工业用机器人

摘要

一种工业用机器人，其能在臂部做伸缩动作时抑制臂部振动，即便这样，也能以低成本防止臂部的伸缩动作产生滞后。如果以臂部(4)伸缩时的手部(3)的移动方向作为第一方向，以与上下方向以及第一方向正交的方向作为第二方向，则在工业用机器人(1)中，预先测定以规定的速度使臂部伸缩时的从第二方向观察到的手部的实际轨迹，并且根据已测定的手部的实际轨迹，算出用于修正手部的实际轨迹、以便手部在臂部伸缩时以不在上下方向上振动的方式移动的修正曲线。工业用机器人的控制部在臂部伸缩时对升降手部以及臂部的升降用马达进行驱动，以使臂部的基端侧沿着修正曲线或者根据修正曲线预先算出的第二修正曲线进行升降。

权利要求

1.一种工业用机器人，用于搬运规定的搬运对象物，其特征在于，具有：

手部，所述手部装载所述搬运对象物；

臂部，所述手部连接到所述臂部的末端侧，且所述臂部能够以所述手部呈大致直线移动的方式在水平方向上进行伸缩；

臂部驱动用马达，所述臂部驱动用马达用于使所述臂部进行伸缩；

升降用马达，所述升降用马达用于使所述手部以及所述臂部进行升降；以及控制部，所述控制部具有所述臂部驱动用马达的驱动电路以及所述升降用马达的驱动电路，如果以所述臂部伸缩时的所述手部的移动方向作为第一方向，以与上下方向以及所述第一方向正交的方向作为第二方向，则在所述工业用机器人中，预先测定以规定的速度使所述臂部伸缩时的从所述第二方向观察到的所述手部的实际轨迹，并根据已测定的所述手部的实际轨迹，算出用于修正所述手部的实际轨迹、以便所述手部在所述臂部伸缩时以不在上下方向上振动的方式移动的修正曲线，所述控制部在所述臂部伸缩时驱动所述升降用马达，以使所述臂部的基端侧沿着预先算出的所述修正曲线或者根据所述修正曲线预先算出的第二修正曲线进行升降，测定以所述臂部驱动用马达的最大规格旋转速度使所述臂部驱动用马达旋转并使所述臂部伸缩时的所述手部的轨迹，算出所述修正曲线，并且，根据已算出的所述修正曲线和所述臂部驱动用马达的旋转速度，算出与所述臂部驱动用马达的旋转速度相应的多个所述第二修正曲线。

2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

算出与已测定的所述手部的实际轨迹近似的近似曲线，并且，算出在从所述第二方向观察时与所述近似曲线关于理想移动直线呈线对称的曲线作为所述修正曲线，其中，所述理想移动直线是在所述手部以不在上下方向上振动的方式沿所述第一方向移动时的所述手部的理想轨迹。

3.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述工业用机器人还具有旋转用马达，所述旋转用马达以上下方向作为旋转的轴向，并用于使所述手部以及所述臂部进行旋转，所述控制部具有所述旋转用马达的驱动电路，

在所述工业用机器人中，预先测定以规定的速度使所述臂部伸缩时的从上下方向观察到的所述手部的实际轨迹，并且根据已测定的所述手部的实际轨迹，算出用于修正所述手部的实际轨迹、以便所述手部在所述臂部伸缩时以不在所述第二方向上振动的方式移动的修正曲线，所述控制部在所述臂部伸缩时驱动所述旋转用马达，以使所述臂部的基端侧沿着预先算出的所述修正曲线或者根据所述修正曲线预先算出的第二修正曲线进行旋转。

4.根据权利要求3所述的工业用机器人，其特征在于，

算出与已测定的所述手部的实际轨迹近似的近似曲线，并且，算出在从上下方向观察时与所述近似曲线关于理想移动直线呈线对称的曲线作为所述修正曲线，其中，所述理想移动直线是所述手部以不在所述第二方向上振动的方式沿所述第一方向移动时的所述手部的理想轨迹。

