一种蓝宝石长晶炉中钨坩埚的支撑方法及钨坩埚支撑装置

摘要

本发明公开了一种蓝宝石长晶炉中钨坩埚的支撑方法及钨坩埚支撑装置，支撑方法是在钨坩埚的底部设置凸台，在钨托盘的顶面设置凹槽，在钨托盘的凹槽中设置氧化锆沙，将凸台插入到凹槽中且凸台与氧化锆沙相支撑接触使得钨坩埚支撑在钨托盘上；凸台的外侧面与凹槽的内侧面之间留有间隙，钨坩埚的底面与钨托盘的顶面之间留有间隙，或支撑方法是在钨托盘的顶面设置凸台，在钨坩埚的底部设置凹槽，在钨托盘的凸台设置氧化锆片，将凸台插入到凹槽中且凸台与氧化锆片相支撑接触使得钨坩埚支撑在钨托盘上；凸台的外侧面与凹槽的内侧面之间留有间隙，钨坩埚的底面与钨托盘的顶面之间留有间隙。本发明能使钨坩埚在加热体变形后，还能再次调整以确保同心度。

权利要求

1.一种蓝宝石长晶炉中钨坩埚的支撑方法，其特征在于：所述支撑方法是先在钨坩埚的底部设置凸台，在钨托盘的顶面上设置凹槽，再在钨托盘上的凹槽中设置有氧化锆沙，最后通过将钨坩埚的凸台插入到钨托盘的凹槽中且所述钨坩埚的凸台与氧化锆沙相支撑接触使得钨坩埚支撑在钨托盘上；此时，钨坩埚的凸台的外侧面与钨托盘的凹槽的内侧面之间留有间隙，钨坩埚的底面与钨托盘的顶面之间也留有间隙，从上到下的支撑顺序依次为钨坩埚、氧化锆沙和钨托盘；当将氧化锆设置到钨托盘上的凹槽中时，所述氧化锆沙采用的是20目至200目的粗氧化锆沙，粗氧化锆沙是洒放到钨托盘上的凹槽中的。

2.根据权利要求1所述的支撑方法，其特征在于：当将粗氧化锆沙洒放到钨托盘上的凹槽中时，粗氧化锆沙在凹槽中不同位置的洒放量与钨坩埚的凸台的底面形态以及钨托盘的凹槽的底面形态相匹配。

3.根据权利要求1所述的支撑方法，其特征在于：在钨托盘的顶面上涂抹纳米氧化锆。

4.根据权利要求1所述的支撑方法，其特征在于：所述钨坩埚采用的是一种锅底加厚的钨坩埚，锅底加厚后钨坩埚的锅底厚度是原钨坩埚的锅底厚度的1.1倍至1.7倍。

5.一种钨坩埚支撑装置，包括钨坩埚、钨托盘和支撑杆，所述钨托盘的底面设置在支撑杆的一端上，支撑杆的另外一端设置在炉底上，其特征在于：在所述钨坩埚的底部设置有凸台，在钨托盘的顶面上设置有凹槽，在钨托盘的凹槽中设置有氧化锆沙；通过将钨坩埚的凸台插入到钨托盘的凹槽中且所述钨坩埚的凸台与氧化锆沙相支撑接触使得钨坩埚支撑在钨托盘上，此时，钨坩埚的凸台的外侧面与钨托盘的凹槽的内侧面之间留有间隙，钨坩埚的底面与钨托盘的顶面之间也留有间隙；当将氧化锆设置到钨托盘上的凹槽中时，所述氧化锆沙采用的是20目至200目的粗氧化锆沙，粗氧化锆沙是洒放到钨托盘上的凹槽中的。

