吸嘴结构以及吸附方法

摘要

本发明提供防止在吸附的部件的中心附着尘埃的吸嘴结构及吸附方法。吸嘴通过吸引气体以产生负压，借助负压吸附透镜，然后喷出气体以解除对透镜的吸附。吸嘴具有：基端通道，引导吸引或喷出的气体；中心通道，使基端通道与中心开口连接，将吸引的气体从中心开口引导至基端通道，中心开口与透镜的中心相对；周围通道，使基端通道与位于中心开口的周围的周围开口连接，将吸引的气体从周围开口引导至基端通道，另一方面，将喷出的气体从基端通道引导至周围开口；阀，设于基端通道与中心通道的连接部分，在吸引气体时使基端通道与中心通道连接，允许从中心开口吸引气体，另一方面，在喷出气体时，使基端通道与中心通道断开，拒绝从中心开口喷出气体。

权利要求

1.一种吸嘴结构，通过吸引气体以产生负压，借助该负压吸附部件，然后，喷出气体以解除对所述部件的吸附，其特征在于，具有：

基端通道，引导吸引或喷出的气体；

中心通道，使所述基端通道与中心开口相连接，将吸引的气体从所述中心开口引导至所述基端通道，所述中心开口与所述部件的大致中心相对；

周围通道，使所述基端通道与位于所述中心开口的周围的周围开口相连接，将吸引的气体从所述周围开口引导至所述基端通道，另一方面，将喷出的气体从所述基端通道引导至所述周围开口；

阀，设置于所述基端通道与所述中心通道之间的连接部分，在吸引气体时使所述基端通道与所述中心通道相互连接，允许从所述中心开口吸引气体，另一方面，在喷出气体时，使所述基端通道与所述中心通道相互断开，拒绝从所述中心开口喷出气体。

2.如权利要求1所述的吸嘴结构，其特征在于，所述阀借助吸引或喷出的气体的压力进行动作。

3.如权利要求2所述的吸嘴结构，其特征在于，所述阀具有承受吸引或喷出的气体的压力的受压面。

4.如权利要求1～3中任一项所述的吸嘴结构，其特征在于，该吸嘴结构具有与所述部件相抵接的环状的凸部，

所述周围开口配置于所述凸部的顶端，并且，所述中心开口配置于由所述凸部围成的内部空间中的离开所述部件的位置，通过经由所述中心开口吸引所述内部空间的气体，在该内部空间内产生负压。

5.如权利要求1～3中任一项所述的吸嘴结构，其特征在于，该吸嘴结构具有突起，在喷出气体时，所述突起处于相对于所述中心开口或所述周围开口所在的顶端部突出的状态，另一方面，在吸引气体时，所述突起处于相对于所述中心开口或所述周围开口所在的顶端部退避的状态。

6.如权利要求5所述的吸嘴结构，其特征在于，所述突起借助吸引或喷出的气体的压力进行动作。

7.一种吸附方法，使用权利要求1～6中任一项所述的吸嘴结构，其特征在于，通过从所述中心开口和所述周围开口吸引气体以产生负压，借助该负压吸附所述部件，另一方面，从所述周围开口喷出气体以解除对所述部件的吸附。

8.如权利要求7所述的吸附方法，其特征在于，

在解除对所述部件的吸附时，执行如下步骤：

喷出步骤，从所述周围开口喷出气体；

负压消除步骤，与所述喷出步骤同时或在所述喷出步骤之后，使所述吸嘴以规定的速度上升，来消除在所述中心通道中残留的负压；

吸嘴退避步骤，在所述负压消除步骤之后，使所述吸嘴暂时停止之后再次上升，或者，使所述吸嘴以比所述规定的速度更快的高速上升，来使所述吸嘴退避。

说明书

吸嘴结构以及吸附方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种对透镜等部件进行吸附的吸嘴结构以及使用该吸嘴结构的吸附方法。

