一种PUMP监测方法及装置

摘要

本发明公开了一种PUMP监测方法及装置，该PUMP监测方法包括：通过电流互感器检测获得PUMP的当前电流值；根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP当前运行状态的指示信息。通过上述技术方案，获得PUMP运行时的当前电流值，根据PUMP的当前电流值输出用于表征PUMP当前运行状态的指示信息，从而提示技术人员PUMP的当前运行状态，以便于技术人员尽早的发现PUMP的异常情况从而及时的进行修复，进而减少PUMP跳电的概率。

权利要求

1.一种PUMP监测方法，其特征在于，所述方法包括：通过电流互感器检测获得PUMP的当前电流值；

根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP当前运行状态的指示信息；

所述的输出用于表征所述PUMP当前运行状态的指示信息，具体包括：判断所述当前电流值是否大于一上限电流值，获得第一判断结果；

当所述第一判断结果表明所述当前电流值大于所述上限电流值时，输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息；

判断所述当前电流值是否大于零，获得第二判断结果；

当所述第二判断结果表明所述当前电流值不大于零时，输出用于表征所述PUMP跳电的第二指示信息；

当所述第二判断结果表明所述当前电流值大于零时，判断所述当前电流值是否小于下限电流值，获得第三判断结果；

当所述第三判断结果表明所述当前电流值小于所述下限电流值时，输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息之后，所述方法还包括：检测是否存在复位操作；

若存在所述复位操作，停止输出所述第一指示信息；

若不存在所述复位操作，持续输出所述第一指示信息。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息之后，所述方法还包括：检测是否存在复位操作；

若存在所述复位操作，停止输出所述第三指示信息；

若不存在所述复位操作，持续输出所述第三指示信息。

4.一种PUMP监测装置，其特征在于，所述装置包括：检测单元，用于通过电流互感器检测获得PUMP的当前电流值；

输出单元，用于根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP当前运行状态的指示信息；

所述输出单元包括：

第一判断子单元，用于判断所述当前电流值是否大于一上限电流值，获得第一判断结果；

第一输出子单元，用于当所述第一判断结果表明所述当前电流值大于所述上限电流值时，输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息；

第二判断子单元，用于判断所述当前电流值是否大于零，获得第二判断结果；

第二输出子单元，用于当所述第二判断结果表明所述当前电流值不大于零时，输出用于表征所述PUMP跳电的第二指示信息；

第三判断子单元，用于当所述第二判断结果表明所述当前电流值大于零时，判断所述当前电流值是否小于下限电流值，获得第三判断结果；

第三输出子单元，用于当所述第三判断结果表明所述当前电流值小于所述下限电流值时，输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述输出单元还用于：在所述输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息之后，检测是否存在复位操作；若存在所述复位操作，停止输出所述第一指示信息；若不存在所述复位操作，持续输出所述第一指示信息。

6.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述输出单元还用于：在所述输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息之后，检测是否存在复位操作；若存在所述复位操作，停止输出所述第三指示信息；若不存在所述复位操作，持续输出所述第三指示信息。

说明书

一种PUMP监测方法及装置

技术领域

[0001] 本发明涉及集成电路技术领域，特别涉及一种PUMP监测方法及装置。

背景技术

[0002] 在集成电路的制造中，LPCVD（Low Pressure Chemical Vapor Deposition，低压化学气相沉积）炉管广泛应用于当前国内集成电路生产线。LPCVD炉管中气体流量、温度、持续时间等条件将直接影响到产品的良率，尤其是LPCVD炉管中的低压环境，一旦低压环境遭到破坏将会导致产品的最终相关参数超出设计范围而报废。

[0003] 现有技术中，通常通过PUMP（泵）来制造并维持低压环境。在实际运行过程中，PUMP的老化、保养不佳等不确定因素影响，会导致PUMP在运行过程中存在异常，甚至跳电。而通常技术人员是无法发现PUMP的运行是否稳定。当发现PUMP已跳电的时候，产品只能返工或报废，设备人员需要花费大量的时间才能使机台恢复，从而导致人力物力浪费。