说明书

工业用机器人

技术领域

[0001] 本发明涉及一种搬运规定搬运对象物的工业用机器人。

背景技术

[0002] 以往公知一种搬运液晶显示器用的玻璃基板的工业用机器人(例如参照专利文献1)。专利文献1中所记载的工业用机器人具有：手部，所述手部装载玻璃基板；臂部，手部能够转动地连接到所述臂部的末端侧；旋转部，臂部的基端侧能够转动地连接到所述旋转部；
本体臂部支承部，所述本体臂部支承部连接有旋转部；升降连杆，所述升降连杆连接有本体臂部支承部；以及升降轴马达，所述升降轴马达使升降用连杆动作，从而使本体臂部支承部升降。

[0003] 专利文献1中记载的工业用机器人在臂部做伸缩动作时，按照动作指令的每一个输出周期算出各种值，并根据已算出的各种值对升降轴马达进行驱动，以在臂部做伸缩动作时对臂部的挠曲进行修正。因此，在这种工业用机器人中，在臂部做伸缩动作时对臂部的挠曲进行修正，能够防止装载玻璃基板的手部与基板容纳盒或与基板处理部干涉。

[0004] 专利文献1：国际公开第2008/032591号

[0005] 在专利文献1所记载的工业用机器人中，如果臂部伸缩动作的速度加快，则容易在臂部产生振动，因而会造成玻璃基板的搬运不稳定。并且，臂部的伸缩动作的速度越快，臂部的振幅就变得越大，玻璃基板的搬运会变得更加不稳定。在专利文献1所记载的工业用机器人中，在臂部做伸缩动作时，由于按照动作指令的每一个输出周期算出各种值，并根据已算出的各种值对升降轴马达进行驱动，因此在臂部做伸缩动作时抑制臂部的振动，从而有可能使玻璃基板的搬运稳定。

[0006] 但是，在专利文献1所记载的工业用机器人中，由于在臂部做伸缩动作时按照动作指令的每一个输出周期算出各种值，因此工业用机器人的控制部在臂部做伸缩动作时的运算处理负担较大。并且，在这种工业用机器人中，由于控制部的运算处理负担较大，因此如果装配于控制部的中央处理器(CPU)等运算电路的处理速度慢，则有可能产生臂部的伸缩动作滞后的问题。另一方面，在这种工业用机器人中，如果在控制部装配处理速度较快的运算电路，则能够防止臂部的伸缩动作产生滞后，但是这种情况会造成控制部的成本增高，其结果是导致工业用机器人的成本增高。

发明内容

[0007] 因此，本发明的课题在于提供一种工业用机器人，其能够在臂部做伸缩动作时抑制臂部振动，即便这样，也能够以低成本防止臂部的伸缩动作产生滞后。

[0008] 为了解决上述课题，提出了本发明的工业用机器人，其用于搬运规定的搬运对象物，其特征在于，具有：手部，所述手部装载搬运对象物；臂部，手部连接到所述臂部的末端部，且所述臂部能够以手部呈大致直线移动的方式在水平方向上进行伸缩；臂部驱动用马达，所述臂部驱动用马达用于使臂部进行伸缩；升降用马达，所述升降用马达用于使手部以及臂部进行升降；控制部，所述控制部具有臂部驱动用马达的驱动电路以及升降用马达的驱动电路，如果以臂部伸缩时的手部的移动方向作为第一方向，以与上下方向以及第一方向正交的方向作为第二方向，则在工业用机器人中，预先测定以规定的速度使臂部伸缩时的从第二方向观察到的手部的实际轨迹，并且根据已测定的手部的实际轨迹，算出用于修正手部的实际轨迹、以便手部在臂部伸缩时以不在上下方向上振动的方式移动的修正曲线，并且控制部在所述臂部伸缩时驱动升降用马达，以使臂部的基端侧沿着预先算出的修正曲线或者根据修正曲线预先算出的第二修正曲线进行升降。

[0009] 在本发明的工业用机器人中，算出用于修正手部的实际轨迹、以便手部在臂部伸缩时以不在上下方向上振动的方式移动的修正曲线，并且控制部在臂部伸缩时驱动升降用马达，以使臂部的基端侧沿着预先算出的修正曲线或者根据修正曲线预先算出的第二修正曲线进行升降。因此，在本发明中，能够在臂部做伸缩动作时抑制臂部在上下方向上振动。并且，在本发明中，由于控制部在臂部伸缩时驱动升降用马达，以使臂部的基端侧沿着预先算出的修正曲线或者根据修正曲线预先算出的第二修正曲线进行升降，因此在臂部做伸缩动作时控制部的运算处理负担小。因此，在本发明中，即使在控制部装配处理速度慢的低价的运算电路，也能够防止臂部的伸缩动作产生滞后。其结果是，在本发明中，能够在臂部做伸缩动作时抑制臂部在上下方向上振动，即便这样，也能够以低成本防止臂部的伸缩动作产生滞后。