背景技术

[0002] 在制造由多个透镜组成的透镜单元的情况下，在套筒内一个一个地安装透镜。在这种情况下，为了将透镜搬运到套筒内，使用具有吸嘴的头部(例如，参照专利文献1)。

[0003] 首先，吸嘴通过吸引空气以产生负压，通过该负压，对在托盘上待机的透镜进行吸附。然后，使头部移动，将透镜搬运到套筒内。然后，吸嘴喷出空气，将透镜配置于套筒内。

[0004] 专利文献1：日本特开2010－274395号公报

[0005] 但是，吸嘴有时会吸入尘埃。在这种情况下，在将透镜配置于套筒内时，在透镜上喷上尘埃，导致该尘埃附着在透镜上。因此，考虑通过使吸嘴不与透镜的中心相向，而是与周围的凸缘现象，使透镜的中心不会附着尘埃。

[0006] 然而，在强烈要求提高生产效率的状况下，必需高速地对透镜进行安装。因此，需要可靠地保持透镜，并且必需增强使吸嘴与透镜的中心相向来进行吸附的力。这样一来，在将透镜配置于套筒内时，由于尘埃会喷到透镜的中心，所以无法防止在透镜的中心附着尘埃。

[0007] 这样的问题，不限于存在于对透镜进行吸附的情况，也共通存在于对电子部件等其他部件进行吸附的情况。

发明内容

[0008] 本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种防止在吸附的部件的中心附着尘埃的吸嘴结构以及吸附方法。

[0009] (1)本发明一种吸嘴结构，通过吸引气体以产生负压，借助该负压吸附部件，然后，喷出气体以解除对所述部件的吸附，其特征在于，

[0010] 具有：

[0011] 基端通道，引导吸引或喷出的气体；

[0012] 中心通道，使所述基端通道与中心开口相连接，将吸引的气体从所述中心开口引导至所述基端通道，所述中心开口与所述部件的大致中心相对；

[0013] 周围通道，使所述基端通道与位于所述中心开口的周围的周围开口相连接，将吸引的气体从所述周围开口引导至所述基端通道，另一方面，将喷出的气体从所述基端通道引导至所述周围开口；

[0014] 阀，设置于所述基端通道与所述中心通道之间的连接部分，在吸引气体时使所述基端通道与所述中心通道相互连接，允许从所述中心开口吸引气体，另一方面，在喷出气体时，使所述基端通道与所述中心通道相互断开，拒绝从所述中心开口喷出气体。

[0015] 根据本发明，在通过吸引气体以产生负压，借助该负压吸附部件的情况下，由于使吸引气体的中心开口与部件的中心相对，所以增强了吸附部件的力。由此，能够可靠地保持部件。进而，在对所吸附的部件进行搬运的情况下，能够高速地处理。然后，在喷出气体以解除对部件的吸附的情况下，气体不从与部件的中心相对的中心开口喷出，而从位于该中心开口的周围的周围开口11喷出气体，所以即使尘埃吸入到内部时，也不会在部件的中心喷上尘埃。因此，能够防止尘埃附着在部件的中心。

[0016] (2)本发明为如上述(1)所述的吸嘴结构，其特征在于，所述阀借助吸引或喷出的气体的压力进行动作。

[0017] 根据上述发明，可以通过简单的结构实现阀。

[0018] (3)本发明为如上述(2)所述的吸嘴结构，其特征在于，所述阀具有承受吸引或喷出的气体的压力的受压面。

[0019] 根据上述发明，可以通过简单的结构实现阀。

[0020] (4)本发明为如上述(1)～(3)中任一项所述的吸嘴结构，其特征在于，该吸嘴结构具有与所述部件相抵接的环状的凸部，

[0021] 所述周围开口配置于所述凸部的顶端，并且，所述中心开口配置于由所述凸部围成的内部空间中的离开所述部件的位置，

[0022] 通过经由所述中心开口吸引所述内部空间的气体，在该内部空间内产生负压。

[0023] 根据上述发明，由于借助由凸部围成的内部空间的负压对部件进行吸附，吸附力得以增强。

[0024] (5)本发明为如上述(1)～(4)中任一项所述的吸嘴结构，其特征在于，该吸嘴结构具有突起，在喷出气体时，所述突起处于从所述中心开口或所述周围开口所在的顶端部突出的状态，另一方面，在吸引气体时，所述突起处于从所述中心开口或所述周围开口所在的顶端部退避的状态。