[0004] 可见，现有技术中存在无法监测PUMP运行状态的技术问题。

发明内容

[0005] 本发明实施例提供一种PUMP监测方法及电子设备，用于实现对PUMP运行状态的监测，减少PUMP跳电的概率。

[0006] 本申请实施例提供一种PUMP监测方法，所述方法包括：

[0007] 通过电流互感器检测获得PUMP的当前电流值；

[0008] 根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP当前运行状态的指示信息。

[0009] 可选的，所述根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP当前运行状态的指示信息，具体包括：

[0010] 判断所述当前电流值是否大于一上限电流值，获得第一判断结果；

[0011] 当所述第一判断结果表明所述当前电流值大于所述上限电流值时，输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息。

[0012] 可选的，在所述输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息之后，所述方法还包括：

[0013] 检测是否存在复位操作；

[0014] 若存在所述复位操作，停止输出所述第一指示信息；

[0015] 若不存在所述复位操作，持续输出所述第一指示信息。

[0016] 可选的，所述根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP当前运行状态的指示信息，具体包括：

[0017] 判断所述当前电流值是否大于零，获得第二判断结果；

[0018] 当所述第二判断结果表明所述当前电流值不大于零时，输出用于表征所述PUMP跳电的第二指示信息；

[0019] 当所述第二判断结果表明所述当前电流值大于零时，判断所述当前电流值是否小于下限电流值，获得第三判断结果；

[0020] 当所述第三判断结果表明所述当前电流值小于所述下限电流值时，输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息。

[0021] 可选的，在所述输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息之后，所述方法还包括：

[0022] 检测是否存在复位操作；

[0023] 若存在所述复位操作，停止输出所述第三指示信息；

[0024] 若不存在所述复位操作，持续输出所述第三指示信息。

[0025] 本申请实施例还提供一种PUMP监测装置，所述装置包括：

[0026] 输出单元，用于根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP当前运检测单元，用于通过电流互感器检测获得PUMP的当前电流值；

[0027] 行状态的指示信息。

[0028] 可选的，所述输出单元包括：

[0029] 第一判断子单元，用于判断所述当前电流值是否大于一上限电流值，获得第一判断结果；

[0030] 第一输出子单元，用于当所述第一判断结果表明所述当前电流值大于所述上限电流值时，输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息。

[0031] 可选的，所述输出单元还用于：

[0032] 在所述输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息之后，检测是否存在复位操作；若存在所述复位操作，停止输出所述第一指示信息；若不存在所述复位操作，持续输出所述第一指示信息。

[0033] 可选的，所述输出单元还包括：

[0034] 第二判断子单元，用于判断所述当前电流值是否大于零，获得第二判断结果；

[0035] 第二输出子单元，用于当所述第二判断结果表明所述当前电流值不大于零时，输出用于表征所述PUMP跳电的第二指示信息；

[0036] 第三判断子单元，用于当所述第二判断结果表明所述当前电流值大于零时，判断所述当前电流值是否小于下限电流值，获得第三判断结果；

[0037] 第三输出子单元，用于当所述第三判断结果表明所述当前电流值小于所述下限电流值时，输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息。

[0038] 可选的，所述输出单元还用于：

[0039] 在所述输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息之后，检测是否存在复位操作；若存在所述复位操作，停止输出所述第三指示信息；若不存在所述复位操作，持续输出所述第三指示信息。

[0040] 本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果：

[0041] 通过电流互感器检测获得PUMP运行时的当前电流值，根据PUMP的当前电流值输出用于表征PUMP当前运行状态的指示信息，从而提示技术人员PUMP的当前运行状态，以便于技术人员尽早的发现PUMP的异常情况从而及时的进行修复，进而减少PUMP跳电的概率。

附图说明

[0042] 图1为本申请实施例一提供的一种PUMP监测方法的流程示意图；

[0043] 图2为本申请实施例一提供的电流互感器监测电路示意图；

[0044] 图3为本申请实施例一提供的根据当前电流值输出指示信息的流程图；

[0045] 图4为本申请实施例一提供的PUMP指示信息输出的电路示意图；

[0046] 图5为本申请实施例一提供的指示信息输出的示例示意图；

[0047] 图6为本申请实施例二提供的一种装置的结构方框图。

具体实施方式

[0048] 在本申请实施例提供的技术方案中，通过电流互感器对PUMP运行时的电流值进行检测，并根据检测获得的电流值输出用于表征PUMP当前运行状态的指示信息，以帮助技术人员了解PUMP的运行状态并在其出现异常时进行修改，进而减少PUMP跳电的概率。

