电力供给恢复时能短时间无损伤地再启动的气体激光系统

摘要

本发明提供一种电力供给恢复时能短时间无损伤地再启动的气体激光系统。该气体激光系统具备：激光振荡器，其包含在由于来自电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间的设备；控制装置，其控制激光振荡器；电力下降检测部；以及非易失性存储部，其存储通过电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据。控制装置根据从通过非易失性存储部中存储的时刻数据而得到的第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间，计算设备的动作停止时间，当该动作停止时间超过预定的待机时间时，允许设备的动作重新开始，在动作停止时间在预定的待机时间以内时，禁止设备的动作重新开始。

权利要求

1.一种气体激光系统，其特征在于， 具备: 电源部； 激光振荡器，其通过从该电源部提供的电力进行动作； 控制单元，其控制上述激光振荡器； 电力下降检测部，其检测低于能够使上述激光振荡器正常动作的电力值的、来自上述电源部的供给电力的下降；以及 非易失性存储部，其存储通过上述电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据， 上述激光振荡器包含在由于来自上述电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间的设备， 上述控制单元根据从通过上述非易失性存储部中存储的时刻数据得到的上述第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间，计算上述设备的动作停止时间，当该动作停止时间超过上述预定的待机时间时，允许上述设备的动作重新开始，在上述动作停止时间在上述预定的待机时间以内时，禁止上述设备的动作重新开始， 上述设备具备第一设备以及第二设备，其在由于来自上述电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前分别需要第一待机时间和第二待机时间， 上述控制单元在从上述第一时刻到上述第二时刻的上述时间在上述第一待机时间以内时，禁止上述第一设备的动作的重新开始，在上述时间在上述第二待机时间以内时，禁止上述第二设备的动作的重新开始。

2.一种气体激光系统，其特征在于， 具备:电源部； 激光振荡器，其通过从该电源部提供的电力进行动作； 设备，其通过从上述电源部提供的电力进行动作，在由于来自上述电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间； 控制单元，其控制上述激光振荡器以及上述设备； 电力下降检测部，其检测低于能够使上述激光振荡器正常动作的电力值的、来自上述电源部的供给电力的下降；以及 非易失性存储部，其存储通过上述电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据， 上述控制单元根据从通过上述非易失性存储部中存储的时刻数据得到的上述第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间，计算上述设备的动作停止时间，当该动作停止时间超过上述预定的待机时间时，允许上述设备的动作重新开始，在上述动作停止时间在上述预定的待机时间以内时，禁止上述设备的动作重新开始， 上述设备具备第一设备以及第二设备，其在由于来自上述电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前分别需要第一待机时间和第二待机时间， 上述控制单元在从上述第一时刻到上述第二时刻的上述时间在上述第一待机时间以内时，禁止上述第一设备的动作的重新开始，在上述时间在上述第二待机时间以内时，禁止上述第二设备的动作的重新开始。

3.根据权利要求1或2所述的气体激光系统，其特征在于， 上述控制单元在从上述电力下降检测部检测出供给电力下降开始经过预定时间后，输出上述设备的动作停止信号，上述动作停止时间从输出了上述动作停止信号的时刻开始计时。

4.根据权利要求1或2所述的气体激光系统，其特征在于， 还具备物理量检测部，其检测表示上述激光振荡器的动作状态的物理量， 上述非易失性存储部把在上述第一时刻通过上述物理量检测部检测出的物理量与上述第一时刻的时刻数据一同进行存储。

5.根据权利要求4所述的气体激光系统，其特征在于， 上述控制单元执行存储处理，以使上述非易失性存储部周期性地将上述物理量检测部检测出的物理量与时刻数据一同进行存储，当上述电力下降检测部检测出供给电力下降时，中止上述存储处理。