[0025] 根据上述发明，在吸附的部件之上载置有该部件随带的其他部件的情况下，通过突起按压该其他的部件。如此，防止该其他部件被喷出的气体吹飞。

[0026] (6)本发明为如上述(5)所述的吸嘴结构，其特征在于，所述突起借助吸引或喷出的气体的压力进行动作。

[0027] 根据上述发明，可以通过简单的结构实现突起。

[0028] (7)本发明为一种吸附方法，使用如上述(1)～(6)中任一项所述的吸嘴结构，其特征在于，通过从所述中心开口和所述周围开口吸引气体以产生负压，借助该负压吸附所述部件，另一方面，从所述周围开口喷出气体以解除对所述部件的吸附。

[0029] (8)本发明为如上述(7)所述的吸附方法，其特征在于，

[0030] 在解除对所述部件的吸附时，执行如下步骤：

[0031] 喷出步骤，从所述周围开口喷出气体；

[0032] 负压消除步骤，与所述喷出步骤同时或在所述喷出步骤之后，使所述吸嘴以规定的速度上升，来消除在所述中心通道中残留的负压；

[0033] 吸嘴退避步骤，在所述负压消除步骤之后，使所述吸嘴暂时停止之后再次上升，或者，使所述吸嘴以比所述规定的速度更快的高速上升，来使所述吸嘴退避。

[0034] 根据上述发明，能够防止在解除了对部件的吸附后，通过在中心通道中残留的负压再次吸附部件。

[0035] 根据本发明的上述(1)～(6)所述的吸嘴结构以及上述(7)和(8)所述的吸附方法，能够得到防止尘埃附着在吸附的部件的中心的良好的效果。

附图说明

[0036] 图1是具有吸嘴的透镜搬运装置的主视图，所述吸嘴采用本发明的实施方式的吸嘴结构。

[0037] 图2A、图2B是吸嘴的剖视图，图2A为表示吸引气体时的剖视图，图2B为表示喷出气体时的剖视图。

[0038] 图3是吸嘴的仰视图。

[0039] 图4A、图4B是对吸附透镜的流程进行说明的吸嘴的剖视图，图4A表示吸附透镜之前的状态，图4B表示吸附透镜之后的状态。

[0040] 图5A至图5D是对解除透镜吸附的流程进行说明的吸嘴的剖视图，图5A表示解除吸附透镜之前的状态，图5B表示正在执行喷出步骤的状态，图5C表示正在执行负压消除步骤的状态，图5D表示正在执行吸嘴退避步骤的状态。

[0041] 图6是对解除吸附透镜的流程进行说明的流程图。

[0042] 图7A、图7B是采用其他实施方式的吸嘴结构的吸嘴的剖视图，图7A为表示吸引气体时的剖视图，图7B为表示喷出气体时的剖视图。

[0043] 其中，附图标记说明如下：

[0044] 2、22  吸嘴

[0045] 3a   顶端部

[0046] 4、24  阀

[0047] 6   基端通道

[0048] 7   中心通道

[0049] 8   周围通道

[0050] 10   中心开口

[0051] 11   周围开口

[0052] 13   受压面

[0053] 17   突起

[0054] XA1   透镜(部件)

[0055] SP1   规定的速度

[0056] SP2   高速

[0057] S100  喷出步骤

[0058] S200  负压消除步骤

[0059] S300  吸嘴退避步骤

具体实施方式

[0060] 以下，参照附图，对具有采用本发明的实施方式的吸嘴结构的吸嘴2的透镜搬运装置1，详细地进行说明。

[0061] 首先，使用图1，对透镜搬运装置1的结构进行说明。图1为透镜搬运装置1的主视图。另外，在该图及以下各图中，适当省略一部分结构，以简化附图。并且，在该图及以下各图中，对元件的大小、形状、厚度等适当夸张来表现。