6.根据权利要求5所述的钨坩埚支撑装置，其特征在于：所述凸台为圆锥凸台，所述凹槽为圆柱状凹槽。

7.根据权利要求5所述的钨坩埚支撑装置，其特征在于：在炉底上设置有定位块，在所述定位块上设置有氧化锆砖，所述支撑杆的另外一端插入氧化锆砖中且与定位块相接触。

8.根据权利要求7所述的钨坩埚支撑装置，其特征在于：所述支撑杆为实心柱体，在所述支撑杆的一端上开有支撑杆凹槽。

9.根据权利要求8所述的钨坩埚支撑装置，其特征在于：在所述支撑杆的另外一端上也开有支撑杆凹槽。

说明书

一种蓝宝石长晶炉中钨坩埚的支撑方法及钨坩埚支撑装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种蓝宝石长晶炉中钨坩埚的支撑方法及钨坩埚支撑装置，属于蓝宝石材料制造设备技术领域。

背景技术

[0002] 如图1所示，现有的蓝宝石长晶炉包括设置在炉体内部的发热体1、支撑杆2、钨托盘3和钨坩埚4；钨托盘3设置在支撑杆2的一端上，钨坩埚4设置在钨托盘3上且钨坩埚4位于发热体1的内部，工作时，通过发热体1对钨坩埚4进行加热促使晶体生长。为提高晶体的质量，理论上需将钨坩埚4放置在发热体1的中心位置，即钨坩埚4与发热体1的同心度要一致，为保证钨坩埚4与发热体1的同心度，现有的蓝宝石长晶炉中是将先将钨托盘3设置在发热
体1的中心位置上，再通过钨托盘3与钨坩埚4之间进行紧配合从而保证钨坩埚与发热体的
同心度。

[0003] 在实际工作过程中，由于炉内温度可高达2000多度且加工一炉的时间会长达10至20天左右，在这种情况下，发热体在使用一段时间后会发生变形（如图中虚线所示），这时钨托盘与钨坩埚就不能保证同心度，需要将钨坩埚在水平上移动进行中心调整，但是，由于现有技术中的钨托盘与钨坩埚之间是通过紧配合连接的，从而现有技术中的钨坩埚就无法进
行水平方向上的调整。

[0004] 授权公告号为CN202090095U，授权公告日为2011年12月28日的中国实用新型专利公开了一种单一组分氧化物晶体生长用坩埚，具有相连的锅壁和锅底，所述锅壁呈圆柱筒，其内表面为倒置的第一截锥面，外表面为直圆柱筒面；以及所述锅底被构造成：其上表面为倒置的第二截锥面或倒置的尖锥面，其下表面具有在锅底中央的定位部、及围绕所述定位
部的倒置的第三截锥面。

[0005] 根据上述专利文献中的第【0021】段及附图1可知，该专利文献中的钨坩埚是通过其底部的凹槽与支撑架（相当于钨托盘）之间进行紧配合，使得钨坩埚不易偏离加热系统的中心的。

[0006] 授权公告号为CN201962404U,授权公告号为2011年9月7日的中国实用新型专利公开了一种蓝宝石单晶炉，包括坩埚和用于支撑所述坩埚的支架，其还包括坩埚托，所述坩埚托的下端与所述支架连接，所述坩埚托的上端设有呈锥形的凸台，所述坩埚的底部设有与
所述凸台相配合的呈锥形的内凹结构。

[0007] 上述专利文献是通过将坩埚底部的锥形内凹结构与坩埚托上端的锥形凸台进行紧配合来达到较高的同心度要求的。

[0008] 由此，可以看出，上述两篇专利文献中的钨托盘与钨坩埚之间均是通过紧配合连接的，因此，当发热体发生变形后，上述两篇专利文献中的钨坩埚均无法在水平上进行中心位置调整。

[0009] 综上，如何设计一种钨坩埚的支撑方法及钨坩埚支撑装置，使其在加热体变形后，还能在水平上再次进行中心位置的调整以确保钨坩埚与发热体的同心度是急需解决的技术问题。

发明内容

[0010] 本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的缺陷，提供一种蓝宝石长晶炉中钨坩埚的支撑方法及钨坩埚支撑装置，其能在加热体变形后，还能在水平上再次进行
中心位置的调整以确保钨坩埚与发热体的同心度。