6.根据权利要求4所述的气体激光系统，其特征在于， 上述物理量检测部检测上述激光振荡器内的激光气体的气压， 上述非易失性存储部存储由上述物理量检测部检测出的上述第一时刻的气压， 上述控制单元根据在上述非易失性存储部中存储的上述第一时刻的气压，在上述电源部的供给电力恢复后，将上述气压控制为目标气压，在将气压控制为上述目标气压后，允许上述激光振荡器的放电动作。

说明书

电力供给恢复时能短时间无损伤地再启动的气体激光系统

技术领域

[0001]本发明涉及一种气体激光系统，其在由于停电等原因电力供给被切断后恢复电力供给时，能够在短时间内无损伤地再启动。

背景技术

[0002] —般，气体激光振荡器在更换了激光振荡器内的激光气体后进行启动。对此，例如在日本专利第2737177号公报(JP2737177B)中记载了一种方法，即为了缩短激光振荡器的启动所需要的时间，在一定条件下，省略启动时的激光气体的更换工序的一部分。在JP2737177B所记载的方法中，在进行了激光振荡器的停止动作后，当激光振荡器的动作停止时间在一定时间以内或者激光振荡器内的气体温度在一定温度以上时，省略激光气体的更换工序的一部分。

[0003] JP2737177B提出一种关于正常地进行了激光振荡器的停止动作后的再启动的方法。因此，例如在由于停电等原因意外地切断了电力的情况下，无法应用JP2737177B所记载的方法。另一方面，在由于停电等原因切断了电力时，如果到再启动的时间过短，则构成气体激光系统的一部分设备会产生损伤。

发明内容

[0004]本发明的一个方式的气体激光系统具备:电源部;激光振荡器，其通过从电源部提供的电力而进行动作，包含在由于来自电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间的设备;控制装置，其控制激光振荡器;电力下降检测部，其检测低于能够使激光振荡器正常动作的电力值的、来自电源部的供给电力的下降；以及非易失性存储部，其存储通过电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据。并且，控制装置根据从通过非易失性存储部中存储的时刻数据而得到的第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间，计算设备的动作停止时间，当该动作停止时间超过预定的待机时间时，允许设备的动作重新开始，在动作停止时间在预定的待机时间以内时，禁止设备的动作重新开始。

[0005]另外，本发明的另一方式的气体激光系统具备:电源部;激光振荡器，其通过从电源部提供的电力进行动作;设备，其通过从电源部提供的电力进行动作，在由于来自电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间；控制装置，其控制激光振荡器以及设备；电力下降检测部，其检测低于能够使激光振荡器正常动作的电力值的、来自电源部的供给电力的下降；以及非易失性存储部，其存储通过电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据。并且，控制装置根据从通过非易失性存储部中存储的时刻数据而得到的第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间，计算设备的动作停止时间，当该动作停止时间超过预定的待机时间时，允许设备的动作重新开始，在动作停止时间在预定的待机时间以内时，禁止设备的动作重新开始。

附图说明

[0006]通过与附图相关联地对本实施方式进行说明，本发明的目的、特征以及优点更加明确。在该附图中，

[0007]图1概要地表示构成本发明的实施方式的气体激光系统的激光振荡器的结构。

[0008]图2是表示本发明的实施方式的气体激光系统的概要结构的框图。

[0009]图3是表示本发明的实施方式的气体激光系统的主要动作的时序图。

[0010]图4是表示与图3不同的动作的时序图。

[0011]图5是表示与图3、图4不同的动作的时序图。

[0012]图6是表示图3的变形例的时序图。

[0013]图7是表示图2的变形例的框图。

[0014]图8是表示图7的气体激光系统的主要动作的时序图。

[0015]图9是表示图2的变形例的框图。

具体实施方式

[0016]以下参照图1〜图8对本发明的实施方式进行说明。图1概要地表示构成本发明的实施方式的气体激光系统的激光振荡器I的结构。本实施方式的气体激光系统能够在加工、医疗、测量等广泛的领域中使用。