[0062] 图1所示的透镜搬运装置1，设置于制造由多个透镜组成的透镜单元的生产线上。该透镜搬运装置1利用吸嘴2吸附在托盘YA1上待机的透镜XA1，并将该透镜XA1搬运至构成透镜单元的套筒ZA1内。

[0063] 具体地说，透镜搬运装置1具有吸嘴2、头部(省略图示)、升降装置(省略图示)、移动装置(省略图示)、泵单元(省略图示)等。

[0064] 吸嘴2通过泵单元(省略图示)进行动作。即，吸嘴2通过吸引气体(外部气体)以产生负压，通过该负压，吸附在托盘YA1上待机的透镜XA1，然后，在套筒ZA1内，喷出气体(例如压缩空气)来解除对透镜XA1的吸附。此外，关于吸嘴2的详细结构，在后面叙述。

[0065] 在头部(省略图示)上安装有吸嘴2。该头部通过升降装置进行升降，并且通过移动装置在水平方向上进行移动。即，头部通过自身进行升降以使吸嘴2进行升降。并且，头部通过自身在水平方向上进行移动以使吸嘴2在水平方向上进行移动。

[0066] 泵单元(省略图示)与吸嘴2连接。该泵单元通过产生负压使吸嘴2吸引气体。另外，泵单元通过产生正压来从吸嘴2喷出气体。

[0067] 然后，使用图1对透镜搬运装置1的动作进行说明。

[0068] 首先，使吸嘴2移动至在托盘YA1上待机的透镜XA1的正上方。然后，使吸嘴2下降至与透镜XA1即将抵接之前的高度。然后，吸嘴2通过吸引气体以产生负压，通过该负压对透镜XA1进行吸附。

[0069] 然后，通过使吸附在吸嘴2上的透镜XA1上升之后，移动至套筒ZA1的正上方。然后，使透镜XA1下降至与套筒ZA1内的凸缘(省略附图标记)即将抵接之前的高度。然后，从吸嘴2喷出气体，解除对透镜XA1的吸附。由此，将在托盘YA1上待机的透镜XA1搬运至套筒ZA1内。

[0070] 另外，作为解除对透镜XA1的吸附的高度，优选为相对于透镜XA1与套筒ZA1内的凸缘(附图标记省略)相抵接的位置，距离10μm以上且30μm以下的高度；更优选为相对于上述位置，距离15μm以上且25μm以下的高度，最优选为相对于上述位置，距离20μm的高度。

[0071] 接着，使用图2A、图2B和图3，对吸嘴2的结构进行说明。图2A为吸嘴2的剖视图，表示吸引气体时。图2B为吸嘴2的剖视图，表示喷出气体时。图3为吸嘴2的仰视图。

[0072] 如图2A、图2B和图3所示，吸嘴2具有吸嘴主体3、阀4、多个(在本实施方式中为3个)按压构件5。

[0073] 在吸嘴主体3中形成有基端通道6、中心通道7、多个(在本实施方式中为3个)周围通道8、按压构件容纳空间9等。

[0074] 基端通道6，设为纵向贯穿吸嘴主体3的基端侧(图2A和图2B中的上侧，图3中的内侧)的中央，并与中心通道7、多个周围通道8、以及多个按压构件容纳空间9相连接。该基端通道6，将吸引的气体从周围通道8引导至泵单元(省略图示)，另一方面，将喷出的气体从泵单元向中心通道7和多个周围通道8引导。

[0075] 中心通道7，设为纵向贯穿吸嘴主体3的顶端侧(图2A和图2B中的下侧，图3中的跟前侧)的中央，并将基端通道6与中心开口10相连接。该中心通道7，将吸引的气体从中心开口10引导至基端通道6，另一方面，不引导喷出的气体。

