一种数控磨床进给系统可靠性试验装置，整个试验装置由可编程控制器控制，轴向磨削力是通过液压缸伸出缸在丝杠一端加载，轴向磨削力矩是通过伺服电机带动液力耦合器对丝杠的一端加载，径向进给力加载是通过液压缸伸出缸作用在工作台上实现的；进给单元的定位精度是由高精度角度编码器、光栅等元器件测量，丝杠的摩擦力矩是通过测力传感器测量安装在螺母上的测力杆所承受的力间接实现的，温度是由安装在前后轴承座和丝杠螺母上的温度传感器测量的，振动加速度是由安装在丝杠螺母上的加速度传感器测量的。本装置可以模拟数控磨床进给系统的工况，收集数控磨床进给系统的可靠性数据，用以评估数控磨床进给系统的可靠性水平。
1.一种数控磨床进给系统可靠性试验装置，其特征在于：丝杠(4)由轴承a(6)和轴承b(16)支撑，丝杠(4)通过联轴器(3)与伺服电机a(1)相连，伺服电机a(1)通过支撑板a(2)固定在底座b(38)上；丝杠螺母(14)通过螺纹配合安装在丝杠(4)上且丝杠螺母(14)与丝杠(4)共同组成丝杠螺母副；工作台(10)通过丝杠螺母(14)与丝杠(4)相连，工作台(10)两侧对称安装两相互平行的导轨a(8)、导轨b(35)，工作台(10)受导轨a(8)和导轨b(35)约束，并在丝杠螺母副的带动下实现沿丝杠(4)方向的直线往复运动；液压缸a(9)通过四个螺栓(11)固定在工作台(10)上，由液压缸伸出缸a(12)实现对工作台(10)的加载，液压缸a(9)为径向力加载液压缸；液压缸b(20)由四个液压缸支柱(21)固定，保证液压缸伸出缸b(19)在与丝杠(4)同轴的水平面内，由液压缸伸出缸b(20)实现对丝杠(4)的加载，液压缸b(20)为轴向力加载液压缸；轴向力矩加载由伺服电机b(28)通过锥齿轮d(25)、锥齿轮c(24)与液力耦合器(23)相连，液力耦合器(23)通过锥齿轮b(22)、锥齿轮a(18)与丝杠(4)相连，伺服电机b(28)通过支撑板b(26)固定在底板a(27)上；
圆光栅(7)安装在轴承a(6)的轴承座上，圆光栅(7)用以测量丝杠(4)的输入转角；长光栅尺(33)安装在光栅尺安装板(32)上并由两相互对称的光栅尺支柱(36)支撑，光栅尺读数头(30)安装在长光栅尺(33)上并读取长光栅尺(33)上的数据，即丝杠(4)的输出位移；通过高精度角度编码器(59)将测量的输入转角和输出位移传输给可编程控制器(57)，并保存在触摸屏(48)，以便估计和评价进给系统的轴向定位精度；测力传感器(40)通过测量安装在丝杠螺母副表面的测力杆(39)上的力，进而转化成丝杠(4)传递到工作台(10)的摩擦力矩；
温度传感器a(5)、温度传感器c(17)和温度传感器b(13)分别安装在轴承a(6)、轴承b(16)的底座和丝杠螺母(14)上，三个传感器的测量信号分别通过可编程控制器(57)传输至触摸屏(48)并予以保存、检测系统的温升情况；加速度传感器a(15)、加速度传感器b(31)分别安装在丝杠螺母(14)的轴向、径向，两传感器分别通过可编程控制器(57)将数据传输至触摸屏(48)并予以保存、检测工作台(10)的工况振动.