[0011] 为解决上述技术问题，本发明所采取的技术方案为：一种蓝宝石长晶炉中钨坩埚的支撑方法，所述支撑方法是先在钨坩埚的底部设置凸台，在钨托盘的顶面上设置凹槽，再在钨托盘上的凹槽中设置有氧化锆沙，最后通过将钨坩埚的凸台插入到钨托盘的凹槽中且
所述钨坩埚的凸台与氧化锆沙相支撑接触使得钨坩埚支撑在钨托盘上；此时，钨坩埚的凸
台的外侧面与钨托盘的凹槽的内侧面之间留有间隙L1，钨坩埚的底面与钨托盘的顶面之间
也留有间隙L2，L1设置为1mm至4mm，L2设置为1mm至10mm,从上到下的支撑顺利依次为钨坩
埚、氧化锆沙和钨托盘或所述支撑方法是先在钨托盘的顶面上设置凸台，在钨坩埚的底部
设置凹槽，再在钨托盘的凸台上设置氧化锆片，最后通过将钨托盘的凸台插入到钨坩埚的
凹槽中且所述钨托盘的凸台与氧化锆片相支撑接触使得钨坩埚支撑在钨托盘上；此时，钨
托盘的凸台的外侧面与钨坩埚的凹槽的内侧面之间留有间隙L3，钨坩埚的底面与钨托盘的
顶面之间也留有间隙L4，L3设置为1mm至3mm，L4设置为1mm至4mm,从上到下的支撑顺利依次为钨坩埚、氧化锆片和钨托盘。

[0012] 优选的，当将氧化锆设置到钨托盘上的凹槽中时，所述氧化锆沙采用的是20目至200目的粗氧化锆沙，粗氧化锆沙是洒放到钨托盘上的凹槽中的。

[0013] 优选的，当将粗氧化锆沙洒放到钨托盘上的凹槽中时，粗氧化锆沙在凹槽中不同位置的洒放量与钨坩埚的凸台的底面形态以及钨托盘的凹槽的底面形态相匹配。

[0014] 优选的，在钨托盘的顶面上涂抹纳米氧化锆。

[0015] 优选的，所述钨坩埚采用的是一种锅底加厚的钨坩埚，锅底加厚后钨坩埚的锅底厚度是原钨坩埚的锅底厚度的1.1倍至1.7倍。

[0016] 本发明还公开一种钨坩埚支撑装置，包括钨坩埚、钨托盘和支撑杆，所述钨托盘的底面设置在支撑杆的一端上，支撑杆的另外一端设置在炉底上，在所述钨坩埚的底部设置有凸台，在钨托盘的顶面上设置有凹槽，在钨托盘的凹槽中设置有氧化锆沙；通过将钨坩埚的凸台插入到钨托盘的凹槽中且所述钨坩埚的凸台与氧化锆沙相支撑接触使得钨坩埚支
撑在钨托盘上，此时，钨坩埚的凸台的外侧面与钨托盘的凹槽的内侧面之间留有间隙，钨坩埚的底面与钨托盘的顶面之间也留有间隙或在钨托盘的顶面上设置凸台，在钨托盘的底部
设置凹槽，在钨托盘的凸台上设置氧化锆片；通过将钨托盘的凸台插入到钨坩埚的凹槽中
且所述钨坩埚的凹槽与氧化锆片相支撑接触使得钨坩埚支撑在钨托盘上；此时，钨托盘的
凸台的外侧面与钨坩埚的凹槽的内侧面之间留有间隙，钨坩埚的底面与钨托盘的顶面之间
也留有间隙。