[0049] 下面结合附图对本申请实施例技术方案的主要实现原理、具体实施方式及其对应能够达到的有益效果进行详细的阐述。

[0050] 实施例一

[0051] 请参考图1，本申请实施例提供一种PUMP监测方法，该方法包括：

[0052] S101：通过电流互感器检测获得PUMP的当前电流值；

[0053] S102：根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP的当前运行状态的指示信息。

[0054] 在具体实施过程中，PUMP的电流大小是PUMP运行状况真实直观的反应，因此在PUMP运行时执行S101通过电流互感器检测获得PUMP的当前电流值。电流互感器能够在不接入PUMP电路的情况下，通过电磁感应原理检测获得PUMP运行时的当前电流值，避免检测电路对PUMP的运行造成不必要的影响。具体的，可以采用穿心式电流互感器来检测获得PUMP的当前电流值。请参考图2，将PUMP的线路穿过穿心式电流互感器，并将穿心式电流互感器的输入输出端接入一电流表，从而实现对PUMP的当前电流值的检测，其中，电流表可以选择1秒至少采集一次电流的四位双显示电流表，以更准确的检测获得PUMP的当前电流值。

[0055] 在S101检测获得PUMP的当前电流值时，进一步执行S102根据该当前电流值输出用于表征PUMP当前运行状态的指示信息。具体的，表征PUMP当前运行状态的指示信息可以是当前电流值；也可以是当前电流值对应的运行状态如运行异常、运行正常、运行不稳定等；还可以是当前电流值对应的声光指示信息，直接快速的提示技术人员PUMP当前的运行情况。

[0056] 在具体实施过程中，根据当前电流值输出指示信息具体可以对当前电流值大小进行判断。由于PUMP正常运行的过程中电流大小通常在一固定范围内，在PUMP运行异常时，当前电流值将出现过大或过小的波动，因此通过对当前电流值大小的判断来进一步确定PUMP的运行状态。请参考图3，下面对确定PUMP运行状态的过程进行分步说明：

[0057] S301：判断当前电流值是否大于一上限电流值，获得第一判断结果。第一判断结果具有两种情况：一、当前电流值不大于上限电流值，此时转至S303；二、当前电流值大于上限电流值，此时接着执行S302。

[0058] S302：第一判断结果表明当前电流值大于上限电流值时，输出用于表征当前电流值高于上限电流值的第一指示信息。具体的，第一指示信息包含声光信息，如黄色LED灯发出的黄光和蜂鸣器的报警声，能够直接快速的提醒技术人员PUMP运行异常当前电流值高于上限电流值。

[0059] S303：当前电流值不大于上限电流值，判断当前电流值是否大于零，获得第二判断结果。第二判断结果同样具有两种情况：一、当前电流值不大于零即为零，表明PUMP已经跳电，此时执行S304；二、当前电流值大于零，那么需要做进一步的判断，执行S305。

[0060] S304：第二判断结果表明当前电流值不大于零，输出用于表征所述PUMP跳电的第二指示信息。同样的，第二指示信息也可以包含声电信息，如红色LED等发出的红光和蜂鸣器的报警声，直接快速的提醒技术人员PUMP跳电。

[0061] S305：当第二判断表明当前电流值大于零时，判断当前电流值是否小于下限电流值，获得第三判断结果。在具体实施过程中，判断当前电流值是否小于下限电流值、判断当前电流值是否大于上限电流值及判断当前电流值是否大于零无先后之分，可以调换S301和S303的执行顺序。

[0062] 若第三判断结果表明当前电流值不小于下限电流值，即当前电流值处于下限电流值与上限电流值之间，表明PUMP的运行正常，此时输出用于表征PUMP运行正常的第四指示信息并继续对PUMP进行监测，其中第四指示信息具体为绿色LED灯发出的绿光；若第三判断结果表明当前电流值小于下限电流值，即当前电流值大于零但小于下限电流值，紧接着执行S306。