2.根据权利要求1所述的一种数控磨床进给系统可靠性试验装置，其特征在于：整个试验装置由可编程控制器(57)控制；可编程控制器(57)向伺服驱动器b(58)发送信号，伺服驱动器b(58)驱动伺服电机a(1)转动，从而带动丝杠(4)以不同的转速运转；可编程控制器(57)向液压缸a(9)发送信号，液压缸a(9)带动液压缸伸出缸a(12)运动，从而对工作台(10)施加不同的进给力；可编程控制器(57)向液压缸b(20)发送信号，液压缸b(20)带动液压缸伸出缸b(19)运动，从而对工作台(10)施加不同的磨削力；可编程控制器(57)向伺服驱动器a(50)发送信号，伺服驱动器a(50)驱动伺服电机b(28)转动，带动液力耦合器(23)运转，从而给丝杠施加不同的磨削力矩；
在系统运行过程中，可编程控制器(57)实时接收各传感器和光栅的测量数据，并与允许值进行比较，一旦发现超出允许值，或者基础机械部分出现故障，可编程控制器(57)立即控制伺服驱动器a(1)和伺服驱动器b(28)停止，同时控制红色指示灯(47)闪烁；可编程控制器(57)向触摸屏(48)发送信号，触摸屏(48)保存并显示故障信号；在故障排除后，按复位按钮(55)，工作台(10)回参考点，然后再按启动按钮(53)启动运行；试验结束后，统计触摸屏(48)上的故障信息，用以计算、评估数控磨床进给系统的可靠性水平；
伺服电机a(1)驱动丝杠(4)转动，丝杠(4)带动工作台(10)运动，导轨a(8)、导轨b(35)对工作台(10)起导向作用；通过可编程控制器(57)控制伺服驱动器b(58)以改变伺服电机(1)的转速，从而模拟数控磨床在加工时不同的速度；伺服电机b(28)通过驱动液力耦合器(23)运转实现对丝杠(4)的磨削力矩加载；通过可编程控制器(57)控制伺服驱动器a(50)以改变伺服电机(28)的转速，从而模拟数控磨床在加工时不同的磨削力矩；通过可编程控制器(57)控制液压缸a(9)、液压缸b(20)分别分别通过液压缸伸出缸a(12)、液压缸伸出缸b(19)对工作台(10)、丝杠(4)施加不同的载荷；在运行过程中，可编程控制器(57)控制圆光栅(7)、长光栅测头(30)、温度传感器a(5)、温度传感器b(13)、温度传感器c(17)、加速度传感器a(15)、加速度传感器b(31)对各参数进行实时测量与监测，并由触摸屏(48)实时记录。
3.根据权利要求1所述的一种数控磨床进给系统可靠性试验装置，其特征在于：可编程控制器(57)控制测力传感器(40)通过测力杆(39)测量由于丝杠(4)带动丝杠螺母(14)转动而产生的摩擦力矩，并由触摸屏(48)实时记录；
可编程控制器(57)是电气控制系统的核心，其通过控制交流接触器(44)和(45)来控制伺服驱动器b(58)和伺服驱动器a(50)的通电与断电，同时可编程控制器(57)通过数据线分别向伺服驱动器b(58)和伺服驱动器a(50)发送信号以便控制伺服电机(1)和伺服电机(28)的速度。
4.根据权利要求1所述的一种数控磨床进给系统可靠性试验装置，其特征在于：伺服电机a(1)开始以n1的速度带动丝杠(4)转动，径向力加载液压缸施加P11的载荷，轴向力加载液压缸施加P21的载荷，伺服电机b(28)施加n21的载荷，丝杠(4)运行1000个回合，完成一个循环；
试验开始，可编程控制器(57)控制所有元件得电，等待下一条命令；若工作台不在原点处，按下复位按钮(55)，伺服电机a(1)反转，驱动工作台(10)回归原点；工作台(10)回归原点后，按下启动按钮(53)，可编程控制器(57)控制交流接触器a(44)得电，交流接触器触点a(41)闭合，可编程控制器(57)分别控制伺服电机a(1)以n11的速度正转、径向力加载液压缸施加P11的载荷、轴向力加载液压缸施加P21的载荷、伺服电机b(28)施加n21的载荷，丝杠(4)运行1000个回合；完成一个循环后可编程控制器(57)、交流接触器b(45)、电液伺服阀a(42)、电液伺服阀b(43)失电，运动加载部分停止加载，同时可编程控制器(57)通过控制伺服电机a(1)反转驱动工作台(10)返回原点，延时一段时间后，再分别实现伺服电机a(1)的五种转速载荷、液压缸a(9)的三种压强载荷、液压缸b(20)的五种压强载荷、伺服电机b(28)的三种转速载荷的全部组合载荷方案，共计224种；上述载荷方案的实施对各转速荷载及压强荷载进行单独或组合荷载强度试验；在每种载荷强度下，丝杠(4)运行1000个回合。