[0017]如图1所示，激光振荡器I具备激光气体进行循环的气体流路2、与气体流路2连通的放电管3、间隔放电管3而配置的输出镜4以及后镜5、对放电管3施加电压(放电管电压)的激光电源6、使激光气体沿着气体流路2循环的送风机7、向气体流路2供给激光气体的供气装置8以及从气体流路2排出激光气体的排气装置9。

[0018] 气体流路2通过激光气体容器2a形成。激光气体容器2a是密闭的真空容器，在与大气隔绝的状态下将预定的激光气体封入激光气体容器2a中。作为激光气体，使用包括二氧化碳气体、氮气、氩气等激光介质的激光振荡用的介质气体。

[0019] 激光电源6与气体激光系统的电源部20 (图2)连接，从电源部20向激光电源6提供电力。控制部10包含运算处理装置而构成，该运算处理装置具有CPU、R0M、RAM以及其他的周边电路等，控制部10控制从激光电源6提供给放电管3的电力。当从激光电源6向放电管3提供了电力时，即当施加了放电管电压时，激光气体在经过放电管3的过程中被激励，成为激光活性状态。通过放电管3产生的光在输出镜4和后镜5之间被放大，其中一部分作为激光11从输出镜4输出。该激光11经过可开闭的快门12，照射对象物。

[0020] 送风机7包含送风机驱动用电动机(以下称为送风机电动机)和通过送风机电动机驱动的风扇或风机而构成。经由未图示的送风机逆变器从电源部20(图2)向送风机7提供电力，通过该电力送风机7进行旋转，使激光气体沿着气体流路2进行循环。电源部20和送风机逆变器以及送风机电动机形成送风机驱动用电气电路(送风机电路)，送风机7通过经由送风机电路提供的电力进行旋转。

[0021]在送风机7的上游侧和下游侧的气体流路2上分别设置有第一热交换器13和第二热交换器14。在各热交换器13，14中流动预定的冷媒(例如冷却水)。激光气体在经过热交换器13，14时通过与该冷媒的热交换被冷却，保持为预定温度。

[0022]在气体流路2上分别连接有供气流路15以及排气流路16。在供气流路15上设置有供气装置8，在排气流路16上设置有排气装置9 ο供气装置8包括可开闭的供气阀，排气装置9包括可开闭的排气阀和真空栗。根据来自控制部10的信号控制供气装置8和排气装置9。

[0023]在供气流路15上连接有贮存激光气体的高压的气罐(未图示)。因此，当打开供气阀时，从气罐经由供气阀向气体流路2供给激光气体。另一方面，当打开排气阀并驱动真空栗时，经由排气阀从气体流路2将激光气体进行排气。当封闭了供气阀以及排气阀时，气体流路成为密闭状态。

[0024]在激光振荡时，经由供气流路15和排气流路16向气体流路2供给激光气体以及对气体流路2进行激光气体的排气，进行激光气体容器2a内的激光气体的微量的更换。在第一热交换器13的下游侧且送风机7的上游侧设置气压检测器17，通过气压检测器17检测激光气体容器2a内的气压。控制部10根据气压检测器17的检测值向送风机7、供气装置8以及排气装置9输出控制信号，将激光气体容器2a内的气压控制为预定的气压。

[0025]当指令了以上那样构成的激光振荡器I的启动时，激光振荡器I在根据来自控制部10的指令预先进行了预定的准备动作后，开始放电动作。准备动作例如包括通过排气装置9将激光气体容器2a内的气体进行排气的工序和在排气工序后通过供气装置8向激光气体容器2a内供给预定压力的激光气体的工序，通过准备动作来置换激光气体容器2a内的气体。另外，可以在排气工序完成之前开始供气工序。