[0010] 在本发明中，例如算出与已测定的手部的实际轨迹近似的近似曲线，并且，算出在从第二方向观察时与近似曲线关于理想移动直线呈线对称的曲线作为修正曲线，其中，所述理想移动直线是在手部以不在上下方向上振动的方式沿第一方向移动时的手部的理想轨迹。

[0011] 为了解决上述课题，提供了本发明的工业用机器人，其用于搬运规定的搬运对象物，其特征在于，具有：手部，所述手部装载搬运对象物；臂部，手部连接到所述臂部的末端部，且所述臂部能够以手部呈大致直线移动的方式在水平方向上进行伸缩；臂部驱动用马达，所述臂部驱动用马达用于使臂部进行伸缩；旋转用马达，所述旋转用马达以上下方向为旋转的轴向，并用于使手部以及臂部进行旋转；控制部，所述控制部具有臂部驱动用马达的驱动电路以及旋转用马达的驱动电路，如果以臂部伸缩时的手部的移动方向作为第一方向，以与上下方向以及第一方向正交的方向作为第二方向，则在工业用机器人中，预先测定以规定的速度使臂部伸缩时的从上下方向观察到的手部的实际轨迹，并根据已测定的手部的实际轨迹，算出用于修正手部的实际轨迹、以便手部在臂部伸缩时以不在上下方向上振动的方式移动的修正曲线，并且控制部在臂部伸缩时驱动旋转用马达，以使臂部的基端侧沿着预先算出的修正曲线或者根据修正曲线预先算出的第二修正曲线进行旋转。

[0012] 在本发明的工业用机器人中，算出用于修正手部的实际轨迹、以便手部在臂部伸缩时以不在第二方向上振动的方式移动的修正曲线，并且控制部在臂部伸缩时驱动旋转用马达，以使臂部的基端侧沿着预先算出的修正曲线或者根据修正曲线预先算出的第二修正曲线进行旋转。因此，在本发明中，能够在臂部做伸缩动作时抑制臂部在第二方向上振动。并且，在本发明中，控制部在臂部伸缩时驱动旋转用马达，以使臂部的基端侧沿着预先算出的修正曲线或者根据修正曲线预先算出的第二修正曲线进行旋转，因此，在臂部做伸缩动作时控制部的运算处理负担小。因此，在本发明中，即使在控制部装配处理速度慢的低价的运算电路，也能够防止臂部的伸缩动作产生滞后。其结果是，在本发明中，能够在臂部做伸缩动作时抑制臂部在第二方向上振动，即便这样，也能够以低成本防止臂部的伸缩动作产生滞后。

[0013] 在本发明中，例如，算出与已测定的手部的实际轨迹近似的近似曲线，并且，算出在从上下方向观察时与近似曲线关于理想移动直线呈线对称的曲线作为修正曲线，其中，所述理想移动直线是在手部以不在第二方向上振动的方式沿第一方向移动时的手部的理想轨迹。

[0014] 在本发明中，优选测定以臂部驱动用马达的最大规格旋转速度使臂部驱动用马达旋转并使臂部伸缩时的手部的轨迹，算出修正曲线，再根据已算出的修正曲线和臂部驱动用马达的旋转速度，算出与臂部驱动用马达的旋转速度相应的多个第二修正曲线。如果像这样构成，则能够将预先已测定的手部的实际轨迹的测定次数设置为一次，因此能够容易地对手部的实际轨迹进行测定。