5.根据权利要求1所述的一种数控磨床进给系统可靠性试验装置，其特征在于：按下启动按钮(53)的同时，可编程控制器(57)分别控制参数测量部分的各元件进入工作状态，即圆光栅(7)、长光栅尺(33)、高精度角度编码器(59)、测力传感器(40)、温度传感器a(5)、温度传感器b(13)、温度传感器c(17)和加速度传感器a(15)、加速度传感器b(31)进入工作状态，并通过可编程控制器(57)将实时测量数据储存在触摸屏(48)。
6.根据权利要求1所述的一种数控磨床进给系统可靠性试验装置，其特征在于：在按下启动按钮(53)时，可编程控制器(57)控制绿色指示灯(46)常亮，表示系统正在运行；
一旦系统运行过程中各参数超出正常值或有故障发生，可编程控制器(57)立即向伺服驱动器b(58)、伺服驱动器a(50)、液压缸a(9)和液压缸b(20)发送停止信号，所有元器件立即停止运转，同时可编程控制器(57)向触摸屏(48)发送指令，触摸屏(48)显示并保存故障时间和故障类型；可编程控制器(57)控制绿色指示灯(46)灭，控制红色指示灯(47)闪烁；在故障排除后，按复位按钮(55)，工作台(10)返回原点，然后再按启动按钮(53)启动运行。
7.根据权利要求1所述的一种数控磨床进给系统可靠性试验装置，其特征在于：在运行过程中按下停止按钮(54)，可编程控制器(57)向伺服驱动器b(58)发送反向脉冲信号，工作台(10)运行到原点后停止；同时，可编程控制器(57)向参数测量部分发送停止指令，控制各元器件停止工作。
8.根据权利要求1所述的一种数控磨床进给系统可靠性试验装置，其特征在于：在运行过程中按下紧急停止按钮(56)，可编程控制器(57)向伺服驱动器b(58)立即发送停止信号，工作台(10)原地停止；同时，可编程控制器(57)向测控部分发送停止指令，控制各元器件停止工作。
一种数控磨床进给系统可靠性试验装置
技术领域
[0001] 本发明涉及一种用来评价数控磨床进给系统可靠性的试验装置，该装置包含基础机械部分和测控部分，属于精密制造技术和工业自动化控制技术领域。
背景技术
[0002] 数控磨床是装备制造业的工作母机，其发展水平和生产能力，直接反映了国家工业的综合实力，在国民经济发展中起着至关重要的作用。磨床的性能决定着装备制造业的水平，我国数控磨床与国际先进数控磨床存在着较大差距，主要体现在可靠性方面，特别是精度保持和使用可靠性方面。进给系统是影响数控磨床可靠性的关键部件之一。
[0003] 数控磨床在机械加工制造业中得到广泛应用，利用数控程序控制伺服电机驱动砂轮磨削轴类、平面、曲面等。数控磨床通常为精密零件加工的最后一道工序，所以数控磨床性能的好坏和可靠性的高低对零件加工的精度和加工的效率有着重要的影响。
[0004] 无论是轴类数控磨床，还是平面数控磨床和曲面数控磨床均包含有进给系统，进给系统的主要作用是在伺服电机的带动下通过丝杠副带动工作台实现X轴方向和Z轴方向的直线进给，所以进给系统可靠性的高低将直接影响数控磨床的加工精度。
[0005] 在数控磨床运行过程中进给系统存在丝杠定位精度不足、丝杠副摩擦力矩不足、丝杠温升过高、工作台振动过大、零部件损坏等问题，一旦出现这些问题，加工出的零件很可能是废品，严重影响生产效率，甚至会导致严重的安全事故。
[0006] 为了提高进给系统的可靠性，通常需要采集该系统的故障数据，再根据故障数据提出改进进给系统的可靠性的措施。在常规工作载荷下，进给系统故障较少，获得可靠性数据的周期较长，因此要想获得更多的数据就必须进行可靠性试验。
[0007] 进给系统中的伺服电机转速不同、磨削力不同、进给力不同，所以试验装置必须能够模拟不同的工况，暴露数控磨床进给系统运行中的故障，为评估数控磨床进给系统的可靠性提供数据。