[0026]另一方面，在放电完成后，正常地停止激光振荡器I的运转时，激光振荡器I根据来自控制部10的指令进行预定的正常停止动作。正常停止动作包括关闭供气装置8的供气阀以及排气装置9的排气阀的工序、停止真空栗以及送风机7的驱动的工序，在激光气体容器2a内充填了比大气压高的压力的激光气体的状态下结束。由此防止在激光振荡器I的运转停止后，大气混入到气体流路2中。

[0027]在正常停止动作后，当通过启动指令的输入再次启动激光振荡器I时，控制部10判定动作停止时间是否在预定时间以内。该判定是关于激光气体容器2a的激光气体是否被维持在预定状态的判定。即，当动作停止时间在预定时间以内时，作为大气没有混入气体流路2和从气体流路2没有泄漏激光气体，判定为气体流路2的激光气体被维持在预定状态。

[0028]当动作停止时间在预定时间以内时，激光振荡器I根据来自控制部10的指令，省略准备动作的一部分(例如激光气体的置换)或者全部，开始放电。由此可以缩短激光振荡器I启动所需要的时间，在短时间内重新开始放电。如果能够判定激光气体容器2a内的激光气体压力被维持在预定状态，则可以不使用动作停止时间，而是将其他的参数(例如激光气体容器2a内的激光气体的温度、压力)用作判定基准。

[0029]另外，例如在电力状况不好的地区在激光振荡器I正在运转的过程中发生了停电时，向激光振荡器I的电力供给被切断，不进行激光振荡器I的正常停止动作地停止激光振荡器I的动作。之后，当在经过足够的停止时间之前，指令了激光振荡器I的再启动时，构成激光振荡器I的部分设备(例如送风机7)可能会受到损伤。

[0030] S卩，因为通过送风机逆变器对送风机7进行旋转控制，所以当由于停电来自送风机逆变器的输出停止时，送风机电动机成为空转状态，送风机7通过惯性继续旋转。并且，当在电力恢复后指令了送风机7的再启动时，送风机电动机的转速和控制转速大大偏离，因此在送风机电路内产生过电流、过电压，或者送风机电路内的电流或电压发生急剧变化。结果，送风机7可能产生损伤，或者送风机电路可能会发生故障。为了避免该情况，在第一实施方式中，如下那样来构成气体激光系统。

[0031]图2是表示本发明的实施方式的气体激光系统的概要结构的框图。图中，激光振荡器I的激光气体送风系统Ia包括与气体流路2中的激光气体的送风有关的结构，即包含送风机7(送风机电动机)和气压检测器17，图2主要表示激光气体送风系统Ia的控制的结构。[0032 ]如图2所示，在气体激光系统的电源部20上连接有激光振荡器1、控制部1以及电力下降检测部2。在控制部10上连接有非易失性存储部22。非易失性存储部22由EEPROM等非易失性存储器构成，通过来自控制部10的指令，在非易失性存储部22中保存数据，并且读入在非易失性存储部22中保存的数据。另外，能够将非易失性存储部22中设置在控制部10内。

[0033]在控制部10上连接激光振荡器I，将表示激光振荡器I的状态的振荡器状态数据输入给控制部10。振荡器状态数据包括由气压检测器17检测出的气压数据和时刻数据，按预定的周期(例如数毫秒)输入给控制部1。根据来自控制部10的指令，将输入给控制部10的振荡器状态数据存储在非易失性存储部22中。这时，当在非易失性存储部22中已经保存了振荡器状态数据的情况下，覆盖该数据，更新存储数据。即，控制部10进行非易失性存储部22的数据更新处理。由此，在非易失性存储部22中保存最新的振荡器状态数据。