[0017] 优选的，所述凸台为圆锥凸台，所述凹槽为圆柱状凹槽。

[0018] 优选的，在炉底上设置有定位块，在所述定位块上设置有氧化锆砖，所述支撑杆的另外一端插入氧化锆砖中且与定位块相接触。

[0019] 优选的，所述支撑杆为实心柱体，在所述支撑杆的一端上开有支撑杆凹槽。

[0020] 优选的，在所述支撑杆的另外一端上也开有支撑杆凹槽。

[0021] 本发明的有益效果在于：通过本发明使得钨坩埚能在加热体变形后，在水平上再次进行中心位置的调整以确保钨坩埚与发热体的同心度；本发明中钨坩埚不与钨托盘直接
接触，从而不会发生钨坩埚与钨托盘相互粘接的现象，取锅时，直接将钨坩埚吊起取出即
可，避免了发生因敲击造成钨坩埚损坏的现象；通过凸台与凹槽之间对钨坩埚形成水平方
向上的限位结构，使得钨坩埚不会在发生跑锅现象时与发热体接触，避免了炉子发生短路
现象同时也避免了晶体与钨坩埚粘接的现象；通过结构设计能将纳米氧化锆沙替换为粗氧
化锆沙，降低了去除锆沙的难度，提高了生产效率且避免了因采用车加工或磨削去除锆沙
而导致钨坩埚损坏现象的发生，降低了生产成本；通过对粗氧化锆沙的洒放量的控制，能够缓解一部分因为钨坩埚或者钨托盘变形而导致的钨坩埚不稳定的现象；通过加厚锅底，能
避免钨坩埚内翻花现象的产生。

附图说明

[0022] 图1为现有技术中炉内位于钨坩埚处的结构示意图；

[0023] 图2为本发明实施例1中的钨坩埚支撑装置沿支撑杆轴向的剖视结构示意图；

[0024] 图3为图2中A部的放大结构示意图；

[0025] 图4为本发明实施例2中的钨坩埚支撑装置沿支撑杆轴向的剖视结构示意图；

[0026] 图5为图4中B部的放大结构示意图；

[0027] 图中：1. 发热体，2. 支撑杆，3. 钨托盘，4. 钨坩埚，5. 凸台，6. 凹槽，7. 氧化锆沙，8. 隔热下屏，9. 纳米氧化锆，10. 炉底，11. 定位块，12. 氧化锆砖，13. 支撑杆凹槽，14. 氧化锆片。

具体实施方式

[0028] 下面结合附图和具体实施例对本发明的技术方案做进一步详细的阐述。

[0029] 实施例1：如图2和图3所示，一种蓝宝石长晶炉中钨坩埚的支撑方法，所述支撑方法是先在钨坩埚4的底部设置凸台5，在钨托盘3的顶面上设置凹槽6，再在钨托盘3上的凹槽
6中设置氧化锆沙7，最后通过将钨坩埚4的凸台5插入到钨托盘3的凹槽6中且所述钨坩埚4
的凸台5与氧化锆沙7相支撑接触使得钨坩埚4支撑在钨托盘3上；此时，钨坩埚4的凸台5的
外侧面与钨托盘3的凹槽6的内侧面之间留有间隙L1，钨坩埚4的底面与钨托盘3的顶面之间
也留有间隙L2，从上到下的支撑顺利依次为钨坩埚4、氧化锆沙7和钨托盘3。L1设置为1mm、
2.5mm或4mm，L2设置为1mm、5mm或10mm。支撑好后，凸台5底面到凹槽6底面之间的距离为1mm至6mm，其中L1小于钨坩埚4的外侧面与外热体1的内侧面之间的距离。采用上述结构，使得钨坩埚的凸台与钨托盘的凹槽之间留有调整间隙，当加工完一炉加热体发生变形后，钨坩
埚可以方便的在水平方向上移动进行中心位置的调整，以确保钨坩埚与发热体的同心度。
另外，在背景技术中的两篇对比文件中，钨托盘与钨坩埚底部的凹槽侧面是直接接触的，由于固体表面的原子在高温下会发生移动，从而导致加工完一炉后，钨坩埚与钨托盘会粘接
在一起，取锅时，如果钨坩埚与钨托盘之间粘接得很牢固，就必须要用木方敲击，随着钨坩埚使用炉数的增加，钨坩埚的晶粒长大，材质的断裂强度明显降低，在敲击的时候钨坩埚很容易发生断裂，导致钨坩埚的损坏，而本实施例中的钨坩埚不与钨托盘直接接触，从而不会发生钨坩埚与钨托盘相互粘接的现象，取锅时，直接将钨坩埚吊起取出即可，避免了发生因敲击造成钨坩埚损坏的现象。在现有技术中，有的钨托盘的顶面和钨坩埚的底面都是平面
的，钨坩埚直接放置在钨托盘上，这样会发生跑锅现象，由于钨坩埚是设置在发热体内部，如果发生跑锅现象，钨坩埚跑至与发热体相接触的话，就会造成整个炉子的短路同时还会
造成晶体粘锅的情况产生，而本实施例中，通过凸台与凹槽之间对钨坩埚形成水平方向上
的限位结构，即使钨坩埚发生跑锅，最多也只能跑动L1的距离，而间隙L1小于钨坩埚的外侧面与外热体的内侧面之间的距离，从而使得钨坩埚不会在发生跑锅现象时与发热体接触，
避免了炉子发生短路现象同时也避免了晶体与钨坩埚粘接的现象。