[0008] 目前数控磨床在设计时对进给系统的试验主要是空载试验，而很少进行可靠性加载试验，导致数控磨床进给系统的可靠性基础数据很少，设计人员无法把握数控磨床进给系统的可靠性水平。
发明内容
[0009] 本发明的目的是提供一种数控磨床进给系统的可靠性试验装置，该装置可以模拟数控磨床不同的工况，进给系统以不同的转速、磨削力、磨削力矩和进给力运行，同时可编程控制器和触摸屏保存运行过程中的数据、测控部分实时监测各参数，通过采集的数据来计算、评价数控磨床进给系统的可靠性。
[0010] 为实现上述目的，本发明采用的技术方案为一种数控磨床进给系统可靠性试验装置，该试验装置包括基础机械部分、测控部分；其中，基础机械部分包括伺服电机、丝杠螺母副等；测控部分包括载荷加载部分、参数测量部分和电气控制部分，运动加载部分包括液压缸、液力耦合器、伺服电机等，参数测量部分包括测力传感器、温度传感器、加速度传感器、高精度角度编码器等，电气控制部分包括可编程控制器、交流接触器、触摸屏等。
[0011] 具体而言，本发明是采用以下技术手段实现的：
[0012] 丝杠(4)由轴承a(6)和轴承b(16)支撑，丝杠(4)通过联轴器(3)与伺服电机a(1)相连，伺服电机a(1)通过支撑板a(2)固定在底座b(38)上；丝杠螺母(14)通过螺纹配合安装在丝杠(4)上且丝杠螺母(14)与丝杠(4)共同组成丝杠螺母副；工作台(10)通过丝杠螺母(14)与丝杠(4)相连，工作台(10)两侧对称安装两相互平行的导轨a(8)、导轨b(35)，工作台(10)受导轨a(8)和导轨b(35)约束，并在丝杠螺母副的带动下实现沿丝杠(4)方向的直线往复运动；液压缸a(9)通过四个螺栓(11)固定在工作台(10)上，由液压缸伸出缸a(12)实现对工作台(10)的加载，液压缸a(9)为径向力加载液压缸；液压缸b(20)由四个液压缸支柱(21)固定，保证液压缸伸出缸b(19)在与丝杠(4)同轴的水平面内，由液压缸伸出缸b(20)实现对丝杠(4)的加载，液压缸b(20)为轴向力加载液压缸；轴向力矩加载由伺服电机b(28)通过锥齿轮d(25)、锥齿轮c(24)与液力耦合器(23)相连，液力耦合器(23)通过锥齿轮b(22)、锥齿轮a(18)与丝杠(4)相连，伺服电机b(28)通过支撑板b(26)固定在底板a(27)上。
[0013] 圆光栅(7)安装在轴承a(6)的轴承座上，圆光栅(7)用以测量丝杠(4)的输入转角；长光栅尺(33)安装在光栅尺安装板(32)上并由两相互对称的光栅尺支柱(36)支撑，光栅尺读数头(30)安装在长光栅尺(33)上并读取长光栅尺(33)上的数据，即丝杠(4)的输出位移；
通过高精度角度编码器(59)将测量的输入转角和输出位移传输给可编程控制器(57)，并保存在触摸屏(48)，以便估计和评价进给系统的轴向定位精度。测力传感器(40)通过测量安装在丝杠螺母副表面的测力杆(39)上的力，进而转化成丝杠(4)传递到工作台(10)的摩擦力矩。温度传感器a(5)、温度传感器c(17)和温度传感器b(13)分别安装在轴承a(6)、轴承b(16)的底座和丝杠螺母(14)上，三个传感器的测量信号分别通过可编程控制器(57)传输至触摸屏(48)并予以保存、检测系统的温升情况。加速度传感器a(15)、加速度传感器b(31)分别安装在丝杠螺母(14)的轴向、径向，两传感器分别通过可编程控制器(57)将数据传输至触摸屏(48)并予以保存、检测工作台(10)的工况振动。
[0014] 整个试验装置由可编程控制器(57)控制。可编程控制器(57)向伺服驱动器b(58)发送信号，伺服驱动器b(58)驱动伺服电机a(1)转动，从而带动丝杠(4)以不同的转速运转。可编程控制器(57)向液压缸a(9)发送信号，液压缸a(9)带动液压缸伸出缸a(12)运动，从而对工作台(10)施加不同的进给力。可编程控制器(57)向液压缸b(20)发送信号，液压缸b(20)带动液压缸伸出缸b(19)运动，从而对工作台(10)施加不同的磨削力。可编程控制器(57)向伺服驱动器a(50)发送信号，伺服驱动器a(50)驱动伺服电机b(28)转动，带动液力耦合器(23)运转，从而给丝杠施加不同的磨削力矩。