[0076] 多个周围通道8，分别设为纵向贯穿吸嘴主体3的位于顶端侧(图2A和图2B中的下侧，图3中的跟前侧)且位于中心通道7的周围的位置，将基端通道6与周围开口11相连接。这些多个周围通道8，分别将吸引的气体从周围开口11引导至基端通道6，另一方面，将喷出的气体从基端通道6引导至周围开口11。

[0077] 多个按压构件容纳空间9，分别设为纵向贯通吸嘴主体3的位于顶端侧(图2A和图2B中的下侧，图3中的跟前侧)且位于中心通道7的周围的位置，将基端通道6与突出开口12相接，多个按压构件容纳空间9与多个周围通道8在中心通道7的周围交替配置。这些多个按压构件容纳空间9，分别具有2层结构，其中，基端侧(图2A和图2B中的上侧，图3中的内侧)的直径相对较大，顶端侧(图2A和图2B中的下侧，图3中的跟前侧)的直径相对较小。并且，多个按压构件容纳空间9分别以使按压构件5能够在上下方向(图2A和图2B中的上下方向，图3中的内部与跟前的方向)上往复移动的状态容纳按压构件5。

[0078] 另外，中心开口10、多个周围开口11以及多个突出开口12，分别位于吸嘴主体3的顶端部3a。

[0079] 阀4以在上下方向(图2A和图2B中的上下方向，图3中的内部与跟前的方向)上能够往复移动的状态，设于基端通道6与中心通道7的连接部分。具体地说，阀4包括承受吸引或喷出的气体的压力(基端通道6内的气体的压力)的受压面13和在该受压面13的周围设置的凸缘14。

[0080] 受压面13的上表面与基端通道6相对，并且，受压面13的下表面与中心通道7、多个周围通道8以及多个按压构件容纳空间9相对。在该受压面13上，在与多个周围通道8相对的各个位置上形成有通气孔15，并且在与多个按压构件容纳空间9相对的各个位置上形成有插入孔16。

[0081] 凸缘14总是在受压面13与基端通道6之间形成空间，以防止受压面13将基端通道6堵塞。

[0082] 这样的阀4，通过受压面13承受吸引或喷出的气体的压力(基端通道6内的气体的压力)，借助该气体的压力进行动作。

[0083] 即，在吸引气体时(参照图2A)，阀4借助基端通道6内的气体的压力(负压)而上升，通过通气孔15将基端通道6和中心通道7相互连接，允许从中心开口10吸引气体。此时，基端通道6和多个周围通道8通过通气孔15相互连接，允许从多个周围开口11吸引气体。

[0084] 另一方面，在喷出气体时(参照图2B)，阀4由于自重或基端通道6内的气体的压力(正压)而下降，利用受压面13堵塞中心通道7，将基端通道6和中心通道7相互断开，以拒绝从中心开口10喷出气体。此时，基端通道6和多个周围通道8，通过通气孔15相互连接，允许从多个周围开口11喷出气体。

[0085] 多个按压构件5，分别以在上下方向(图2A和图2B中的上方向，图3中的内部与跟前的方向)上能够往复移动的状态，设于按压构件容纳空间9内。这些多个按压构件5分别具有2层结构，其中，基端侧(图2A和图2B中的上侧，图3中的内侧)的直径相对较大，顶端侧(图2A和图2B中的下侧，图3中的跟前侧)的直径相对较小。

[0086] 并且，多个按压构件5的基端侧的直径，分别比按压构件容纳空间9的基端侧的直径略小，且比按压构件容纳空间9的顶端侧的直径大。另外，多个按压构件5的顶端侧的直径，分别比按压构件容纳空间9的顶端侧的直径略小。

[0087] 这样的多个按压构件5，分别作为从突出开口12突出的突起17发挥功能。即，当吸引气体时(参照图2A)，多个按压构件5分别借助基端通道6内的气体的压力(负压)而上升，使突起17从突出开口12缩回。另一方面，在喷出气体时(参照图2B)，多个按压构件5分别借助自重或者基端通道6内的气体的压力(正压)而下降，使突起17从突出开口12突出。