[0030] 当将氧化锆沙7设置到钨托盘3上的凹槽6中时，所述氧化锆沙7采用的是20目的粗氧化锆沙，粗氧化锆沙是洒放到钨托盘3上的凹槽6中的，在这里，也可以采用40目、90目、
120目、160目或200目的粗氧化锆沙。在现有技术中，钨坩埚的底面与钨托盘的顶面之间会涂有纳米氧化锆（即细氧化锆沙）进行隔离，当加工完一炉后取锅时，纳米氧化锆沙会粘接在钨坩埚的底面上且粘接得非常牢固，很难将纳米氧化锆沙从钨坩埚的底面去除，需要采
用车加工或磨削的方法，这样做的话会导致生产工序复杂化，降低生产效率且在车加工或
磨削中操作难度十分大，稍不小心，就会造成钨坩埚的损坏，增加了生产成本，而在本实施例中将纳米氧化锆沙替换为粗氧化锆沙，这样当取锅时，粘接在钨坩埚底面的就是粗氧化
锆沙，通过申请人多次试验发现，粗氧化锆沙与钨坩埚底面之间粘接得很松散，不牢固，只要用簪子去敲击粗氧化锆沙就能很方面快捷的将粗氧化锆沙从钨坩埚的底面去除掉，降低
了去除锆沙的难度，提高了生产效率且避免了因采用车加工或磨削去除锆沙而导致钨坩埚
损坏的现象的发生，降低了生产成本。另外，在现有技术中并不能直接将纳米氧化锆沙换成粗氧化锆沙，这是因为为了隔热保温，在位于钨托盘3下方的支撑杆2上还会设置有隔热下
屏8，细氧化锆沙是将纳米氧化锆与分散液混合后再涂抹上去的，纳米氧化锆沙会粘在钨托盘上，不会向下掉落，而粗氧化锆沙是直接洒上去的，如果在现有技术中直接将细氧化锆沙换成粗氧化锆沙，洒放的粗氧化锆沙会向下掉落到隔热下屏上，造成隔热下屏的损坏，本实施例中通过在钨托盘上设置凹槽，将粗氧化锆沙洒放在凹槽中，能够避免因粗氧化锆沙掉
落而造成隔热下屏的损坏的现象发生。

[0031] 当将粗氧化锆沙洒放到钨托盘3上的凹槽6中时，粗氧化锆沙在凹槽6中不同位置的洒放量与钨坩埚4的凸台5的底面形态以及钨托盘3的凹槽6的底面形态相匹配。当加工完
一炉或多炉后，钨坩埚或者钨托盘有可能会发生变形，导致钨坩埚的凸台的底面或钨托盘
的凹槽的底面会出现高低不平的形态，从而使得钨坩埚支撑在钨托盘上后会出现钨坩埚不
稳定的现象，在本实施例中，由于粗氧化锆沙是沙状物，当将其洒入到凹槽中时还可以进行调节，即将粗氧化锆沙在钨坩埚的凸台的底面向下凸出的位置少洒一些，在钨坩埚的底面
向上凹进的位置多洒一些或在钨托盘的凹槽的底面向上凸出的位置少洒一些，在钨托盘的
凹槽的底面向下凹进的位置多洒一些，通过上述调节能够缓解一部分因为钨坩埚或者钨托
盘变形而导致的钨坩埚不稳定的现象。