[0034]电力下降检测部21包含电压计而构成，检测从电源部22提供的电力的下降，即检测供给电力W在预定值Wa以下的情况。预定值Wa例如相当于停电发生时的电力，通过电力下降检测部21检测有无停电的发生。即，预定值Wa是使激光振荡器I能够正常动作的电力等级，电力下降检测部21检测低于可以使激光振荡器I正常动作的电力值Wa的电力的下降。这里，作为能够正常动作的电力等级，可以将预定值Wa设定为激光振荡器I能够执行放电的电力(例如电压)的下限值，或者也可以设定为对其下限值采用了预定量的裕度(例如下限值X 10%)的值。电力下降检测部21与控制部10连接，将通过电力下降检测部21检测出的电力下降(电力下降信号)通知给控制部10。

[0035]参照图3〜图5的时序图来说明本发明的实施方式的气体激光系统的主要动作。如图3所示，激光振荡器I运转过程中来自电源部2的供给电力W比预定值Wa大。此时，控制部10按预定周期执行数据更新处理，将振荡器状态数据存储在非易失性存储部22中。在该状态下，系统启动指令为开，送风机7的启动指令也为开。系统启动指令是允许气体激光系统启动的指令，在关闭气体激光系统的电源时，在此之前控制部10使系统启动指令为关，请求气体激光系统的电源关闭。

[0036]当在激光振荡器I的运转过程中发生停电时，从电源部20提供的电力W下降，在时刻TO电力下降检测部22输出电力下降信号(开信号)。当输出了电力下降信号时，控制部10停止数据更新处理。因此，在非易失性存储部22中存储包含供给电力已下降的时刻TO的时刻数据的振荡器状态数据(气压数据)。

[0037] 从输出了电力下降信号后开始直到经过预定时间Δ Ta (例如500msec)，控制部1持续输出系统启动指令。在从时刻TO经过了预定时间△ Ta的时刻TI，控制部10判断电力供给没有立刻恢复，使系统启动指令为关，并且停止送风机7的启动指令(关)。由此停止从送风机逆变器向送风机电动机的电力供给，送风机7成为空转状态。ATa是用于判定是否使系统启动指令为关的判定时间(启动停止判定时间)，被预先设定为比从供给电力下降后开始直到完全断绝供给电力为止的时间(图3的ATd)短的时间。

[0038]在控制部10的ROM中预先存储有在送风机7的启动指令停止后为了使送风机7正常地再启动所需要的待机时间A Tb。该待机时间△ Tb相当于例如直到惯性旋转中的送风机7完全停止的时间，图3、图4中的从时刻Tl到时刻T2的时间表示待机时间△ Tb。

[0039]从电力供给下降后开始直到电力恢复后输出系统的启动指令为止的时间，即从时刻TO到时刻T3的时间△ Tc是供给电力下降检测时间，通过在非易失性存储部22中存储的时刻TO的时刻数据得到该供给电力下降检测时间△ Tc。在电力恢复后，在时刻T3控制部10使系统启动指令为开，从非易失性存储部22读入时刻TO的时刻数据。并且，计算从当前的时刻T3减去时刻TO后的时间，来作为供给电力下降检测时间△ Tc。然后，从供给电力下降检测时间A Tc减去启动停止判定时间Δ Ta，计算送风机7的动作停止时间(Δ Tc-Δ Ta)，判定该动作停止时间(ATc-ATa)与待机时间ATb的大小。另外，可以适当设定电力恢复后由控制部1输出下次的系统启动指令的定时(时刻T3)。在电力恢复的同时，在电源刚刚恢复后，或者从电力恢复开始经过预定时间后，控制部10能够输出系统启动指令。

[0040]如图3所示，在系统启动指令时(时刻T3)，如果动作停止时间(Δ Tc- Δ Ta)比待机时间ATb短，则控制部10不输出送风机7的启动指令而进行待机。在时刻T2，如果动作停止时间(A Tc-Δ Ta)达到待机时间Δ Tb，则控制部10输出送风机启动指令。由此在送风机7已停止的状态下输出送风机启动指令，因此能够防止送风机电路内的过电流或过电压的发生，能够良好地再启动送风机7。