[0015] 发明效果

[0016] 如上述，在本发明的工业用机器人中，能够在臂部做伸缩动作时抑制臂部振动，即便这样，也能够以低成本防止臂部的伸缩动作产生滞后。

附图说明

[0017] 图1为本发明的实施方式所涉及的工业用机器人的俯视图。

[0018] 图2为从图1的E-E方向示出的工业用机器人的侧视图。

[0019] 图3为示出了图1所示的工业用机器人的控制部以及使工业用机器人动作的各种马达的方框图。

[0020] 图4为用于说明用于修正图1所示的手部的轨迹的修正曲线以及第二修正曲线的图。

[0021] 图5为用于说明用于修正图1所示的手部的轨迹的修正曲线以及第二修正曲线的图。

[0022] (符号说明)

[0023] 1 机器人(工业用机器人)

[0024] 2 基板(玻璃基板、搬运对象物)

[0025] 3 手部

[0026] 4 臂部

[0027] 18 臂部驱动用马达

[0028] 19 升降用马达

[0029] 20 旋转用马达

[0030] 24 控制部

[0031] CC1、CC10 修正曲线

[0032] CC2、CC20 第二修正曲线

[0033] FC1、FC2 近似曲线

[0034] IL1、IL2 理想移动直线

[0035] TR1、TR2 轨迹

[0036] X 第一方向

[0037] Y 第二方向

[0038] Z 上下方向

具体实施方式

[0039] 以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

[0040] (工业用机器人的结构)

[0041] 图1为本发明的实施方式所涉及的工业用机器人1的俯视图。图2为从图1的E-E方向示出的工业用机器人1的侧视图。图3为示出了图1所示的工业用机器人1的控制部24以及使工业用机器人1动作的各种马达的方框图。图4为用于说明用于修正图1所示的手部3的轨迹TR1的修正曲线CC1以及第二修正曲线CC2的图。

[0042] 本实施方式的工业用机器人1(以下称作“机器人1”)为用于搬运作为搬运对象物的液晶显示器用的玻璃基板2(以下称作“基板2”)的水平多关节型机器人。机器人1具有：手部3，所述手部3为两个，且装载基板2；臂部4，所述臂部4为两个，且两个手部3被分别连接到两个所述臂部4的末端部；本体部5，所述本体部5支承两个臂部4；以及基底部件6，所述基底部件6将本体部5支承为能够在水平方向上移动。本体部5具有：臂部支承部件7，所述臂部支承部件7支承臂部4的基端侧；升降部件8，所述升降部件8固定臂部支承部件7并能够上下移动；柱状部件9，所述柱状部件9将升降部件8支承为能够在上下方向上移动；基台10，所述基台10构成本体部5的下端部分，并能够相对于基底部件6水平移动；以及旋转部件11，所述旋转部件11固定柱状部件9的下端，并能够相对于基台10旋转。

[0043] 臂部4由第一臂部16和第二臂部17这两个臂部构成。第一臂部16的基端侧能够转动地连接到臂部支承部件7。第二臂部17的基端侧能够转动地连接到第一臂部16的末端侧。手部3能够转动地连接到第二臂部17的末端侧。臂部4能够以手部3朝向规定方向的状态呈大致直线移动地在水平方向上进行伸缩。具体地说，臂部4能够以手部3朝向规定方向的状态且手部3与臂部4的连接部分呈大致直线移动地在水平方向上进行伸缩。

[0044] 在臂部4的内部设置有用于使臂部4进行伸缩的臂部驱动用马达18。第一臂部16、第二臂部17以及手部3借助带轮以及传动带等动力传递机构连接到臂部驱动用马达18，当臂部驱动用马达18驱动时，臂部4以手部3朝向规定方向的状态呈大致直线移动地相对于臂部支承部件7进行伸缩。

[0045] 如上述，升降部件8能够相对于柱状部件9在上下方向上移动，机器人1具有用于使升降部件8升降的升降用马达19。也就是说，机器人1具有用于使手部3以及臂部4升降的升降用马达19。升降部件8借助以上下方向为轴向并能够转动地安装于柱状部件9的滚珠丝杠以及与该滚珠丝杠卡合的螺母部件等动力传递机构连接到升降用马达19，当升降用马达19旋转时，手部3、臂部4、臂部支承部件7以及升降部件8相对于柱状部件9进行升降。

