问题为例。

[0131] 一旦保持构件2、2′和分离工具3、3′、3″、3″′已经足够靠近彼此，则分离工具3′或3″′的前边缘323，303″或梢部320′，320″′分别与构成要分离结构的两个基板作为边界的腔接触，这些临时的保持装置7被撤回。

[0132] 保持构件2、2′和/或分离工具3，3′，3″，3″′的移动持续到分离工具，其刺入至两个基板之间，发挥锐角效应，并使所述结构沿分离界面如上所述地分离。

[0133] 依靠本发明的特征，并且尤其是依靠分离工具3、3′、3″、3″′的前沿的形状，分离过程得以改善。

[0134] 由于锥形部32、32′、32″、32″′刺入的距离对应于这两个基板分开的较小的量，所以锥形部32、32′、32″、32″′能够确保更好地控制工具在其插入两个基板之间的开始阶段的过程。此外，由所述锥形部施加在基板S(参见图2)的边缘上的合力J几乎垂直于两个基板的分离平面，由此改善了分离效果。

[0135] 展开部33、33′、33″、33″′因其部分使分离波传播以在分离期间强化“锐角”效应并且限制损伤位于分离界面任意一侧的基板的面的风险成为可能。具体地，一旦分离工具更加深入地刺入两个基板之间，两个基板仅由其边界部支撑在展开部的表面上，并且不再与锥形部32、32′、32″、32″′接触。

[0136] 此外，依靠分离设备的优选的垂直设置，与装备有倾斜侧壁211、211′和212、212′的槽21、21′的形状组合，要分离的结构在分离期间(除了工具3、3′、3″、3″′的动作以外)不承受任何外部应力。因此，一旦开始分离，两个基板可以在其自身重量的作用下自由地彼此分离，并且每个基板转而靠向倾斜壁211、211′和212、212′中的一个。这不同于在前述的文献US7406994中描述的现有技术装置的情形。

[0137] 因此，两个基板处于对于他们来说足够远离彼此不再意外接触的位置。

[0138] 当使用保持构件2′时，值得注意的是，架213趋向于被压入孔隙215中，抵抗弹簧214的力，并且处在结构的重量的作用下。一旦分离已经执行，架趋向于返回至其初始位置，其中该架还有防止两个先前被分离的基板再次彼此接触。

[0139] 最后，将注意的是，分离的有益效果，该效果依靠分离工具的形状获得，即使分离设备水平设置也可以获得获得该有益效果。

[0140] 一旦开始对两个基板的分离，则喷嘴6被用于注入分离液体，这促进了分离波的传播。