[0041]另一方面，如图4所示，如果动作停止时间(ATc-ATa)比待机时间ATb长，则控制部10在时刻T3使系统启动指令为开，并且使送风机启动指令为开。由此在电力恢复时能够立刻再启动送风机7，能够有效率地恢复气体激光系统。

[0042]如图5所示，如果在启动停止判定时间ATa内电力恢复，则控制部10将数据更新处理设为开。另外，此时，系统启动指令保持开不变，送风机启动指令也保持开不变。由此，当在停电后电力立刻恢复的情况下，因为不使送风机7的启动停止，所以能够继续进行送风机7的稳定的运转。

[0043]当在图3的时刻T2或者在图4的时刻T3将送风机启动指令设为开时，控制部10读入在非易失性存储部22中存储的气压数据(振荡器状态数据)，使用该气压数据将气体流路2内的气压控制为适于放电的目标气压。例如，通过PID控制，将激光气体的气压控制为目标气压。如此通过使用停电发生时的气压数据，能够早期地将气体流路2内的气压控制为目标气压。控制部10在将气压稳定为目标气压之前，禁止激光振荡器I的放电动作，当把气压稳定为目标气压时，允许激光振荡器I的放电动作。由此激光振荡器I能够进行良好的放电动作。

[0044]根据本发明的实施方式，能够达到以下的作用效果。

[0045] (I)气体激光系统具备电源部20;激光振荡器I，其通过从电源部20提供的电力进行动作;控制部10，其控制激光振荡器I;电力下降检测部21，其检测低于能够使激光振荡器I正常动作的电力值Wa的、来自电源部20的供给电力的下降；非易失性存储部22，其存储通过电力下降检测部21检测出供给电力下降的时刻TO的时刻数据，激光振荡器I包括送风机7，该送风机7在由于来自电源部20的供给电力下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间A Tb。并且，控制部1求出从通过存储在非易失性存储部22中的时刻数据得到的时刻TO开始直到电源部20恢复后输出下一次的系统启动指令的时刻T3为止的供给电力的下降检测时间△ Tc，计算从该供给电力下降检测时间△ Tc减去启动停止判定时间Δ Ta后的送风机7的动作停止时间(Δ Tc-Δ Ta)，如果该动作停止时间(Δ Tc-Δ Ta)超过待机时间A Tb，则输出送风机启动指令，在动作停止时间(Δ Tc-Δ Ta)在待机时间Δ Tb以内时，停止送风机启动指令的输出。由此，能够防止在停电后再启动送风机7时的送风机电路内的过电流或过电压的产生，能够良好地再启动送风机7。

[0046] (2)在从电力下降检测部21检测出供给电力下降后开始经过预定时间ATa后，控制部10将送风机启动指令设为关，因此在停电后电力立刻恢复时，送风机7继续运转，气体激光系统能够进行稳定的动作。

[0047] (3)在非易失性存储部22中不仅存储供给电力下降的时刻TO的时刻数据，还将气压检测器17检测出的气压数据作为振荡器状态数据进行存储。因此，能够掌握停电时的激光气体的气体状态，能够在电力恢复时有效率地进行气压控制。

[0048] (4)非易失性存储部22存储气压检测器17检测出的时刻TO的气压，控制部10根据该存储的气压，在电源部20的供给电力恢复后，将气压控制为目标气压。由此，能够早期地将气体流路2内的气压控制为目标气压。另外，控制部10在将气压控制为目标气压后，允许激光振荡器I的放电动作，所以激光振荡器I能够进行良好的放电动作。

[0049] (5)控制部10在电力下降检测部21输出了电力下降信号时，中止对非易失性存储部22的数据更新处理，所以能够在非易失性存储部22中保存气压状态等变化前的正常运转时的振荡器状态数据。与此相对，如果在停电后切断对控制部10的电力供给，则即使不根据控制部10的指令也中止数据更新处理，但是此时从停电开始经过了些时间，存储的振荡器状态数据有可能不是正常状态。