[0088] 并且，下降的按压构件5的基端侧(图2A和图2B中的上侧，图3中的内侧)的直径相对较大的部分，堵塞按压构件容纳空间9中的顶端侧(图2A和图2B中的下侧，图3中的跟前侧)的直径相对较小的部分。由此，能够防止气体通过按压构件容纳空间9从突出开口12喷出。

[0089] 这样，通过由按压构件5的基端(省略附图标记)承受吸引或喷出的气体(基端通道6内的气体)的压力，突起17借助该气体的压力而进行动作。并且，在喷出气体时(参照图
2B)，突起17变成从吸嘴主体3的顶端部3a突出的状态，另一方面，在吸引气体时(参照图
2A)，突起17变成从吸嘴主体3的顶端部3a退避的状态。

[0090] 接着，使用图4A和图4B，对吸附透镜XA1的流程进行说明。图4A，为吸嘴2的剖视图，表示吸附透镜XA1之前的状态。图4B为吸嘴2的剖视图，表示吸附透镜XA1的之后的状态。此外，在由吸嘴2吸附的透镜XA1之上，载置有该透镜XA1随带的环XA2。

[0091] 首先，如图4A所示，使吸嘴主体3的顶端部3a下降至与透镜XA1即将抵接的高度。由此，中心开口10与透镜XA1的大致中心相对。并且，多个周围开口11分别与位于透镜XA1的周围的凸缘部分(省略附图标记)相对。另外，各从突出开口12突出的多个突起17分别与载置于透镜XA1之上的环XA2相对。

[0092] 然后，通过泵单元(省略图示)产生负压，如图4B所示，突出的多个突起17退避到各突出开口12内，并且从中心开口10和多个周围开口11吸引气体。从中心开口10吸引的气体沿着中心通道7被引导。从多个周围开口11吸引的气体沿着各周围通道8被引导。由此，在形成于吸嘴主体3的顶端部3a与透镜XA1之间的空间(省略附图标记)产生负压，通过该负压，透镜XA1吸附于吸嘴主体3的顶端部3a。

[0093] 接着，使用图5A、图5B、图5C、图5D以及图6，对解除透镜XA1的吸附的流程进行说明。图5A为吸嘴2的剖视图，表示解除对透镜XA1的吸附之前的状态。图5B为吸嘴2的剖视图，表示正在执行喷出步骤S100的状态。图5C为吸嘴2的剖视图，表示正在执行负压消除步骤S200的状态。图5D为吸嘴2的剖视图，表示正在执行吸嘴退避步骤S300的状态。图6为对解除对透镜XA1的吸附的流程进行说明的流程图。

[0094] 首先，如图5A所示，使由吸嘴2吸附的透镜XA1下降至与载置面(省略附图标记)即将抵接之前的高度。

[0095] 然后，通过泵单元(省略图示)产生正压，如图5B所示，退避的多个的突起17从各突出开口12突出，并且沿着多个周围通道8被引导的气体，从各周围开口11喷出(参照图6中的S100)。由此，解除吸嘴2对透镜XA1的吸附。

[0096] 但是，吸嘴主体3的顶端部3a与透镜XA1之间产生的间隙(省略附图标记)或者中心通道7内还残留负压。因此，在快速使吸嘴2退避的情况下，因在吸嘴主体3的顶端部3a与透镜XA1之间产生的间隙或者中心通道7内残留的负压，会再次吸附透镜XA1。

[0097] 因此，与喷出步骤100同时或者在其后，如图5C所示，以规定的速度SP1缓慢地使吸嘴2稍微(例如，50μm以上且100μm以下)上升(参照图6中的S200)。由此，外部气体流入吸嘴主体3的顶端部3a与透镜XA1之间产生的间隙或者中心通道7中。结果，在吸嘴主体3的顶端部3a与透镜XA1之间产生的间隙或者中心通道7内残留的负压被消除(reset)。