[0015] 在系统运行过程中，可编程控制器(57)实时接收各传感器和光栅的测量数据，并与允许值进行比较，一旦发现超出允许值，或者基础机械部分出现故障，可编程控制器(57)立即控制伺服驱动器a(1)和伺服驱动器b(28)停止，同时控制红色指示灯(47)闪烁。可编程控制器(57)向触摸屏(48)发送信号，触摸屏(48)保存并显示故障信号。在故障排除后，可以按复位按钮(55)，工作台(10)回参考点，然后再按启动按钮(53)启动运行。试验结束后，统计触摸屏(48)上的故障信息，用以计算、评估数控磨床进给系统的可靠性水平。
[0016] 本发明具有的有益效果是：
[0017] 1、本发明所述的试验装置可以模拟数控磨床进给系统的工作条件，记录数控磨床进给系统的故障数据，从而计算和评价数控磨床进给系统的可靠性水平。
[0018] 2、本发明所述的试验装置可以根据不同数控机床的进给系统进行试验，只需要简单地更换伺服驱动器和伺服电机即可，而且在按下启动按钮后，系统自动按照预定的速度、加载强度进行运行，中间无需人为操作，在出现故障时自动记录故障数据。
[0019] 本发明适用于数控磨床进给系统的可靠性试验，在数控磨床的可靠性设计时，用来评价进给系统的可靠性水平，具有较好的应用前景。
附图说明
[0020] 图1是数控磨床进给系统可靠性试验装置的机械结构原理图；
[0021] 图2是数控磨床进给系统可靠性试验装置的丝杠螺母副摩擦力矩测量原理图；
[0022] 图3是数控磨床进给系统可靠性试验装置的电气控制原理图；
[0023] 图4是数控磨床进给系统可靠性试验装置的伺服电机a转速图；
[0024] 图5是数控磨床进给系统可靠性试验装置的径向力加载液压图；
[0025] 图6是数控磨床进给系统可靠性试验装置的轴向力加载液压图
[0026] 图7是数控磨床进给系统可靠性试验装置的伺服电机b转速图；
[0027] 图中：1.伺服电机a，2.支撑板a，3.联轴器，4.丝杠，5.温度传感器a，6.轴承a，7.圆光栅，8.导轨a，9.液压缸a，10.工作台，11.螺栓，12.液压缸伸出缸a，13.温度传感器b，14.丝杠螺母，15.加速度传感器a，16.轴承b，17.温度传感器c，18.锥齿轮a，19.液压缸伸出缸b，20.液压缸b，21.液压缸支柱，22.锥齿轮b，23.液力耦合器，24.锥齿轮c，25.锥齿轮d，26.支撑板b，27.底座a，28.伺服电机b，29.限位行程开关a，30.光栅尺读数头，31.加速度传感器b，32.光栅尺安装板，33.长光栅尺，34.原点行程开关，35.导轨b，36.光栅尺支柱，37.限位行程开关b，38.底座b，39.测力杆，40.测力传感器，41.交流接触器触点a，42.电液伺服阀a，43.电液伺服阀b，44.交流接触器a，45.交流接触器b，46.绿色指示灯，47.红色指示灯，48.触摸屏，49.交流接触器触点b，50.伺服驱动器a，51.液力耦合器开关，52.光栅开关，53.启动按钮，54.停止按钮，55.复位按钮，56.紧急停止按钮，57.可编程控制器，58.伺服驱动器b，59.高精度角度编码器。
具体实施方式
[0028] 下面结合附图对本发明作进一步描述。
[0029] 图1是试验装置的机械结构原理图，伺服电机a(1)驱动丝杠(4)转动，丝杠(4)带动工作台(10)运动，导轨a(8)、导轨b(35)对工作台(10)起导向作用。通过图3中的可编程控制器(57)控制伺服驱动器b(58)以改变伺服电机(1)的转速，从而模拟数控磨床在加工时不同的速度。伺服电机b(28)通过驱动液力耦合器(23)运转实现对丝杠(4)的磨削力矩加载。通过图3中的可编程控制器(57)控制伺服驱动器a(50)以改变伺服电机(28)的转速，从而模拟数控磨床在加工时不同的磨削力矩。通过图3中的可编程控制器(57)控制液压缸a(9)、液压缸b(20)分别分别通过液压缸伸出缸a(12)、液压缸伸出缸b(19)对工作台(10)、丝杠(4)施加不同的载荷。在运行过程中，图3中的可编程控制器(57)控制圆光栅(7)、长光栅测头(30)、温度传感器(5)(13)(17)、加速度传感器(15)(31)对各参数进行实时测量与监测，并由图3中的触摸屏(48)实时记录。