[0046] 如上述，旋转部件11能够相对于基台10旋转，机器人1具有以上下方向为旋转的轴向并用于使旋转部件11旋转的旋转用马达20。也就是说，机器人1具有以上下方向为旋转的轴向用于使手部3以及臂部4旋转的旋转用马达20。旋转部件11借助齿轮组等动力传递机构连接到旋转用马达20，当旋转用马达20旋转时，手部3、臂部4、臂部支承部件7、升降部件8、柱状部件9以及旋转部件11相对于基台10旋转。另外，在本实施方式中，在从上下方向观察时，臂部支承部件7与第一臂部16之间的连接部分偏离旋转部件11的旋转中心。

[0047] 如上述，基台10能够相对于基底部件6水平移动，机器人1具有用于使基台10水平移动的水平移动用马达21。也就是说，机器人1具有用于使手部3以及臂部4水平移动的水平移动用马达21。基台10借助带轮以及传动带等动力传递机构连接到水平移动用马达21，当水平移动用马达21旋转时，手部3、臂部4、臂部支承部件7、升降部件8、柱状部件9、基台10以及旋转部件11相对于基底部件6在水平方向上进行移动。

[0048] 臂部驱动用马达18、升降用马达19、旋转用马达20以及水平移动用马达21与机器人1的控制部24连接。控制部24具有臂部驱动用马达18的驱动电路、升降用马达19的驱动电路、旋转用马达20的驱动电路以及水平移动用马达21的驱动电路。并且，控制部24具有只读存储器(ROM)或随机存取存储器(RAM)等存储电路和中央处理器(CPU)等运算电路等，且控制部24控制臂部驱动用马达18、升降用马达19、旋转用马达20以及水平移动用马达21。

[0049] 如上述这样构成的机器人1通过使臂部4的伸缩动作与臂部4等的升降、旋转以及水平移动的组合，来搬运装载于手部3的基板2。在此，在机器人1中，当臂部4的伸缩动作的速度加快时，容易在臂部4产生朝向上下方向的振动，从而形成基板2的搬运不稳定。并且，臂部4的伸缩动作的速度越快，上下方向上的臂部4的振幅就会变得越大，从而基板2的搬运会变得更加不稳定。因此，在本实施方式中，采用如下那样的结构，从而抑制了在臂部4做伸缩动作时，臂部4在上下方向上的振动。

[0050] 如果以臂部4伸缩时的手部3的移动方向(图4的X方向)作为第一方向，以与上下方向(图4的Z方向)以及第一方向正交的方向(图4的Y方向)作为第二方向，则在机器人1中，预先测定在以规定的速度使臂部4进行伸缩时从第二方向观察到的手部3的实际轨迹TR1(参照图4(A))。例如，在完成机器人1的组装后的组装工场测定以规定的速度使臂部4进行伸缩时手部3的实际轨迹TR1。在本实施方式中，测定以臂部驱动用马达18的最大规格旋转速度使臂部驱动用马达18旋转并使臂部4伸缩时的手部3的轨迹TR1。并且，测定手部3的末端的轨迹TR1。已测定的手部3的实际轨迹TR1例如像图4(A)的双点划线所示的那样进行变动。

[0051] 另外，在本实施方式中，手部3相对于臂部4的安装位置或安装角度在组装机器人1时进行了调整，使得在开始搬入装载于手部3的基板2时(或者基板2完成搬出时)的臂部4的状态(手部3位于图1的双点划线所示的位置时臂部4的状态)和完成搬入装载于手部3的基板2时(或者开始搬出基板2时)的臂部4的状态(臂部4最大限度伸展的状态，手部3位于图1的实线所示的位置时臂部4的状态)下手部3的末端的高度一致。因此，已测定的手部3的实际轨迹TR1的起点SP与终点EP的高度一致。

[0052] 其后，根据已测定的手部3的实际轨迹TR1，算出修正曲线CC1，该修正曲线CC1用于修正手部3的实际轨迹TR1，以便手部3在臂部4伸缩时以不在上下方向上振动的方式移动(参照图4(B))。具体地说，算出与已测定的手部3的实际轨迹TR1近似的近似曲线FC1(参照图4(A))，并且算出从第二方向观察时与近似曲线FC1关于理想移动直线IL1呈线对称的曲线作为修正曲线CC1，其中，上述理想移动直线IL1是手部3以不在上下方向上振动的方式朝向第一方向移动时的手部3的理想轨迹。也就是说，在从第二方向观察时，近似曲线FC1与修正曲线CC1相对于理想移动直线IL1形成为线对称。理想移动直线IL1在从第二方向观察时形成为与第一方向平行。并且，理想移动直线IL1的起点与轨迹TR1的起点SP一致，且理想移动直线IL1的终点与轨迹TR1的终点EP一致。