[0050]在上述实施方式中，直到输出电力下降信号为止进行数据更新处理(存储处理)，将通过气压检测器17检测出的激光气体的气压与时刻数据一起周期性地存储在非易失性存储部22中，但是如果至少存储输出了电力下降信号的时刻TO的时刻数据，则可以不周期性地进行振荡器状态数据的存储。例如，如图6所示，可以在输出了电力下降信号的时刻TO进行数据保存处理，只存储时刻TO的振荡器状态数据。由此，在非易失性存储部22中存储数据的处理的次数变少，能够缩短控制部10的处理时间。如果在非易失性存储部22中有足够的存储容量，则可以不更新(覆盖)振荡器状态数据而周期地进行存储。由此，能够取得时间序列的振荡器状态数据。[0051 ]在上述实施方式中，在停电时控制激光振荡器I内的激光气体送风系统Ia的启动，但是也可以控制在停电后在正常地开始动作之前需要预定的待机时间△ Tb的其他设备的启动。图7是表示作为其一个例子的气体激光系统的控制结构的框图。在图7中，在电源部20和激光振荡器1(激光电源6)之间设置电磁接触器23，控制部10不仅控制激光气体送风系统I a (送风机7 )，经由电磁接触器23还控制激光电源6的启动。控制部1也可以只控制激光电源6的启动。

[0052]电磁接触器23的触点根据来自控制部10的开指令(启动指令)而闭合，将电源20和气体激光振荡器I连通，允许从电源部20对激光电源6提供电力。另一方面，根据来自控制部10的关指令触点打开，切断电源部20和气体激光振荡器I，切断从电源部20向激光电源6的电力供给。当在气体激光振荡器I运转的过程中切断了来自电源部20的供给电力时，电磁接触器23的触点打开，切断对激光电源6的电力供给。结果，在激光电源6内的电容器(未图示)中残留的电荷逐渐进行放电。在电荷变少的状态下，当向电磁接触器23输出开指令使触点闭合时，电源部20和激光电源6之间的电位差变大，所以从电源部20向激光电源6涌入大电流，激光电源6可能会受到损伤。

[0053]另一方面，激光电源6在内部具有电阻和继电器触点(未图示)，继电器触点在切断了来自电源部20的供给电力后，当随着时间的经过激光电源6内的电容器中残留的电荷进行了某种程度放电时，自动地打开。因此，当在继电器触点打开的状态下电力恢复时，经由电阻从电源部20向激光电源6的电容器流过电流，能够防止向激光电源6流过大电流。考虑到这点，预先设定预定的待机时间A Td，控制部10控制电磁接触器23，以便在经过待机时间A Td之前禁止激光电源6的动作。待机时间△ Td是在由于来自电源部20的供给电力下降激光电源6的电容器开始放电后，直到激光电源6的继电器触点打开为止所需要的时间，即直到激光电源6正常地开始动作所需要的时间。该待机时间△ Td是相对于激光电源6的固有的时间，和送风机7的待机时间△ Tb不同。另外，可以将待机时间△ Tb、Δ Td设为相互相同的时间。此时，可以统一为Δ Tb、Δ Td中的例如长的一方的待机时间。

[0054]图8是图3的变形例，是表示图7的气体激光系统中的电磁接触器23的启动的动作的时序图。如图8所示，与送风机7同样地对电磁接触器23进行启动控制。即，在时刻TO当通过电力下降检测部21输出了电力下降信号时，控制部10在经过启动停止判定时间ATa后的时刻Tl将电磁接触器23关断。之后，在时刻T3即使系统启动指令为开，但在经过待机时间ΔTb之前使电磁接触器23的启动指令为关，在时刻T2当经过了待机时间△ Td时，使电磁接触器23的启动指令为开。这样能够防止激光电源6的损伤。