[0030] 图2是试验装置的丝杠螺母副摩擦力矩测量原理图，图3中的可编程控制器(57)控制测力传感器(40)通过测力杆(39)测量由于丝杠(4)带动丝杠螺母(14)转动而产生的摩擦力矩，并由图3中的触摸屏(48)实时记录。
[0031] 图3是试验装置的电气控制原理图，可编程控制器(57)是电气控制系统的核心，其通过控制交流接触器(44)和(45)来控制伺服驱动器b(58)和伺服驱动器a(50)的通电与断电，同时可编程控制器(57)通过数据线分别向伺服驱动器b(58)和伺服驱动器a(50)发送信号以便控制伺服电机(1)和伺服电机(28)的速度。
[0032] 图4是试验装置的伺服电机a转速图，图5是试验装置的径向力加载液压图，图6是试验装置的轴向力加载液压图，图7是试验装置的伺服电机b转速图，伺服电机a(1)开始以n1的速度带动丝杠(4)转动，径向力加载液压缸施加P11的载荷，轴向力加载液压缸施加P21的载荷，伺服电机b(28)施加n21的载荷，丝杠(4)运行1000个回合，完成一个循环。
[0033] 试验开始，可编程控制器(57)控制所有元件得电，等待下一条命令。若工作台不在原点处，按下复位按钮(55)，伺服电机a(1)反转，驱动工作台(10)回归原点。工作台(10)回归原点后，按下启动按钮(53)，可编程控制器(57)控制交流接触器a(44)得电，交流接触器触点a(41)闭合，可编程控制器(57)分别控制伺服电机a(1)以n11的速度正转、径向力加载液压缸施加P11的载荷、轴向力加载液压缸施加P21的载荷、伺服电机b(28)施加n21的载荷，丝杠(4)运行1000个回合。完成一个循环后可编程控制器(57)、交流接触器b(45)、电液伺服阀a(42)、电液伺服阀b(43)失电，运动加载部分停止加载，同时可编程控制器(57)通过控制伺服电机a(1)反转驱动工作台(10)返回原点，延时一段时间后，再分别实现伺服电机a(1)的五种转速载荷、液压缸a(9)的三种压强载荷、液压缸b(20)的五种压强载荷、伺服电机b(28)的三种转速载荷的全部组合载荷方案，共计224种；上述载荷方案的实施对各转速荷载及压强荷载进行单独或组合荷载强度试验；在每种载荷强度下，丝杠(4)运行1000个回合。
[0034] 按下启动按钮(53)的同时，可编程控制器(57)分别控制参数测量部分的各元件进入工作状态，即圆光栅(7)、长光栅尺(33)、高精度角度编码器(59)、测力传感器(40)、温度传感器a(5)、温度传感器b(13)、温度传感器c(17)和加速度传感器a(15)、加速度传感器b(31)进入工作状态，并通过可编程控制器(57)将实时测量数据储存在触摸屏(48)。
[0035] 在按下启动按钮(53)时，可编程控制器(57)控制绿色指示灯(46)常亮，表示系统正在运行。
[0036] 一旦系统运行过程中各参数超出正常值或有故障发生，可编程控制器(57)立即向伺服驱动器b(58)、伺服驱动器a(50)、液压缸a(9)和液压缸b(20)发送停止信号，所有元器件立即停止运转，同时可编程控制器(57)向触摸屏(48)发送指令，触摸屏(48)显示并保存故障时间和故障类型。可编程控制器(57)控制绿色指示灯(46)灭，控制红色指示灯(47)闪烁。在故障排除后，按复位按钮(55)，工作台(10)返回原点，然后再按启动按钮(53)启动运行。
[0037] 在运行过程中按下停止按钮(54)，可编程控制器(57)向伺服驱动器b(58)发送反向脉冲信号，工作台(10)运行到原点后停止。同时，可编程控制器(57)向参数测量部分发送停止指令，控制各元器件停止工作。
[0038] 在运行过程中按下紧急停止按钮(56)，可编程控制器(57)向伺服驱动器b(58)立即发送停止信号，工作台(10)原地停止。同时，可编程控制器(57)向测控部分发送停止指令，控制各元器件停止工作。
[0039] 以上所述具体实施方式用来解释说明本发明，而不是对本发明进行限制。在本发明的设计思想和权利要求的保护范围内，对本发明做出任何修改或改变，均应视为本发明的保护范围。