[0032] 在钨托盘3的顶面上涂抹有纳米氧化锆9，即是在凹槽6边缘上涂抹有一层纳米氧化锆9，这是一个防护措施，即万一钨坩埚的底部发生变形，钨坩埚的底面就有可能会与钨托盘的顶面接触，这时在此处涂抹的纳米氧化锆就能将钨坩埚的底面与钨托盘的顶面之间
进行隔离，避免其发生粘接。

[0033] 所述钨坩埚4采用的是一种锅底加厚的钨坩埚4，锅底加厚后钨坩埚的锅底厚度是原钨坩埚的锅底厚度的1.1倍、1.4倍或1.7倍。在工作时，钨坩埚内有时会发生翻花现象，即在引晶阶段，晶体溶液会在坩埚内循环，从而有作用力产生，这种作用力会导致钨坩埚发生轻微的偏移或者震动，使得溶液循环不稳定，产生紊流（冒泡），使得引晶困难或者不能成功引晶。本实施例是通过加厚锅底来解决这个问题的，通过多次试验证明，将钨坩埚的锅底加厚到上述范围，可以很好的解决翻花现象。

[0034] 试验数据如下表所示：

[0035]常规钨坩埚的锅底厚度 常规钨坩埚的翻花现象 加厚后钨坩埚的锅底厚度 加厚后钨坩埚的翻花现象 锅底加厚倍数
22 有 37.4 无 1.7
40 有 56 无 1.4
45 有 49.5 无 1.1

[0036] 如图2和图3所示，本发明还公开一种钨坩埚支撑装置，包括钨坩埚4、钨托盘3和支撑杆2，所述钨托盘3的底面设置在支撑杆2的一端上，支撑杆2的另外一端设置在炉底10上，在所述钨坩埚4的底部设置有凸台5，在钨托盘3的顶面上设置有凹槽6，在钨托盘3的凹槽6中设置有氧化锆沙7；通过将钨坩埚4的凸台5插入到钨托盘3的凹槽6中且所述钨坩埚4的凸
台5与氧化锆沙7相支撑接触使得钨坩埚4支撑在钨托盘3上，此时，钨坩埚4的凸台5的外侧
面与钨托盘3的凹槽6的内侧面之间留有间隙L1，钨坩埚4的底面与钨托盘3的顶面之间也留
有间隙L2。在钨托盘3的底面上开有底面凹槽，支撑杆2的一端卡合在钨托盘3的底面凹槽中将支撑杆2的一端与钨托盘3连接起来。

[0037] 所述凸台5为圆柱凸台，所述凹槽6为圆柱状凹槽。在这里，也可以将凸台5设置为圆锥凸台，凹槽6仍然为圆柱状凹槽（图中未示出），与圆柱状的凸台相比，将凸台设置为圆锥凸台，一是能够更加便于插入，二是能够节省一部分材料，三是当发生跑锅，凸台的外侧面与凹槽的内侧面相接触时，由于圆锥凸台的外侧面为斜面，其与凹槽的内侧面相接触时
相当于是面与点之间的接触，这样能更加有效的对钨坩埚进行限位。

[0038] 在炉底10上且位于发热体1的中心位置设置有定位块11，在所述定位块11上设置有氧化锆砖12，所述支撑杆2的另外一端插入氧化锆砖12中且与定位块11相接触。通过定位块11来将支撑杆2设置在发热体1的中心位置上，以进一步保证钨坩埚与发热体的同心度。