[0063] S306：当第三判断结果表明当前电流值小于下限电流值时，输出用于表征当前电流值低于下限电流值的第三指示信息。其中，第三指示信息也可以包含声光信息，如红色LED灯发出的红光和蜂鸣器发出的报警声，直接快速的提醒技术人员PUMP运行异常当前电流值低于下限电流值。需要说明的是，第二指示信息与第三指示信息可以相同也可以不相同，在第二指示信息与第三指示信息相同时，可以通过PUMP是否运转来判断PUMP是跳电还是电流偏低，在PUMP停止运转时表明PUMP跳电，在PUMP未停止运转表明PUMP只是电流偏低。

[0064] 在具体的实施过程中，为了确保PUMP运行的异常情况已经被技术人员发现，本申请在输出用于表征当前电流值高于上限电流值的第一指示信息之后，进一步检测是否存在复位操作；若存在复位操作，表明技术人员已按下复位按键已经知道异常情况，此时便停止输出所述第一指示信息；若不存在复位操作，表明技术人员还未获知PUMP的异常情况，那么持续输出第一指示信息，直到技术人员发现并按下复位按键为止。因此，PUMP运行异常某一时刻电流值大于上限电流值，紧接着下一时刻便恢复到了正常电流值，此时输出的指示信息则包含第一指示信息和第四指示信息，如黄色和绿色LED灯亮，同时蜂鸣器响。

[0065] 同样的，在输出用于表征当前电流值低于下限电流值的第三指示信息之后，也可以进一步检测是否存在复位操作；若存在复位操作，停止输出第三指示信息；若不存在复位操作，持续输出第三指示信息。因此，PUMP运行异常某一时刻电流值大于零小于下限电流值，紧接着下一时刻便恢复到了正常电流值，此时输出的指示信息则包含第三指示信息和第四指示信息，如红色和绿色LED灯亮，同时蜂鸣器响。而对于PUMP跳电的情况，则只有第二指示信息输出，如只有红色LED灯亮和蜂鸣器响，因此技术人员能够准确的判断出PUMP的运行状况是电流偏高、偏低或跳电，从而及时的进行修复或更换PUMP。

[0066] 下面结合图4和图5，举例说明指示信息的输出过程。首先通过电流互感器获得PUMP当前电流值；在显示单元上显示当前电流值，并判断当前电流值是否在下限电流值与上限电流值之间；若判断出当前电流值处于下限电流值与上限电流值之间时，电流表的输出GO的常开触点闭合，绿色指示灯L1亮，电流表的输出GO的常闭触点断开，蜂鸣器不响，PUMP运行正常。

[0067] 若判断出当前电流值不在下限电流值与上限电流值之间，且当前电流值大于上限电流值，电流表的输出触点HI闭合，继电器KM1的线圈得电，触点HI旁边的KM1的常开触点闭合并自锁该路即保持黄灯L2通路，黄灯L2亮，同时蜂鸣器上面的KM1的常开触点闭合，蜂鸣器响，绿灯L1灭，直至PUMP电流正常后，绿灯再次亮，但此时因继电器KM1自锁的关系，黄灯依然亮，同时蜂鸣器依然响，只有按下复位按钮，继电器KMI的常开触点断开后，黄灯才会灭，同时蜂鸣器停止发声。因此技术人员发现黄绿灯都亮且蜂鸣器响时，应对PUMP进行检查排除障碍；若发现黄灯亮、蜂鸣器响，但绿灯一直未亮，表明PUMP已超高电流运行需要更换PUMP。