[0053] 并且，在本实施方式中，根据已算出的修正曲线CC1和臂部驱动用马达18的旋转速度，算出与臂部驱动用马达18的旋转速度相应的(即与臂部4的伸缩速度相应的)多个第二修正曲线CC2。具体地说，将理想移动直线IL1当作基准时的振幅作为与臂部驱动用马达18的旋转速度呈比例、且形成得比修正曲线CC1小的多个第二修正曲线CC2算出。

[0054] 并且，为了在臂部4伸缩时抑制臂部4在上下方向上振动，控制部24在臂部4伸缩时对升降用马达19进行驱动，以使臂部4的基端侧沿着预先算出的修正曲线CC1或者第二修正曲线CC2进行升降(即，使臂部支承部件7以及升降部件8进行升降)。也就是说，控制部24在臂部4伸缩时对升降用马达19进行驱动，以使臂部4的基端侧沿着与臂部驱动用马达18的旋转速度相应的修正曲线CC1或者第二修正曲线CC2进行升降。

[0055] (本实施方式的主要效果)

[0056] 如上述说明，在本实施方式中，预先算出修正曲线CC1以及第二修正曲线CC2，并且，控制部24在臂部4伸缩时对升降用马达19进行驱动，以使臂部4的基端侧沿着预先算出的修正曲线CC1或者第二修正曲线CC2进行升降，其中，修正曲线CC1以及第二修正曲线CC2用于修正手部3的实际轨迹TR1，以便在臂部4伸缩时手部3以不在上下方向上振动的方式移动。因此，在本实施方式中，能够在臂部4做伸缩动作时抑制臂部4在上下方向上振动。

[0057] 并且，在本实施方式中，控制部24在臂部4伸缩时对升降用马达19进行驱动，以使臂部4的基端侧沿着预先算出的修正曲线CC1或者第二修正曲线CC2进行升降，因此，控制部24在臂部4做伸缩动作时的运算处理负担小。因此，在本实施方式中，即使在控制部24装配处理速度慢的低价的中央处理器(CPU)等运算电路，也能够防止臂部4的伸缩动作产生滞后。其结果是，在本实施方式中，能够在臂部4做伸缩动作时抑制臂部4在上下方向上振动，即便这样，也能够以低成本防止臂部4的伸缩动作产生滞后。

[0058] 在本实施方式中，测定了以臂部驱动用马达18的最大规格旋转速度使臂部驱动用马达18旋转并使臂部4伸缩时的手部3的轨迹TR1。并且，在本实施方式中，根据已算出的修正曲线CC1和臂部驱动用马达18的旋转速度，算出与臂部驱动用马达18的旋转速度相应的多个第二修正曲线CC2。因此，在本实施方式中，预先测定的手部3的实际轨迹TR1的测定次数为一次即可。因此，在本实施方式中，能够容易地对手部3的实际轨迹TR1进行测定。

[0059] (其他实施方式)

[0060] 上述的实施方式为本发明优选实施方式的一个例子，但并不限定于此，在不变更本发明的主旨的范围内，可以实施各种变形。

[0061] 在上述的实施方式中，抑制了在臂部4做伸缩动作时臂部4在上下方向上振动。除此之外，例如，在机器人1中，如果臂部4的伸缩动作的速度加快，则还容易在第二方向上产生臂部4的振动，从而形成基板2的搬运不稳定，因此可以不仅是在臂部4做伸缩动作时抑制臂部4朝向上下方向振动，还在臂部4做伸缩动作时抑制臂部在第二方向上振动，或者通过在臂部4做伸缩动作时抑制臂部在第二方向上振动来取代在臂部4做伸缩动作时抑制臂部4朝向上下方向振动。