[0039] 所述支撑杆2为实心柱体，在所述支撑杆2的一端上开有支撑杆凹槽13。现有技术中的支撑杆为中空的管状体，在炉内高温工作环境的长期作用下，支撑杆有可能会发生弯
曲，支撑杆弯曲到一定程度以后，钨托盘会发生严重的倾斜，导致钨坩埚不能稳定的落在钨托盘上，所以只能报废支撑杆，在本实施例中，将中空的管状体改为实心的，只留下支撑杆端部的空隙避免热损失，这样设置加强了支撑杆的强度，能避免支撑杆发生弯曲。

[0040] 在所述支撑杆2的另外一端上也开有支撑杆凹槽13，这样设置主要目的是减少热传导，避免热量严重损失同时当生产一段时间支撑杆2的一端磨损后，可以将支撑杆2反转
过来，利用支撑杆2的另外一端与钨托盘3连接继续使用，而不用更换新的支撑杆2，提高了支撑杆2的使用寿命，降低了生产成本。

[0041] 实施例2：如图4 和图5所示，与实施例1相比，不同之处在于：所述支撑方法是先在钨托盘3的顶面上设置凸台5，在钨坩埚4的底部设置凹槽6，再在钨托盘3的凸台5上设置氧化锆片14，最后通过将钨托盘3的凸台5插入到钨坩埚4的凹槽6中且所述钨托盘3的凸台5与
氧化锆片14相支撑接触使得钨坩埚4支撑在钨托盘3上；此时，钨托盘3的凸台5的外侧面与
钨坩埚4的凹槽6的内侧面之间留有间隙L3，钨坩埚4的底面与钨托盘3的顶面之间也留有间
隙L4，从上到下的支撑顺利依次为钨坩埚4、氧化锆片14和钨托盘3。L3设置为1mm、2mm或
3mm，L4设置为1mm、2.5mm或4mm。支撑好后，凸台底面到凹槽底面之间的距离为1mm至4mm，其中L3小于钨坩埚4的外侧面与外热体1的内侧面之间的距离。

[0042] 本实施例还公开一种钨坩埚支撑装置，与实施例1中的钨坩埚支撑装置相比，不同之处在于：一种钨坩埚支撑装置，包括钨坩埚4、钨托盘3和支撑杆2，所述钨托盘3的底面设置在支撑杆2的一端上，支撑杆2的另外一端设置在炉底10上，在钨托盘3的顶面上设置凸台
5，在钨坩埚4的底部设置凹槽6，在钨托盘3的凸台5上设置氧化锆片14；通过将钨托盘3的凸台5插入到钨坩埚4的凹槽6中且所述钨托盘3的凸台5与氧化锆片14相支撑接触使得钨坩埚
4支撑在钨托盘3上；此时，钨托盘3的凸台5的外侧面与钨坩埚4的凹槽6的内侧面之间留有
间隙L3，钨坩埚4的底面与钨托盘3的顶面之间也留有间隙L4。

[0043] 综上，通过本发明使得钨坩埚能在加热体变形后，在水平上再次进行中心位置的调整以确保钨坩埚与发热体的同心度；本发明中钨坩埚不与钨托盘直接接触，从而不会发
生钨坩埚与钨托盘相互粘接的现象，取锅时，直接将钨坩埚吊起取出即可，避免了发生因敲击造成钨坩埚损坏的现象；通过凸台与凹槽之间对钨坩埚形成水平方向上的限位结构，使
得钨坩埚不会在发生跑锅现象时与发热体接触，避免了炉子发生短路现象同时也避免了晶
体与钨坩埚粘接的现象；通过结构设计能将纳米氧化锆沙替换为粗氧化锆沙，降低了去除
锆沙的难度，提高了生产效率且避免了因采用车加工或磨削去除锆沙而导致钨坩埚损坏现
象的发生，降低了生产成本；通过对粗氧化锆沙的洒放量的控制，能够缓解一部分因为钨坩埚或者钨托盘变形而导致的钨坩埚不稳定的现象；通过加厚锅底，能避免钨坩埚内翻花现
象的产生。

[0044] 以上实施例仅供说明本发明之用，而非对本发明的限制，有关技术领域的技术人员在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化或变换，因此所有等同的
技术方案也应该属于本发明的保护范围，本发明的保护范围应该由各权利要求限定。