[0055]在上述实施方式(图2，图7)中，作为在由于来自电源部20的供给电力下降而停止动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间ATb(第一待机时间)、ATd(第二待机时间)的设备，例举了送风机7(第一设备)和激光电源6(第二设备)，但是这些设备不限于以上所述。即，对于激光振荡器I中包含的其他设备或不包含在激光振荡器I中的其他设备也能够同样地设定待机时间。

[0056]图9是表示图2的变形例的框图。控制部10(控制装置)具有控制激光振荡器I的第一控制部1A和控制不包含在激光振荡器I中的外部设备24的第二控制部10B。外部设备24具有第一设备24a和第二设备24b。第一设备24a以及第二设备24b分别通过从电源部20供给的电力进行动作，在由于来自电源部20的供给电力下降而停止动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间(例如Δ Tb，Δ Td)。控制部1B和图2的控制部1相同，根据从通过存储在非易失性存储部22中的时刻数据得到的第一时刻TO到输出下一次的系统启动指令的第二时刻T3为止的时间Δ Tc，计算设备24a、24b的动作停止时间(Δ Tc- Δ Ta)。并且，如果该动作停止时间超过预定的待机时间△ Tb，则允许设备24a的动作重新开始，如果动作停止时间超过预定的待机时间A Td，则允许设备24b的动作重新开始。另一方面，当动作停止时间在待机时间A Tb以内时，禁止设备24a动作的重新开始，当动作停止时间在待机时间Δ Td以内时，禁止设备24b的动作重新开始。

[0057]在上述实施方式中，通过气压检测器17检测激光气体的气压，但是还可以设置检测表示激光振荡器I的动作状态的其他物理量的物理量检测部，将该检测出的物理量和检测出供给电力下降的时刻TO(第一时刻)的时刻数据一起存储在非易失性存储部22中。可以在非易失性存储部22只存储第一时刻TO的时刻数据。

[0058]在上述实施方式(图2，图7，图9)中，根据从通过存储在非易失性存储部22中的时刻数据得到的第一时刻TO到输出下一次的系统启动指令的第二时刻T3为止的供给电力的下降检测时间A Tc，计算送风机7或激光电源6、外部设备24等设备的动作停止时间。即，从供给电力的下降检测时间△ Tc减去预先确定的启动停止判定时间△ Ta来计算设备的动作停止时间(△ Tc-△ Ta)，如果在动作停止时间超过预定的待机时间时，允许设备的动作重新开始，并且在动作停止时间在待机时间以内时，禁止的动作设备重新开始，那么图2，图9中的作为控制装置的控制部10的结构以及图7中的作为控制装置的控制部10和电器接触器23的结构可以是任意的。例如，当检测出来自电源部20的供给电力下降时，可以立刻将设备的启动指令设为关。在图7中，控制部10经由电磁接触器23控制激光电源6的启动，但是控制部10也可以不经由电磁接触器23而直接控制激光电源6的启动。在图3、图8中表示了在电力恢复的时刻T3的设备的动作停止时间(△ Tc- △ Ta)，但是随着从时刻T3开始的时间经过，对动作停止时间加上该部分时间。即，在从时刻T3经过了预定时间△ T的时刻(例如时刻T3和时刻T2之间的时刻)，设备的动作停止时间加上该预定时间，成为△ Tc- △ Ta+ Δ T。

[0059]能够任意地将上述实施方式和一个或多个变形例进行组合。

[0060]根据本发明，根据从通过存储在非易失性存储部中的时刻数据得到的第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻T2为止的时间，计算设备的动作停止时间，当该动作停止时间在预定的待机时间以内时，禁止设备重新开始动作。由此，能够防止由于动作停止时间短而造成的设备的损伤。

[0061]以上与优选实施方式相关联地说明了本发明，但是本领域技术人员应该理解，在不脱离权利要求书保护范围的情况下能够进行各种修正以及变更。