[0098] 然后，如图5D所示，使吸嘴2以比规定的速度SP1更快的高速SP2上升(图6中的S300)。由此，吸嘴2得以退避。

[0099] 另外，在此，以使吸嘴2以规定的速度SP1缓慢地上升，然后，以高速SP2上升的情况为例进行了说明，但是本发明不限于此，也可以在喷出步骤S200之后，使吸嘴2暂时停止后再上升。

[0100] 根据以上说明的吸嘴2，在通过吸引气体以产生负压，借助该负压吸附透镜XA1的情况下，由于使吸引气体的中心开口10与透镜XA1的中心相对，增强了吸附透镜XA1的力。由此，能够可靠地保持透镜XA1。进而，能够对吸附的透镜XA1进行高速搬运。然后，在喷出气体并解除对透镜XA1的吸附的情况下，气体不从与透镜XA1的中心相对的中心开口10喷出，而从位于该中心开口10的周围的周围开口11喷出气体，因此，即使在尘埃吸入到内部时，也不会在透镜XA1的中心喷上尘埃。因此，能够防止尘埃附着在透镜XA1的中心上。

[0101] 并且，由于阀4借助吸引或者喷出的气体的压力进行动作，所以能够通过简单的结构实现。另外，由于阀4具有承受吸引或者喷出的气体的压力的受压面13，所以能够通过简单的结构实现。

[0102] 进一步，由于具有突起17，所以能够利用突起17按压载置在吸附的透镜XA1之上的环XA2。由此，防止环XA2被喷出的气体吹飞。

[0103] 并且，由于突起17借助吸引或者喷出的气体的压力进行动作，所以能够通过简单的结构实现。

[0104] 另外，由于在解除对透镜XA1的吸附时，执行负压消除步骤S200，所以在解除对透镜XA1的吸附后，能够防止通过残留于中心通道7的负压再次吸附透镜XA1。

[0105] 然后，使用图7A和图7B，对其他实施方式的吸嘴22的结构进行说明。图7A为吸嘴22的剖视图，表示吸引气体时。图7B为吸嘴22的剖视图，表示喷出气体时。另外，在此，仅对吸嘴22的特征部分进行说明，关于与上述实施方式的吸嘴2同样的结构、作用和效果的说明，适当省略。

[0106] 吸嘴22与吸嘴2相比较，不同之处在于，具有吸嘴主体23来取代吸嘴主体3。并且，吸嘴22与吸嘴2相比较，不同之处在于，在具有阀24来取代阀4。另外，吸嘴22与吸嘴2相比较，不同之处在于，不具有按压构件5。

[0107] 在吸嘴主体23形成有基端通道6、中心通道7、多个(在本实施方式中为3个)周围通道8等。在该吸嘴主体23的顶端部23a上，形成有与透镜XA1(参照图1)相抵接的环状的凸部23b。并且，吸嘴主体23在顶端部23a上配置有中心开口10，并且在凸部23b的顶端上配置有多个周围开口11。即，中心开口10配置于由凸部23b围成的内部空间(省略附图标记)中的远离透镜XA1的位置。

[0108] 阀24与阀4相比较，不同之处在于，具有受压面33来取代受压面13。受压面33与受压面13相比较，不同之处在于，不具有插入孔16。

[0109] 根据以上说明的吸嘴22，由于借助由凸部23b围成的内部空间的负压来吸附透镜XA1，所以增强了吸附力。

[0110] 本发明并不限于上述实施方式，在不脱离其宗旨和技术思想的范围内能够进行各种变形。另外，各实施方式和各变形例子的结构，在可能的范围内能够适用于其他实施方式和其他变形例。

[0111] 即，在上述实施方式中，可以适当变更各结构的位置、大小、长度、形状、材质、方向、数量、温度等。

[0112] 或者，在上述实施方式中，以吸嘴2吸附透镜XA1的情况为例进行了说明，但是本发明并不限于此，也可以对电子部件等其他部件进行吸附。

[0113] 本发明的吸嘴结构能够利用于透镜、电子部件等其他部件的制造或者物流的领域中。