[0062] 在这种情况下，与上述的实施方式相同，预先测定以规定的速度使臂部4伸缩时从上下方向观察到的手部3的实际轨迹TR2(参照图5(A))。例如，在完成机器人1的组装后的组装工场，测定在以规定的速度使臂部4伸缩时的手部3的实际轨迹TR2。具体地说，测定以臂部驱动用马达18的最大规格旋转速度使臂部驱动用马达18旋转并使臂部4伸缩时的手部3的轨迹TR2。并且，例如测定手部3与臂部4之间的连接部分的轨迹TR2。

[0063] 之后，根据已测定的手部3的实际轨迹TR2，算出修正曲线CC10，该修正曲线CC10用于修正手部3的实际轨迹TR2，以便手部在臂部4伸缩时以不在第二方向上振动的方式移动(参照图5(B))。具体地说，算出与已测定的手部3的实际轨迹TR2近似的近似曲线FC2(参照图5(A))，并且算出从上下方向观察时与近似曲线FC2关于理想移动直线IL2呈线对称的曲线作为修正曲线CC10，其中，上述理想移动直线IL2是手部3以不在第二方向上振动的方式朝向第一方向移动时的手部3的理想轨迹。也就是说，在从上下方向观察时，近似曲线FC2与修正曲线CC10相对于理想移动直线IL2形成为线对称。理想移动直线IL2在从上下方向观察时形成为与第一方向平行。

[0064] 并且，与上述的实施方式相同，根据已算出的修正曲线CC10和臂部驱动用马达18的旋转速度，算出与臂部驱动用马达18的旋转速度相应的(即与臂部4的伸缩速度相应的)多个第二修正曲线CC20。具体地说，将理想移动直线IL2当作基准的振幅作为与臂部驱动用马达18的旋转速度成比例、且比修正曲线CC10小的多个第二修正曲线CC20算出。

[0065] 并且，为了抑制在臂部4做伸缩动作时臂部4在第二方向上振动，控制部24在臂部4伸缩时对旋转用马达20进行驱动，以使臂部4的基端侧沿着预先已算出的修正曲线CC10或者第二修正曲线CC20进行移动。也就是说，控制部24在臂部4伸缩时对旋转用马达20进行驱动，以使臂部4的基端侧沿着与臂部驱动用马达18的旋转速度相应的修正曲线CC10或者第二修正曲线CC20进行移动。

[0066] 在这种情况下，能够在臂部4做伸缩动作时抑制臂部4朝向第二方向振动，即便这样，也能够以低成本防止臂部4的伸缩动作产生滞后。

[0067] 在上述的实施方式中，测定以臂部驱动用马达18的最大规格旋转速度使臂部驱动用马达18旋转并使臂部4伸缩时的手部3的轨迹TR1。除此之外，例如，还可测定以除臂部驱动用马达18的最大规格旋转速度之外的速度使臂部驱动用马达18并使臂部4伸缩时的手部3的轨迹TR1。并且，还可测定以多个旋转速度使臂部驱动用马达18旋转并使臂部4伸缩时的各自的手部3的轨迹TR1。在这种情况下，算出与已测定的多个轨迹TR1中的各个轨迹近似的多个近似曲线FC1，并根据已算出的多个近似曲线FC1分别算出多个修正曲线CC1。

[0068] 在上述的实施方式中，臂部4的基端侧借助臂部支承部件7、升降部件8以及柱状部件9连接到旋转部件11，但臂部4的基端侧例如也可直接连接到形成为圆筒状的旋转部件。在这种情况下，例如将该旋转部件支承为能够转动的支承部件能够上下移动。并且，在上述的实施方式中，在从上下方向观察时，臂部支承部件7与第一臂部16之间的连接部分偏离旋转部件11的旋转中心，但也可是在从上下方向观察时，臂部支承部件7与第一臂部16之间的连接部分同旋转部件11的旋转中心一致。

[0069] 在上述的实施方式中，本体部5能够在水平方向上移动，但本体部5也可是固定的。并且，在上述的实施方式中，臂部4由第一臂部16和第二臂部17这两个臂部构成，但臂部4也可由三个以上的臂部构成。并且，在上述的实施方式中，由机器人1搬运的搬运对象物为基板2，但是由机器人1搬运的搬运对象物也可是半导体晶圆等。并且，机器人1既可在大气中搬运基板2也可在真空中搬运基板2。