[0068] 若判断出当前电流值不在下限电流值与上限电流值之间，且当前电流值大于零小于下限电流值，电流表的输出触点LO闭合，继电器KM2的线圈得电，触点LO旁边的KM2的常开触点闭合并自锁该路，红灯L3亮，同时蜂鸣器上面的KM2的常开触点闭合，蜂鸣器响，绿灯L1灭，直至PUMP电流正常后，绿灯再次亮，但此时因继电器KM2自锁的关系，红灯依然亮，同时蜂鸣器依然响。只有按下复位按钮，继电器KM2的常开触点断开后，红灯才会灭，蜂鸣器才会停止响。因此技术人员发现红绿灯都亮且蜂鸣器响时，应对PUMP进行检查排除障碍；若发现红灯亮、蜂鸣器响，但绿灯一直未亮，表明PUMP超低电流运行需要更换PUMP。

[0069] 若判断出当前电流值不在下限电流值与上限电流值之间，且当前电流值等于零，电流表的输出触点LO闭合，继电器KM2的线圈得电，LO旁边的KM2的常开触点闭合并自锁该路，红灯L3亮，同时蜂鸣器上面的KM2的触点闭合，蜂鸣器响，绿灯L1灭，且绿灯则不会再次亮。此时表明PUMP已跳电。

[0070] 按下复位按钮后，由于电流表的电源从PUMP电源的空开上引出的，当PUMP空开跳电后，因PUMP监控电路是独立电路，GO的常闭触点一直处于闭合，所以此时三种显示灯均不亮，但蜂鸣器一直响，表明PUMP的空开跳电，需要检查PUMP的主电路和控制电路。

[0071] 在上述实施例中，通过电流互感器检测获得PUMP运行时的当前电流值，根据PUMP的当前电流值输出用于表征PUMP当前运行状态的指示信息，从而提示技术人员PUMP的当前运行状态，以便于技术人员尽早的发现PUMP的异常情况从而及时的进行修复，进而减少PUMP跳电的概率。

[0072] 实施例二

[0073] 请参考图6，本申请实施例提供一种PUMP监测装置，所述装置包括：

[0074] 检测单元610，用于通过电流互感器检测获得PUMP的当前电流值；

[0075] 输出单元620，用于根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP当前运行状态的指示信息。

[0076] 在具体实施过程中，所述输出单元620包括：

[0077] 第一判断子单元，用于判断所述当前电流值是否大于一上限电流值，获得第一判断结果；

[0078] 第一输出子单元，用于当所述第一判断结果表明所述当前电流值大于所述上限电流值时，输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息。

[0079] 在具体实施过程中，所述输出单元620还用于：

[0080] 在所述输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息之后，检测是否存在复位操作；若存在所述复位操作，停止输出所述第一指示信息；若不存在所述复位操作，持续输出所述第一指示信息。

[0081] 在具体实施过程中，所述输出单元620还包括：

[0082] 第二判断子单元，用于判断所述当前电流值是否大于零，获得第二判断结果；

[0083] 第二输出子单元，用于当所述第二判断结果表明所述当前电流值不大于零时，输出用于表征所述PUMP跳电的第二指示信息；

[0084] 第三判断子单元，用于当所述第二判断结果表明所述当前电流值大于零时，判断所述当前电流值是否小于下限电流值，获得第三判断结果；

[0085] 第三输出子单元，用于当所述第三判断结果表明所述当前电流值小于所述下限电流值时，输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息。

[0086] 在具体实施过程中，所述输出单元620还用于：

[0087] 在所述输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息之后，检测是否存在复位操作；若存在所述复位操作，停止输出所述第三指示信息；若不存在所述复位操作，持续输出所述第三指示信息。

[0088] 本申请实施例中的一个或多个技术方案，可以实现如下技术效果：

[0089] 通过电流互感器检测获得PUMP运行时的当前电流值，根据PUMP的当前电流值输出用于表征PUMP当前运行状态的指示信息，从而提示技术人员PUMP的当前运行状态，以便于技术人员尽早的发现PUMP的异常情况从而及时的进行修复，进而减少PUMP跳电的概率。

[0090] 本领域内的技术人员应明白，本发明的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本发明可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质（包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等）上实施的计算机程序产品的形式。

[0091] 本发明是参照根据本发明实施例的方法、设备（系统）、和计算机程序产品的流程图和／或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和／或方框图中的每一流程和／或方框、以及流程图和／或方框图中的流程和／或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和／或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

[0092] 这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和／或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

[0093] 这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和／或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

[0094] 尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

[0095] 显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。